JPH01260874A - 圧電モジュール付き固体レーザ発振器 - Google Patents
圧電モジュール付き固体レーザ発振器Info
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- JPH01260874A JPH01260874A JP8954388A JP8954388A JPH01260874A JP H01260874 A JPH01260874 A JP H01260874A JP 8954388 A JP8954388 A JP 8954388A JP 8954388 A JP8954388 A JP 8954388A JP H01260874 A JPH01260874 A JP H01260874A
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- JP
- Japan
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- laser
- piezoelectric
- piezoelectric module
- laser oscillator
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- Pending
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- 239000007787 solid Substances 0.000 title abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/105—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、レーザ加工や光計測等への使用に好適な圧電
モジュール付き固体レーザ発振器に関する。
モジュール付き固体レーザ発振器に関する。
［従来の技術］
従来、固体レーザ発振器において、そのレーザ出力ビー
ムの平行性確保への補償は、レーザロッド両端面を凹面
に加工して熱レンズ効果（つまり、エネルギー印加によ
って、レーザロッドが凸レンズになるという効果）を利
用するという構成により達成しようとするものである。
ムの平行性確保への補償は、レーザロッド両端面を凹面
に加工して熱レンズ効果（つまり、エネルギー印加によ
って、レーザロッドが凸レンズになるという効果）を利
用するという構成により達成しようとするものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記従来の構成では、レーザ入力が増加
しである程度熱レンズ効果が生じない場合は凹レンズの
ままであって、この場合レーザ出力ビームの平行性確保
の補償をできないという欠点が会った。
しである程度熱レンズ効果が生じない場合は凹レンズの
ままであって、この場合レーザ出力ビームの平行性確保
の補償をできないという欠点が会った。
本発明は、かかる上記従来の問題に着目し。
継続してレーザ出力ビームの平行性を確保できる装置を
提供することを目的としている。
提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために２本発明に係わる圧電モジュ
ール付き固体レーザ発振器は、第１図と第２図とにおい
て、電極面４ａと電極面４Ｃとに挟着されてなる圧電材
料４ｂがレーザ口・ンド２の両端外周において略円錐筒
状に配されてなる圧電モジュール４を具備し、レーザ出
力ビームの平行性を補償する構成とした。
ール付き固体レーザ発振器は、第１図と第２図とにおい
て、電極面４ａと電極面４Ｃとに挟着されてなる圧電材
料４ｂがレーザ口・ンド２の両端外周において略円錐筒
状に配されてなる圧電モジュール４を具備し、レーザ出
力ビームの平行性を補償する構成とした。
［作用］
上記構成によれば、圧電モジュールによって、焦点距離
が可変の凹レンズ作用を生じさせ得るため、熱レンズ効
果を連続的、かつ、継続的に補償し続け、その結果レー
ザ出力ビームの平行性を確保することができる。 更に
この圧電モジュールの印加エネルギを外部から供給すれ
ば、低レーザ出力から高レーザ出力までの総てのレーザ
出力領域において、レーザ出力ビームの平行性をも確保
することができる。
が可変の凹レンズ作用を生じさせ得るため、熱レンズ効
果を連続的、かつ、継続的に補償し続け、その結果レー
ザ出力ビームの平行性を確保することができる。 更に
