JP4945343B2 - 焦点距離調整装置、レーザ加工装置、レーザ変位計及び電気光学素子 - Google Patents
焦点距離調整装置、レーザ加工装置、レーザ変位計及び電気光学素子 Download PDFInfo
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請求項6に記載の発明は、請求項1〜5のいずれか1項に記載の焦点距離調整装置において、前記誘電体材料は、加えられる電界強度に応じて屈折率が変化する電気光学材料からなることをその要旨とする。
請求項9に記載の発明は、第1及び第2電極間に誘電体材料を介在させてなり、該第1及び第2電極間に印加する電圧を変化させることにより入射された入射光の光軸に対する拡がり角度を可変可能な電気光学素子であって、前記誘電体材料は、前記入射光が通過する通過部と、前記第1及び第2電極を配置する電極部とを有し、前記電極部は、前記誘電体材料の入射側の端面に前記第1電極を設けるための第1配置面及び出射側の端面に前記第2電極を設けるための第2配置面が設けられ、該第1及び第2配置面の少なくとも一方は、前記光軸を挟んで対称位置においてその内面が前記光軸側に向く傾斜面に形成され、前記傾斜面は、前記光軸側に突出する湾曲形状に形成されたことをその要旨とする。
図1に概略構成を示す本実施形態のレーザ加工装置10は、制御回路11の制御に基づいて、搬送ラインにて搬送されるワーク(加工対象物)Wの表面に文字・記号・図形等をマーキング加工するものである。
レーザ光源12の後段に配置されたビームエキスパンダ13は、レーザ光源12から出射されたレーザ光のビーム径を一定の倍率で一旦拡大する。尚、本実施形態では、ビームエキスパンダ13からは、光軸Lに対して一定の拡がり角度で拡がるレーザ光が出射されるようになっている。
このような構成のレーザ加工装置10において、上記電気光学ユニット14及び収束レンズ17にて焦点距離調整装置が構成されている。このような焦点距離調整装置では、レーザ光の焦点をワークWの表面に合わせる収束レンズ17の屈折率は一定であるため、電気光学ユニット14による拡がり角度の可変に応じて焦点距離が変化する(図3参照)。即ち、レーザ光の焦点距離は、電気光学ユニット14から出射されるレーザ光の拡がり角度の大きさにより決定され、制御回路11はワークWの表面までの距離を測定する距離センサ18からの測定結果を受けてその距離にレーザ光の焦点距離を合わすべく電気光学ユニット14を制御する。以下に、電気光学ユニット14について詳しく説明する。
(1)電気光学材料(誘電体材料)としての電気光学部材22において、第2電極24が設けられた第2配置面としての傾斜面22dは、その内面がその光軸L側を向くように傾斜している。これにより、第1及び第2電極23,24間に電位差が与えられると、電気光学部材22を通過する電気力線が光軸L側に突出するように湾曲して示される電界が発生し、その電界の作用によりレーザ光の拡がり角度が可変される。従って、電気光学素子21に印加する電圧を制御して電気光学部材22に加えられる電界強度を変化させることで拡がり角度を調整することができ、これにより焦点距離調整の高速化を図りつつも、焦点距離調整を的確に行うことができる。
(4)第2電極24が設けられた傾斜面22dは光軸L側に突出する湾曲形状に形成されるため、レーザ光の拡がり角度を可変するための好適な電界を発生させることができる。
・上記実施形態では、電気光学ユニット14はビームエキスパンダ13の後段に設けられたが、特にこれに限定されるものではなく、レーザ光源12の後段、ガルバノミラー15の後段、又は収束レンズ17の後段に設けてもよい。また、上記実施形態では、収束レンズ17はガルバノミラー15の後段に設けられたが、レーザ光源12の後段、ビームエキスパンダ13の後段、又は電気光学ユニット14の後段に設けてもよい。
・上記実施形態では、入射面22a側の第1電極23が接地され、出射面22c側の第2電極24に電圧が印加されたが、特にこれに限定されるものではなく、例えば第1電極23に電圧を印加し、第2電極24を接地してもよく、また、第1及び第2電極23,24の両方に電圧を印加してもよい。このとき、上記実施形態では、第1電極23を低電位、第2電極24と高電位としてレーザ光の拡がり角度を小さくする(収縮する)ように作用したが、第1電極23を高電位、第2電極24と低電位としてレーザ光の拡がり角度を大きくする(発散する)ように作用させてもよい。
