JPS6295884A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6295884A JPS6295884A JP23524985A JP23524985A JPS6295884A JP S6295884 A JPS6295884 A JP S6295884A JP 23524985 A JP23524985 A JP 23524985A JP 23524985 A JP23524985 A JP 23524985A JP S6295884 A JPS6295884 A JP S6295884A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- glow discharge
- gas
- laser beam
- light axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はガス流の流れを改良したガスレーザ発振器に関
する。
する。
直交形レーザ発振器たとえば特開昭５５−４３８１７号
において、グロー放電領域に対する光軸の配置は、ガス
流に直交した方向で、ガス流により流されるグロー放電
領域内を貫通するように配置されている。この構成では
、グロー放電がガス流により流される放電頭載となり、
おのずと放電領域内のレーザガス励起強度分布がガス流
方向だ依存した分布となる。特に、グロー放電領域内の
ガス流の上流側では、レーザガス励起強度は太き、く下
流側では小さくなる。この様なグロー放電領域を貫通し
て取り出されるレーザビームは、そのモードが、同様に
ガス流の上流側では強度が強く、下流側では小さいマル
チモードに近いモードとなる。
において、グロー放電領域に対する光軸の配置は、ガス
流に直交した方向で、ガス流により流されるグロー放電
領域内を貫通するように配置されている。この構成では
、グロー放電がガス流により流される放電頭載となり、
おのずと放電領域内のレーザガス励起強度分布がガス流
方向だ依存した分布となる。特に、グロー放電領域内の
ガス流の上流側では、レーザガス励起強度は太き、く下
流側では小さくなる。この様なグロー放電領域を貫通し
て取り出されるレーザビームは、そのモードが、同様に
ガス流の上流側では強度が強く、下流側では小さいマル
チモードに近いモードとなる。
ツマリ、グロー放電領域内のレーザガス励起強度分布が
不均一になる。この様なビームモードであると、焦光レ
ンズによる焦光性が悪くなり、切断加工において良好な
切断を行なうことが不可となる。
不均一になる。この様なビームモードであると、焦光レ
ンズによる焦光性が悪くなり、切断加工において良好な
切断を行なうことが不可となる。
本発明の目的は、ビームモードの良いレーザ光を取り出
すガスレーザ発振器を提供することにある。
すガスレーザ発振器を提供することにある。
本発明のガスレーザ発振器は、レーザガス流路を分割し
、光軸に対するガス流方回を互いに反対方向に循環させ
、グロー放電領域の配置を互いに反転させることにより
、レーザガス励起強度のガス流方向不均一分布を互いに
補償し合うグロー放電領域を形成することができ、レー
ザビームモードをシングルモードとすること建ある。
、光軸に対するガス流方回を互いに反対方向に循環させ
、グロー放電領域の配置を互いに反転させることにより
、レーザガス励起強度のガス流方向不均一分布を互いに
補償し合うグロー放電領域を形成することができ、レー
ザビームモードをシングルモードとすること建ある。
以下１本発明の実施例を第１図ないし第２図によジ説明
する。
する。
発振器本体１の楕円型形状の端面は、出力鏡２と反射鏡
３を取付け、レーザ光４は両鏡間で共振し、かつ出力鏡
２より外部に照射される。平板形状の陽毬５はレーザ光
軸４人に沿ってレーザ光軸４Ｎの下側に配置され、レー
ザ光軸４人を介して上側に第１陰極６Ａおよび第２陰極
６Ｂを配置している。第１陰極６Ａは出力鏡側から視て
、レーザ光軸４人を介して左側に、第２陰極６Ｂは第１
陰極６Ａと対称的に反対側に、それぞれ配置されている
。つまり、レーザガス７Ａ、７Ｂの上流側に配置されて
いる。レーザガス７Ａ、７Ｂは送風機８Ａ、８Ｂたとえ
ばターボプロアを駆動すれホ。
３を取付け、レーザ光４は両鏡間で共振し、かつ出力鏡
２より外部に照射される。平板形状の陽毬５はレーザ光
軸４人に沿ってレーザ光軸４Ｎの下側に配置され、レー
ザ光軸４人を介して上側に第１陰極６Ａおよび第２陰極
６Ｂを配置している。第１陰極６Ａは出力鏡側から視て
、レーザ光軸４人を介して左側に、第２陰極６Ｂは第１
陰極６Ａと対称的に反対側に、それぞれ配置されている
。つまり、レーザガス７Ａ、７Ｂの上流側に配置されて
いる。レーザガス７Ａ、７Ｂは送風機８Ａ、８Ｂたとえ
ばターボプロアを駆動すれホ。
矢印方向に流通するが、送風機８人と送風機８Ｂとは互
いに反対方向だ配置され、隔壁９により区分されている
。隔壁９はグロー放電領域１０Ａ。
いに反対方向だ配置され、隔壁９により区分されている
。隔壁９はグロー放電領域１０Ａ。
１０Ｂではレーザ光４を通過させる空間を形成している
。グロー放電領域１０Ａ、ＩＯＢで緩めら几たレーザガ
ス７Ａ、７Ｂは、互いに反対方向に流れて、熱交換器１
