JPS5893295A - レ−ザ−発振器 - Google Patents
レ−ザ−発振器Info
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- JPS5893295A JPS5893295A JP19074181A JP19074181A JPS5893295A JP S5893295 A JPS5893295 A JP S5893295A JP 19074181 A JP19074181 A JP 19074181A JP 19074181 A JP19074181 A JP 19074181A JP S5893295 A JPS5893295 A JP S5893295A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse
- oscillation
- laser
- lamp
- excitation
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/0915—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light
- H01S3/092—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザ発振器の改良に係り、特に一つの励起
キャビティから連続発振とパルス発振のいづれをも発振
できるようにすると共に、これらを重畳した発振をも可
能にし、−個のレーザロッドの応用範囲を拡大したレー
ザ発振器に関する。
キャビティから連続発振とパルス発振のいづれをも発振
できるようにすると共に、これらを重畳した発振をも可
能にし、−個のレーザロッドの応用範囲を拡大したレー
ザ発振器に関する。
現在のレーザの応用技術は、捷すます拡張されつつある
。例えば各種レーザ加工、レーザ溶接。
。例えば各種レーザ加工、レーザ溶接。
レーザアニール、レーザ熱処理などがそれである。
これらレーザの応用分野は、それぞれの応用目的に応じ
て、最も適した出力のパルス発振レーザか連続発振レー
ザ、或は、これらを重畳したレーザが必要になシ、応用
分野が拡大されるにつれて、ます甘すその必要性が要求
されるようになってきている。
て、最も適した出力のパルス発振レーザか連続発振レー
ザ、或は、これらを重畳したレーザが必要になシ、応用
分野が拡大されるにつれて、ます甘すその必要性が要求
されるようになってきている。
従来のレーザ発振器は、第１図に示すように連続発振レ
ーザか又は、パルスレーザのどちらかの単−モード発振
器しかなかった。
ーザか又は、パルスレーザのどちらかの単−モード発振
器しかなかった。
すなわち（イ）に示すものは、二つの焦点をもつ楕円筒
の形状をした励起キャピテイにおいて、その一方の焦点
にＹＡＱロッド２を配置し他方の焦点に励起用光源とし
てクリプトン（Ｋｒ）アークランプ３が配置されている
。このアークランプ３に連続通電することによシ、ＹＡ
Ｇロッド２け、連続的に励起される。
の形状をした励起キャピテイにおいて、その一方の焦点
にＹＡＱロッド２を配置し他方の焦点に励起用光源とし
てクリプトン（Ｋｒ）アークランプ３が配置されている
。このアークランプ３に連続通電することによシ、ＹＡ
Ｇロッド２け、連続的に励起される。
又クリプトン（Ｋｒ）アークランプの代シにギセノン（
Ｘθ）フラッシュランプが設けられているものは、フラ
ッシュランプからの瞬間の励起光にょシパルス発振する
。
Ｘθ）フラッシュランプが設けられているものは、フラ
ッシュランプからの瞬間の励起光にょシパルス発振する
。
次に（ロ）及びＨに示すものは、大きな励起光によって
高いレーザ出力を得るために、複数の楕円筒から成る励
起キャビティ１の焦点を共有して重合し、この共有焦点
にＹＡＧロッド２を配置し、残りの焦点にけＫｒアーク
ランプ３．３’、３“−−−−ｆｆＪ戴これの代りにＸ
ｅフラッジ−之ン、ブを複数個配置し、励起ランプ１個
の場合よりも大きな励起光を得るようにしたものである
。
高いレーザ出力を得るために、複数の楕円筒から成る励
起キャビティ１の焦点を共有して重合し、この共有焦点
