JPS58212189A - ガスレ−ザ発生装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発生装置Info
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- JPS58212189A JPS58212189A JP57093211A JP9321182A JPS58212189A JP S58212189 A JPS58212189 A JP S58212189A JP 57093211 A JP57093211 A JP 57093211A JP 9321182 A JP9321182 A JP 9321182A JP S58212189 A JPS58212189 A JP S58212189A
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- Japan
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- oscillation
- pulse
- discharge
- pulse oscillation
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0385—Shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0384—Auxiliary electrodes, e.g. for pre-ionisation or triggering, or particular adaptations therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、特に同一装置によって連続発振ならびにパル
ス発振を行うことが出来るガスレーザ発生装置の改良に
関する。
ス発振を行うことが出来るガスレーザ発生装置の改良に
関する。
一般に、ガスレーザ発生装置は、炭酸ガス、窒素ガス、
ヘリウムガス等のガス媒質を放電管内に密閉し、放電管
内に設けた陰ｉと陽極とから成る電極間でグロー放１１
行ないガス媒質全励起して、レーザ光を連続発振して、
被加工物を照射すれば、被加工物にたとえば孔、切断、
溶接などの加工ができる。連続発振はレーザ光を被加工
物に照射してたとえば穿孔する場合に、照射時間が長く
なるので、熱的影響たとえばしわ、溶融等の熱的影響に
よって、小孔たとえば０．１〜０．２Φが形成できなか
ったり、或いは金属全切断する時に切断幅が広くなつ７
ｔＤ、する等の欠一点金生ずる。
ヘリウムガス等のガス媒質を放電管内に密閉し、放電管
内に設けた陰ｉと陽極とから成る電極間でグロー放１１
行ないガス媒質全励起して、レーザ光を連続発振して、
被加工物を照射すれば、被加工物にたとえば孔、切断、
溶接などの加工ができる。連続発振はレーザ光を被加工
物に照射してたとえば穿孔する場合に、照射時間が長く
なるので、熱的影響たとえばしわ、溶融等の熱的影響に
よって、小孔たとえば０．１〜０．２Φが形成できなか
ったり、或いは金属全切断する時に切断幅が広くなつ７
ｔＤ、する等の欠一点金生ずる。
一方、パルスレーザ発振では、レーザ光を被加工物に照
射する時間が短かく、レーザピーク出力が大きいので、
上述のような小孔を形成し友り、或いは金属切断時の切
断幅を狭く形成したり、することができる。パルス発振
を行う場合には、陰極にパルス電圧を印加する前に直流
電圧を印加して、陰極面に負グローと呼ばれる輝度の強
い発振部が一般１母には部分的に祐生ずる。この状態で
、パルス電圧を印加すれば、パルス電流は予備電流に重
畳して、負グローの個所から広がるが、この広がり方は
、パルス発振の特性に影響する。
射する時間が短かく、レーザピーク出力が大きいので、
上述のような小孔を形成し友り、或いは金属切断時の切
断幅を狭く形成したり、することができる。パルス発振
を行う場合には、陰極にパルス電圧を印加する前に直流
電圧を印加して、陰極面に負グローと呼ばれる輝度の強
い発振部が一般１母には部分的に祐生ずる。この状態で
、パルス電圧を印加すれば、パルス電流は予備電流に重
畳して、負グローの個所から広がるが、この広がり方は
、パルス発振の特性に影響する。
ところで、第４Ｂ図に示すように、連続発振の特性には
、それ以下では発振しないという、電流閾値Ｉｓｈが存
在する。応用面から重要なことは、この予備放電時の小
電流工０が、閾値Ｉｔｈ以下に設定されることである。
、それ以下では発振しないという、電流閾値Ｉｓｈが存
在する。応用面から重要なことは、この予備放電時の小
