JP3768330B2 - 気体レーザ装置 - Google Patents
気体レーザ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3768330B2 JP3768330B2 JP13413997A JP13413997A JP3768330B2 JP 3768330 B2 JP3768330 B2 JP 3768330B2 JP 13413997 A JP13413997 A JP 13413997A JP 13413997 A JP13413997 A JP 13413997A JP 3768330 B2 JP3768330 B2 JP 3768330B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- ozone
- gas
- gas laser
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、レーザ管内の気体を放電励起してレーザビームを取り出す気体レーザ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、鋼板等の切断には、ガス切断やレーザ切断が多く用いられており、このレーザ切断に使用されるレーザ装置としては、絶縁体レーザ装置、半導体レーザ装置、気体レーザ装置、色素レーザ装置等、種々の装置が提供されているが、レーザ媒質として炭酸ガスを用いた気体レーザ装置が高効率、高出力という点で主要になっている。
【0003】
この気体レーザ装置は、レーザ管外部に設けられ、交流電源を用いた外部電極により、レーザ管内に封入された炭酸ガス等の気体レーザ媒質を放電励起して該レーザ管からレーザビームを取り出すものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来の気体レーザ装置には、以下のような問題が存在する。
レーザ管の外部に設けられた外部電極に、交流電圧を印加して放電励起する場合においては、放電時、紫外線が発生する。
この紫外線により、気体レーザ装置内の空気中の酸素がイオン化されてオゾンを生成する。
一方、外部電極は、大気中で絶縁破壊を起こしコロナ放電する。これによっても、酸素は分解してオゾンを生成する。
【0005】
生成されたオゾンは、気体レーザ装置内で徐々に分解されて消滅するが、連続的に生成される量が分解される量を上回るため、常に一定量以上のオゾンが残留することになる。
この残留オゾンは、装置内部の構成部品、特に振動材やパッキング材などのゴム材の劣化を促進させて、装置の性能を低下させる一因になっていた。
さらに、レーザ管の周辺で生成されるイオン化オゾンにより、レーザ管が絶縁破壊を起こして破壊され、装置が完全に停止してしまうという不具合も招いていた。
【0006】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、放電時に生成されたオゾン量を低減し、装置の長寿命化に寄与する気体レーザ装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
請求項1記載の気体レーザ装置は、内部にレーザ媒質用気体が封止されたレーザ管と、該レーザ管の外部に設けられ前記レーザ媒質用気体を放電励起する電極と、これらレーザ管および電極を内部に形成された空間に収容する収容体とを備えた気体レーザ装置において、前記電極の放電により前記空間に生成されたオゾンを分解するオゾン分解装置を設けたことを特徴とする。
【0008】
従って、本発明の気体レーザ装置によれば、電極の放電によりオゾンが収容体の空間内に生成される。
そして、このオゾンは、オゾン分解装置により分解される。
【0009】
請求項2記載の気体レーザ装置は、請求項1記載の気体レーザ装置において、前記オゾン分解装置は、前記オゾンが流通可能な流通路を介して前記収容体と離間した位置に配設されることを特徴とする。
【0010】
従って、本発明の気体レーザ装置によれば、収容体とオゾン分解装置とが離間した位置に配設されるので、収容体の小型化が可能である。
【0011】
請求項3記載の気体レーザ装置は、請求項1または2記載の気体レーザ装置において、前記オゾンを前記オゾン分解装置内へ導入する導入装置を設けたことを特徴とする。
【0012】
従って、本発明の気体レーザ装置によれば、収容体の空間内で発生したオゾンは、導入装置により強制的にオゾン分解装置へ導入されて分解される。
【0013】
請求項4記載の気体レーザ装置は、請求項1から3のいずれかに記載の気体レーザ装置において、前記空間内に水蒸気を放出する加湿装置を設けたことを特徴とする気体レーザ装置。
【0014】
従って、本発明の気体レーザ装置によれば、空間内に放出された水蒸気によりコロナ放電の放電開始電圧が高くなるため、放電が抑制できる。
その結果として、放電により生成されるオゾンの発生が減少する。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の気体レーザ装置の第1の実施の形態を、図1を参照して説明する。