この圧電モジュールの印加エネルギを外部から供給すれ
ば、低レーザ出力から高レーザ出力までの総てのレーザ
出力領域において、レーザ出力ビームの平行性をも確保
することができる。
［実施例］
以下本発明に係わる圧電モジュール付き固体レーザ発振
器の実施例を図面を参照して以下説明する。 第１図は
本発明に係わる圧電モジュユール付き固体レーザ発振器
の全体を示す一実施例図、第２図は第１図の実施例にお
ける圧電モジールの拡大図、第３図は第１図の実施例に
おける０作用を説明する図である。 全体構成はレーザ
ロッド２と、このレーザロッド２を挟んで対向し設置さ
れたりャミラ−１及びフロントミラー３とから成る固体
レーザ発振器並びに圧電モジュール４と、この圧電モジ
ュール４にエネルギーを供給するための高周波電源５と
からなる制御部とからなっている（第１図）。 そして
前記圧電モジュール４について、更に詳記すると、レー
ザロッド２の両端に、インピーダンスマツチング材６を
介して、電極面４ａと電極面４ｃとに挟着されてなる圧
電材料４ｂ（ＰＺＴ、ＰＴ等）が、つまり積層構造とな
って。
器の実施例を図面を参照して以下説明する。 第１図は
本発明に係わる圧電モジュユール付き固体レーザ発振器
の全体を示す一実施例図、第２図は第１図の実施例にお
ける圧電モジールの拡大図、第３図は第１図の実施例に
おける０作用を説明する図である。 全体構成はレーザ
ロッド２と、このレーザロッド２を挟んで対向し設置さ
れたりャミラ−１及びフロントミラー３とから成る固体
レーザ発振器並びに圧電モジュール４と、この圧電モジ
ュール４にエネルギーを供給するための高周波電源５と
からなる制御部とからなっている（第１図）。 そして
前記圧電モジュール４について、更に詳記すると、レー
ザロッド２の両端に、インピーダンスマツチング材６を
介して、電極面４ａと電極面４ｃとに挟着されてなる圧
電材料４ｂ（ＰＺＴ、ＰＴ等）が、つまり積層構造とな
って。
上記レーザロッド２の両端外周において略円錐筒状に配
されたものである（第２図）。 かかる構成の圧電モジ
ュール付き固体レーザ発振器の作用を第３図に基づき次
に説明する。 （ａ）に図示するように、熱レンズが
未だ小さいときには、端面の曲率Ｒによりビームは広が
ってしまっている。 そこで（ｂ）に図示するように、
圧電モジュールの入力パワーを大きくすると、レーザ出
力ビームは平行となる。 逆に。
されたものである（第２図）。 かかる構成の圧電モジ
ュール付き固体レーザ発振器の作用を第３図に基づき次
に説明する。 （ａ）に図示するように、熱レンズが
未だ小さいときには、端面の曲率Ｒによりビームは広が
ってしまっている。 そこで（ｂ）に図示するように、
圧電モジュールの入力パワーを大きくすると、レーザ出
力ビームは平行となる。 逆に。
（Ｃ）に図示するように、熱レンズが大きいときには、
ビームは集光してしまう。 そこで（ｄ）に図示するよ
うに、圧電モジュールの入力パワーを小さくすると、レ
ーザ出力ビームは平行となる。 このような作用を連続
的、かつ。
ビームは集光してしまう。 そこで（ｄ）に図示するよ
うに、圧電モジュールの入力パワーを小さくすると、レ
ーザ出力ビームは平行となる。 このような作用を連続
的、かつ。
継続的に行うことにより、熱レンズ効果もまた連続的、
かつ、継続的に補償することができる。
かつ、継続的に補償することができる。
［発明の効果］
以上説明したように、従来の固体レーザ発振器において
、レーザ人力が増加し、ある程度熱レンズ効果が生じな
いとレーザ出力ビームの平行性を確保できないという問
題も２本発明によれば、熱レンズ効果の大小に合わせて
圧電モジュールへの入力エネルギーを制御するため、熱
レンズ効果を連続的、かつ、！！続的に補償できる。
そしてその結果、レーザ出力ビームの平行性を連続的、
かつ、ｔｓ続的に確保することができる。
、レーザ人力が増加し、ある程度熱レンズ効果が生じな
いとレーザ出力ビームの平行性を確保できないという問
題も２本発明によれば、熱レンズ効果の大小に合わせて
圧電モジュールへの入力エネルギーを制御するため、熱
レンズ効果を連続的、かつ、！！続的に補償できる。
そしてその結果、レーザ出力ビームの平行性を連続的、
かつ、ｔｓ続的に確保することができる。
第１図・・・本発明に係わる圧電モジジュール付き固体
レーザ発振器の全体を示す実施例回部２図・・・第１図
の実施例における圧電モジールの拡大図 第３図・・・第１図の実施例における作用を説明する図
であって、（ａ）は熱レンズが未だ小さいとき、端面の