１ｉＣより冷却される。
。グロー放電領域１０Ａ、ＩＯＢで緩めら几たレーザガ
ス７Ａ、７Ｂは、互いに反対方向に流れて、熱交換器１
１ｉＣより冷却される。
次に、陽極５と第１および第２陰極６Ａ、６Ｂとの間に
直流電源１２を印加すれば１両電他間でグロー放電領域
１０Ａ、ＩＯＢを生ずる。グロー放電領域１０Ａ、ＩＯ
Ｂのレーザガス７Ａ、７Ｂの上流側１３人、１４Ａは、
下流側１３Ｂ、１４Ｂに比べて温度が低いので、１！流
密度が高く、レーザ光の強度も強い。このため、第３図
に示すように縦軸に光強度（Ｅ）を、横軸に出力鏡４の
直径りとすれば、グロー放電領域１０Ａおよびグロー放
電領域１０Ｂでのガウス分布特性図は、不均一な分布の
Ｇｚ と０２とが互いに補償し合って、均一なガウス分
布特性Ｇ＋ となる。したがって、対称性の良いシング
ルモードのレーザビームを得ることができるので、Ｐｔ
度加工に適した切断加工を行なえるようになった。また
、レーザ光４が他に分散しないので、電気エネルギーの
無駄がなくなり。
直流電源１２を印加すれば１両電他間でグロー放電領域
１０Ａ、ＩＯＢを生ずる。グロー放電領域１０Ａ、ＩＯ
Ｂのレーザガス７Ａ、７Ｂの上流側１３人、１４Ａは、
下流側１３Ｂ、１４Ｂに比べて温度が低いので、１！流
密度が高く、レーザ光の強度も強い。このため、第３図
に示すように縦軸に光強度（Ｅ）を、横軸に出力鏡４の
直径りとすれば、グロー放電領域１０Ａおよびグロー放
電領域１０Ｂでのガウス分布特性図は、不均一な分布の
Ｇｚ と０２とが互いに補償し合って、均一なガウス分
布特性Ｇ＋ となる。したがって、対称性の良いシング
ルモードのレーザビームを得ることができるので、Ｐｔ
度加工に適した切断加工を行なえるようになった。また
、レーザ光４が他に分散しないので、電気エネルギーの
無駄がなくなり。
効率が向上した。
第４図のガスレーザ発振器は折返しミラ１５を使用し、
隔壁９で仕切って、Ｍ１図と同様なグロー放電領域９Ａ
、９Ｂを形成した場合で、上述と同様な作用効果を達成
できる。
隔壁９で仕切って、Ｍ１図と同様なグロー放電領域９Ａ
、９Ｂを形成した場合で、上述と同様な作用効果を達成
できる。
以上のように１本発明のガスレーザ発振器によれば、シ
ングルモードのレーザビームを得ることができるので、
精密な切断加工を行うことができる。
ングルモードのレーザビームを得ることができるので、
精密な切断加工を行うことができる。
第１図は本発明の実施例として示したガスレーザ発振器
の全体斜視図、第２図は第一１図の入方向から視た時の
側断面図、第３図は本発明のガウス分布特性図、第４図
は本発明の他の実施例であるガスレーザ発振器の全体斜
視図である。 １・・・発振器本体、２・・・出力鏡、３・・・反射鏡
、４・・・レーザ光、６Ａ、６Ｂ・・・レーザガス、９
Ａ、９Ｂ・・・グロー放電領域。
の全体斜視図、第２図は第一１図の入方向から視た時の
側断面図、第３図は本発明のガウス分布特性図、第４図
は本発明の他の実施例であるガスレーザ発振器の全体斜
視図である。 １・・・発振器本体、２・・・出力鏡、３・・・反射鏡
、４・・・レーザ光、６Ａ、６Ｂ・・・レーザガス、９
Ａ、９Ｂ・・・グロー放電領域。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、グロー放電領域および鏡を有する発振器本体と、発
振器本体内をレーザガスを循環させ、レーザガスをグロ
ー放電領域内で変換したレーザ光を鏡間で共振させて、
レーザ光を外部に照射するものにおいて、グロー放電領
域内に少なくとも２個以上のレーザガス流通路を設ける
ことを特徴とするガスレーザ発振器。 ２、上記少なくともレーザガス流通路内の一方側のレー
ザガスと他方側のレーザガスとの流れを、互いに反対方
向に流すことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
ガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23524985A JPS6295884A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23524985A JPS6295884A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6295884A true JPS6295884A (ja) | 1987-05-02 |
Family
ID=16983281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23524985A Pending JPS6295884A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6295884A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012035953A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置およびレーザ加工装置 |
| CN103151679A (zh) * | 2012-03-02 | 2013-06-12 | 中国科学院光电研究院 | 基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔 |
-
1985
- 1985-10-23 JP JP23524985A patent/JPS6295884A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012035953A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置およびレーザ加工装置 |
| US8873599B2 (en) | 2010-09-17 | 2014-10-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Gas laser device |
| JP5653444B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2015-01-14 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置 |
| CN103151679A (zh) * | 2012-03-02 | 2013-06-12 | 中国科学院光电研究院 | 基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔 |
| WO2013127111A1 (zh) * | 2012-03-02 | 2013-09-06 | 中国科学院光电研究院 | 单腔双电极放电腔及准分子激光器 |
| US9252557B2 (en) | 2012-03-02 | 2016-02-02 | Academy Of Opto-Electronics, Chinese Academy Of Sciences | Single cavity dual-electrode discharge cavity and excimer laser |
| RU2592065C2 (ru) * | 2012-03-02 | 2016-07-20 | Академи Оф Опто-Электроникс, Чайниз Академи Оф Сайенсиз | Однополостная двухэлектродная разрядная камера и эксимерный лазер |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4500998A (en) | Gas laser | |
| JPS6295884A (ja) | ガスレ−ザ発振器 | |
| EP0504652B1 (en) | Gas laser oscillating device | |
| CA1277757C (en) | Optical resonator and laser | |
| JPS58212189A (ja) | ガスレ−ザ発生装置 | |
| JPS6350082A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JP2757198B2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPH01241187A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPS61284984A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS6350857Y2 (ja) | ||
| JPH0883944A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| CA1067190A (en) | Optical imaging of flashlamp discharge to laser medium | |
| JPH02281669A (ja) | 直流励起ガスレーザ発振装置 | |
| JPH02152286A (ja) | 放電型ガスレーザの放電電極 | |
| JPH038381A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS59129484A (ja) | 直交型ガスレ−ザ発生装置 | |
| JPS59163881A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JPH01179476A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS61182287A (ja) | 炭酸ガスレ−ザ装置 | |
| JPS63199469A (ja) | ガスレ−ザ発振器 | |
| JPS5840353B2 (ja) | 縦流炭酸ガスレ−ザ発振器 | |
| JPS6018153B2 (ja) | レ−ザ装置 | |
| JPH0267783A (ja) | カスケード型レーザ発振器 | |
| JPS62111489A (ja) | エキシマレ−ザ装置 | |
| JPS63122184A (ja) | ガスレ−ザ装置 |