JPH10242547A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
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- JPH10242547A JPH10242547A JP4055997A JP4055997A JPH10242547A JP H10242547 A JPH10242547 A JP H10242547A JP 4055997 A JP4055997 A JP 4055997A JP 4055997 A JP4055997 A JP 4055997A JP H10242547 A JPH10242547 A JP H10242547A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は高出力を得るために主放電電極の電極
長を長くした場合であっても装置全体が大型化されるお
それがなく、主放電電極間にその長さ方向に均一にガス
流を流すことができるガスレーザ装置を提供することを
目的とする。 【解決手段】貫流ファン１４から吐出されたガス流を主
放電電極１３間に流入させるガス流路中に、主放電電極
１３間に流入されるガス流の流速分布を主放電電極１３
間におけるガス流路の長さ方向全体にわたり略均一に分
布させるバッファタンク２２を設けたものである。
長を長くした場合であっても装置全体が大型化されるお
それがなく、主放電電極間にその長さ方向に均一にガス
流を流すことができるガスレーザ装置を提供することを
目的とする。 【解決手段】貫流ファン１４から吐出されたガス流を主
放電電極１３間に流入させるガス流路中に、主放電電極
１３間に流入されるガス流の流速分布を主放電電極１３
間におけるガス流路の長さ方向全体にわたり略均一に分
布させるバッファタンク２２を設けたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、気密容器内に封入
されたガス媒質を循環させ、主放電電極間に流れるガス
流を形成させる送風手段を備えたガスレーザ装置に関す
る。
されたガス媒質を循環させ、主放電電極間に流れるガス
流を形成させる送風手段を備えたガスレーザ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ガスレーザ装置として例えばＣ
Ｏ2 レーザ、エキシマレーザなどの横励起式のパルスガ
スレーザ装置が知られている。図６（Ａ）はこの種のガ
スレーザ装置１の概略構成を示すものである。このガス
レーザ装置１には放電励起用のガスレーザ媒質を封入す
る気密容器２が設けられている。
Ｏ2 レーザ、エキシマレーザなどの横励起式のパルスガ
スレーザ装置が知られている。図６（Ａ）はこの種のガ
スレーザ装置１の概略構成を示すものである。このガス
レーザ装置１には放電励起用のガスレーザ媒質を封入す
る気密容器２が設けられている。
【０００３】この気密容器２内には陰極と陽極とからな
る一対の主放電電極３が配設されている。これらの一対
の主放電電極３は所定の間隔で離間対向配置されてい
る。さらに、これらの主放電電極３は図示しない放電回
路に接続されている。そして、放電回路の主コンデンサ
から一対の主放電電極３に電力を供給することにより、
これら主放電電極３間に励起放電を点弧させて主放電を
発生させ、その主放電によってガスレーザ媒質が励起さ
れてレーザ光が放出されるようになっている。
る一対の主放電電極３が配設されている。これらの一対
の主放電電極３は所定の間隔で離間対向配置されてい
る。さらに、これらの主放電電極３は図示しない放電回
路に接続されている。そして、放電回路の主コンデンサ
から一対の主放電電極３に電力を供給することにより、
これら主放電電極３間に励起放電を点弧させて主放電を
発生させ、その主放電によってガスレーザ媒質が励起さ
れてレーザ光が放出されるようになっている。
【０００４】また、気密容器２内には送風手段としての
貫流ファン４と、この貫流ファン４から送風されるガス
流を主放電電極３の間へ導く流路を気密容器２内に形成
するための複数の流路ガイド部材５…とが配設されてい
る。そして、ガスレーザ装置１の動作時には貫流ファン
４によって気密容器２内の封入ガスを循環させ、流路ガ
イド部材５…に沿って主放電電極３間に流れるガス流を
形成させるようになっている。
貫流ファン４と、この貫流ファン４から送風されるガス
流を主放電電極３の間へ導く流路を気密容器２内に形成
するための複数の流路ガイド部材５…とが配設されてい
る。そして、ガスレーザ装置１の動作時には貫流ファン
４によって気密容器２内の封入ガスを循環させ、流路ガ
イド部材５…に沿って主放電電極３間に流れるガス流を
形成させるようになっている。