曲率Ｒによってビームが広がっている図、（ｂ）は圧電
モジュールの人力パワーを大きくして、レーザ出力ビー
ムを平行にした図、（Ｃ）は熱レンズが大きいとき、ビ
ームが集光してしまう図、（ｄ）は圧電モジュールの入
力パワーを小さくして。 レーザ出力ビームを平行にした図である。 ｌ・・・リヤミラー ２・・・レーザロッド ３・・・フロントミラー ４・・・圧電モジュール ４ａ・・・電極面 ４ｂ・・・圧電材料 ４ｃ・・・電極面 ５・・・高周波電源 ６・・・インピーダンスマツチング材料特許出願人
株式会社小松製作所 代理人（弁理士） 岡 １）和 喜 ｖ−ｆｙノ勺−ノ）・（比へレンズ小）レーデ入カッぐ
ワーにαへレンズ大０ （Ｃ） レーザ入カッぐワール（、！しｙ、＜、）・）、ン＼、
欠ｙノεワ一ノ）＼ （ｄ） 窮３図
レーザ発振器の全体を示す実施例回部２図・・・第１図
の実施例における圧電モジールの拡大図 第３図・・・第１図の実施例における作用を説明する図
であって、（ａ）は熱レンズが未だ小さいとき、端面の
曲率Ｒによってビームが広がっている図、（ｂ）は圧電
モジュールの人力パワーを大きくして、レーザ出力ビー
ムを平行にした図、（Ｃ）は熱レンズが大きいとき、ビ
ームが集光してしまう図、（ｄ）は圧電モジュールの入
力パワーを小さくして。 レーザ出力ビームを平行にした図である。 ｌ・・・リヤミラー ２・・・レーザロッド ３・・・フロントミラー ４・・・圧電モジュール ４ａ・・・電極面 ４ｂ・・・圧電材料 ４ｃ・・・電極面 ５・・・高周波電源 ６・・・インピーダンスマツチング材料特許出願人
株式会社小松製作所 代理人（弁理士） 岡 １）和 喜 ｖ−ｆｙノ勺−ノ）・（比へレンズ小）レーデ入カッぐ
ワーにαへレンズ大０ （Ｃ） レーザ入カッぐワール（、！しｙ、＜、）・）、ン＼、
欠ｙノεワ一ノ）＼ （ｄ） 窮３図
Claims (1)
- 固体レーザ発振器において、電極面４ａと電極面４ｃと
に挟着されてなる圧電材料４ｂがレーザロッド２の両端
外周において略円錐筒状に配されてなる圧電モジュール
４を具備し、レーザ出力ビームの平行性を補償した構成
を特徴とする圧電モジュール付き固体レーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8954388A JPH01260874A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 圧電モジュール付き固体レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8954388A JPH01260874A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 圧電モジュール付き固体レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01260874A true JPH01260874A (ja) | 1989-10-18 |
Family
ID=13973732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8954388A Pending JPH01260874A (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 | 圧電モジュール付き固体レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01260874A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104577695A (zh) * | 2015-01-27 | 2015-04-29 | 山西大学 | 高功率内腔倍频单频激光器 |
-
1988
- 1988-04-12 JP JP8954388A patent/JPH01260874A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104577695A (zh) * | 2015-01-27 | 2015-04-29 | 山西大学 | 高功率内腔倍频单频激光器 |
| CN104577695B (zh) * | 2015-01-27 | 2018-04-03 | 山西大学 | 高功率内腔倍频单频激光器 |
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