JPH02103972A - パルスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH02103972A JPH02103972A JP25578388A JP25578388A JPH02103972A JP H02103972 A JPH02103972 A JP H02103972A JP 25578388 A JP25578388 A JP 25578388A JP 25578388 A JP25578388 A JP 25578388A JP H02103972 A JPH02103972 A JP H02103972A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peaking
- capacitor
- discharge resistance
- peaking capacitor
- main
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000011900 installation process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の目的）
（産業上の利用分野）
本発明は、パルスレーザ発振装置に関するものであり、
待にピーキングコンデンサ取り付は方法に改良を施した
パルスレーザ発振装置に係る。
待にピーキングコンデンサ取り付は方法に改良を施した
パルスレーザ発振装置に係る。
（従来の技術）
近年、ＣＯ２レーザなどの各種パルスレーザ発振装置に
おける技術の茗しい進歩にともない、これらの各種パル
スレーザ発振装置の一層の小型化、高性能化が要求され
ている。
おける技術の茗しい進歩にともない、これらの各種パル
スレーザ発振装置の一層の小型化、高性能化が要求され
ている。
この様なパルスレーザ発振装置としては、例えば、第２
図に示すような考案が存在している。
図に示すような考案が存在している。
第２図において、レーデ媒質中に配置された主電極１に
対向する位置に他方の主電極２が配設され、前記主電極
１の長手方向両側に、複数個の予備電離電極３ａがピー
キングコンデンサ４ａを介して適当な間隔をおいて配設
され、また、前記主電極２の長手方向両側に複数個の予
備電離電極３ｂが、ピーキングコンデンサ４ｂを介して
前記予備電離電極３ａと対向する位置に配設されている
。
対向する位置に他方の主電極２が配設され、前記主電極
１の長手方向両側に、複数個の予備電離電極３ａがピー
キングコンデンサ４ａを介して適当な間隔をおいて配設
され、また、前記主電極２の長手方向両側に複数個の予
備電離電極３ｂが、ピーキングコンデンサ４ｂを介して
前記予備電離電極３ａと対向する位置に配設されている
。
また、対向して配設された２つの主電極１，２は、パル
ス電源５に接続されている。
ス電源５に接続されている。
更に、対向する２つの主電極１，２の長手方向両端部に
は光共振器６が配設され、レーザ光７が出力される。
は光共振器６が配設され、レーザ光７が出力される。
ところで、パルスレーザ発振装置において効率よく放電
入力するためには、主放電回路においてマツチングが取
れていることが望ましい。
入力するためには、主放電回路においてマツチングが取
れていることが望ましい。
即ち、主放電回路のナージインピーダンス２（＝＝４ｒ
Ｌ／Ｃρ ：Ｌ：へラドインダクタンス、Ｃρ：ピーキ
ングコンデンサのキャパシタンス）が放電抵抗と等しい
ときに最大効率が得られる。
Ｌ／Ｃρ ：Ｌ：へラドインダクタンス、Ｃρ：ピーキ
ングコンデンサのキャパシタンス）が放電抵抗と等しい
ときに最大効率が得られる。
しかし、レーザガスの種類、混合比、圧力などを変化ざ
けると放電抵抗も変化する。一方、サージインピーダン
スは回路の寸法によって決まってしまうため変化しない
。そのため、主放電回路のマツチングが取れなくなり効
率が低下していた。
けると放電抵抗も変化する。一方、サージインピーダン
スは回路の寸法によって決まってしまうため変化しない
。そのため、主放電回路のマツチングが取れなくなり効
率が低下していた。
（発明が解決しようとする課題）
このように、従来のパルスレーザ発振装置においては、
レーザガスの種類、混合比、圧力などが変化すると主放
電回路のマツチングが取れなくなるため効率が低下して
いた。
レーザガスの種類、混合比、圧力などが変化すると主放
電回路のマツチングが取れなくなるため効率が低下して
いた。
本発明は上記問題点を除去するためになされたもので、
効率よく放電入力できる。パルスレーザ光ｊ辰装置を得
ることを目的とする。
効率よく放電入力できる。パルスレーザ光ｊ辰装置を得
ることを目的とする。
（発明の構成）
（課題を解決するだめの手段）
本発明によるパルスレーザ発振装置は、ピーキングコン
デンサを主電極に固定するための穴を長穴にしである。
デンサを主電極に固定するための穴を長穴にしである。
（作 用）
このような構成を有する本発明においては、ピーキング
コンデンサを固定するための穴を長穴にしであるために
、レーザガスの条件の変化に応じてピーキングコンデン
サを移動させ常にマツチングの取れた放電回路を構成す
ることができる。
コンデンサを固定するための穴を長穴にしであるために
、レーザガスの条件の変化に応じてピーキングコンデン
サを移動させ常にマツチングの取れた放電回路を構成す
ることができる。
（実施例）
本発明によるパルスレーザ発振装置の実施例を以下に説
明する。なお、第２図に示した従来技術と同一部分には
同一符号を付し、説明を省略する。
明する。なお、第２図に示した従来技術と同一部分には
同一符号を付し、説明を省略する。
第１図に、本発明の実施例を示す。第１図に示したよう
に、ピーキングコンデンサ固定用穴８か長穴となってい
るために、放電抵抗が大ぎいカスの場合には、ピーキン
グコンデンサを主電極から遠ざけてヘッドインダクタン
スを大ぎくし、放電抵抗が小ざいガスの場合には、ピー
キングコンデンサを主放電回路に近ずけて取り付けるこ
とによってヘッドインダクタンスを小ざくすることがで
きる。
に、ピーキングコンデンサ固定用穴８か長穴となってい
るために、放電抵抗が大ぎいカスの場合には、ピーキン
グコンデンサを主電極から遠ざけてヘッドインダクタン
スを大ぎくし、放電抵抗が小ざいガスの場合には、ピー
キングコンデンサを主放電回路に近ずけて取り付けるこ
とによってヘッドインダクタンスを小ざくすることがで
きる。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明においては、ピーキングコ
ンデンサ取り付けの穴を長穴とすることにより、レーザ
ガスの放電抵抗に応じて取り付は位置を調整しヘッドイ
ンダクタンスを変化させることができるため効率のよい
パルスレーデ発振装置を提供できる。
ンデンサ取り付けの穴を長穴とすることにより、レーザ
ガスの放電抵抗に応じて取り付は位置を調整しヘッドイ
ンダクタンスを変化させることができるため効率のよい
パルスレーデ発振装置を提供できる。
第１図は、本発明によるパルスレー１１発（膜装置の実
施例を示す斜視図、第２図は、従来のパルスレーザ発振
装置を示す斜視図でおる。 １・２・・・主電極、 ３ａ・３ｂ・・・予備電離電極
、４ａ・４ｂ・・・ピーキングコンデンサ、５ａ・５ｂ
・・・パルス電源、 ６・・・光共振器、 ７・・・レーザ光、８・・・ピ
