JPS59147477A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS59147477A JPS59147477A JP58020707A JP2070783A JPS59147477A JP S59147477 A JPS59147477 A JP S59147477A JP 58020707 A JP58020707 A JP 58020707A JP 2070783 A JP2070783 A JP 2070783A JP S59147477 A JPS59147477 A JP S59147477A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- output
- diaphragm
- mirror
- total reflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はガス放電によ−て励起されるレーザ発儂器に関
するものである。
するものである。
従来例の構成とその問題点
共振鏡と励起用ガス放電管とが独立している外部鏡式レ
ーザ発振器におりで、そのレーザ出力を調整するために
、従来は放電管の放電強度を電気的に調整することによ
−て行−でいた。第１図にその一例を示す。ガス放電管
１の内部にはレーザ励起用ガスが封じられて因る。電極
１ａ、１ｂの間に電源６から抵抗５′ｆ；ｃ通して電圧
を印力旧するとグロー放電が発生する。全反射鏡２と出
力結合鏡３を平行に設けて光共振器を形成させ、その内
部にガス放電管１を設は放電発光づせてレーザ発視器を
形成する。４はレーザビームである。このレーザ発掘の
強度を制御するには、ガス放電の強度を変えるのが従来
の方法アあ−・で、例えば抵抗５を変化させたり、電源
６の電圧を可変して放電々流をかえて実施する。放電々
加工とレーザ出力Ｐとの関係は例えば第２図に示すよう
なものとなる。
ーザ発振器におりで、そのレーザ出力を調整するために
、従来は放電管の放電強度を電気的に調整することによ
−て行−でいた。第１図にその一例を示す。ガス放電管
１の内部にはレーザ励起用ガスが封じられて因る。電極
１ａ、１ｂの間に電源６から抵抗５′ｆ；ｃ通して電圧
を印力旧するとグロー放電が発生する。全反射鏡２と出
力結合鏡３を平行に設けて光共振器を形成させ、その内
部にガス放電管１を設は放電発光づせてレーザ発視器を
形成する。４はレーザビームである。このレーザ発掘の
強度を制御するには、ガス放電の強度を変えるのが従来
の方法アあ−・で、例えば抵抗５を変化させたり、電源
６の電圧を可変して放電々流をかえて実施する。放電々
加工とレーザ出力Ｐとの関係は例えば第２図に示すよう
なものとなる。
レーザ出力Ｐにｔｒｉ者大点Ｍがあり、放電々流ｌ−１
一定以下に下げると放電が不安定にな・〕て実用できな
い限界があるのでその点Ｑが制御できる最小出力となる
。最大出力Ｍと最小出力Ｑとの比は委まり大きくなく、
通常１：１０以下Ｔある。レーザ出力を大巾に変化させ
ｆｃ−要求のあるとき、この直は実用上不充分であって
何らかの改善が求められる。づらに大出力レーザ用放電
管の電源の所要電力は極めて犬きく、その電源電王も極
めて高いことが多い。例えばレーザ出力１ＫＷのＣＯ２
レーザにお因では、電源の電力はｌｏＫＷ以上を要し放
電々圧は１０〜ｒｓｏＫＶであることが多い。
一定以下に下げると放電が不安定にな・〕て実用できな
い限界があるのでその点Ｑが制御できる最小出力となる
。最大出力Ｍと最小出力Ｑとの比は委まり大きくなく、
通常１：１０以下Ｔある。レーザ出力を大巾に変化させ
ｆｃ−要求のあるとき、この直は実用上不充分であって
何らかの改善が求められる。づらに大出力レーザ用放電
管の電源の所要電力は極めて犬きく、その電源電王も極
めて高いことが多い。例えばレーザ出力１ＫＷのＣＯ２
レーザにお因では、電源の電力はｌｏＫＷ以上を要し放
電々圧は１０〜ｒｓｏＫＶであることが多い。
この」：うな大出力高圧の電流を制御するのは工業的Ｋ
かなり困＠Ｔ、大出力真空管を用いるなどの／持株の要
素を用いなければならず第二の実用上の問題点となって
因る。
かなり困＠Ｔ、大出力真空管を用いるなどの／持株の要
素を用いなければならず第二の実用上の問題点となって
因る。
発明の目的
本“発明はこの」：うな従来の問題的を安易な機構的例
加装置によって補わんとするものであって、本発明を用
いることにより電源の制ｍｌ Ｌｄ不必要となり、！、
た極めて広範囲の出力制御を可能とすることができるよ
うになる。
加装置によって補わんとするものであって、本発明を用
いることにより電源の制ｍｌ Ｌｄ不必要となり、！、
た極めて広範囲の出力制御を可能とすることができるよ
うになる。
発明の構成
本発明ハ」二記目的を達成するもので、レーザ管と全反
射鏡と出力結合鏡とを備え、前記全反射鏡と出力結合鏡
との間て発振を行なわせる構造を有し、前記レーザ管と
全反射鏡又は出力結合鏡との間に光束制限用の絞り手段
を設けたことを特徴とするレーザ発振器を提供するもの
である。
射鏡と出力結合鏡とを備え、前記全反射鏡と出力結合鏡
との間て発振を行なわせる構造を有し、前記レーザ管と
全反射鏡又は出力結合鏡との間に光束制限用の絞り手段
を設けたことを特徴とするレーザ発振器を提供するもの
である。
実施例の説明
第３図に本発明の実施例の構造を示す。第１図と同じ部
位には同番号を付すが、本例において従来構造との相違
点は放電管１と全反射鏡２との中間に絞り１ｏを挿入し
たことである。レーザビームは有限の太さを持っており
、その太きヲ絞りｆよって制限すれば全レーザ出力を可
変することができる。絞り全共撮器の外部に設けると絞
りによって遮蔽きれたエネルギーは絞りの表面で反対又
は吸収これ−づれかの箇所で発熱するので好ましくない
。共振器内部に絞りを設けるとレーザ共振条件を制限す
ることになるので絞りによって遮蔽された分はレーザ発
振をおこさないため反射又は吸収による発熱が著しく少
ない。
位には同番号を付すが、本例において従来構造との相違
点は放電管１と全反射鏡２との中間に絞り１ｏを挿入し
たことである。レーザビームは有限の太さを持っており
、その太きヲ絞りｆよって制限すれば全レーザ出力を可
変することができる。絞り全共撮器の外部に設けると絞
りによって遮蔽きれたエネルギーは絞りの表面で反対又
は吸収これ−づれかの箇所で発熱するので好ましくない
。共振器内部に絞りを設けるとレーザ共振条件を制限す
ることになるので絞りによって遮蔽された分はレーザ発
振をおこさないため反射又は吸収による発熱が著しく少
ない。
レーザ共振器のビーム太−Ｊ ｒ、変えるとビーム出力
はその面積に略比例して変化する。従って本方式の絞り
の径を可変すればその二乗に比例して出力が可変できる
。絞り１ｏの位置は放電管１と出力結合鏡３との間に設
けても良いことはもちろんである。
はその面積に略比例して変化する。従って本方式の絞り
の径を可変すればその二乗に比例して出力が可変できる
。絞り１ｏの位置は放電管１と出力結合鏡３との間に設
けても良いことはもちろんである。
第４図に本発明の絞りの構造例を示す。第４図ａ ｌ−
、カメラのレンズ用絞りの構造をもつもので略円形の絞
孔が開閉する。同図すは回転平板上に複数個の絞孔を設
け、平板の回転によ−て不連続的に絞りを切替えるもの
である。同図Ｃはこれを連続的にするように異形の孔に
設けたものである。
、カメラのレンズ用絞りの構造をもつもので略円形の絞
孔が開閉する。同図すは回転平板上に複数個の絞孔を設
け、平板の回転によ−て不連続的に絞りを切替えるもの
である。同図Ｃはこれを連続的にするように異形の孔に
設けたものである。
発明の効果
以上のように本発明はレーザ放電管、全反射鏡出力結合
境ヲ具備し、全反射境と出力結合鏡との間でレーザ発振
を行なわせる構造を有し、前駅レーザ放電管と全反射鏡
又は出力結合鏡との間に絞り手段を設けたもので、放電
々流を可変することなく連続的あるいは不連続的にレー
ザ出力を可変−「ることかでき、また極めて広範囲の出
力制量が可能となる利点を有する。
境ヲ具備し、全反射境と出力結合鏡との間でレーザ発振
を行なわせる構造を有し、前駅レーザ放電管と全反射鏡
又は出力結合鏡との間に絞り手段を設けたもので、放電
々流を可変することなく連続的あるいは不連続的にレー
ザ出力を可変−「ることかでき、また極めて広範囲の出
力制量が可能となる利点を有する。
第１図は従来の出力可変レーザ発振器の構成例を示す概
略構成図、第２図はその制御特性を示す図、第３図は本
発明によるレーザ発振器の概略構成図、第４図ａ −ｃ
はそれに用いる絞りの例を示す平面図である。 １・・・・・・ガス放電管、１ａ、ｂ・・・・・・電極
、２・・・・・・全反射境、３・・・・・・出力結合鏡
、４・・・・・・レーザビーム、６・・・・・抵抗、６
・・・・・電源、１ｏ・・・・・・絞り。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 は°か１名。 第１図 第２図 第３図 第 ４ 図 （ａ−） （０ン
略構成図、第２図はその制御特性を示す図、第３図は本
発明によるレーザ発振器の概略構成図、第４図ａ −ｃ
はそれに用いる絞りの例を示す平面図である。 １・・・・・・ガス放電管、１ａ、ｂ・・・・・・電極
、２・・・・・・全反射境、３・・・・・・出力結合鏡
、４・・・・・・レーザビーム、６・・・・・抵抗、６
・・・・・電源、１ｏ・・・・・・絞り。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 は°か１名。 第１図 第２図 第３図 第 ４ 図 （ａ−） （０ン
Claims (2)
- （１） レーザ管と全反射鏡と出力結合鏡とを備え、
前記全反射鏡と出力結合晴との間で発娠ヲ行なわせる構
造を有し、前記レーザ管と全反射鏡又は出力結合鏡との
間に光束制限用の絞り手段を設けたことを特徴とするレ
ーザ発振器。 - （２）絞り手段の開孔の太き窟が可変であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58020707A JPS59147477A (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58020707A JPS59147477A (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | レ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59147477A true JPS59147477A (ja) | 1984-08-23 |
Family
ID=12034612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58020707A Pending JPS59147477A (ja) | 1983-02-10 | 1983-02-10 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59147477A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2666939A1 (fr) * | 1990-09-19 | 1992-03-20 | Hitachi Ltd | Oscillateur laser et dispositif pour fabriquer un semiconducteur, utilisant ledit oscillateur. |
| KR100532888B1 (ko) * | 2002-02-19 | 2005-12-02 | 유영태 | 구리증기레이저의 퍼짐각 제어장치 |
-
1983
- 1983-02-10 JP JP58020707A patent/JPS59147477A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2666939A1 (fr) * | 1990-09-19 | 1992-03-20 | Hitachi Ltd | Oscillateur laser et dispositif pour fabriquer un semiconducteur, utilisant ledit oscillateur. |
| KR100532888B1 (ko) * | 2002-02-19 | 2005-12-02 | 유영태 | 구리증기레이저의 퍼짐각 제어장치 |
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