JPS60254680A - レ−ザ発振器 - Google Patents

レ−ザ発振器

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Publication number
JPS60254680A
JPS60254680A JP10936784A JP10936784A JPS60254680A JP S60254680 A JPS60254680 A JP S60254680A JP 10936784 A JP10936784 A JP 10936784A JP 10936784 A JP10936784 A JP 10936784A JP S60254680 A JPS60254680 A JP S60254680A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrodes
laser
laser gas
oscillator
partition plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10936784A
Other languages
English (en)
Inventor
Akiyoshi Nawa
名和 章好
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP10936784A priority Critical patent/JPS60254680A/ja
Publication of JPS60254680A publication Critical patent/JPS60254680A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明はレーザガスによりレーザ光を出力するレーザ
発振器、特にそのレーザガスの流れの均一化に関するも
のでおる。
〔従来技術〕
第6図は従来のレーザ発振器の斜視図、第4図はこの従
来のレーザ発振器の断面図である。図において(2)は
レーザ光、(4)はこのレーザ光(2)を発振する発振
手段、(6)は発振手段(4)を介してレーザガスを矢
印aの方向に循環させるブロア、(8)は循環している
レーザガスを途中で冷却する熱交換器である。
発振手段(4)は上下に対向する一対の横長の電極(7
)、(2)を有し、電極(転)、(6)は上下に対向す
る一対の横長の偏平柱状のブロックへ→、0りに側面の
一部を残して埋め込まれている。発振手段(4)の両端
にはレーザ(2)を反覆反射して増幅するための一対の
反射手段に)、−が設けられている。
発振手段(4)と熱交換器(8)との間にはレーザガス
を導くためのダクトに)が設けられており、熱交換器(
8)は発振器筐体(ハ)に取付けられている。熱交換器
(8)の隣シにはプロワ取付台(ハ)を介してプロワ(
6)が発振器筐体−に取付けられている。
プロワ(6)の上には発振手段(4)が取シ付けられて
いる。翰、OIIは発振器筐体−の扉でろる。レーザガ
スは所定濃度のCOlを含有するガスがらなシ、矢印a
に示す経路に洛って流れる。
従来のレーザ発振器は上記のように構成され、レーザガ
スは電極OQ%(2)間で放電により励起され、その誘
導放出によシレーザ光(2)を生ずる。レーザ光(2)
は励起されたレーザガス中を反射手段(10、(ホ)に
よって反覆通過しながら増幅され、矢印すの方向に出力
される。
レーザガスは電極α1、(ロ)間で放電によって励起さ
れるとともに温度が上昇する。レーザガスは温度が上昇
するとレーザガス中のCotが解離してCO!濃度が低
下し、レーザ光(2)の出力が低下する。
このため、レーザガス中循環中に熱交換器(8)で冷却
され、レーザ光(2)の出力が低下しないようになって
いる。
しかるに、レーザガスの流速は電極α1.(ロ)の両端
翫傍の方が中央部に比べて遅く、このため電極(転)、
(ロ)の両端部近傍において、放電が乱れ、発振効率が
悪くなシ、また異常放電を生じ易く、−極α1、(ロ)
の寿命が短くなるという欠点がめった。
〔発明の概要〕
この発明は、かかる欠点を改善する目的でなされたもの
で、電極のレーザガス入口側に複数枚の仕切板を設ける
ことにより、レーザガスの流速を電極の長手方向全部に
亘って均一化し、放電が安定するレーザ発振器を提案す
るものでろる。
〔発明の実施例〕
第1図はこの発明の一実施例を示す断面図、第2図はこ
の発明の一実施例を示す一部省略正面図であり、(2)
〜(ハ)は上記従来の発振器と全く同一のものでおる。
(イ)は複数の仕切板でラシ、仕切板■は電極(至)、
(6)のレーザガス入口側に電極(Ill、(6)と直
角に所定間隔で取付けられている。
上記のように構成されたレーザ発振器において、レーザ
ガスは、複数の仕切板(イ)に案内されて、電極(至)
、(6)の長手方向でその流速が均一化される。
〔発明の効果〕
この発明は以上説明したとおシ、電極のレーザガス入口
側に複数枚の仕切板を電極と直角に所定間隔で取付ける
という簡単な構造にょシ、放電を安定化させ、発振効率
を良くするという効果がある。また、異常放電を防止し
て、電極の寿命を大幅に長くするという効果がろる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す断面図、第2図はこ
の発明の一実施例を示す一部省略正面図、第6図は従来
のレーザ発振器の斜視図、第4図は従来のレーザ発振器
の断面図でるる。 図において(6)はブロワ、C1O,(6)は電極、■
は仕切板である。 なお各図中同一符号は同一または相当部分を示すものと
する。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第4図 第1図 24 10

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)レーザガスを放電によって励起し、その誘導放出
    によってレーザ光を出力するレーザ発振器におりて、該
    発振器は対向する一対の電極と、該電極間を介してレー
    ザガスを循環させるプロワを有し、該電極のレーザガス
    入口側には複数枚の仕切板が該電極の長手方向に亘って
    所定間隔で平行に設けられていることを特徴とするレー
    ザ発振器。
  2. (2)上記仕切板が無機質の絶縁材からなる仕切板であ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載のレー
    ザ発振器。
JP10936784A 1984-05-31 1984-05-31 レ−ザ発振器 Pending JPS60254680A (ja)

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JP10936784A JPS60254680A (ja) 1984-05-31 1984-05-31 レ−ザ発振器

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JP10936784A JPS60254680A (ja) 1984-05-31 1984-05-31 レ−ザ発振器

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JPS60254680A true JPS60254680A (ja) 1985-12-16

Family

ID=14508437

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10936784A Pending JPS60254680A (ja) 1984-05-31 1984-05-31 レ−ザ発振器

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JP (1) JPS60254680A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE112009004787T5 (de) 2009-05-19 2012-08-23 Mitsubishi Electric Corporation Gaslaseroszillator
CN105745796A (zh) * 2013-12-17 2016-07-06 三菱电机株式会社 正交激励型气体激光振荡装置
JP5980414B2 (ja) * 2013-03-26 2016-08-31 三菱電機株式会社 ガスレーザ装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE112009004787T5 (de) 2009-05-19 2012-08-23 Mitsubishi Electric Corporation Gaslaseroszillator
US8416827B2 (en) 2009-05-19 2013-04-09 Mitsubishi Electric Corporation Gas laser oscillator
JP5980414B2 (ja) * 2013-03-26 2016-08-31 三菱電機株式会社 ガスレーザ装置
US9502850B2 (en) 2013-03-26 2016-11-22 Mitsubishi Electric Corporation Gas laser device
DE112014001693B4 (de) 2013-03-26 2021-09-02 Mitsubishi Electric Corporation Gaslaservorrichtung
CN105745796A (zh) * 2013-12-17 2016-07-06 三菱电机株式会社 正交激励型气体激光振荡装置
US9634456B2 (en) 2013-12-17 2017-04-25 Mitsubishi Electric Cororation Gas laser oscillation apparatus of orthogonal excitation type

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