【０００５】また、従来のガスレーザ装置１では主放電
電極３間に均一にガスを流すために図６（Ｂ）に示すよ
うに貫流ファン４の羽根の長さＡ1 は主放電電極３の長
さＡ2 と略同じ長さ程度に設定されているのが実情であ
る。
電極３間に均一にガスを流すために図６（Ｂ）に示すよ
うに貫流ファン４の羽根の長さＡ1 は主放電電極３の長
さＡ2 と略同じ長さ程度に設定されているのが実情であ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ガスレーザ装置１では
高出力を得るためには主放電電極３の電極長を長くする
ことが必要になる。このように主放電電極３の電極長を
長くした場合には主放電電極３間のガス流速分布を主放
電電極３の長さ方向に均一にするために貫流ファン４も
大きくするか、或いは貫流ファン４から主放電電極３ま
での距離を長くするとともに、貫流ファン４から送風さ
れるガス流を流路ガイド部材５…によって主放電電極３
の長さ方向に均一に導く必要がある。なお、主放電電極
３の電極長をｗ1 、貫流ファン４の羽根の長さをｗ2 に
設定した場合に均一なガス流分布を得るためには流路ガ
イド部材５…によって形成される気密容器２内のガス流
路の長さは２．９×（ｗ1 −ｗ2 ）／２程度に設定する
ことが必要である。
高出力を得るためには主放電電極３の電極長を長くする
ことが必要になる。このように主放電電極３の電極長を
長くした場合には主放電電極３間のガス流速分布を主放
電電極３の長さ方向に均一にするために貫流ファン４も
大きくするか、或いは貫流ファン４から主放電電極３ま
での距離を長くするとともに、貫流ファン４から送風さ
れるガス流を流路ガイド部材５…によって主放電電極３
の長さ方向に均一に導く必要がある。なお、主放電電極
３の電極長をｗ1 、貫流ファン４の羽根の長さをｗ2 に
設定した場合に均一なガス流分布を得るためには流路ガ
イド部材５…によって形成される気密容器２内のガス流
路の長さは２．９×（ｗ1 −ｗ2 ）／２程度に設定する
ことが必要である。
【０００７】しかしながら、主放電電極３の電極長を長
くした場合に主放電電極３間のガス流速分布を主放電電
極３の長さ方向に均一にするためには上述したように貫
流ファン４の大型化や、気密容器２内のガス流路の長大
化等が必要になるので、それにともなってガスレーザ装
置１全体の大型化が避けられない問題がある。
くした場合に主放電電極３間のガス流速分布を主放電電
極３の長さ方向に均一にするためには上述したように貫
流ファン４の大型化や、気密容器２内のガス流路の長大
化等が必要になるので、それにともなってガスレーザ装
置１全体の大型化が避けられない問題がある。
【０００８】本発明は上記事情に着目してなされたもの
で、その目的は、高出力を得るために主放電電極の電極
長を長くした場合であっても装置全体が大型化されるお
それがなく、主放電電極間にその長さ方向に均一にガス
流を流すことができるガスレーザ装置を提供することに
ある。
で、その目的は、高出力を得るために主放電電極の電極
長を長くした場合であっても装置全体が大型化されるお
それがなく、主放電電極間にその長さ方向に均一にガス
流を流すことができるガスレーザ装置を提供することに
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明はガス媒
質を封入する気密容器内に離間対向配置された主放電電
極と、これら主放電電極間に主コンデンサから電力を供
給して主放電を発生させる放電回路と、上記気密容器内
に封入されたガス媒質を循環させ、上記主放電電極間に
流れるガス流を形成させる送風手段とを備えたガスレー
ザ装置において、上記送風手段から吐出されたガス流を
上記主放電電極間に流入させるガス流路中に、上記主放
電電極間に流入されるガス流の流速分布を上記主放電電
極間における上記ガス流路の長さ方向全体にわたり略均
一に分布させる送風制御手段を設けたことを特徴とする
ガスレーザ装置である。そして、本請求項１の発明では
送風手段から吐出されたガス流を主放電電極間に流入さ
せるガス流路中の送風制御手段によって主放電電極間に
流入されるガス流の流速分布を主放電電極間におけるガ
ス流路の長さ方向全体にわたり略均一に分布させるよう
にしたものである。
質を封入する気密容器内に離間対向配置された主放電電
極と、これら主放電電極間に主コンデンサから電力を供
給して主放電を発生させる放電回路と、上記気密容器内
に封入されたガス媒質を循環させ、上記主放電電極間に
流れるガス流を形成させる送風手段とを備えたガスレー
ザ装置において、上記送風手段から吐出されたガス流を
上記主放電電極間に流入させるガス流路中に、上記主放
電電極間に流入されるガス流の流速分布を上記主放電電
極間における上記ガス流路の長さ方向全体にわたり略均