電流工０が、閾値Ｉｔｈ以下に設定されることである。
陰極の表面積を連続高出力用の最適値とした陰極では、
上述のような小電流■。でグロー放電を行なうと、陰極
表面は、その一部しか放電に関与しない。これは、負グ
ローと呼ばれる陰極前面での輝度の強い発光部分が、リ
ング状の陰極表面に沿って一部に弧状にしか観察されな
いということにより、容易に確認できる。
上述のような小電流■。でグロー放電を行なうと、陰極
表面は、その一部しか放電に関与しない。これは、負グ
ローと呼ばれる陰極前面での輝度の強い発光部分が、リ
ング状の陰極表面に沿って一部に弧状にしか観察されな
いということにより、容易に確認できる。
このような、予備放電の状態で４、パルス電圧源に！１
・） より、グロー放重電流を増加しようとしても、負グロー
が陰極表面全体に広がる速さよりも、パルス電流自身の
増え方が速いために、陰極表面での電流密度の上昇が速
く、比較的小さな電流値でグロー放電はアーク放電に移
行し、十分なパルス発振出力が得られない。また、この
ように陰極表面全体に負グロが広がっていない放電管を
複段個並へ 列にして、パルス運転を行なうと、予備放屯流工０の各
放電管への配分にばらつきが起こり、より小さな電流全
分担した放電管からアーク放電に移行し易く、不安定な
出力しか得られない。
・） より、グロー放重電流を増加しようとしても、負グロー
が陰極表面全体に広がる速さよりも、パルス電流自身の
増え方が速いために、陰極表面での電流密度の上昇が速
く、比較的小さな電流値でグロー放電はアーク放電に移
行し、十分なパルス発振出力が得られない。また、この
ように陰極表面全体に負グロが広がっていない放電管を
複段個並へ 列にして、パルス運転を行なうと、予備放屯流工０の各
放電管への配分にばらつきが起こり、より小さな電流全
分担した放電管からアーク放電に移行し易く、不安定な
出力しか得られない。
本発明の目的は、同一装置で連続発振とパルス発振との
両方を運転することができるガスレーザ発生装置を＊供
することにある。
両方を運転することができるガスレーザ発生装置を＊供
することにある。
本発明のガスレーザ発生装置では、連続発振用陰極とパ
ルス発掘用陰極とを設けて、パルス発振用陰極の放電Ｉ
ｆｉ積を連続発振用陰極の放！面積より小さくすれば、
パルス発振用陰極に予備グロー放電圧全印加し、予備グ
ロー放’ｉｔ流を流すと、パルス発振用陰極全体で放電
するので、この状態覧。
ルス発掘用陰極とを設けて、パルス発振用陰極の放電Ｉ
ｆｉ積を連続発振用陰極の放！面積より小さくすれば、
パルス発振用陰極に予備グロー放電圧全印加し、予備グ
ロー放’ｉｔ流を流すと、パルス発振用陰極全体で放電
するので、この状態覧。
で、さらにパルス発堺市埠極にパルス電圧を印加した時
に、パルス電流がパルス発振用陰極全体にすぐに流れる
。したがって、パルス発振用陰極でアーク放電を生ずる
ことなく、出力が安定すると共に、同一装置で連続発掘
とパルス発振との両方を運転することができる。
に、パルス電流がパルス発振用陰極全体にすぐに流れる
。したがって、パルス発振用陰極でアーク放電を生ずる
ことなく、出力が安定すると共に、同一装置で連続発掘
とパルス発振との両方を運転することができる。
以下、本発明の実施例を第１図に示すガスレーザ発生装
置１により説明する。
置１により説明する。
ガスレーザ発生装置１は、両端に反射鏡２人と出力鏡２
Ｂを有する放電管２の内部に陽極３と複数個の連続発振
用陰極４（以下第１陰極と称する）およびパルス発振用
陰極５（以下第２陰極と称する）と全配置している。第
１陰極４の厚さ寸法１１は、第２陰極５の厚さ寸法ｔ２
より厚い。つまり、ｔＩ；＞１２の関係にある。これら
の陰極４゜５は厚さ寸法以外構成が同じなので、第１陰
極４の構成を第２Ａ図により説明する。リング形状の第
１陰極４は、内側に中空穴６を形成し、中空穴７と対応
する内周面には、第２Ｂに示すように陰極面８全形成し
ている。陰極面８と外周部９との間には、ガス媒質２Ｃ
が流通する複数個のガス流通穴１０ｉ形成している。ガ
ス媒体２Ｃは図示していないが放電管２と連通ずる強制
循環系によって、循環している。陽極３と第１陰極４お
よび第２陰極５との間には、直流電源１５を接続してい
る。
Ｂを有する放電管２の内部に陽極３と複数個の連続発振
用陰極４（以下第１陰極と称する）およびパルス発振用
陰極５（以下第２陰極と称する）と全配置している。第
１陰極４の厚さ寸法１１は、第２陰極５の厚さ寸法ｔ２
より厚い。つまり、ｔＩ；＞１２の関係にある。これら
の陰極４゜５は厚さ寸法以外構成が同じなので、第１陰
