JPS6350082A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
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- JPS6350082A JPS6350082A JP19264786A JP19264786A JPS6350082A JP S6350082 A JPS6350082 A JP S6350082A JP 19264786 A JP19264786 A JP 19264786A JP 19264786 A JP19264786 A JP 19264786A JP S6350082 A JPS6350082 A JP S6350082A
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- JP
- Japan
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- discharge
- gas laser
- laser medium
- downstream side
- laser oscillation
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- Granted
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 5
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明はガスレーザ発振装置に係り、特に横励起方式の
装置に関する。
装置に関する。
(従来の技術)
放電部内においてガスレーザ媒質の流れる方向と放電方
向および発振光軸とが互いに交差する横励起形のガスレ
ーザ発振装置では、ガスレーザ媒質の上流側と下流側と
のレーザ利得は異なり、したがって横ビードが非対称な
強度分布となることが生じる。このため、レーザ加工に
おいては軸対称な集光スポットの強度分布が得られない
ことから良好な加工が行えない問題があった。
向および発振光軸とが互いに交差する横励起形のガスレ
ーザ発振装置では、ガスレーザ媒質の上流側と下流側と
のレーザ利得は異なり、したがって横ビードが非対称な
強度分布となることが生じる。このため、レーザ加工に
おいては軸対称な集光スポットの強度分布が得られない
ことから良好な加工が行えない問題があった。
(発明が解決すべき問題点)
非対称な強度分布の対策としてレーザ共振器を多重光路
をとる折り返し形の構成にすることが行われているがこ
のような構成にしても強度分布が十分に均一にならず、
また、強度分布の調整も困難であった。本発明はこのよ
うな問題を解決するためになされたもので、均一な強度
分布はもとより、レーザ加工目的に応じた強度分布にな
るレーザビームを発振することのできるガスレーザ発振
装置を提供することを目的とする。
をとる折り返し形の構成にすることが行われているがこ
のような構成にしても強度分布が十分に均一にならず、
また、強度分布の調整も困難であった。本発明はこのよ
うな問題を解決するためになされたもので、均一な強度
分布はもとより、レーザ加工目的に応じた強度分布にな
るレーザビームを発振することのできるガスレーザ発振
装置を提供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段と作用)放電部内のガス
レーザ媒質の流れる方向と放電方向および発振光軸の3
軸が互いに交差する横励起形のガスレーザ発振装置にお
いて、ガスレーザ媒質の流れの上流側から下流側に向か
うに従って放電入力密度を変化させる放電手段を備えた
構成とし、ガスレーザ媒質の上流から下流に至る間での
利得分布を均一化等調整可能になるようにし)たもので
ある。
レーザ媒質の流れる方向と放電方向および発振光軸の3
軸が互いに交差する横励起形のガスレーザ発振装置にお
いて、ガスレーザ媒質の流れの上流側から下流側に向か
うに従って放電入力密度を変化させる放電手段を備えた
構成とし、ガスレーザ媒質の上流から下流に至る間での
利得分布を均一化等調整可能になるようにし)たもので
ある。
(実施例)
以下、実施例を示す図面に基いて本発明を説明する。
第1図はいわゆる3軸直交形のガスレーザ発振装置の概
略を示すもので、放電部(1)にガスレーザ媒質の流路
となる風洞(2)が循環路を構成するようにして取り付
けられている。風洞(2)内には熱交換器(3)と送風
機(4)が設けられ、放電部(1)を経て加熱されたガ
スレーザ媒質を所定温度に冷却して循環するようになっ
ている。また放電部(1)にはそれぞれ誘電体(5a)
、 (5b)と、組合わされた放電電極(6)。
略を示すもので、放電部(1)にガスレーザ媒質の流路
となる風洞(2)が循環路を構成するようにして取り付
けられている。風洞(2)内には熱交換器(3)と送風
機(4)が設けられ、放電部(1)を経て加熱されたガ
スレーザ媒質を所定温度に冷却して循環するようになっ
ている。また放電部(1)にはそれぞれ誘電体(5a)
、 (5b)と、組合わされた放電電極(6)。
(力が設けられている。これらは紙面垂直方向に延在し
かつ所定の間隔をおいて対峙し、高周波電源(8)IM
H2乃至IQQMHzの周波数になる高電圧を受けるよ
うになっている。放電部(1)の紙面垂直方向側になる
両端には第2図に示すように折り返し形のレーザ共振器
を構成するために4個ミラー(9a)乃至(9d)が2
個ずつ対になり各ミラー間で反射させるように所定の角
度にされて設けられている。上記ミラーのうち、ガスレ
ーザ媒質の流れの下流側、すなわち折り返しの最終段と
なるミラー(9d)は凸面鏡になり放電部(1)の端部
に形成されたZn5eなどから形成された出力窓00の
中央部に取り付けられている。ところで、誘電体(5a
)、 (5b)は送風機(4)に循環されるガスレーザ
媒質の上流側から下流側に向かうに従って厚みが直線的
に薄くなるテーパー状に形成されている。
かつ所定の間隔をおいて対峙し、高周波電源(8)IM
H2乃至IQQMHzの周波数になる高電圧を受けるよ
うになっている。放電部(1)の紙面垂直方向側になる
両端には第2図に示すように折り返し形のレーザ共振器
を構成するために4個ミラー(9a)乃至(9d)が2
個ずつ対になり各ミラー間で反射させるように所定の角
度にされて設けられている。上記ミラーのうち、ガスレ
ーザ媒質の流れの下流側、すなわち折り返しの最終段と
なるミラー(9d)は凸面鏡になり放電部(1)の端部
に形成されたZn5eなどから形成された出力窓00の
中央部に取り付けられている。ところで、誘電体(5a
)、 (5b)は送風機(4)に循環されるガスレーザ
媒質の上流側から下流側に向かうに従って厚みが直線的
に薄くなるテーパー状に形成されている。
以上の構成において、ガスレーザ媒質の循環のもとに放
゛4電極(61,(力に高周波電圧が印加されて放電が
開始されレーザ発振が行われる。上記放電によって生じ
たボンピング光(10)はレーザ発振によって増幅され
出力窓aQよりリング状レーザ光(L)が放出される。
゛4電極(61,(力に高周波電圧が印加されて放電が
開始されレーザ発振が行われる。上記放電によって生じ
たボンピング光(10)はレーザ発振によって増幅され
出力窓aQよりリング状レーザ光(L)が放出される。
ところで、レーザ光αυはミラー(9a)乃至(9d)
間をガスレーザ媒質の流れに直交して反復反射されるが
、誘電体(5a)、 (5b)の厚さが薄くなるにつれ
て励起電流がより大きな値となるため、ガスレーザ媒質
の上流側が弱く、下流側が強く励起されることになる。
間をガスレーザ媒質の流れに直交して反復反射されるが
、誘電体(5a)、 (5b)の厚さが薄くなるにつれ
て励起電流がより大きな値となるため、ガスレーザ媒質
の上流側が弱く、下流側が強く励起されることになる。
この結果、リング状レーザ光(L)のビーム断面強度分
布は第3図(a)に示すように従来、上流側が高い強度
分布となっていたものが同図(b)に示すように均一化
された。
布は第3図(a)に示すように従来、上流側が高い強度
分布となっていたものが同図(b)に示すように均一化
された。
なお、実施例では誘電体(5a)、 (5b)の厚さを
テーパー状に漸減した形状にしたが、第4図に示すよう
に階段状に厚みを変化させるようにしても実施可能であ
る。また、誘電体の厚みを変化させる以外に誘電体およ
びそれに組合う放電電極を分割し、分割された各電極の
印加電圧に差異をつけるようにしても同様に実施できる
。第5図はその態様の一例で、それぞれ3対に分割され
て組合わされた誘電体(12a)、 (12b)、 (
12C)および(13a)、(13b)。
テーパー状に漸減した形状にしたが、第4図に示すよう
に階段状に厚みを変化させるようにしても実施可能であ
る。また、誘電体の厚みを変化させる以外に誘電体およ
びそれに組合う放電電極を分割し、分割された各電極の
印加電圧に差異をつけるようにしても同様に実施できる
。第5図はその態様の一例で、それぞれ3対に分割され
て組合わされた誘電体(12a)、 (12b)、 (
12C)および(13a)、(13b)。
(13G)と放電電極(14a)、 (14b)、 (
140)および(15a)。
140)および(15a)。
(15b)、 (15C)で各放電電極はそれぞれ電圧
調整可能な電源(15a)、 (15b)、 (15C
)に接続していて、ガスレーザ媒質の上流側から下流側
に向かうに従って印加電圧が増大されるように調整され
ている。
調整可能な電源(15a)、 (15b)、 (15C
)に接続していて、ガスレーザ媒質の上流側から下流側
に向かうに従って印加電圧が増大されるように調整され
ている。
ところで以上の各実施例の説明はレーザ光のビーム断面
強度の均一化を計った例を示したが、たとえば誘電体の
厚みを上記実施例とは逆にしたりあるいは中央部分のみ
を厚くしたりすることでビーム断面の強度分布を変化さ
せることができる。
強度の均一化を計った例を示したが、たとえば誘電体の
厚みを上記実施例とは逆にしたりあるいは中央部分のみ
を厚くしたりすることでビーム断面の強度分布を変化さ
せることができる。
さらには第5図に示した例では各電源(16a)、 (
16b)。
16b)。
(16C)の印加電圧を任意に変化すれば同様にビーム
断面の強度分布を変化させることができる。
断面の強度分布を変化させることができる。
ビーム断面の強度分布を任意に変化できるようになった
ので、様々なレーザ加工を安定にしかも能率よく行える
ようにすることが可能となった。
ので、様々なレーザ加工を安定にしかも能率よく行える
ようにすることが可能となった。
第1図および第2図は本発明の一実施例を示す断面図、
