JPS59163881A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS59163881A JPS59163881A JP3662783A JP3662783A JPS59163881A JP S59163881 A JPS59163881 A JP S59163881A JP 3662783 A JP3662783 A JP 3662783A JP 3662783 A JP3662783 A JP 3662783A JP S59163881 A JPS59163881 A JP S59163881A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- discharge section
- flow
- cathode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、ガスレーザ発振装置に関する。
一般にガスレーザ発振装置は第１図に示すような基本構
成を備える。図において１が陰極、３が分割された陽極
で、この両極間に高電圧が印加される。５が１００％反
射鏡、７が５０％反射鏡、９．１１も反射鏡であり、こ
れらは陰極１、陽極３の両側に対設されている。１３は
ブロアであり、容器１５中の稀薄レーザガス中ス印へで
示づ−ように両極１，３間及び反射鏡５．７．９．１１
間に直交する流れにして送り込む。１７はレーザガスの
熱除去用の熱交換器である。そしてこのガスレーザ発振
装置の動作を説明すると、まず陰極１と陽Ｉ！ｉ３との
間に高電圧をかけて稀薄なレーザガス中にグロー放電を
起こさせ、その放電による電子ビームでレーザガスをイ
オン化させ、両極１，３間の電界中で加速させてイオン
を励起させる。この励起したイオ゛ンは発光し、反則ｍ
５．７，９゜１１間において波長のそろっ光だりが発振
され、５０％反！）１６１７を通してレーザビームＬＢ
として外部に発射されるしくみである。
成を備える。図において１が陰極、３が分割された陽極
で、この両極間に高電圧が印加される。５が１００％反
射鏡、７が５０％反射鏡、９．１１も反射鏡であり、こ
れらは陰極１、陽極３の両側に対設されている。１３は
ブロアであり、容器１５中の稀薄レーザガス中ス印へで
示づ−ように両極１，３間及び反射鏡５．７．９．１１
間に直交する流れにして送り込む。１７はレーザガスの
熱除去用の熱交換器である。そしてこのガスレーザ発振
装置の動作を説明すると、まず陰極１と陽Ｉ！ｉ３との
間に高電圧をかけて稀薄なレーザガス中にグロー放電を
起こさせ、その放電による電子ビームでレーザガスをイ
オン化させ、両極１，３間の電界中で加速させてイオン
を励起させる。この励起したイオ゛ンは発光し、反則ｍ
５．７，９゜１１間において波長のそろっ光だりが発振
され、５０％反！）１６１７を通してレーザビームＬＢ
として外部に発射されるしくみである。
このようなガスレーザ発振装置にあって、従来は、ガス
流のガス放電部よりも上流側には特に何か設りておくと
いうことがなく、そのためにガス流Ａは層流に近い流れ
になって放電部に送り込まれている。しかしながら、こ
の場合には、放電によってレーザガスが電離され正イオ
ンとなって陰＋！ｉｉに集まってしまう傾向にあるため
に、放電部のＩ１２極１ ｌｕｌ＋でガス密度が高くな
るという不均一な密度分布を持つようになる。その結果
、レーザ出力が時間の軒過ど共に減少して行く傾向があ
り、出力の変動が起こるという問題があった。
流のガス放電部よりも上流側には特に何か設りておくと
いうことがなく、そのためにガス流Ａは層流に近い流れ
になって放電部に送り込まれている。しかしながら、こ
の場合には、放電によってレーザガスが電離され正イオ
ンとなって陰＋！ｉｉに集まってしまう傾向にあるため
に、放電部のＩ１２極１ ｌｕｌ＋でガス密度が高くな
るという不均一な密度分布を持つようになる。その結果
、レーザ出力が時間の軒過ど共に減少して行く傾向があ
り、出力の変動が起こるという問題があった。
この発明は、このような従来の問題に鑑みてなされたも
のであり、ガス放電部にレーザガスの乱流を生じさｌる
波乱装置を設りることによりガスの密度分布の均一化を
図り、出力変動を少なくしたガスレーザ発振装置を提供
することを目的とする。
のであり、ガス放電部にレーザガスの乱流を生じさｌる
波乱装置を設りることによりガスの密度分布の均一化を
図り、出力変動を少なくしたガスレーザ発振装置を提供
することを目的とする。
この発明を以下、図示実施例と共に詳説する。
第２図はこの発明の一実施例を示す。第２図において、
第１図に用いた符号と同一の符号を持つ部分はそれぞれ
第１図のガスレーザ発振装置と同一の機能を持つがブロ
ア１３により容器１５中を循環する稀博なレーザガスが
陰極１と陽極３との間及び戻口・目ａ９と仙の図に示さ
れない反ｒＪＪ鏡との間のガス放電部Ｂに送り込まれて
来るようになっている。１９．２１．２３はそれぞれベ
ーンである。
第１図に用いた符号と同一の符号を持つ部分はそれぞれ
第１図のガスレーザ発振装置と同一の機能を持つがブロ
ア１３により容器１５中を循環する稀博なレーザガスが
陰極１と陽極３との間及び戻口・目ａ９と仙の図に示さ
れない反ｒＪＪ鏡との間のガス放電部Ｂに送り込まれて
来るようになっている。１９．２１．２３はそれぞれベ
ーンである。
この発明の特徴は、シロッコファンのような回転体２５
で成る波乱装置を放電部ＢＪ：リガス流の上流側に設置
フたところにある。この回転体２５は放電部Ｂに送り込
まれて来るレーザガスの流れを乱流にする役目をする。
で成る波乱装置を放電部ＢＪ：リガス流の上流側に設置
フたところにある。この回転体２５は放電部Ｂに送り込
まれて来るレーザガスの流れを乱流にする役目をする。
