JPH01241187A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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- JPH01241187A JPH01241187A JP6851488A JP6851488A JPH01241187A JP H01241187 A JPH01241187 A JP H01241187A JP 6851488 A JP6851488 A JP 6851488A JP 6851488 A JP6851488 A JP 6851488A JP H01241187 A JPH01241187 A JP H01241187A
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- Japan
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- laser
- laser beam
- electrodes
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザ発振器の発振効率の改善に関するも
のである。
のである。
第８図は従来のレーザ発振器を示す構成図であり、第８
図（＆）は正面断面図、第８図（ｂ）は側面因である。
図（＆）は正面断面図、第８図（ｂ）は側面因である。
図において、■」ハ（ｌｂ）は平行に対向配置された誘
電体電極、（２）は放電空間、（３）はレーザ媒質ガス
の循環用ブロワ、（４）は循環するレーザ媒質ガスを冷
却する熱交換器、（５）はレーザ発振器の容器、（６）
はブロワ（３）により循環されるレーザ媒質ガスの流れ
を示す。（７）は電極（ｌａ）、（ｌｂＪ間に高電圧電
流を供給する交流！源、（８）は全反射鏡、（９）は部
分反射鏡、（Ｏは放電励起により部分反射鏡（９）から
取り出されたレーザ光である。
電体電極、（２）は放電空間、（３）はレーザ媒質ガス
の循環用ブロワ、（４）は循環するレーザ媒質ガスを冷
却する熱交換器、（５）はレーザ発振器の容器、（６）
はブロワ（３）により循環されるレーザ媒質ガスの流れ
を示す。（７）は電極（ｌａ）、（ｌｂＪ間に高電圧電
流を供給する交流！源、（８）は全反射鏡、（９）は部
分反射鏡、（Ｏは放電励起により部分反射鏡（９）から
取り出されたレーザ光である。
次に動作について説明する。レーザ発振器の容器（５）
内には、炭酸ガス、ヘリウムおよびネオン等の混合ガス
から成るレーザ媒質ガスが、熱交換器（４）にて冷却さ
れた後ブロワ（３）により加速されて放電空間（２）に
循環供給されている。
内には、炭酸ガス、ヘリウムおよびネオン等の混合ガス
から成るレーザ媒質ガスが、熱交換器（４）にて冷却さ
れた後ブロワ（３）により加速されて放電空間（２）に
循環供給されている。
各電極（１＆Ｌ（ＩＪ間には交流電源（７）から高電圧
高局波電流が印加され、放電空間（２）にグロー吠の放
電が励起される。これにより放電空間（２）に循環され
ているレーザ媒質ガス分子が励起されて全反射鏡（８）
と部分反射鏡（９）間で共振増幅が行われた後、その一
部がレーザ光αＱとして部分反射鏡（９）から取り出さ
れる。そして、取り出されたレーザ光αｑは図示しない
光学基部品番ごよって導かれて被加工物に照射され、切
断、溶接等の加工が行われる。なお、放電空間（２）に
おけるレーザ媒質ガスの温度上昇はレーザ発振のエネル
ギー効率を低下させる原因となるので、放電空間（２）
の循環ガス流は熱交換器（４）にて冷却され、かつブロ
ワ（３）に第８図（ｈ）の矢印（６）で示すように高速
で循環され、レーザ媒質ガスの温度上昇値を一定値以下
に抑制している− 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のレーザ発振器は以上のように［４（１＆Ｊ、（ｌ
ｈ］が平行に対向配置されているので、例えば第４図又
は第５図に示すような全反射鏡（８）を部分反射鏡（９
）を用いた場合は、各反射鏡（８）、 （９）間で励起
されるレーザビームＩが平行にならず、第４図および第
５図に示すよう化テーパ状又は鼓状になることになる。
高局波電流が印加され、放電空間（２）にグロー吠の放
電が励起される。これにより放電空間（２）に循環され
ているレーザ媒質ガス分子が励起されて全反射鏡（８）
と部分反射鏡（９）間で共振増幅が行われた後、その一
部がレーザ光αＱとして部分反射鏡（９）から取り出さ
れる。そして、取り出されたレーザ光αｑは図示しない
光学基部品番ごよって導かれて被加工物に照射され、切
断、溶接等の加工が行われる。なお、放電空間（２）に
おけるレーザ媒質ガスの温度上昇はレーザ発振のエネル
ギー効率を低下させる原因となるので、放電空間（２）
の循環ガス流は熱交換器（４）にて冷却され、かつブロ
ワ（３）に第８図（ｈ）の矢印（６）で示すように高速
で循環され、レーザ媒質ガスの温度上昇値を一定値以下
に抑制している− 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のレーザ発振器は以上のように［４（１＆Ｊ、（ｌ
ｈ］が平行に対向配置されているので、例えば第４図又
は第５図に示すような全反射鏡（８）を部分反射鏡（９
）を用いた場合は、各反射鏡（８）、 （９）間で励起
されるレーザビームＩが平行にならず、第４図および第
５図に示すよう化テーパ状又は鼓状になることになる。
この結果、無効放電空間口が大きく存在することになっ
てレーザ発振効率を低下させるという課題があった。
てレーザ発振効率を低下させるという課題があった。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、レーザ発振効率を同上させることができるレー
ザ発振器を得ることを目的とする。
もので、レーザ発振効率を同上させることができるレー
ザ発振器を得ることを目的とする。
この発明に係るレーザ発振器は、各反射鏡間で励起され
るレーザビームの形状に沿って電極を対向配置したもの
である。
るレーザビームの形状に沿って電極を対向配置したもの
である。
この発明においては、励起されるレーザビームの形状に
沿って対向配置された電極により、無効放電空間が減少
する。
沿って対向配置された電極により、無効放電空間が減少