ここでは、例えば、レーザ媒質用気体として、炭酸ガスを使用する場合の例を用いて説明する。
図1において、符号1は、炭酸ガスレーザ装置(気体レーザ装置)である。
炭酸ガスレーザ装置1は、レーザ管ユニット2と、該レーザ管ユニット2内部の空間3に収容する筐体4(収容体)とを備えた構成とされるものである。
【0016】
レーザ管ユニット2内には、レーザ管5が設置されており、このレーザ管5内部には、レーザ媒質用気体として炭酸ガスが封入されている。
また、レーザ管5の外部には、電極6が設けられている。
電極6は、レーザ管5内の炭酸ガスを放電励起するものであって、陽極Aおよび陰極Kから構成されている。
この電極6には、該電極6に交流電圧を印加する交流電源7が接続されている。
【0017】
一方、レーザ管ユニット2の一側面には、ファン8(導入装置)が設けられている。
このファン8は、回動軸13を中心にして、軸線まわりに回動することにより、レーザ管5に図中矢印方向に送風して該レーザ管5を冷却するものである。
【0018】
また、レーザ管5を中心としてファン8と対向する側面には、オゾン分解装置9が設けられている。
オゾン分解装置9は、オゾンを分解するものであって、レーザ管ユニット2の側面から水平方向に突設された上壁部10および下壁部11を備えるものである。
上壁部10および下壁部11からは、それぞれ障壁材12が一定間隔をおいて下方または上方へ向って交互に並ぶように突設されており、これら障壁剤12によりオゾン分解装置9内には流路14が形成されている。
この障壁材12は、酸化鉛や酸化マンガン等の還元剤から構成されるものである。
【0019】
上記の構成の炭酸ガスレーザ装置1の動作を以下に説明する。
まず、交流電源7を作動して、電極6に交流電圧を印加する。
これにより、電極6は、陽極A、陰極K間で放電して、レーザ管5内の炭酸ガスを放電励起する。
この結果、反転分布による光の放出とその増幅により、レーザ管5からレーザビームが取り出される。
【0020】
この電極6による放電時には、紫外線が発生する。
この紫外線により、酸素がイオン化されると共に、電極6が大気中で絶縁破壊を起こしコロナ放電する。
このとき、レーザ管ユニット2内の空気中に含まれる酸素が分解されてオゾンが生成される。
【0021】
レーザ管ユニット2の一側面にはファン8が設けられており、ファン8はレーザ管5に対して送風状態にあるため、レーザ管5が冷却されると共に、生成されたオゾンがファン8と対向する側面側に向かって移動する。
このファン8と対向する側面には、オゾン分解装置9が設けられており、移動したオゾンはこのオゾン分解装置9に導入される。
【0022】
このオゾン分解装置9内でオゾンは、流路14内を流れるが、流路14を形成している障壁材12が還元剤で構成されているため、この障壁材12に接触したオゾンは還元されて酸素に分解される。
一方、ファン8がレーザ管5に向かって送風しているため、ファン8のレーザ管5と反対側は、負圧になっている。
そのため、オゾン分解装置9を経た酸素は、ファン8方向へ吸引された後、再びレーザ管ユニット2内へ送られて筐体4内を循環する。
【0023】
本実施の形態の気体レーザ装置によれば、電極6の放電時に発生するオゾンがオゾン分解装置9により分解されるため、オゾンによる装置内部の構成部品の劣化が抑制可能である。
また、ファン8により、レーザ管5が冷却できると共に、放電時に発生したオゾンを強制的にオゾン分解装置9に導入できるので、オゾン分解が一層促進される。
【0024】
図2は、本発明の気体レーザ装置の第2の実施の形態を示す図である。
この図において、図1に示す第1の実施の形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
第2の実施の形態と上記の第1の実施の形態とが異なる点は、オゾン分解装置9を筐体4と離間した位置に配設したことである。
【0025】
即ち、オゾン分解装置9は、流通路15,16を介して筐体4と離間した位置に配設されている。
流通路15,16は、上記オゾンを含む筐体4内の気体が流通可能とされるものであって、オゾン分解装置9と筐体4とに、それぞれ接続されている。
筐体4内には、流通路15に臨ませてファン8が設けられている。
一方、オゾン分解装置9には、排出装置17が設けられており、この排出装置17は、例えば、障壁材12の還元力低下の際にオゾンを外部に排出するものである。
【0026】
本実施の形態の気体レーザ装置によれば、上記第1の実施の形態と同様の作用、効果が得られることに加えて、オゾン分解装置9が筐体4と離間した位置に配設されるため、筐体4の小型化が実現すると共に、オゾン分解装置9におけるメンテナンス作業等の操作が行い易くなる。
また、オゾン分解装置9に排出装置17を設けたので、万一、障壁材12の機能が低下もしくは停止した際にも、オゾンを外部に排出できるので構成部品の劣化を防止できる。
【0027】