一に分布させる送風制御手段を設けたことを特徴とする
ガスレーザ装置である。そして、本請求項１の発明では
送風手段から吐出されたガス流を主放電電極間に流入さ
せるガス流路中の送風制御手段によって主放電電極間に
流入されるガス流の流速分布を主放電電極間におけるガ
ス流路の長さ方向全体にわたり略均一に分布させるよう
にしたものである。
【００１０】請求項２の発明は上記送風手段は少なくと
もファン本体と、上記ファン本体を回転軸を中心に回転
駆動する駆動手段とを備え、上記ファン本体の軸方向の
長さが上記主放電電極の長さよりも短いものであること
を特徴とする請求項１に記載のガスレーザ装置である。
そして、本請求項２の発明では軸方向の長さが主放電電
極の長さよりも短いファン本体から吐出されたガス流を
ガス流路中の送風制御手段によって送風制御し、主放電
電極間に流入されるガス流の流速分布を主放電電極間に
おけるガス流路の長さ方向全体にわたり略均一に分布さ
せることにより、主放電電極の電極長より短いファン本
体を用い、しかも短い流路でガス流を主電極間に均一に
流すことができるようにしたものである。
もファン本体と、上記ファン本体を回転軸を中心に回転
駆動する駆動手段とを備え、上記ファン本体の軸方向の
長さが上記主放電電極の長さよりも短いものであること
を特徴とする請求項１に記載のガスレーザ装置である。
そして、本請求項２の発明では軸方向の長さが主放電電
極の長さよりも短いファン本体から吐出されたガス流を
ガス流路中の送風制御手段によって送風制御し、主放電
電極間に流入されるガス流の流速分布を主放電電極間に
おけるガス流路の長さ方向全体にわたり略均一に分布さ
せることにより、主放電電極の電極長より短いファン本
体を用い、しかも短い流路でガス流を主電極間に均一に
流すことができるようにしたものである。
【００１１】請求項３の発明は上記送風制御手段は上記
ファン本体を収容するファンケーシングの吹出口に対向
配置され、上記ファン本体の軸方向の長さと略等しい長
さの寸法部分を有するガス流入口と、上記主放電電極の
長さと略等しい長さの寸法部分を有するガス流出口と、
上記ガス流入口とガス流出口との間のガス流路に配置さ
れ、上記ガス流入口の開口面積および上記ガス流出口の
開口面積よりも断面積が大きいガス流路とを備えたバッ
ファタンクとによって形成されたものであることを特徴
とする請求項２に記載のガスレーザ装置である。そし
て、本請求項３の発明ではファン本体のファンケーシン
グから吐出されたガス流をバッファタンクのガス流入口
から流路面積が大きいバッファタンクのガス流路内に流
入させ、主放電電極の長さと略等しい長さの寸法部分を
有するガス流出口から流出させて主放電電極間に導くこ
とにより、従来より短い流路長で主放電電極間における
ガス流路の長さ方向全体にわたり略均一に分布させたガ
ス流を流すことができるようにしたものである。
ファン本体を収容するファンケーシングの吹出口に対向
配置され、上記ファン本体の軸方向の長さと略等しい長
さの寸法部分を有するガス流入口と、上記主放電電極の
長さと略等しい長さの寸法部分を有するガス流出口と、
上記ガス流入口とガス流出口との間のガス流路に配置さ
れ、上記ガス流入口の開口面積および上記ガス流出口の
開口面積よりも断面積が大きいガス流路とを備えたバッ
ファタンクとによって形成されたものであることを特徴
とする請求項２に記載のガスレーザ装置である。そし
て、本請求項３の発明ではファン本体のファンケーシン
グから吐出されたガス流をバッファタンクのガス流入口
から流路面積が大きいバッファタンクのガス流路内に流
入させ、主放電電極の長さと略等しい長さの寸法部分を
有するガス流出口から流出させて主放電電極間に導くこ
とにより、従来より短い流路長で主放電電極間における
ガス流路の長さ方向全体にわたり略均一に分布させたガ
ス流を流すことができるようにしたものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
１乃至図５を参照して説明する。図１は本実施の形態の
例えばＣＯ2 レーザ、エキシマレーザなどの横励起式の
パルスガスレーザ装置１１の概略構成を示すものであ
る。このガスレーザ装置１１には放電励起用のガスレー
ザ媒質を封入する気密容器１２が設けられている。
１乃至図５を参照して説明する。図１は本実施の形態の
例えばＣＯ2 レーザ、エキシマレーザなどの横励起式の
パルスガスレーザ装置１１の概略構成を示すものであ
る。このガスレーザ装置１１には放電励起用のガスレー
ザ媒質を封入する気密容器１２が設けられている。
【００１３】この気密容器１２内には陰極と陽極とから
なる一対の主放電電極１３が配設されている。これらの
一対の主放電電極１３は所定の間隔で上下に離間対向配
置されている。さらに、これらの主放電電極１３は図示