にＹＡＧロッド２を配置し、残りの焦点にけＫｒアーク
ランプ３．３’、３“−−−−ｆｆＪ戴これの代りにＸ
ｅフラッジ−之ン、ブを複数個配置し、励起ランプ１個
の場合よりも大きな励起光を得るようにしたものである
。
このように従来のレーザ発振器は、励起用ランプとして
アークランプかフラッシュランプの−づれか一種類のラ
ンプしか備えて込ないので、連続発振か、パルス発振の
どちらか一方の単一モード発振しか行なえなかった。
アークランプかフラッシュランプの−づれか一種類のラ
ンプしか備えて込ないので、連続発振か、パルス発振の
どちらか一方の単一モード発振しか行なえなかった。
又、大出力を得るためには、多数の励起用キャビティを
重合し、励起用ランプの数を増すようにしてｂた。
重合し、励起用ランプの数を増すようにしてｂた。
その結釆、例えば、微小領域レーザ加工の一種である集
積回路の露光用フォトマスクパターンの黒点欠陥と白点
欠陥を同時に修正するような場合などｄｏ、大出力パル
スレーザと連続発振レーザの２台のレーザ発振器を使用
していた。
積回路の露光用フォトマスクパターンの黒点欠陥と白点
欠陥を同時に修正するような場合などｄｏ、大出力パル
スレーザと連続発振レーザの２台のレーザ発振器を使用
していた。
このようにレーザの応用は、その目的に応じてレーザ出
力の大きさやレーザモードの種類が決定され使用される
。
力の大きさやレーザモードの種類が決定され使用される
。
しかしながら、レーザの応用分野が拡大されっ１″１・
つある現在において；それぞれの使用目的に適応したレ
ーザ発振器を何台も設備するのけ、設置スペース、重量
など技術的な問題があり不可能である。
ーザ発振器を何台も設備するのけ、設置スペース、重量
など技術的な問題があり不可能である。
さらにレーザの応用分野の拡大にともなって、従来のよ
うな単一モード発振では、とうてい成し得ない重畳発振
の必要性や、あらゆるパルス幅のあらゆる出力及びこれ
らの組合せが要求されるようになシ、従来のパルス発振
器では、時代の趨勢に合わなくなってきてｂるのが実情
である。
うな単一モード発振では、とうてい成し得ない重畳発振
の必要性や、あらゆるパルス幅のあらゆる出力及びこれ
らの組合せが要求されるようになシ、従来のパルス発振
器では、時代の趨勢に合わなくなってきてｂるのが実情
である。
本発明は、上記実情を鑑みなされたものであって、一台
のレーザ発振器によってすべての条件を満し、時代の趨
勢に即したレーザ発振器を提供せんとするものである。
のレーザ発振器によってすべての条件を満し、時代の趨
勢に即したレーザ発振器を提供せんとするものである。
すなわち本発明は、従来のように一種類の励起ランプを
設けるのではなく、パルス発振用と連続発振用の二種類
の励起ランプを設けるようにしたものであって、断面楕
円形の複数個の励起キャビティの共有焦点にレーザロッ
ドを設け、残りの各焦点に連続発振用励起ランプとパル
ス発振用ランプを設け、連続発振とパルス発振及びこれ
らの重畳発振を行なえるようになし、更に超音波Ｑスイ
ッチとポッケルスセルＱスイッチを設けることにより、
さらに発振モードの種類を増加させると共にあらゆるパ
ルス幅と出力を得るようにしたことを特徴とする。
設けるのではなく、パルス発振用と連続発振用の二種類
の励起ランプを設けるようにしたものであって、断面楕
円形の複数個の励起キャビティの共有焦点にレーザロッ
ドを設け、残りの各焦点に連続発振用励起ランプとパル
ス発振用ランプを設け、連続発振とパルス発振及びこれ
らの重畳発振を行なえるようになし、更に超音波Ｑスイ
ッチとポッケルスセルＱスイッチを設けることにより、
さらに発振モードの種類を増加させると共にあらゆるパ
ルス幅と出力を得るようにしたことを特徴とする。
以下その詳細を実施例により説明する。第２図は、本願
実施例でありデュアルモードＹＡＧレーザの励起キャビ
ティの断面を示したものである。
実施例でありデュアルモードＹＡＧレーザの励起キャビ
ティの断面を示したものである。
図において（イｊは、２個の励起キャビティを合成した
場合を示したものである。
場合を示したものである。
すなわちＹＡＧレーザロッド２け、焦点を共有する形に
二つの楕円筒を合成した励起キャピテイ１の共有焦点位