図3は、本発明の気体レーザ装置の第3の実施の形態を示す図である。
この図において、図1に示す第1の実施の形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
第3の実施の形態と上記の第1の実施の形態とが異なる点は、加湿装置18を設けたことである。
即ち、筐体4内の空間3には、加湿装置18が設けられており、この加湿装置18は、空間3内に水蒸気を放出するものである。
【0028】
本実施の形態の気体レーザ装置によれば、上記第1の実施の形態と同様の作用、効果が得られることに加えて、加湿装置18から放出された水蒸気によりコロナ放電が抑制される。
そのため、放電により生成されるオゾンの発生が抑制されることになる。
この場合、オゾン分解装置9が配置されていなくても、加湿装置18の存在によりオゾンの発生量が減少するため、構成部品の劣化を防止することができる。
【0029】
なお、上記実施の形態において、レーザ装置のレーザ媒質用気体として炭酸ガスを、オゾンをオゾン分解装置へ導入する導入装置としてファンを用いる構成としたが、これに限られることなく、例えば、レーザ媒質用気体として窒素ガスや、ハロゲンと希ガスとの混合ガスを用いて、導入装置として、真空ポンプを使用した負圧吸引具を用いるような構成であってもよい。
【0030】
また、オゾン分解装置内に障壁材を用いる構成としたが、例えば、活性炭フィルターが設けられたハニカム型オゾン分解フィルタを用いるような構成であってもよく、この場合、ハニカム型は開口面積が大きく流体圧損失が少ないため、空気の流れ、即ち、オゾンの分解がより円滑に進むことになる。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1に係る気体レーザ装置によれば、電極の放電により生成されたオゾンを分解するオゾン分解装置が設けられた構成となっている。
これにより、オゾンによる装置内部の構成部品の劣化が抑制されて、気体レーザ装置の長寿命化が実現するという優れた効果を奏するものである。
【0032】
請求項2に係る気体レーザ装置によれば、オゾン分解装置が収容体と離間した位置に配設される構成となっている。
これにより、収容体の小型化が実現すると共に、オゾン分解装置のメンテナンス作業等の操作が容易に行えるという優れた効果を奏する。
【0033】
請求項3に係る気体レーザ装置によれば、発生したオゾンをオゾン分解装置内へ導入する導入装置を設けた構成となっている。
これにより、放電時に発生したオゾンを強制的にオゾン分解装置内に導入できるので、オゾン分解が一層促進される、即ち、気体レーザ装置の長寿命化が一層促進されるという優れた効果を奏するものである。
【0034】
請求項4に係る気体レーザ装置によれば、収容体の空間内に水蒸気を放出する加湿装置を設けた構成となっている。
これにより、オゾンの発生が抑制される、即ち、気体レーザ装置の長寿命化が一層促進されるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態を示す図であって、気体レーザ装置内にオゾン分解装置および導入装置が設けられた断面図である。
【図2】 本発明の第2の実施の形態を示す図であって、収容体とオゾン分解装置とが離間している正面図である。
【図3】 本発明の第3の実施の形態を示す図であって、気体レーザ装置内にオゾン分解装置、導入装置および加湿装置が設けられた断面図である。
【符号の説明】
1 炭酸ガスレーザ装置(気体レーザ装置)
3 空間
4 筐体(収容体)
5 レーザ管
6 電極
8 ファン(導入装置)
9 オゾン分解装置
15,16 流通路
18 加湿装置
Claims (4)
- 内部にレーザ媒質用気体が封止されたレーザ管(5)と、
該レーザ管の外部に設けられ前記レーザ媒質用気体を放電励起する電極(6)と、
これらレーザ管および電極を、内部に形成された空間(3)に収容する収容体(4)とを備えた気体レーザ装置において、
前記電極の放電により前記空間に生成されたオゾンを分解するオゾン分解装置(9)を設けたことを特徴とする気体レーザ装置。 - 請求項1記載の気体レーザ装置において、
前記オゾン分解装置は、前記オゾンが流通可能な流通路(15,16)を介して前記収容体と離間した位置に配設されることを特徴とする気体レーザ装置。 - 請求項1または2記載の気体レーザ装置において、
前記オゾンを前記オゾン分解装置内へ導入する導入装置(8)を設けたことを特徴とする気体レーザ装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の気体レーザ装置において、