しない放電回路に接続されている。そして、放電回路の
主コンデンサから一対の主放電電極１３に電力を供給す
ることにより、これら主放電電極１３間に励起放電を点
弧させて主放電を発生させ、その主放電によってガスレ
ーザ媒質が励起されてレーザ光が放出されるようになっ
ている。
なる一対の主放電電極１３が配設されている。これらの
一対の主放電電極１３は所定の間隔で上下に離間対向配
置されている。さらに、これらの主放電電極１３は図示
しない放電回路に接続されている。そして、放電回路の
主コンデンサから一対の主放電電極１３に電力を供給す
ることにより、これら主放電電極１３間に励起放電を点
弧させて主放電を発生させ、その主放電によってガスレ
ーザ媒質が励起されてレーザ光が放出されるようになっ
ている。
【００１４】また、気密容器１２内には送風手段として
の貫流ファン１４と、この貫流ファン１４から送風され
るガス流を主放電電極１３の間へ導く流路を気密容器１
２内に形成するための複数の流路ガイド部材１５…とが
配設されている。そして、ガスレーザ装置１１の動作時
には貫流ファン１４によって気密容器１２内の封入ガス
を循環させ、流路ガイド部材１５…に沿って主放電電極
１３間に流れるガス流を形成させるようになっている。
の貫流ファン１４と、この貫流ファン１４から送風され
るガス流を主放電電極１３の間へ導く流路を気密容器１
２内に形成するための複数の流路ガイド部材１５…とが
配設されている。そして、ガスレーザ装置１１の動作時
には貫流ファン１４によって気密容器１２内の封入ガス
を循環させ、流路ガイド部材１５…に沿って主放電電極
１３間に流れるガス流を形成させるようになっている。
【００１５】また、貫流ファン１４にはファン本体１６
と、このファン本体１６を収容するファンケーシング１
７と、ファン本体１６を回転軸１８を中心に回転駆動す
る図２に示す駆動モータ（駆動手段）１９とが設けられ
ている。ここで、ファン本体１６には離間対向配置され
た一対の円板状の端板２０と、両端板２０間に並設され
た複数の羽根２１…とが設けられている。これらの羽根
２１…は両端板２０の円板の円周方向に沿って並設され
ている。
と、このファン本体１６を収容するファンケーシング１
７と、ファン本体１６を回転軸１８を中心に回転駆動す
る図２に示す駆動モータ（駆動手段）１９とが設けられ
ている。ここで、ファン本体１６には離間対向配置され
た一対の円板状の端板２０と、両端板２０間に並設され
た複数の羽根２１…とが設けられている。これらの羽根
２１…は両端板２０の円板の円周方向に沿って並設され
ている。
【００１６】さらに、ファン本体１６は軸方向の長さが
主放電電極１３の長さよりも短いものが使用されてい
る。すなわち、本実施の形態では図２に示すように貫流
ファン１４のファン本体１６の羽根２１…の長さＷ1 は
３００ｍｍ、主放電電極１３の長さＷ2 は８００ｍｍに
それぞれ設定されている。そして、気密容器１２内の貫
流ファン１４の設置位置は図１に示すように主放電電極
１３の下流側の流路の距離Ｌ1 と、主放電電極１３の上
流側の流路の距離Ｌ2 との比率が３：５となるように、
例えばＬ1 が２７０ｍｍ、Ｌ2 が４５０ｍｍとなる位置
に配置されている。
主放電電極１３の長さよりも短いものが使用されてい
る。すなわち、本実施の形態では図２に示すように貫流
ファン１４のファン本体１６の羽根２１…の長さＷ1 は
３００ｍｍ、主放電電極１３の長さＷ2 は８００ｍｍに
それぞれ設定されている。そして、気密容器１２内の貫
流ファン１４の設置位置は図１に示すように主放電電極
１３の下流側の流路の距離Ｌ1 と、主放電電極１３の上
流側の流路の距離Ｌ2 との比率が３：５となるように、
例えばＬ1 が２７０ｍｍ、Ｌ2 が４５０ｍｍとなる位置
に配置されている。
【００１７】また、気密容器１２内には貫流ファン１４
から吐出されたガス流を主放電電極１３間に流入させる
ガス流路中に、バッファタンク（送風制御手段）２２が
配設されている。このバッファタンク２２には図３およ
び図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように略箱型のバッファタ
ンク本体２３が設けられている。このバッファタンク本
体２３の一側面の下端部にはガス流入口２４が形成され
ている。このガス流入口２４は図３および図４（Ｃ）に
示すようにファン本体１６の軸方向の長さＷ1と略等し
い長さＷ1 に設定され、かつ貫流ファン１４のファンケ
ーシング１７の吹出口１７ａの高さＨ1 と略等しい高さ
Ｈ1 に設定されている。すなわち、このガス流入口２４
は貫流ファン１４のファンケーシング１７の吹出口１７
ａと同じ開口面積に設定されている。
から吐出されたガス流を主放電電極１３間に流入させる
ガス流路中に、バッファタンク（送風制御手段）２２が
配設されている。このバッファタンク２２には図３およ
び図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように略箱型のバッファタ
ンク本体２３が設けられている。このバッファタンク本
体２３の一側面の下端部にはガス流入口２４が形成され
ている。このガス流入口２４は図３および図４（Ｃ）に
示すようにファン本体１６の軸方向の長さＷ1と略等し
い長さＷ1 に設定され、かつ貫流ファン１４のファンケ
ーシング１７の吹出口１７ａの高さＨ1 と略等しい高さ
Ｈ1 に設定されている。すなわち、このガス流入口２４
は貫流ファン１４のファンケーシング１７の吹出口１７
ａと同じ開口面積に設定されている。
【００１８】そして、バッファタンク２２はガス流入口
２４が貫流ファン１４のファンケーシング１７の吹出口
１７ａに対向配置された状態で気密容器１２内に取付け
られている。
２４が貫流ファン１４のファンケーシング１７の吹出口
１７ａに対向配置された状態で気密容器１２内に取付け
られている。
【００１９】また、バッファタンク本体２３の他側部上
面にはガス流入口２４よりも開口面積が大きいガス流出
口２５が形成されている。このガス流出口２５は図３お
よび図４（Ａ）に示すように主放電電極１３の長さＷ2
と略等しい長さＷ2 に設定され、かつこのガス流出口２
５の幅Ｈ2 は貫流ファン１４のファンケーシング１７の
吹出口１７ａの高さＨ1 と同じに設定されている。
面にはガス流入口２４よりも開口面積が大きいガス流出
口２５が形成されている。このガス流出口２５は図３お
よび図４（Ａ）に示すように主放電電極１３の長さＷ2
と略等しい長さＷ2 に設定され、かつこのガス流出口２
５の幅Ｈ2 は貫流ファン１４のファンケーシング１７の
吹出口１７ａの高さＨ1 と同じに設定されている。
【００２０】さらに、バッファタンク本体２３の内部に
はガス流入口２４とガス流出口２５との間の中間部分に
ガス流入口２３の開口面積およびガス流出口２４の開口
面積よりも流路面積が大きいガス流路２６が形成されて
いる。このガス流路２６の断面積Ｓは最大でＳ＝Ｗ2 ×
Ｈ2 ×３に設定されている。
はガス流入口２４とガス流出口２５との間の中間部分に
ガス流入口２３の開口面積およびガス流出口２４の開口
面積よりも流路面積が大きいガス流路２６が形成されて
いる。このガス流路２６の断面積Ｓは最大でＳ＝Ｗ2 ×
Ｈ2 ×３に設定されている。
【００２１】そして、貫流ファン１４の駆動時には気密
容器１２内で貫流ファン１４から吐出されたガス流がガ
ス流入口２４からバッファタンク２２内のガス流路２６
に流入され、バッファタンク２２内のガス流路２６を経
てガス流出口２５から流出される際に、主放電電極１３
間に流入されるガス流の流速分布が主放電電極１３間に
その長さ方向全体にわたり略均一に分布された状態に送
風制御されるようになっている。
容器１２内で貫流ファン１４から吐出されたガス流がガ
ス流入口２４からバッファタンク２２内のガス流路２６
に流入され、バッファタンク２２内のガス流路２６を経
てガス流出口２５から流出される際に、主放電電極１３
間に流入されるガス流の流速分布が主放電電極１３間に
その長さ方向全体にわたり略均一に分布された状態に送
風制御されるようになっている。
【００２２】次に、上記構成の作用について説明する。
ガスレーザ装置１１の動作時には放電回路の主コンデン
サから一対の主放電電極１３に電力が供給され、これら
主放電電極１３間に励起放電を点弧させて主放電を発生
させ、その主放電によってガスレーザ媒質が励起されて
レーザ光が放出される。
ガスレーザ装置１１の動作時には放電回路の主コンデン
サから一対の主放電電極１３に電力が供給され、これら
主放電電極１３間に励起放電を点弧させて主放電を発生
させ、その主放電によってガスレーザ媒質が励起されて
レーザ光が放出される。
【００２３】また、ガスレーザ装置１１の動作中は同時
に貫流ファン１４が駆動される。この貫流ファン１４の
駆動時には主放電電極１３の下流側のガス流が吸込み口
１７ｂから貫流ファン１４のファンケーシング１７の内
部に吸込まれ、吹出口１７ａから吹出される。ここで、
貫流ファン１４のファンケーシング１７の吹出口１７ａ
から吹出されるガス流はガス流入口２４からバッファタ
ンク２２内に流入される。
に貫流ファン１４が駆動される。この貫流ファン１４の
駆動時には主放電電極１３の下流側のガス流が吸込み口
１７ｂから貫流ファン１４のファンケーシング１７の内
部に吸込まれ、吹出口１７ａから吹出される。ここで、
貫流ファン１４のファンケーシング１７の吹出口１７ａ
から吹出されるガス流はガス流入口２４からバッファタ
ンク２２内に流入される。
【００２４】さらに、このバッファタンク２２内に流入