置に配設され、残りの焦点の一方には連続波励起用Ｋｒ
アークランプ３を、他方の焦点にはパルス励起剤Ｘｓフ
ラッシュランプ４を配設する。
二つの楕円筒を合成した励起キャピテイ１の共有焦点位
置に配設され、残りの焦点の一方には連続波励起用Ｋｒ
アークランプ３を、他方の焦点にはパルス励起剤Ｘｓフ
ラッシュランプ４を配設する。
（ロ）は、２個以上の励起キャビティを合成した場合を
示す。本実施例の場合は、４個の励起キャビティを合成
した場合を示し、（イ）の場合と同様にＹＡＧレーザロ
ッド２け、合成した励起キャビティ１の共有焦点位置に
配設されている。又本実施例では、残りの焦点に、それ
ぞれ２個づつ連続波励起用Ｋｒアークランプ３，３′
とパルス励起用Ｘｅフラッシュランプ４，４′が配設さ
れた高出力形式％式％ このように二つ以上の楕円筒で合成したキャビティを用
いる場合、例えば連続波に重点をおく場合は、連続励起
用Ｋｒアークランプ５を多く、パルス励起用フラッシュ
ランプの数を少くすることにより、連続波出力の高−デ
ュアルモードＹＡＧレーザを実現するこ七ができる。文
通にパルス励起用フラッシュランプ４の数の方を多くす
ることにより、パルス出力の高いデュアルモードＹＡＧ
レーザを得ることができ、さらにこれらをＭ畳したデュ
アルモードＹＡＧレーザも可能である。
示す。本実施例の場合は、４個の励起キャビティを合成
した場合を示し、（イ）の場合と同様にＹＡＧレーザロ
ッド２け、合成した励起キャビティ１の共有焦点位置に
配設されている。又本実施例では、残りの焦点に、それ
ぞれ２個づつ連続波励起用Ｋｒアークランプ３，３′
とパルス励起用Ｘｅフラッシュランプ４，４′が配設さ
れた高出力形式％式％ このように二つ以上の楕円筒で合成したキャビティを用
いる場合、例えば連続波に重点をおく場合は、連続励起
用Ｋｒアークランプ５を多く、パルス励起用フラッシュ
ランプの数を少くすることにより、連続波出力の高−デ
ュアルモードＹＡＧレーザを実現するこ七ができる。文
通にパルス励起用フラッシュランプ４の数の方を多くす
ることにより、パルス出力の高いデュアルモードＹＡＧ
レーザを得ることができ、さらにこれらをＭ畳したデュ
アルモードＹＡＧレーザも可能である。
次に第３図及び第４図に、本実施例の概略構成を示す。
先ず第３図において、励起キャビティ１゜ＹＡＧレーザ
ロッド２．連続波励起用Ｋｒランプ３、及びパルス励起
用Ｘｅフラッシュランプ４は、第２図の通り構成されて
いる。５ば、連続波電源制御部、６は、パルス電源制御
部であって、それぞれ、連続波励起用ランプ３と、パル
ス励起用Ｘｓフラッジーランプ４に結線゛されている。
ロッド２．連続波励起用Ｋｒランプ３、及びパルス励起
用Ｘｅフラッシュランプ４は、第２図の通り構成されて
いる。５ば、連続波電源制御部、６は、パルス電源制御
部であって、それぞれ、連続波励起用ランプ３と、パル
ス励起用Ｘｓフラッジーランプ４に結線゛されている。
７は後部ミラー、８は出力ミラーであって、ＹＡＧレー
ザロッド２をはさんで相対向するように設けられ、光共
振器を構成している。なお９は、コントローラであり、
連続波かパルスか、或は、これらの重畳かを選択すると
共に制御をする。１ｏは、レーザヘッドである。
ザロッド２をはさんで相対向するように設けられ、光共
振器を構成している。なお９は、コントローラであり、
連続波かパルスか、或は、これらの重畳かを選択すると
共に制御をする。１ｏは、レーザヘッドである。
第４図は、他の実施例であって第３図の実施例き異ると
ころは、後部ミラー７と出力ミラー８との光路中に、超
音波Ｑスイッチ１１とポッケルスセルＱスイッチ１２を
設け、超音波Ｑスイッチパルス発振と、ジャイアントパ
ルス発振を可能にしたものである。なお１３は、超音波
Ｑスイッチ電源、１４は、ポッケルスセルＱスイッチ電
源である。
ころは、後部ミラー７と出力ミラー８との光路中に、超
音波Ｑスイッチ１１とポッケルスセルＱスイッチ１２を
設け、超音波Ｑスイッチパルス発振と、ジャイアントパ
ルス発振を可能にしたものである。なお１３は、超音波
Ｑスイッチ電源、１４は、ポッケルスセルＱスイッチ電
源である。
以上のように構成した本実施例の作用を次に説明する。
先ず、連続波励起用Ｋｒアークランプ３゜、５（１
又は、パルス励起用Ｘｅ ７ラツシーランプ４、或は、
この二つのラング３．４を同時に作動させることにより
、パルス発振、連続波発振、或はこれらを重畳した発振
が選択的にＹＡＧレーザロッド１よシ発振される。
この二つのラング３．４を同時に作動させることにより
、パルス発振、連続波発振、或はこれらを重畳した発振
が選択的にＹＡＧレーザロッド１よシ発振される。
この選択的なレーザの発振は、レーザーの使用目的に応
じてコントローラ９によって即時切多換え行う。この切
換に際しては、一方のモードで発振している時は、他方
を即稼動可能な状態にしておくことにより、行なわれる
。
じてコントローラ９によって即時切多換え行う。この切
換に際しては、一方のモードで発振している時は、他方
を即稼動可能な状態にしておくことにより、行なわれる
。
第４図に示すように超音波Ｑスイッチ１１と、ポッケル
スセルＱスイッチ１２を設けた場合は、先ず連続波電源
制御部５からの信号が超音波Ｑスイッチ電源１３に送ら
れ、超音波Ｑスイッチ１１が作動し、連続波発振ととも
に、パルス幅数十〜数百ナノ秒の超音波Ｑスイッチパル
ス発振が得られる。
スセルＱスイッチ１２を設けた場合は、先ず連続波電源
制御部５からの信号が超音波Ｑスイッチ電源１３に送ら
れ、超音波Ｑスイッチ１１が作動し、連続波発振ととも
に、パルス幅数十〜数百ナノ秒の超音波Ｑスイッチパル
ス発振が得られる。
又は、パルス電源制御部６からの信号が、ポッケルスセ
ル電源１４に送られ、ポッケルスセルＱスイッチ１２が
作動し、パルス＠数十−数百マイクロ秒のノーマルパル
ス発振と、パルス幅数ナノ〜数十ナノ秒のジャイアント
パルス発振が得られる。
ル電源１４に送られ、ポッケルスセルＱスイッチ１２が
作動し、パルス＠数十−数百マイクロ秒のノーマルパル
ス発振と、パルス幅数ナノ〜数十ナノ秒のジャイアント
パルス発振が得られる。
これらはすべて、コン）ｏ−ラ９の切換制御によって行
なわれる。本実施例では、連続波励起用Ｋｒ ランプ３
と超音波Ｑスイッチ１１および、パルス励起用Ｘｅフラ
ッシュランプ４と、ポッケルスセルＱスイッチ１２とを
組合せたものを例示したが、例えば、連続発振状態でポ
ッケルスセルＱスイッチを作動させたシ、或は、パルス
発振状態で超音波Ｑスイッチを作動させる、本実施例の
中間的なモードの実施も可能であることは勿論である。
なわれる。本実施例では、連続波励起用Ｋｒ ランプ３
と超音波Ｑスイッチ１１および、パルス励起用Ｘｅフラ
ッシュランプ４と、ポッケルスセルＱスイッチ１２とを
組合せたものを例示したが、例えば、連続発振状態でポ
ッケルスセルＱスイッチを作動させたシ、或は、パルス
発振状態で超音波Ｑスイッチを作動させる、本実施例の
中間的なモードの実施も可能であることは勿論である。
次に超音波Ｑスイッチ１１と、ポッケルスセルＱスイッ
チ１２を使用した場合のパルス幅と最大出力との関係を
第５図において説明すると、超音波Ｑスイッチ１１とポ
ッケルスセルＱスイッチ１２が作動しない、連続波発振
Ｍａの出力は、数Ｗ〜数百Ｗであシ、又、パルス幅数十
〜数百マイクロ秒（μ８）のノーマルパルス発振域すで
の出力は、数百〜数ＫＷである。
チ１２を使用した場合のパルス幅と最大出力との関係を
第５図において説明すると、超音波Ｑスイッチ１１とポ
ッケルスセルＱスイッチ１２が作動しない、連続波発振
Ｍａの出力は、数Ｗ〜数百Ｗであシ、又、パルス幅数十
〜数百マイクロ秒（μ８）のノーマルパルス発振域すで
の出力は、数百〜数ＫＷである。
一方超音波Ｑスイッチ１１を作動させた、パルス幅数十
〜数百ナノ秒（ｎｅ）の連続波励起超音波Ｑスイッチパ
ルス発振域Ｃでは、数ＫＷ〜数百ＫＷの最高出力が得ら
れ、又ポッケルスセル。スイッチ１２を作動させた場合
のパルス幅数ナノ秒〜数十ナノ秒のノーマルパルス励起
ポッケルスセル。
〜数百ナノ秒（ｎｅ）の連続波励起超音波Ｑスイッチパ
ルス発振域Ｃでは、数ＫＷ〜数百ＫＷの最高出力が得ら
れ、又ポッケルスセル。スイッチ１２を作動させた場合
のパルス幅数ナノ秒〜数十ナノ秒のノーマルパルス励起
ポッケルスセル。
スイッチパルス発振域ｅでは、数メガワラトル数百メガ
ワット（ＭＷ）の最大出力がイＨられる。又、ノーマル