極４の構成を第２Ａ図により説明する。リング形状の第
１陰極４は、内側に中空穴６を形成し、中空穴７と対応
する内周面には、第２Ｂに示すように陰極面８全形成し
ている。陰極面８と外周部９との間には、ガス媒質２Ｃ
が流通する複数個のガス流通穴１０ｉ形成している。ガ
ス媒体２Ｃは図示していないが放電管２と連通ずる強制
循環系によって、循環している。陽極３と第１陰極４お
よび第２陰極５との間には、直流電源１５を接続してい
る。
直流電流１５は、連続発振用の第１電源１６とパルス発
振用の第２’ａ源１７とから構成されている。第１電源
１６と第１陰極４との１川には、第１安定化抵抗１９お
よび第１スイツチＩＥＩ接続している。第２電源１７は
、直流高電圧源１７Ａとパルス電圧源１７Ｂとから成る
。パルス電圧源１７Ｂは陽極３および接地２０に接続し
、直流制電圧源１７Ａと第２陰極５との間には、第２安
定化抵抗２１および第２スイッチ２ＳＱ−接続している
。第１電源１６と第２電源１７との間には、第３スイツ
チ２３を設けている。
振用の第２’ａ源１７とから構成されている。第１電源
１６と第１陰極４との１川には、第１安定化抵抗１９お
よび第１スイツチＩＥＩ接続している。第２電源１７は
、直流高電圧源１７Ａとパルス電圧源１７Ｂとから成る
。パルス電圧源１７Ｂは陽極３および接地２０に接続し
、直流制電圧源１７Ａと第２陰極５との間には、第２安
定化抵抗２１および第２スイッチ２ＳＱ−接続している
。第１電源１６と第２電源１７との間には、第３スイツ
チ２３を設けている。
次に、ガスレーザ発生装ｆｔｉの運転方法について説明
する。
する。
１、連続発振の場合
ガスレーザ発生装置１が連続発振する場合には、第２ス
イッチ２２ｔ−開き、第１および第２スイッチ１８，２
３１−閉じて、陽極３と第１および第２陰極４，５との
間に第１電源１６を接続すると、ＩＩ！極３と第１およ
び第２陰極４．５との間に電圧が印加されて、陽極３と
第１および第２陰極の陰極面８との間にグロー放１１生
ずる。この時の放電面積を第４Ｂ図に示すようにＳｌ
とする。グロー放電により励起されたレーザ媒質２Ｃ中
を全反射ｆ７Ｍ２Ａと出力鏡２Ｂとの間で往復反射を繰
返しながら、レーザ光の一部３０が連続的に出力鏡２Ｂ
を通過して外部へ取出される。この場合に、より小さ逐
連続出力しか必要としない場合は、第１および第２隘極
４，５のいずれか一方のみ接続し、使用しても十分であ
る。
イッチ２２ｔ−開き、第１および第２スイッチ１８，２
３１−閉じて、陽極３と第１および第２陰極４，５との
間に第１電源１６を接続すると、ＩＩ！極３と第１およ
び第２陰極４．５との間に電圧が印加されて、陽極３と
第１および第２陰極の陰極面８との間にグロー放１１生
ずる。この時の放電面積を第４Ｂ図に示すようにＳｌ
とする。グロー放電により励起されたレーザ媒質２Ｃ中
を全反射ｆ７Ｍ２Ａと出力鏡２Ｂとの間で往復反射を繰
返しながら、レーザ光の一部３０が連続的に出力鏡２Ｂ
を通過して外部へ取出される。この場合に、より小さ逐
連続出力しか必要としない場合は、第１および第２隘極
４，５のいずれか一方のみ接続し、使用しても十分であ
る。
２、パルス発振の場合
パルス発振時には、たとえば第１図において第２スイツ
チ２２を閉じ、第１および第３スイツチ１８．２３’ｉ
開くことにより、第２陰極５のみがパルス発援用の第２
の電源１７に接続される。このように、陰極の一部のみ
？用いることにより、パルス動作時の第２陰極の放電面
積Ｓ２は、放電面積Ｓｌよりも小さな、パルス発振に適
した放電面積Ｓ！に設定される。より具体的には、放電
面ＭＳ２は次のような考え方により決定される。一般に
応用加工の面から要求される、パルスレーザの出力パル
ス幅はｌ Ｉｌｌ Ｓ以下というものであり、このよう
な高速でグロー放電を応答させるには、何らかの予備放
電が必要である。本発明ではこの予備放電として、直流
高電圧源１７Ｂによる小電流工０のグロー放電を採用し
ている。
チ２２を閉じ、第１および第３スイツチ１８．２３’ｉ
開くことにより、第２陰極５のみがパルス発援用の第２
の電源１７に接続される。このように、陰極の一部のみ
？用いることにより、パルス動作時の第２陰極の放電面
積Ｓ２は、放電面積Ｓｌよりも小さな、パルス発振に適
した放電面積Ｓ！に設定される。より具体的には、放電
面ＭＳ２は次のような考え方により決定される。一般に
応用加工の面から要求される、パルスレーザの出力パル
ス幅はｌ Ｉｌｌ Ｓ以下というものであり、このよう
な高速でグロー放電を応答させるには、何らかの予備放
電が必要である。本発明ではこの予備放電として、直流
高電圧源１７Ｂによる小電流工０のグロー放電を採用し