されたガス流はバッファタンク２２内のガス流路２６を
経てガス流出口２５から流出され、主放電電極１３の間
へ導かれる。このとき、バッファタンク２２内に流入さ
れたガス流はガス流入口２３の開口面積およびガス流出
口２４の開口面積よりも流路面積が大きいバッファタン
ク２２内のガス流路２６を流れる際に送風制御される。
そして、ガス流がバッファタンク２２内のガス流路２６
を経てガス流出口２５から流出される際に、主放電電極
１３間に流入されるガス流の流速分布が主放電電極１３
間にその長さ方向全体にわたり略均一に分布される。
されたガス流はバッファタンク２２内のガス流路２６を
経てガス流出口２５から流出され、主放電電極１３の間
へ導かれる。このとき、バッファタンク２２内に流入さ
れたガス流はガス流入口２３の開口面積およびガス流出
口２４の開口面積よりも流路面積が大きいバッファタン
ク２２内のガス流路２６を流れる際に送風制御される。
そして、ガス流がバッファタンク２２内のガス流路２６
を経てガス流出口２５から流出される際に、主放電電極
１３間に流入されるガス流の流速分布が主放電電極１３
間にその長さ方向全体にわたり略均一に分布される。
【００２５】そこで、上記構成のものにあっては次の効
果を奏する。すなわち、貫流ファン１４から吐出された
ガス流を主放電電極１３間に流入させるガス流路中のバ
ッファタンク２２によって主放電電極１３間に流入され
るガス流の流速分布を主放電電極１３間にその長さ方向
全体にわたり略均一に分布させることができるので、高
出力を得るために主放電電極１３の電極長を長くした場
合であっても貫流ファン１４の長さを格別に大きくした
り、気密容器１２内のガス流路の長大化等が不要とな
る。
果を奏する。すなわち、貫流ファン１４から吐出された
ガス流を主放電電極１３間に流入させるガス流路中のバ
ッファタンク２２によって主放電電極１３間に流入され
るガス流の流速分布を主放電電極１３間にその長さ方向
全体にわたり略均一に分布させることができるので、高
出力を得るために主放電電極１３の電極長を長くした場
合であっても貫流ファン１４の長さを格別に大きくした
り、気密容器１２内のガス流路の長大化等が不要とな
る。
【００２６】また、図５は貫流ファン１４から吐出され
たガス流を主放電電極１３間に流入させるガス流路中に
本実施の形態のバッファタンク２２を配設した場合と、
配設しない場合（図６に示す従来例のように貫流ファン
４と主放電電極３との間のガス流路中に流路ガイド部材
５…のみを配設した場合）との主放電電極１３間に導か
れるガス流の流速分布特性の違いを示すものである。な
お、図５中の特性曲線Ａはバッファタンク２２を使用し
た場合のガス流の流速分布特性、特性曲線Ｂはバッファ
タンク２２を使用しない場合のガス流の流速分布特性を
それぞれ示すものである。
たガス流を主放電電極１３間に流入させるガス流路中に
本実施の形態のバッファタンク２２を配設した場合と、
配設しない場合（図６に示す従来例のように貫流ファン
４と主放電電極３との間のガス流路中に流路ガイド部材
５…のみを配設した場合）との主放電電極１３間に導か
れるガス流の流速分布特性の違いを示すものである。な
お、図５中の特性曲線Ａはバッファタンク２２を使用し
た場合のガス流の流速分布特性、特性曲線Ｂはバッファ
タンク２２を使用しない場合のガス流の流速分布特性を
それぞれ示すものである。
【００２７】この図５からも明らかなように貫流ファン
１４と主放電電極１３との間のガス流路中にバッファタ
ンク２２を配設した場合には図５の特性曲線Ａのように
貫流ファン１４からのガス流の流速分布が主放電電極１
３間にその長さ方向全体にわたり略均一に分布される。
これに対して、図６に示す従来例のように貫流ファン４
と主放電電極３との間のガス流路中にバッファタンク２
２を配設しない場合には図５の特性曲線Ｂのように主放
電電極１３の長さ方向の両端部の部分の流速が中央部分
に比べて低下する。そのため、図６に示す従来例のよう
に貫流ファン４と主放電電極３との間のガス流路中に流
路ガイド部材５…のみを配設した場合には主放電電極３
の長さ方向全体にわたり充分なガス流の流速分布を得る
ためには貫流ファン４から主放電電極３までの流路長が
本実施の形態のバッファタンク２２を用いる場合と比較
して約１．８倍必要となり、それだけガスレーザ装置全
体が大型化することになる。
１４と主放電電極１３との間のガス流路中にバッファタ
ンク２２を配設した場合には図５の特性曲線Ａのように
貫流ファン１４からのガス流の流速分布が主放電電極１
３間にその長さ方向全体にわたり略均一に分布される。
これに対して、図６に示す従来例のように貫流ファン４
と主放電電極３との間のガス流路中にバッファタンク２
２を配設しない場合には図５の特性曲線Ｂのように主放
電電極１３の長さ方向の両端部の部分の流速が中央部分
に比べて低下する。そのため、図６に示す従来例のよう
に貫流ファン４と主放電電極３との間のガス流路中に流
路ガイド部材５…のみを配設した場合には主放電電極３
の長さ方向全体にわたり充分なガス流の流速分布を得る
ためには貫流ファン４から主放電電極３までの流路長が
本実施の形態のバッファタンク２２を用いる場合と比較
して約１．８倍必要となり、それだけガスレーザ装置全
体が大型化することになる。
【００２８】したがって、本実施の形態のように貫流フ
ァン１４と主放電電極１３との間のガス流路中にバッフ
ァタンク２２を配設した場合には主放電電極１３間にそ
の長さ方向全体にわたりにガス流の流速分布を略均一に
分布させることができるので、従来に比べて小形の貫流
ファン１４を効率よく使用することができ、ガスレーザ
装置１１全体を小形化することができる。なお、本発明
は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の
要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できることは
勿論である。
ァン１４と主放電電極１３との間のガス流路中にバッフ
ァタンク２２を配設した場合には主放電電極１３間にそ
の長さ方向全体にわたりにガス流の流速分布を略均一に
分布させることができるので、従来に比べて小形の貫流
ファン１４を効率よく使用することができ、ガスレーザ
装置１１全体を小形化することができる。なお、本発明
は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の
要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できることは
勿論である。
【００２９】
【発明の効果】請求項１の発明によれば送風手段から吐
出されたガス流を主放電電極間に流入させるガス流路中
に、主放電電極間に流入されるガス流の流速分布を主放
電電極間におけるガス流路の長さ方向全体にわたり略均
一に分布させる送風制御手段を設けたので、高出力を得
るために主放電電極の電極長を長くした場合であっても
装置全体が大型化されるおそれがなく、ガス流を主放電
電極間に均一に流すことができる。
出されたガス流を主放電電極間に流入させるガス流路中
に、主放電電極間に流入されるガス流の流速分布を主放
電電極間におけるガス流路の長さ方向全体にわたり略均
一に分布させる送風制御手段を設けたので、高出力を得
るために主放電電極の電極長を長くした場合であっても
装置全体が大型化されるおそれがなく、ガス流を主放電
電極間に均一に流すことができる。
【００３０】請求項２の発明によれば軸方向の長さが主
放電電極の長さよりも短いファン本体から吐出されたガ
ス流をガス流路中の送風制御手段によって送風制御し、
主放電電極間に流入されるガス流の流速分布を主放電電
極間におけるガス流路の長さ方向全体にわたり略均一に
分布させることができるので、主放電電極の電極長より
短いファン本体を用い、しかも短い流路でガス流を主電
極間に均一に流すことができる効果がある。
放電電極の長さよりも短いファン本体から吐出されたガ
ス流をガス流路中の送風制御手段によって送風制御し、
主放電電極間に流入されるガス流の流速分布を主放電電
極間におけるガス流路の長さ方向全体にわたり略均一に
分布させることができるので、主放電電極の電極長より
短いファン本体を用い、しかも短い流路でガス流を主電
極間に均一に流すことができる効果がある。
【００３１】請求項３の発明によればファン本体のファ
ンケーシングから吐出されたガス流をバッファタンクの
ガス流入口から流路面積が大きいバッファタンクのガス
流路内に流入させ、主放電電極の長さと略等しい長さの
寸法部分を有するガス流出口から流出させて主放電電極
間に導くようにしたので、従来より短い流路長で主放電
電極間にその長さ方向全体にわたり略均一に分布させた
ガス流を流すことができる。
ンケーシングから吐出されたガス流をバッファタンクの
ガス流入口から流路面積が大きいバッファタンクのガス
流路内に流入させ、主放電電極の長さと略等しい長さの
寸法部分を有するガス流出口から流出させて主放電電極
間に導くようにしたので、従来より短い流路長で主放電
電極間にその長さ方向全体にわたり略均一に分布させた
ガス流を流すことができる。
【図１】本発明の一実施の形態のガスレーザ装置全体の
概略構成図。
概略構成図。
【図２】本発明の一実施の形態のガスレーザ装置の主放
電電極および貫流ファンのそれぞれの長さを比較して示
す正面図。
電電極および貫流ファンのそれぞれの長さを比較して示
す正面図。
【図３】本発明の一実施の形態のガスレーザ装置のバッ
ファタンクの外観を示す斜視図。
ファタンクの外観を示す斜視図。