パルス励起超音波Ｑスイッチパルス発振域或ハ、連続波
励起ポッケルスセルＱスイッチパルス発振域ｄでは、数
ナノ−数十ナノ秒のパルス幅で数十に〜数ＭＷの最大出
力が得られる。
ワット（ＭＷ）の最大出力がイＨられる。又、ノーマル
パルス励起超音波Ｑスイッチパルス発振域或ハ、連続波
励起ポッケルスセルＱスイッチパルス発振域ｄでは、数
ナノ−数十ナノ秒のパルス幅で数十に〜数ＭＷの最大出
力が得られる。
次にコントローラ９を切換えることによって選択的に得
られるモードの例を第６図に示し説明する。
られるモードの例を第６図に示し説明する。
先ず（イ）において、本実施例で可能なモードの種類を
示すと、Ａは連続波発振（ｃＷ）、Ｂけノーマルパルス
（ＮＰ）、Ｃは連続波励起超音波。スイッチパルス（Ｃ
Ｗ−ＵＳＱ）、Ｄば、ノーマルパルス励起超音波Ｑスイ
ッチパルス（ＮＥ’−７１ＵＳＱ ） 、 Ｅは、連Ｈ
ｅ 励起ポッケルスセルＱスイッチパル／＜（ＣＷ−ｐ
ｃｑ）、及び、Ｆｕ、ノーマルパルス励起ポッケルスセ
ルＱスイッチパルス（ＮＰ−ＰＣＱ）の６種類である。
示すと、Ａは連続波発振（ｃＷ）、Ｂけノーマルパルス
（ＮＰ）、Ｃは連続波励起超音波。スイッチパルス（Ｃ
Ｗ−ＵＳＱ）、Ｄば、ノーマルパルス励起超音波Ｑスイ
ッチパルス（ＮＥ’−７１ＵＳＱ ） 、 Ｅは、連Ｈ
ｅ 励起ポッケルスセルＱスイッチパル／＜（ＣＷ−ｐ
ｃｑ）、及び、Ｆｕ、ノーマルパルス励起ポッケルスセ
ルＱスイッチパルス（ＮＰ−ＰＣＱ）の６種類である。
（ロ）乃至に）は、それぞれ（イ）に示したモードを重
畳した例である。
畳した例である。
すなわち（ロ）は、連続波発振（ＣＷ）Ａにノーマルパ
ルス（ＮＰ）Ｂを重畳した使す方で、これまでの技術で
はできなかったモードであシ、レーザ加工。
ルス（ＮＰ）Ｂを重畳した使す方で、これまでの技術で
はできなかったモードであシ、レーザ加工。
レーザ溶接、レーザアニール、レーザ熱処理など、新ら
たな応用分野に使用される。ｅ→は、連続波発１（ＧＷ
）Ａに、ノーマルパルス励起ポッケルスセルＱスイッチ
パルス（ＮＰ−ＰＣＱ）Ｆを重畳した場合で、これも今
までできなかった新らしいモードであり、レーザ加工や
レーザ溶接など新しい応用分野に使用される。に）は、
連続波励起（ＣＷ）Ａをかけた状態で、先ずノーマルパ
ルス励起ポッケルスセルＱスイッチパルス（ＮＰ−ｐｃ
Ｑ）ｌｉ’ｋＭね、次にノーマルパルス（ＮＰ）Ｂを重
ね、次に超音波Ｑｘイ・チ１１を作−させて連続波超音
波Ｑ−イッチパルス（ＣＷ−ＵＳＱ ） Ｃを得、次に
連続波（ＣＷ）Ａのみの発振をさせるという順序で連続
的に異なるモードを作動させたものである。このような
発振のさせ方は、これ址でのＹＡＧレーザでは、不可能
であり、広範囲の応用分野が期待できる。
たな応用分野に使用される。ｅ→は、連続波発１（ＧＷ
）Ａに、ノーマルパルス励起ポッケルスセルＱスイッチ
パルス（ＮＰ−ＰＣＱ）Ｆを重畳した場合で、これも今
までできなかった新らしいモードであり、レーザ加工や
レーザ溶接など新しい応用分野に使用される。に）は、
連続波励起（ＣＷ）Ａをかけた状態で、先ずノーマルパ
ルス励起ポッケルスセルＱスイッチパルス（ＮＰ−ｐｃ
Ｑ）ｌｉ’ｋＭね、次にノーマルパルス（ＮＰ）Ｂを重
ね、次に超音波Ｑｘイ・チ１１を作−させて連続波超音
波Ｑ−イッチパルス（ＣＷ−ＵＳＱ ） Ｃを得、次に
連続波（ＣＷ）Ａのみの発振をさせるという順序で連続
的に異なるモードを作動させたものである。このような
発振のさせ方は、これ址でのＹＡＧレーザでは、不可能
であり、広範囲の応用分野が期待できる。
ル上例示した発振モードは、一部分であり、発振モード
の種類の数の組合せによって、各ａ＋のモードが得られ
ることは、いう首でもない。
の種類の数の組合せによって、各ａ＋のモードが得られ
ることは、いう首でもない。
以上詳述した通り本発明によれば、一つの励起キャビテ
ィに連続波励起用ランプと、パルス励起用ランプを設け
ることによって連続発掘レーザ。
ィに連続波励起用ランプと、パルス励起用ランプを設け
ることによって連続発掘レーザ。
パルス発振レーザ、及びこれらを重畳したレーザを一つ
の発振装置で選択的に発振させることができ、さらに超