ーキングコンデンサ固定用穴。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 叶 第 図
施例を示す斜視図、第２図は、従来のパルスレーザ発振
装置を示す斜視図でおる。 １・２・・・主電極、 ３ａ・３ｂ・・・予備電離電極
、４ａ・４ｂ・・・ピーキングコンデンサ、５ａ・５ｂ
・・・パルス電源、 ６・・・光共振器、 ７・・・レーザ光、８・・・ピ
ーキングコンデンサ固定用穴。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 叶 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 対向配置された主電極の側方に予備電離電極および主
放電に電力を注入するためのピーキングコンデンサを備
え、かつ前記主電極の表面に沿つてレーザガスを強制循
環させるパルスレーザ発振装置において、 前記ピーキングコンデンサを固定するための穴が長穴に
なつていることを特徴とするパルスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25578388A JPH02103972A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | パルスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25578388A JPH02103972A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | パルスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02103972A true JPH02103972A (ja) | 1990-04-17 |
Family
ID=17283572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25578388A Pending JPH02103972A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | パルスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02103972A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1867014A2 (en) * | 2005-03-31 | 2007-12-19 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser output light beam parameter control |
| TWI710185B (zh) * | 2018-01-17 | 2020-11-11 | 美商希瑪有限責任公司 | 用於在雷射腔室中調諧放電效能之設備 |
-
1988
- 1988-10-13 JP JP25578388A patent/JPH02103972A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1867014A2 (en) * | 2005-03-31 | 2007-12-19 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser output light beam parameter control |
| EP1867014A4 (en) * | 2005-03-31 | 2011-04-06 | Cymer Inc | PARAMETERS CONTROL OF THE GAS DISCHARGE LASER OUTPUT LIGHT BEAM |
| TWI710185B (zh) * | 2018-01-17 | 2020-11-11 | 美商希瑪有限責任公司 | 用於在雷射腔室中調諧放電效能之設備 |
| US11349273B2 (en) | 2018-01-17 | 2022-05-31 | Cymer, Llc | Apparatus for tuning discharge performance in a laser chamber |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5982803A (en) | Free-space gas slab laser | |
| JPH02103972A (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
| EP0504652B1 (en) | Gas laser oscillating device | |
| WO1988000764A1 (en) | Gas laser device | |
| JP3265644B2 (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
| JP2578014Y2 (ja) | レーザ装置の誘電体板 | |
| JPH03190178A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JP2831807B2 (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JP2693004B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH0337318B2 (ja) | ||
| JPS59147477A (ja) | レ−ザ発振器 | |
| JPH03159181A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH0256982A (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
| JPH0263176A (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
| JPH02150083A (ja) | 放電励起レーザ装置 | |
| JPH0428273A (ja) | エキシマレーザ発振器 | |
| JPS63228682A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JPH01194481A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH0484474A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH02281671A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH0636448B2 (ja) | 放電励起レ−ザ装置 | |
| JPS6190484A (ja) | パルスレ−ザ発振器 | |
| JPS6317578A (ja) | 放電型レ−ザ装置の主放電電極 | |
| JPH04139777A (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JPH01260874A (ja) | 圧電モジュール付き固体レーザ発振器 |