ている。
このため、負グローが陰極表面全体に広がる時の陰極表
面での電流密度は、カス圧が一定であれば一定であるか
ら、放電面積ＳＩに比べて十分小さな放電面積８２にす
ることにより、発振閾値よシも小さな予備放１電流にお
いても、貞グローは陰極面全周に広がる。したがって、
第４Ｃ図に示すように、安定した高出力パルスレーザを
得ることができる。実用的には、放電面積８２は連続高
出力発振時の放電面積Ｓ、の１／３ないし１／２程庭に
選べはよい。第２１．第３図に示したようなリング状電
極では、第１陰愼４の厚さ寸法ｔ１と第２陰極５の厚さ
寸法ｔ２とｔ＝ｔｔ、＞ｔｚに調整することにより、容
易に所要のＳｓ ｒ Ｓｓ ｋ得ることができる。
面での電流密度は、カス圧が一定であれば一定であるか
ら、放電面積ＳＩに比べて十分小さな放電面積８２にす
ることにより、発振閾値よシも小さな予備放１電流にお
いても、貞グローは陰極面全周に広がる。したがって、
第４Ｃ図に示すように、安定した高出力パルスレーザを
得ることができる。実用的には、放電面積８２は連続高
出力発振時の放電面積Ｓ、の１／３ないし１／２程庭に
選べはよい。第２１．第３図に示したようなリング状電
極では、第１陰愼４の厚さ寸法ｔ１と第２陰極５の厚さ
寸法ｔ２とｔ＝ｔｔ、＞ｔｚに調整することにより、容
易に所要のＳｓ ｒ Ｓｓ ｋ得ることができる。
本発明の一実施例によれば、連続発振時およびパルス発
振時の第１および第２陰極の放電＠積を８１、’８２に
設定しているので、同一装置にて回路の切替のみで簡単
に連続品出力とパルス高出力を得ることができるという
効果がある。ちなみに、発明者らの実験によると、連続
２．５ｋＷの出力が得られる軸流形炭酸ガスレーザ装置
において、パルスピーク出力１３ ｋ Ｗもの高出力が
得られている。
振時の第１および第２陰極の放電＠積を８１、’８２に
設定しているので、同一装置にて回路の切替のみで簡単
に連続品出力とパルス高出力を得ることができるという
効果がある。ちなみに、発明者らの実験によると、連続
２．５ｋＷの出力が得られる軸流形炭酸ガスレーザ装置
において、パルスピーク出力１３ ｋ Ｗもの高出力が
得られている。
また、第１図では、第１．２および第３スイッチ群を第
１および第２電源とＭｌおよび第２安定化抵抗との間に
設けたが、その−Ｆｍを第１および第２安定化抵抗と第
１および第２Ｉ＃に極との闇に設けても、同じ効果が得
られることは明らかである。
１および第２電源とＭｌおよび第２安定化抵抗との間に
設けたが、その−Ｆｍを第１および第２安定化抵抗と第
１および第２Ｉ＃に極との闇に設けても、同じ効果が得
られることは明らかである。
その場合にはスイッチ群の一部を放電管内に設けること
もできる。
もできる。
第７図に示す実施例では、連続発振時に嘱２スイッチ２
２全開放した状態で、ｉｆ、３スイツチ１８．２３を閉
じれば、６個の陰極面８よジグロー放に全発生する。ま
た、パルス発振時には、第１．３スイッチ１８．２３を
開放し良状態で、−２スイツチ２２を閉じれは、３個の
陰極５Ａ。
２全開放した状態で、ｉｆ、３スイツチ１８．２３を閉
じれば、６個の陰極面８よジグロー放に全発生する。ま
た、パルス発振時には、第１．３スイッチ１８．２３を
開放し良状態で、−２スイツチ２２を閉じれは、３個の
陰極５Ａ。
５Ｂ、５Ｃの陰＆面８でグロー族＠を発生する。
この結果、１枚の陰極で連続発振とパルス発振とに使用
できる。
できる。
以上のように本発明のガスレーザ発生装置で（・ま、第
１陰極と第２陰極との放電面積ｋｓ Ｓｔ ）Ｓｓにす
ることにより、同一装置のカスレーザ発生装置で連続高
出力発振用、およびパルス高出力発振用に適用できるの
で、応用分野の広い熱加工用レーザ装置を提供できると
いう効果がある。
１陰極と第２陰極との放電面積ｋｓ Ｓｔ ）Ｓｓにす
ることにより、同一装置のカスレーザ発生装置で連続高
出力発振用、およびパルス高出力発振用に適用できるの
で、応用分野の広い熱加工用レーザ装置を提供できると
いう効果がある。
第１図は本発明の実施例として示したガスレーザ発生装
置の側断面図、第２図および第３図は第１図に使用した
陰極の平面図および側断面図、第４Ａ図はレーザ出力Ｐ
とグロー放電′電流Ｉｇとの関係を示す特性図、第４Ｂ
図はレーザ出力Ｐと放電面積Ｓとの関係金示す特性図、
第４Ｃ図はパルスレーザ出力Ｐ、と陰極の放電面積Ｓと
の関係を示す特性図、第５図は本発明の他の実施例を示
すガスレーザ発生装置の側断面図である。 ２・・・放電管、２人・・・反射鏡、２Ｂ・・・出力鏡
、２Ｃ・・・ガス媒質、３・・・陽極、４，５・・・陰