音波Ｑスイッチと、ホッケルスセルＱスイッチを使用す
ることにより、発振モードの種類を大巾に増大させると
共にパルス幅と出力をも広範囲にわたって、必要に応じ
て得られるようになり、従来の技術ではとうてい成し得
なかったレーザの応用分野にまで拡大し、時代の趨勢に
合ったレーザ装置を得ることができた。
の発振装置で選択的に発振させることができ、さらに超
音波Ｑスイッチと、ホッケルスセルＱスイッチを使用す
ることにより、発振モードの種類を大巾に増大させると
共にパルス幅と出力をも広範囲にわたって、必要に応じ
て得られるようになり、従来の技術ではとうてい成し得
なかったレーザの応用分野にまで拡大し、時代の趨勢に
合ったレーザ装置を得ることができた。
さらに一台のレーザ発振装置ですむようになったので、
装置の小型化、軽量化、簡単化が計れるなど、他の技術
面でも多大な効果を有するものである。
装置の小型化、軽量化、簡単化が計れるなど、他の技術
面でも多大な効果を有するものである。
第１図は、従来のＹＡＧレーザの励起キャビティの断面
図、第２図乃至第６図は本実施例であり、第２図は、Ｙ
ＡＧレーザの励起キャビティの断面図、第３図は、レー
ザ装置の構成をブロック図で示した図、第４図は他の実
施例であシ、超音波ＱスイッチとポッケルスセルＱスイ
ッチを使用したレーザ装置の構成をブロック図で示した
図、第５図は、第４図に示した実施例のパルス幅と最大
出力との関係を又、第６図は、発振モードについてそれ
ぞれ示した説明用図である。 １・・・励起キャピテイ、 ２・・・レーザロッド、
３・・・連続波励起用Ｋｒアークランプ、４・・・パル
ス励起剤Ｘｓフラッシュランプ、５・・・連続波電源制
御部、６・・・パルス電源制御部、７・・・伊部ミラー
、 ８・・・出力ミラー、９・・・コントローラ、１
１°・・超音波Ｑスイッチ、１２・・・ポッケルスセル
Ｑスイッチ 代理人弁理士 薄 １）利 幸 り ／ 幅 ９ グ２Ｉ２１ 才 ３ 図 茸４Ｉ！′ｌ
図、第２図乃至第６図は本実施例であり、第２図は、Ｙ
ＡＧレーザの励起キャビティの断面図、第３図は、レー
ザ装置の構成をブロック図で示した図、第４図は他の実
施例であシ、超音波ＱスイッチとポッケルスセルＱスイ
ッチを使用したレーザ装置の構成をブロック図で示した
図、第５図は、第４図に示した実施例のパルス幅と最大
出力との関係を又、第６図は、発振モードについてそれ
ぞれ示した説明用図である。 １・・・励起キャピテイ、 ２・・・レーザロッド、
３・・・連続波励起用Ｋｒアークランプ、４・・・パル
ス励起剤Ｘｓフラッシュランプ、５・・・連続波電源制
御部、６・・・パルス電源制御部、７・・・伊部ミラー
、 ８・・・出力ミラー、９・・・コントローラ、１
１°・・超音波Ｑスイッチ、１２・・・ポッケルスセル
Ｑスイッチ 代理人弁理士 薄 １）利 幸 り ／ 幅 ９ グ２Ｉ２１ 才 ３ 図 茸４Ｉ！′ｌ
Claims (2)
- （１）焦点を共有して重合した複数の楕円筒からなる励
起キャビティーを有する固体レーザー発振器において、
共有焦点位置にレーザーロッドを設け、残りの各焦点位
置には、連続発振用アークランプとパルス発振用フラッ
シュランプとをそれぞれ一つ以上設けることにより、連
続発振とノくルス発振と両者を重畳した発振のいずれを
も可能にしたことを特徴とするレーザー発振器。 - （２）焦点を共有して１４！合した複数の楕円筒からな
る励起キャビティーを有する固体レーザー発振器におい
て、共有焦点位置にレーザーロッドを設け、残りの各焦
点位置には、連続発振用アークランプとパルス発掘用フ
ラッシュランプとをそれぞれ一つ以上設け、レーザーロ
ッドを１二さんで向い合う後部ミラーと出力ミラーとに
」：つて構成される光共振器の光路中に、超音波Ｑスイ
・ソチとポッケルスセルＱスイッチの、いずれかまたは
両万全設けることにより、連続発振と、周期の異る多種
類のパルス発振と、これらを重畳した発振のいずれをも