前記空間内に水蒸気を放出する加湿装置(18)を設けたことを特徴とする気体レーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13413997A JP3768330B2 (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 気体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13413997A JP3768330B2 (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 気体レーザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10326923A JPH10326923A (ja) | 1998-12-08 |
JP3768330B2 true JP3768330B2 (ja) | 2006-04-19 |
Family
ID=15121392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13413997A Expired - Fee Related JP3768330B2 (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 気体レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3768330B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5162949B2 (ja) * | 2007-04-20 | 2013-03-13 | 新日鐵住金株式会社 | 誘導加熱炉 |
-
1997
- 1997-05-23 JP JP13413997A patent/JP3768330B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10326923A (ja) | 1998-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20050189278A1 (en) | Apparatus for decomposing organic matter with radical treatment method using electric discharge | |
JP3899597B2 (ja) | 大気圧プラズマ生成方法および装置並びに表面処理方法 | |
KR100737447B1 (ko) | 살균방법, 살균장치, 이온발생장치 및 이들을 이용한 전기기기 및 공기정화장치 | |
JP2008530416A (ja) | エジェクタポンプ | |
JP3768330B2 (ja) | 気体レーザ装置 | |
TWI281513B (en) | Plasma cleansing apparatus that eliminates organic and oxidative contaminant and may effectively dissipate heat and eliminate exhaust gas and integrated system for the same | |
JP2007029896A (ja) | プラズマリアクタ、ガス処理装置 | |
JPH07256056A (ja) | 廃棄物質の処理方法 | |
JP5360338B1 (ja) | ガスレーザ発振装置およびレーザガス置換方法 | |
KR20110012124A (ko) | 연료전지스택용 환기장치 | |
JP2022551036A (ja) | コロナ放電区域内で成分どうしをオゾンなしで分離するための方法及び装置 | |
JP2001009013A (ja) | オゾン発生方法及びオゾン殺菌装置 | |
JP3911625B2 (ja) | レーザー光照射による環境汚染ガスの処理方法 | |
JP2005270849A (ja) | プラズマ処理装置および方法 | |
JPS60153127A (ja) | プラズマエツチング装置 | |
JPH0492353A (ja) | 高真空装置及び該高真空装置を用いた真空ポンプ装置 | |
JP3962949B2 (ja) | 電子ビーム照射窓冷却機構 | |
JPH09286604A (ja) | 放電処理装置 | |
JP4385131B2 (ja) | ガス反応装置 | |
JP2587522B2 (ja) | 極高真空環境の発生方法 | |
KR200206520Y1 (ko) | 오존발생을 억제한 전자선가속기의 티탄늄(ti)박판냉각장치 | |
JP3651435B2 (ja) | イオン源 | |
JPH10242547A (ja) | ガスレーザ装置 | |
JPS62124285A (ja) | 真空装置用清浄装置 | |
JPH02207580A (ja) | 炭酸ガスレーザ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040416 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100210 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |