JPH05223998A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH05223998A JPH05223998A JP2487692A JP2487692A JPH05223998A JP H05223998 A JPH05223998 A JP H05223998A JP 2487692 A JP2487692 A JP 2487692A JP 2487692 A JP2487692 A JP 2487692A JP H05223998 A JPH05223998 A JP H05223998A
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- Japan
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- electron beam
- cathode
- anode
- foil
- opening
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 電子線照射装置における電子ビーム利用効率
を向上する。 【構成】 アノードのスリットを規則的に形成する橋架
部の断面を三角形や台形として、電子衝突面に重元素を
コーティングし、しかも被照射物の走行方向に沿ってス
リット換言すれば橋架部を傾斜させたものである。
を向上する。 【構成】 アノードのスリットを規則的に形成する橋架
部の断面を三角形や台形として、電子衝突面に重元素を
コーティングし、しかも被照射物の走行方向に沿ってス
リット換言すれば橋架部を傾斜させたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルムの殺菌等に用
いられる電子線照射装置に関する。
いられる電子線照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】長尺電子線照射装置の従来例を、図４
（ａ）（ｂ）、図５（ａ）（ｂ）にて示す。図示の如
く、長尺棒状のカソード１に対して銅製の板状を有し図
５（ａ）に示すようにスリット状の開口部を規則的に有
するアノード２が配置され、このアノード２のカソード
１と反対側に箔３が被覆されている。そして、カソード
１から出た電子が加速され電子ビーム４としてアノード
２間の開口部及び箔３を通りフィルム等の被照射物５に
照射されるようになっている。このカソード１及びアノ
ード２は箔３と円筒体６との中に収納される構造で、こ
れらは電子銃を構成する。また、カソード１のまわりに
は、反射板７が備えられている。
（ａ）（ｂ）、図５（ａ）（ｂ）にて示す。図示の如
く、長尺棒状のカソード１に対して銅製の板状を有し図
５（ａ）に示すようにスリット状の開口部を規則的に有
するアノード２が配置され、このアノード２のカソード
１と反対側に箔３が被覆されている。そして、カソード
１から出た電子が加速され電子ビーム４としてアノード
２間の開口部及び箔３を通りフィルム等の被照射物５に
照射されるようになっている。このカソード１及びアノ
ード２は箔３と円筒体６との中に収納される構造で、こ
れらは電子銃を構成する。また、カソード１のまわりに
は、反射板７が備えられている。
【０００３】カソード１にはフィラメント加熱用電源８
が電気的に接続されると共に、カソード１とアノード２
との間で加速電源９が接続されている。また、１０は真
空ポンプ、１１は真空シール用Ｏリング、１２は冷却水
穴、１４はカソード１の絶縁碍子である。
が電気的に接続されると共に、カソード１とアノード２
との間で加速電源９が接続されている。また、１０は真
空ポンプ、１１は真空シール用Ｏリング、１２は冷却水
穴、１４はカソード１の絶縁碍子である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の如き従来の電子
線照射装置の性能は、アノード２の開口部や箔１の窓を
通して大気中にいかに多量の電子ビームを取り出せるか
によって決まる。このため、箔３の素材としては減衰が
小さく透過性の良いＢｅ，Ａｌ，Ｔｉ等の軽元素が用い
られる。また、アノード２については、図５（ｂ）に示
すようにアノード２の開口部を作る橋架部が陰となって
被照射物５には帯状に非照射面が生じるため、開口比を
いかに高くするかにより効率が決定され、強度や冷却能
力の観点から構造が決められている。現状では２０〜８
０％の効率の範囲が生じ、長尺化する程スリットが多く
効率が低くなるという問題を生じる。
線照射装置の性能は、アノード２の開口部や箔１の窓を
通して大気中にいかに多量の電子ビームを取り出せるか
によって決まる。このため、箔３の素材としては減衰が
小さく透過性の良いＢｅ，Ａｌ，Ｔｉ等の軽元素が用い
られる。また、アノード２については、図５（ｂ）に示
すようにアノード２の開口部を作る橋架部が陰となって
被照射物５には帯状に非照射面が生じるため、開口比を
いかに高くするかにより効率が決定され、強度や冷却能
力の観点から構造が決められている。現状では２０〜８
０％の効率の範囲が生じ、長尺化する程スリットが多く
効率が低くなるという問題を生じる。
【０００５】本発明は、電子利用効率を向上させるべく
新規な構造の電子線照射装置の提供を目的とする。
新規な構造の電子線照射装置の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成する本
発明は、 カソードからの帯状長尺電子ビームを、開口部を規則
的に有するアノードを介しついで箔を介して外部に取り
出す電子線照射装置において、上記開口部を形成するア
ノードの橋架部の断面形状を箔側を底辺としカソード側
を頂点とする三角形や台形に形成し、しかも上記橋架部
の電子ビームが衝突する部分には電子ビーム反射率が高
く融点の高い重元素をコーティングした、ことを特徴と
する。 カソードからの帯状長尺電子ビームを、開口部を規則
的に有するアノードを介しついで箔を介して外部に取り
出し、上記アノード及び箔の下方に被照射物を走行させ
る電子線照射装置において、上記アノードに形成された
開口部を上記被照射物の走行方向に対して角度αに傾斜
して形成したことを特徴とする電子線照射装置。ここ
で、α≧ｔａｎ-1Ｗ／Ｌ（Ｗは開口部幅、Ｌは開口部長
さ）である。
発明は、 カソードからの帯状長尺電子ビームを、開口部を規則
的に有するアノードを介しついで箔を介して外部に取り
出す電子線照射装置において、上記開口部を形成するア
ノードの橋架部の断面形状を箔側を底辺としカソード側
を頂点とする三角形や台形に形成し、しかも上記橋架部
の電子ビームが衝突する部分には電子ビーム反射率が高
く融点の高い重元素をコーティングした、ことを特徴と
する。 カソードからの帯状長尺電子ビームを、開口部を規則
的に有するアノードを介しついで箔を介して外部に取り
出し、上記アノード及び箔の下方に被照射物を走行させ
る電子線照射装置において、上記アノードに形成された
開口部を上記被照射物の走行方向に対して角度αに傾斜
して形成したことを特徴とする電子線照射装置。ここ
で、α≧ｔａｎ-1Ｗ／Ｌ（Ｗは開口部幅、Ｌは開口部長
さ）である。
【０００７】
【作用】アノードの開口部を形成する橋架部に電子が衝
突しても、その電子はカソード側へ反射されず、開口部
を箔に向って窓側に反射することになり、電子ビームの
利用効率が向上する。また、橋架部に重元素をコーティ
ングすることで電子の吸収が行なわれにくく反射されや
すくなって電子ビームの利用効率は更に向上する。ま
た、橋架部は被照射物の走行方向に角度αだけ傾斜する
ことになり、このため、橋架部により必ず陰となる部分
が無くなり電子ビームの均一な照射が得られる。
突しても、その電子はカソード側へ反射されず、開口部
を箔に向って窓側に反射することになり、電子ビームの
利用効率が向上する。また、橋架部に重元素をコーティ
ングすることで電子の吸収が行なわれにくく反射されや
すくなって電子ビームの利用効率は更に向上する。ま
た、橋架部は被照射物の走行方向に角度αだけ傾斜する
ことになり、このため、橋架部により必ず陰となる部分
が無くなり電子ビームの均一な照射が得られる。
【０００８】
【実施例】ここで、図１ないし図３を参照して本発明の
実施例を説明する。なお、図４と同一部分には同符号を
付し説明を省略する。図１〜図３において、カソード１
に対向する板状の銅製アノード２には、スリット状開口
部を形成するため橋架部１３ａが規則的に配列形成され
ている。この橋架部１３ａは断面三角形を有する。すな
わち、箔３側に底辺が位置しカソード１側に頂点が位置
するような三角形断面を有しており、しかも底辺を除く
他の二辺であるカソード１からの電子ビーム４にさらさ
れる二辺には表面にＴａ，Ｗ，Ｒｅ，Ｐｔ，Ａｕ等の重
元素１３ｂがコーティングされている。この重元素は、
電子ビームの反射率が高く（例えばＴａ，Ｗでは４０％
である）かつ融点の高い元素を選んでいる。
実施例を説明する。なお、図４と同一部分には同符号を
付し説明を省略する。図１〜図３において、カソード１
に対向する板状の銅製アノード２には、スリット状開口
部を形成するため橋架部１３ａが規則的に配列形成され
ている。この橋架部１３ａは断面三角形を有する。すな
わち、箔３側に底辺が位置しカソード１側に頂点が位置
するような三角形断面を有しており、しかも底辺を除く
他の二辺であるカソード１からの電子ビーム４にさらさ
れる二辺には表面にＴａ，Ｗ，Ｒｅ，Ｐｔ，Ａｕ等の重
元素１３ｂがコーティングされている。この重元素は、
電子ビームの反射率が高く（例えばＴａ，Ｗでは４０％
である）かつ融点の高い元素を選んでいる。
【０００９】この三角形断面の橋架部１３ａでは、カソ
ード１から放射された電子ビーム４がカソード１側へ反
射されることなく開口部箔側（窓側）へ反射されること
になり、箔３を通る電子ビーム４の量が格段に多くな
る。
ード１から放射された電子ビーム４がカソード１側へ反
射されることなく開口部箔側（窓側）へ反射されること
になり、箔３を通る電子ビーム４の量が格段に多くな
る。
【００１０】また、橋架部１３ａは、図２に示すように
被照射物５の走行方向に沿ってある角度傾斜される構造
となっている。本実施例では、アノード１が被照射物５
の走行方向を直角に横切るよう置かれているので、橋架
部１３ａはアノード２内にあって傾斜した向きに形成さ
れることになる。この傾斜は、角度α（図２（ｂ））で
あり、α≧ｔａｎ-1Ｗ／Ｌなる関係を持つように形成さ
れる。ここで、Ｗは橋架部１３ａにて挟まれた開口部の
窓の幅であり、Ｌはこの窓の高さである。かかる条件に
て決められたαは、被照射物５に図５（ｂ）に示すよう
な非照射部を生じないようにするためのもので、開口部
（スリット）の長さと幅に係わる。一例としてはスリッ
ト長さＬ＝５０ｍｍの場合、スリット幅Ｗ＝４〜５ｍｍ
とすると、α＝４．６°〜５．７°となる。なお、橋架
部１３ａが加熱されて熱膨張した場合、傾斜により図２
（ｂ）の破線で示すように一方向に曲がることになり、
スリットの変形を防止するという効果が生ずる。
被照射物５の走行方向に沿ってある角度傾斜される構造
となっている。本実施例では、アノード１が被照射物５
の走行方向を直角に横切るよう置かれているので、橋架
部１３ａはアノード２内にあって傾斜した向きに形成さ
れることになる。この傾斜は、角度α（図２（ｂ））で
あり、α≧ｔａｎ-1Ｗ／Ｌなる関係を持つように形成さ
れる。ここで、Ｗは橋架部１３ａにて挟まれた開口部の
窓の幅であり、Ｌはこの窓の高さである。かかる条件に
て決められたαは、被照射物５に図５（ｂ）に示すよう
な非照射部を生じないようにするためのもので、開口部
（スリット）の長さと幅に係わる。一例としてはスリッ
ト長さＬ＝５０ｍｍの場合、スリット幅Ｗ＝４〜５ｍｍ
とすると、α＝４．６°〜５．７°となる。なお、橋架
部１３ａが加熱されて熱膨張した場合、傾斜により図２
（ｂ）の破線で示すように一方向に曲がることになり、
スリットの変形を防止するという効果が生ずる。
【００１１】かかる図１、図２に示す構造では、カソー
ド加熱用電源８により直接通電加熱されたカソード１か
ら、加速電源９により正の高電圧を印加されたアノード
２に向って電子が引き出されると共に加速され、箔３を
通過し、大気中に取り出された、被照射物５に電子線が
照射される。ここで、アノード２に衝突した一部の電子
は重元素コーティング層で反射され方向を変えて大気中
に取り出され被照射物５に有効に照射される。
ド加熱用電源８により直接通電加熱されたカソード１か
ら、加速電源９により正の高電圧を印加されたアノード
２に向って電子が引き出されると共に加速され、箔３を
通過し、大気中に取り出された、被照射物５に電子線が
照射される。ここで、アノード２に衝突した一部の電子
は重元素コーティング層で反射され方向を変えて大気中
に取り出され被照射物５に有効に照射される。
【００１２】図３（ａ）（ｂ）（ｃ）は大出力タイプの
電子線照射装置のアノードを示したもので、橋架部１３
ａにも冷却穴を設けると共に冷却水パイプ１５を連通さ
せたものである。
電子線照射装置のアノードを示したもので、橋架部１３
ａにも冷却穴を設けると共に冷却水パイプ１５を連通さ
せたものである。
【００１３】上述の実施例では橋架部１３ａとして三角
形断面のものを説明したが、電子を反射させて窓側へ導
く機能があればよいので、三角形が始ましいが、例えば
台形断面としても良い。
形断面のものを説明したが、電子を反射させて窓側へ導
く機能があればよいので、三角形が始ましいが、例えば
台形断面としても良い。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、 電子ビームが通過するスリットを形成する橋架部の断
面形状が三角形でかつ表面に重元素をコーティングする
ため、従来アノードに衝突吸収されていた電子ビームが
反射されやすくなり、カソードから発生した電子ビーム
の利用効率が向上し、装置の小形化、ランニングコスト
の低減が図れる。 スリットの角度を被照射物の走行方向に対してある角
度を持たせることにより、非照射部がなくなって被照射
物の幅方向に均一に照射することが可能となり、殺菌等
が均一に行なわれ、品質が向上する。 アノードに吸収される電子ビームは減少しひいては加
熱されにくくなるため、アノードの冷却能力を低減させ
ることが可能となると共に、大電流化による性能向上が
はかれる。
面形状が三角形でかつ表面に重元素をコーティングする
ため、従来アノードに衝突吸収されていた電子ビームが
反射されやすくなり、カソードから発生した電子ビーム
の利用効率が向上し、装置の小形化、ランニングコスト
の低減が図れる。 スリットの角度を被照射物の走行方向に対してある角
度を持たせることにより、非照射部がなくなって被照射
物の幅方向に均一に照射することが可能となり、殺菌等
が均一に行なわれ、品質が向上する。 アノードに吸収される電子ビームは減少しひいては加
熱されにくくなるため、アノードの冷却能力を低減させ
ることが可能となると共に、大電流化による性能向上が
はかれる。
【図１】本発明の一実施例の構成図。
【図２】アノードと被照射物との関係を示す説明図。
【図３】大出力タイプのアノードの構成図。
【図４】従来例の構成図。
【図５】アノードの構成と被照射物の照射状態を示す
図。
図。
１ カソード ２ アノード ３ 箔 ４ 電子ビーム ５ 被照射物 ６ 電子銃 ７ 反射板 ８ フィラメント加熱用電源 ９ 加速電源 １０ 真空ポンプ １１ 真空シール用Ｏリング １２ 冷却水穴 １３ 重元素 １４ 絶縁碍子 １５ 冷却水パイプ
Claims (2)
- 【請求項１】 カソードからの帯状長尺電子ビームを、
開口部を規則的に有するアノードを介しついで箔を介し
て外部に取り出す電子線照射装置において、 上記開口部を形成するアノードの橋架部の断面形状を箔
側を底辺としカソード側を頂点とする三角形や台形に形
成し、 しかも上記橋架部の電子ビームが衝突する部分には電子
ビーム反射率が高く融点の高い重元素をコーティングし
た、ことを特徴とする電子線照射装置。 - 【請求項２】 カソードからの帯状長尺電子ビームを、
開口部を規則的に有するアノードを介しついで箔を介し
て外部に取り出し、上記アノード及び箔の下方に被照射
物を走行させる電子線照射装置において、 上記アノードに形成された開口部を上記被照射物の走行
方向に対して角度αに傾斜して形成したことを特徴とす
る電子線照射装置。ここで、α≧ｔａｎ-1Ｗ／Ｌ（Ｗは
開口部幅、Ｌは開口部長さ）である。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2487692A JPH05223998A (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2487692A JPH05223998A (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223998A true JPH05223998A (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=12150407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2487692A Pending JPH05223998A (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05223998A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012204736A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Ushio Inc | 光処理装置 |
| CN107533940A (zh) * | 2014-12-19 | 2018-01-02 | 能量科学有限公司 | 横截面不同的电子束窗口瓦片 |
-
1992
- 1992-02-12 JP JP2487692A patent/JPH05223998A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012204736A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-22 | Ushio Inc | 光処理装置 |
| CN107533940A (zh) * | 2014-12-19 | 2018-01-02 | 能量科学有限公司 | 横截面不同的电子束窗口瓦片 |
| JP2018506024A (ja) * | 2014-12-19 | 2018-03-01 | エナジー サイエンシーズ，インコーポレイティド | 非一様断面を有する電子ビームウィンドウタイル |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19991207 |