したがって、いま回転体２５が無ければほぼ層流として
放電部Ｂに送り込まれるガス流Ｃは、回転体２５に当た
り乱流となって放電部Ｂに送り込まれることになる。こ
の回転体２５は、ガス流を混乱させるために設けたもの
であるから、波乱装置としてこの回転体２５に変えて多
孔板を使用することも可能であり、その仙ガス流Ｃを乱
しうる手段であれば波乱装置として使用できる。
放電部Ｂに送り込まれるガス流Ｃは、回転体２５に当た
り乱流となって放電部Ｂに送り込まれることになる。こ
の回転体２５は、ガス流を混乱させるために設けたもの
であるから、波乱装置としてこの回転体２５に変えて多
孔板を使用することも可能であり、その仙ガス流Ｃを乱
しうる手段であれば波乱装置として使用できる。
しかして、回転体２５によりガス流は乱流としてガス放
電部Ｂに送り込まれて来るので、ここでグロー放電にＪ
：る電子ビームでイオン化されるレーザガスが陰極１側
に集まることが少なくなり、ガス密度が均一化される。
電部Ｂに送り込まれて来るので、ここでグロー放電にＪ
：る電子ビームでイオン化されるレーザガスが陰極１側
に集まることが少なくなり、ガス密度が均一化される。
したがって発生するレーザビームの時間的変動も少なく
なる。
なる。
この発明は、以上のようにガス放電部Ｊこり上流側にガ
ス流を乱すための波乱装置を設けたので、ガス放電部で
シー１１ガスのイオン密度を均一に分散されることがで
き、そのために長期にわたり変動の少ないレーザビーム
の出力を得られる特徴がある。
ス流を乱すための波乱装置を設けたので、ガス放電部で
シー１１ガスのイオン密度を均一に分散されることがで
き、そのために長期にわたり変動の少ないレーザビーム
の出力を得られる特徴がある。
第１図はガスレーザ発振装置の従来例の斜視図、第２図
はこの発明の一実施例の断面図である。 （図面の１二型部分を表わす符号の説明）１・・・陰極
３・・・陽極５．７．９．１１・・・反
ＤＡｍ １３・・・ブロア １５・・・容器１７・・・
熱交換器 １９．２１．２３・・・ベーン ２５・・・回転体 Ａ、Ｃ・・・ガス流Ｂ・・
・ガス放電部 第１図 第２図
はこの発明の一実施例の断面図である。 （図面の１二型部分を表わす符号の説明）１・・・陰極
３・・・陽極５．７．９．１１・・・反
ＤＡｍ １３・・・ブロア １５・・・容器１７・・・
熱交換器 １９．２１．２３・・・ベーン ２５・・・回転体 Ａ、Ｃ・・・ガス流Ｂ・・
・ガス放電部 第１図 第２図
Claims (2)
- （１） レーザビームの放出方向とレーザガスの放電
方向とレーザガスの流れ方向とがそれぞれほぼ直交する
関係を持つガスレーザ発振装置にあって、前記レーザガ
スの流れ方向に関し、ガス放電部Ｊ：り上流側にレーザ
ガスの乱流を生じさせる拡乱装置を設けたことを特徴と
するガスレーザ発振装置。 - （２）拡乱装置が羽根車であることを特徴とする特Ｗ［
請求の崎囲第１項に記載のガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3662783A JPS59163881A (ja) | 1983-03-08 | 1983-03-08 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3662783A JPS59163881A (ja) | 1983-03-08 | 1983-03-08 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59163881A true JPS59163881A (ja) | 1984-09-14 |
Family
ID=12475057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3662783A Pending JPS59163881A (ja) | 1983-03-08 | 1983-03-08 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59163881A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0502228A1 (de) * | 1991-03-06 | 1992-09-09 | Rustem Dr. Osmanow | Multigas-Excimerlaser |
| US5650019A (en) * | 1993-09-30 | 1997-07-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Solar cell module having a surface coating material of three-layered structure |
-
1983
- 1983-03-08 JP JP3662783A patent/JPS59163881A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0502228A1 (de) * | 1991-03-06 | 1992-09-09 | Rustem Dr. Osmanow | Multigas-Excimerlaser |
| US5650019A (en) * | 1993-09-30 | 1997-07-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Solar cell module having a surface coating material of three-layered structure |
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