する。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はレーザ共振部分の詳細図であり、各電極ｔｉａ）、
ｔｔｂ）は、励起されるレーザビームの形状に沿って対
向配置されている。なお、この発明におけるレーザ発振
器は、電極（１ａＪ、（ＩＪの配置以外は、第３内に示
す従来の構成と同一であるので説明を省略する。
図はレーザ共振部分の詳細図であり、各電極ｔｉａ）、
ｔｔｂ）は、励起されるレーザビームの形状に沿って対
向配置されている。なお、この発明におけるレーザ発振
器は、電極（１ａＪ、（ＩＪの配置以外は、第３内に示
す従来の構成と同一であるので説明を省略する。
前述したように、各電極（ｌａｄ、（ロリに受流電源（
７）から高電圧高周波電流を供給すると、電極（ＩａＬ
（ＩＪ間の放電空間にグロー状の放電が発生し、これに
よって、放電空間に循環されているレーザ媒質ガス分子
が励起され、各反射鏡（８）。
７）から高電圧高周波電流を供給すると、電極（ＩａＬ
（ＩＪ間の放電空間にグロー状の放電が発生し、これに
よって、放電空間に循環されているレーザ媒質ガス分子
が励起され、各反射鏡（８）。
（９）間で共振増幅が行われた後に、その一部がレーザ
光ＱＱとして取り出される。このとき、放電空間で励起
されるレーザビーム（ロ）の形状は全反射［（８）の形
状から第１図に示すようなテーパ吠になるが、各’ａｍ
口ａＪ、（１Ｊをレーザビーム曲の形状に沿って配置す
ることにより、１１８ＩＩＩ（ｌａ）、（ｌｂ、）とレ
ーザビーム０１Ｊとの隙間である無効放電空間＠が減少
されてレーザ発振効率が良好になる。ま１こ、放電空間
のｍ皆両端に対向配置されｔコ反射鏡４（８）、 （９
）の形状によってはレーザビームＱｌ）が第２図に示す
ような鼓状になるが、この場合は各電極＜ｌａ）。
光ＱＱとして取り出される。このとき、放電空間で励起
されるレーザビーム（ロ）の形状は全反射［（８）の形
状から第１図に示すようなテーパ吠になるが、各’ａｍ
口ａＪ、（１Ｊをレーザビーム曲の形状に沿って配置す
ることにより、１１８ＩＩＩ（ｌａ）、（ｌｂ、）とレ
ーザビーム０１Ｊとの隙間である無効放電空間＠が減少
されてレーザ発振効率が良好になる。ま１こ、放電空間
のｍ皆両端に対向配置されｔコ反射鏡４（８）、 （９
）の形状によってはレーザビームＱｌ）が第２図に示す
ような鼓状になるが、この場合は各電極＜ｌａ）。
（ＩＪを長手方向に分割して配置すればよい。
即ち、鼓状励起するレーザビーム回は図に示す如く、そ
の両端部に近い側が太く、中央部に行くに従って細（な
ることから、電極（ｌａＪ、（ロリを長方向に対して任
意の長さに分割し、そのそれぞれをレーザビームＱｌ）
の形状に沿って配置すれば放電空間内の無効放電空間■
は減少され、有効なレーザ発振が得られることになる。
の両端部に近い側が太く、中央部に行くに従って細（な
ることから、電極（ｌａＪ、（ロリを長方向に対して任
意の長さに分割し、そのそれぞれをレーザビームＱｌ）
の形状に沿って配置すれば放電空間内の無効放電空間■
は減少され、有効なレーザ発振が得られることになる。
以上のようにこの発明によれば、放電空間に励起される
レーザビームの形状に沿って電極を対向配置するように
構成したので、電極とレーザビームとの隙間である無効
放電空間が減少し、レーザ発振効率の極めて高いレーザ
発振器が得られる効果がある。
レーザビームの形状に沿って電極を対向配置するように
構成したので、電極とレーザビームとの隙間である無効
放電空間が減少し、レーザ発振効率の極めて高いレーザ
発振器が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例にょるレーザ発振器の要部
拡大図、第２図はこの発明の他の実施例によるレーザ発
振器の要部拡大図、第８図は従来のレーザ発振器を示す
構成図であり、第８図（ａ）は正面断面図、第８図（ｂ
ｌは側面断面図をホす。第４図および第５図は従来のレ
ーザ発振器におけるレーザビームの励起状態を示す図で
ある。 図において、（１” ） ｅ （ロリはｗ檜、（８）は
全反射鏡、（９）は部分反射鏡、αＧはレーザ光、回は
レーザビームである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
拡大図、第２図はこの発明の他の実施例によるレーザ発
振器の要部拡大図、第８図は従来のレーザ発振器を示す
構成図であり、第８図（ａ）は正面断面図、第８図（ｂ
ｌは側面断面図をホす。第４図および第５図は従来のレ
ーザ発振器におけるレーザビームの励起状態を示す図で
ある。 図において、（１” ） ｅ （ロリはｗ檜、（８）は
全反射鏡、（９）は部分反射鏡、αＧはレーザ光、回は
レーザビームである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 対向配置された電極間に循環供給されるレーザ媒質ガス
を励起することにより、上記電極の両端部に対向配置さ
れた反射鏡間で励起されるレーザビームの一部をレーザ
光として出力するレーザ発振器において、上記レーザビ
ームの励起形状に沿って電極を対向配置したことを特徴
とするレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6851488A JPH01241187A (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6851488A JPH01241187A (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01241187A true JPH01241187A (ja) | 1989-09-26 |
Family
ID=13375902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6851488A Pending JPH01241187A (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01241187A (ja) |
-
1988
- 1988-03-23 JP JP6851488A patent/JPH01241187A/ja active Pending
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