極、１５・・・直流醒源。 茎 Ｉ 国 ｖ、２図 第３図 纂 ４ 目 （Ａ ｊ＃Ｓ 目
置の側断面図、第２図および第３図は第１図に使用した
陰極の平面図および側断面図、第４Ａ図はレーザ出力Ｐ
とグロー放電′電流Ｉｇとの関係を示す特性図、第４Ｂ
図はレーザ出力Ｐと放電面積Ｓとの関係金示す特性図、
第４Ｃ図はパルスレーザ出力Ｐ、と陰極の放電面積Ｓと
の関係を示す特性図、第５図は本発明の他の実施例を示
すガスレーザ発生装置の側断面図である。 ２・・・放電管、２人・・・反射鏡、２Ｂ・・・出力鏡
、２Ｃ・・・ガス媒質、３・・・陽極、４，５・・・陰
極、１５・・・直流醒源。 茎 Ｉ 国 ｖ、２図 第３図 纂 ４ 目 （Ａ ｊ＃Ｓ 目
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 ガス媒質を密閉した放電管内に陰極および陽極を
設け、これらの電極に接続した電源金印ガロして、陰極
と陽極との間にグロー放ｔ’を発生させるものにおいて
、上記放電管内に設けた連続発振用陰極の放電面積ｒ、
パルス発振用陰極の放電面積より大きくすることを特徴
とするガスレーザ発生装置。 ２、連続発振用陰極の厚さ寸法をパルス発振用陰極の厚
さ寸法より厚くすることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のガスレーザ発生装置。 ３、連続発振用陰極の放電面積がパルス発振用陰極の放
電面積より多くなるように陰極と電源との間に切換スイ
ッチを、設けることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のガスレーザ発生装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57093211A JPS58212189A (ja) | 1982-06-02 | 1982-06-02 | ガスレ−ザ発生装置 |
| DE8383105336T DE3363034D1 (en) | 1982-06-02 | 1983-05-30 | Gas laser device |
| EP83105336A EP0095770B1 (en) | 1982-06-02 | 1983-05-30 | Gas laser device |
| US06/499,244 US4590599A (en) | 1982-06-02 | 1983-05-31 | Gas laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57093211A JPS58212189A (ja) | 1982-06-02 | 1982-06-02 | ガスレ−ザ発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58212189A true JPS58212189A (ja) | 1983-12-09 |
| JPH0373151B2 JPH0373151B2 (ja) | 1991-11-20 |
Family
ID=14076229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57093211A Granted JPS58212189A (ja) | 1982-06-02 | 1982-06-02 | ガスレ−ザ発生装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4590599A (ja) |
| EP (1) | EP0095770B1 (ja) |
| JP (1) | JPS58212189A (ja) |
| DE (1) | DE3363034D1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6114776A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発生器 |
| JPS6195588A (ja) * | 1984-10-17 | 1986-05-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発振器 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4710942A (en) * | 1986-02-27 | 1987-12-01 | Spectra-Physics, Inc. | Variable power gas laser tube |