第3図はレーザ光のビーム断面の強度分布図、第4図お
よび第5図はそれぞれ本発明の他の実施例を示す要部断
面図である。 (1)・・・放電部、 (5a)、 (5b)・
・・誘電体、(6)、(力・・・放電電極、(8)・・
・高周波電源。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第ill 第2図
第3図はレーザ光のビーム断面の強度分布図、第4図お
よび第5図はそれぞれ本発明の他の実施例を示す要部断
面図である。 (1)・・・放電部、 (5a)、 (5b)・
・・誘電体、(6)、(力・・・放電電極、(8)・・
・高周波電源。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 第ill 第2図
Claims (3)
- (1)放電部内のガスレーザ媒質の流れる方向と放電方
向および発振光軸とが互いに交差する横励起形のガスレ
ーザ発振装置において、ガスレーザ媒質の流れの上流側
から下流側に向かうに従って放電入力密度を変化させる
放電手段を備えたことを特徴とするガスレーザ発振装置
。 - (2)放電手段はガスレーザ媒質の下流側に向かうに従
って厚みが変化する誘電体を介して高周波放電する放電
電極を備えたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載のガスレーザ発振装置。 - (3)放電手段はガスレーザ媒質の流れ方向に沿って配
置された複数の放電電極とこれら放電電極の印加電圧を
各別に制御する電源部とを備えたことを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載のガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19264786A JPH0760909B2 (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19264786A JPH0760909B2 (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6350082A true JPS6350082A (ja) | 1988-03-02 |
JPH0760909B2 JPH0760909B2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=16294725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19264786A Expired - Lifetime JPH0760909B2 (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0760909B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1039592A1 (fr) * | 1999-03-23 | 2000-09-27 | Cinema Magnetique Communication ( C.M.C.) | Procédé et dispositif pour l'excitation d'une décharge électrique à fréquence élevée dans un laser au gaz |
JP2012182397A (ja) * | 2011-03-03 | 2012-09-20 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ装置およびレーザ加工装置 |
JP2015050243A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 三菱電機株式会社 | レーザ装置 |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP19264786A patent/JPH0760909B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1039592A1 (fr) * | 1999-03-23 | 2000-09-27 | Cinema Magnetique Communication ( C.M.C.) | Procédé et dispositif pour l'excitation d'une décharge électrique à fréquence élevée dans un laser au gaz |
JP2012182397A (ja) * | 2011-03-03 | 2012-09-20 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ装置およびレーザ加工装置 |
JP2015050243A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 三菱電機株式会社 | レーザ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0760909B2 (ja) | 1995-06-28 |
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