・上記実施形態では、電気光学部材22の凸部22bの傾斜面22dは、図3における左右方向両端まで形成されたが、図5に示すように、左右方向両端部分が入射面22aと平行となるように形成してもよい。
次に、上記実施の形態及び別例から把握できる技術的思想を以下に追記する。
Claims (12)
- 第1及び第2電極間に誘電体材料を介在させてなる電気光学素子と、該第1及び第2電極間に電圧を印加する電圧印加手段を備え、該電圧印加手段で印加する前記電圧を変化させることにより前記誘電体材料に入射された入射光の光軸に対する拡がり角度を可変して、該電気光学素子から出射されて収束される光の焦点距離を調整する焦点距離調整装置であって、
前記電気光学素子は、前記入射光が通過する通過部と、前記第1及び第2電極を配置する電極部とを有し、
前記電極部は、前記誘電体材料の入射側の端面に前記第1電極を設けるための第1配置面及び出射側の端面に前記第2電極を設けるための第2配置面が設けられ、該第1及び第2配置面の少なくとも一方は、前記光軸を挟んで対称位置においてその内面が前記光軸側に向く傾斜面に形成され、
前記傾斜面は、前記光軸側に突出する湾曲形状に形成されたことを特徴とする焦点距離調整装置。 - 請求項1に記載の焦点距離調整装置において、
前記第1及び第2電極がそれぞれ前記光軸と直交する一方向に並んで配置された一対の電極を有してなる前記電気光学素子を2つ備え、該各電気光学素子は前記一対の電極の並ぶ方向が互いに直交するように前記光軸上に並設されたことを特徴とする焦点距離調整装置。 - 請求項1に記載の焦点距離調整装置において、
前記電気光学素子は、前記第1及び第2配置面が前記光軸を中心とする360°に亘って形成されるとともに、前記第1及び第2電極が前記光軸を中心とする360°に亘って形成されたことを特徴とする焦点距離調整装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の焦点距離調整装置において、
前記誘電体材料の第1及び第2配置面のいずれか一方は、前記光軸と直交する平面をなすことを特徴とする焦点距離調整装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の焦点距離調整装置において、
前記第1及び第2電極は透明電極であり、前記電極部は前記通過部を兼ねることを特徴とする焦点距離調整装置。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の焦点距離調整装置において、
前記誘電体材料は、加えられる電界強度に応じて屈折率が変化する電気光学材料からなることを特徴とする焦点距離調整装置。 - 加工用レーザ光源を備え、そのレーザ光源から出射されたレーザ光を請求項1〜6のいずれか1項に記載の焦点距離調整装置を介して加工対象物に照射することを特徴とするレーザ加工装置。
- レーザ光源を備え、そのレーザ光源から出射されたレーザ光を請求項1〜6のいずれか1項に記載の焦点距離調整装置を介して測定対象物に照射することを特徴とするレーザ変位計。
- 第1及び第2電極間に誘電体材料を介在させてなり、該第1及び第2電極間に印加する電圧を変化させることにより入射された入射光の光軸に対する拡がり角度を可変可能な電気光学素子であって、
前記誘電体材料は、前記入射光が通過する通過部と、前記第1及び第2電極を配置する電極部とを有し、
前記電極部は、前記誘電体材料の入射側の端面に前記第1電極を設けるための第1配置面及び出射側の端面に前記第2電極を設けるための第2配置面が設けられ、該第1及び第2配置面の少なくとも一方は、前記光軸を挟んで対称位置においてその内面が前記光軸側に向く傾斜面に形成され、前記傾斜面は、前記光軸側に突出する湾曲形状に形成されたことを特徴とする電気光学素子。 - 請求項9に記載の電気光学素子において、
前記第1及び第2電極はそれぞれ、前記光軸と直交する一方向に並んで配置された一対の電極を有してなることを特徴とする電気光学素子。 - 請求項9に記載の電気光学素子において、
前記誘電体材料の第1及び第2配置面は、前記光軸を中心とする360°に亘って形成されるとともに、前記第1及び第2電極が前記光軸を中心とする360°に亘って形成されたことを特徴とする電気光学素子。 - 請求項9〜11のいずれか1項に記載の電気光学素子において、
前記誘電体材料の第1及び第2配置面のいずれか一方は、前記光軸と直交する平面をなすことを特徴とする電気光学素子。
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