| EP0317722A3 (de) * | 1987-09-28 | 1989-07-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Gaslaser-Anordnung mit einer Entladungsröhre |
| GB2212322A (en) * | 1987-11-13 | 1989-07-19 | Ferranti Plc | Gas discharge laser apparatus |
| KR910001160B1 (ko) * | 1988-07-13 | 1991-02-25 | 한국표준 연구소 | 보조전극을 사용하여 기체방전 레이저의 출력을 안정화시키는 방법 |
| US10375901B2 (en) | 2014-12-09 | 2019-08-13 | Mtd Products Inc | Blower/vacuum |
| CN111585152B (zh) * | 2020-04-08 | 2022-02-08 | 中国科学院微电子研究所 | 用于激光器腔室的电极、激光器系统及曝光设备 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3777279A (en) * | 1972-03-30 | 1973-12-04 | United Aircraft Corp | Deposition of power in a moving gas stream by electric discharge means |
| DE2523153A1 (de) * | 1975-05-24 | 1976-12-09 | Eltro Gmbh | Elektrodensystem |
| US4166986A (en) * | 1977-06-10 | 1979-09-04 | Westinghouse Electric Corp. | Ballast technique for laser cathode pins |
| JPS5839396B2 (ja) * | 1978-08-25 | 1983-08-30 | 株式会社日立製作所 | ガスレ−ザ発生装置 |
| US4255720A (en) * | 1978-10-02 | 1981-03-10 | Xerox Corporation | Variable diameter segmented hollow cathode laser device |
| US4342115A (en) * | 1980-10-06 | 1982-07-27 | United Technologies Corporation | Laser discharge electrode configuration |
| JPS57188892A (en) * | 1981-05-18 | 1982-11-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Coaxial carbon dioxide laser oscillator |
-
1982
- 1982-06-02 JP JP57093211A patent/JPS58212189A/ja active Granted
-
1983
- 1983-05-30 EP EP83105336A patent/EP0095770B1/en not_active Expired
- 1983-05-30 DE DE8383105336T patent/DE3363034D1/de not_active Expired
- 1983-05-31 US US06/499,244 patent/US4590599A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6114776A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発生器 |
| JPH0464196B2 (ja) * | 1984-06-29 | 1992-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
| JPS6195588A (ja) * | 1984-10-17 | 1986-05-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発振器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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