【図４】（Ａ）は本発明の一実施の形態のガスレーザ装
置のバッファタンクの平面図、（Ｂ）は同正面図、
（Ｃ）は同側面図。
置のバッファタンクの平面図、（Ｂ）は同正面図、
（Ｃ）は同側面図。
【図５】本発明の一実施の形態のガスレーザ装置のガス
流の流速分布特性と従来例のガスレーザ装置のガス流の
流速分布特性とを比較して示す特性図。
流の流速分布特性と従来例のガスレーザ装置のガス流の
流速分布特性とを比較して示す特性図。
【図６】（Ａ）は従来のガスレーザ装置の概略構成図、
（Ｂ）は従来のガスレーザ装置の主放電電極および貫流
ファンのそれぞれの長さを比較して示す正面図。
（Ｂ）は従来のガスレーザ装置の主放電電極および貫流
ファンのそれぞれの長さを比較して示す正面図。
１２ 気密容器 １３ 主放電電極 １４ 貫流ファン（送風手段） １９ 駆動モータ（駆動手段） ２２ バッファタンク（送風制御手段）
Claims (3)
- 【請求項１】 ガス媒質を封入する気密容器内に離間対
向配置された主放電電極と、これら主放電電極間に主コ
ンデンサから電力を供給して主放電を発生させる放電回
路と、上記気密容器内に封入されたガス媒質を循環さ
せ、上記主放電電極間に流れるガス流を形成させる送風
手段とを備えたガスレーザ装置において、 上記送風手段から吐出されたガス流を上記主放電電極間
に流入させるガス流路中に、上記主放電電極間に流入さ
れるガス流の流速分布を上記主放電電極間における上記
ガス流路の長さ方向全体にわたり略均一に分布させる送
風制御手段を設けたことを特徴とするガスレーザ装置。 - 【請求項２】 上記送風手段は少なくともファン本体
と、上記ファン本体を回転軸を中心に回転駆動する駆動
手段とを備え、上記ファン本体の軸方向の長さが上記主
放電電極の長さよりも短いものであることを特徴とする
請求項１に記載のガスレーザ装置。 - 【請求項３】 上記送風制御手段は上記ファン本体を収
容するファンケーシングの吹出口に対向配置され、上記
ファン本体の軸方向の長さと略等しい長さの寸法部分を
有するガス流入口と、上記主放電電極の長さと略等しい
長さの寸法部分を有するガス流出口と、上記ガス流入口
とガス流出口との間のガス流路に配置され、上記ガス流
入口の開口面積および上記ガス流出口の開口面積よりも
断面積が大きいガス流路とを備えたバッファタンクとに
よって形成されたものであることを特徴とする請求項２
に記載のガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4055997A JPH10242547A (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4055997A JPH10242547A (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10242547A true JPH10242547A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=12583821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4055997A Pending JPH10242547A (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10242547A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003524900A (ja) * | 2000-02-24 | 2003-08-19 | ランブダ フィジク アクチェンゲゼルシャフト | 延長電極を有する分子フッ素レーザ・システム |
| JP2014146716A (ja) * | 2013-01-30 | 2014-08-14 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ガスレーザ発振器 |
-
1997
- 1997-02-25 JP JP4055997A patent/JPH10242547A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003524900A (ja) * | 2000-02-24 | 2003-08-19 | ランブダ フィジク アクチェンゲゼルシャフト | 延長電極を有する分子フッ素レーザ・システム |
| JP2014146716A (ja) * | 2013-01-30 | 2014-08-14 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ガスレーザ発振器 |
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