可能にしたことを特徴とするレーザー発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19074181A JPS5893295A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | レ−ザ−発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19074181A JPS5893295A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | レ−ザ−発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5893295A true JPS5893295A (ja) | 1983-06-02 |
Family
ID=16262985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19074181A Pending JPS5893295A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | レ−ザ−発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5893295A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62170659U (ja) * | 1986-04-21 | 1987-10-29 | ||
| JPS63280480A (ja) * | 1987-05-12 | 1988-11-17 | Amada Co Ltd | レ−ザ発振器のｎｃ制御方法 |
| FR2665987A1 (fr) * | 1990-08-20 | 1992-02-21 | Cheval Freres Sa | Dispositif generateur d'un faisceau laser continu ou pulse. |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4833268B1 (ja) * | 1969-06-04 | 1973-10-12 | ||
| JPS4835279B1 (ja) * | 1969-03-12 | 1973-10-26 | ||
| JPS53137694A (en) * | 1977-05-09 | 1978-12-01 | Toshiba Corp | Laser oscillation unit |
| JPS5426686A (en) * | 1977-07-30 | 1979-02-28 | Toshiba Corp | Laser unit |
-
1981
- 1981-11-30 JP JP19074181A patent/JPS5893295A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4835279B1 (ja) * | 1969-03-12 | 1973-10-26 | ||
| JPS4833268B1 (ja) * | 1969-06-04 | 1973-10-12 | ||
| JPS53137694A (en) * | 1977-05-09 | 1978-12-01 | Toshiba Corp | Laser oscillation unit |
| JPS5426686A (en) * | 1977-07-30 | 1979-02-28 | Toshiba Corp | Laser unit |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62170659U (ja) * | 1986-04-21 | 1987-10-29 | ||
| JPS63280480A (ja) * | 1987-05-12 | 1988-11-17 | Amada Co Ltd | レ−ザ発振器のｎｃ制御方法 |
| FR2665987A1 (fr) * | 1990-08-20 | 1992-02-21 | Cheval Freres Sa | Dispositif generateur d'un faisceau laser continu ou pulse. |
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