JP5585135B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5585135B2 JP5585135B2 JP2010058243A JP2010058243A JP5585135B2 JP 5585135 B2 JP5585135 B2 JP 5585135B2 JP 2010058243 A JP2010058243 A JP 2010058243A JP 2010058243 A JP2010058243 A JP 2010058243A JP 5585135 B2 JP5585135 B2 JP 5585135B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- slit
- opening
- prism
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
1.第1の実施の形態(エッジデリーションを行うレーザ加工装置の例)
2.第2の実施の形態(パターニングを行うレーザ加工装置の例)
3.変形例など
図2乃至図9を参照して、本発明の第1の実施の形態について説明する。
図2は、本発明を適用したレーザ加工装置の第1の実施の形態を示す図である。図2のレーザ加工装置101は、薄膜太陽電池パネル102のエッジデリーションを行うための装置である。
図9は、レーザ加工装置101による加工結果の例を模式的に示している。なお、図9では、先に示した図1と対応するように、層201Aおよび層201Bの2層構造の加工対象物201に対して、SHGレーザ光または基本波レーザ光のいずれかのレーザ光を用いて、層201Aの一部を直線上に除去した場合の加工部分を模式的に示している。図9の上の図は、加工対象物201の加工面の平面図であり、下の図は加工対象物201のAA断面図である。
次に、図10を参照して、プリズム151の各部の設計値について説明する。
次に、図11を参照して、本発明の第2の実施の形態について説明する。
図11は、本発明を適用したレーザ加工装置の第2の実施の形態を示す図である。図11のレーザ加工装置301は、薄膜太陽電池パネル102にパターンを描画するパターニングを行う装置である。なお、図中、図2と対応する部分には同じ符号を付してあり、処理が同じ部分については、繰返しになるので、その説明は省略する。
[プリズムの固定方法]
図12および図13は、プリズム151の固定方法の例を示す図である。
102 薄膜太陽電池パネル
113 SHGレーザ発振器
114 基本波レーザ発振器
120 角形光ファイバ
121 2波長コリメータレンズ
122 2波長結像レンズ
123 スリット
123A 開口部
124a乃至124d 遮光板
125 2波長結像レンズ
127 2波長fθレンズ
151a乃至151d プリズム
163a乃至163d 傾斜面
301 レーザ加工装置
312 コリメータレンズ
313,314 結像レンズ
316 対物レンズ
451 スリット
451A 開口部
451B乃至451E 傾斜面
Claims (3)
- レーザ光を出射するレーザ出射手段と、
前記レーザ光が導入され、前記レーザ光の出射端面での強度をほぼ均一にして出射する光ファイバと、
レーザ光が通過する開口部の周囲が前記レーザ光を透過する誘電体により形成され、前記誘電体の光軸方向の厚みが前記開口部に近いほど小さくなるように前記誘電体に傾斜面が設けられているスリットと、
前記光ファイバから出射された前記レーザ光を、前記スリットの入射面において、前記開口部を含むように結像させる第1の結像手段と、
前記スリットの前記開口部を通過した前記レーザ光を結像させる第2の結像手段と
を含み、
前記開口部の外周における前記誘電体の光軸方向の厚みによる前記開口部の結像位置のズレ量が、前記第2の結像手段の焦点深度以下になる
ことを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記光ファイバの断面および前記スリットの前記開口部が矩形である
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記スリットの前記誘電体により屈折された前記レーザ光を遮光する遮光手段を
さらに含むことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010058243A JP5585135B2 (ja) | 2010-03-15 | 2010-03-15 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010058243A JP5585135B2 (ja) | 2010-03-15 | 2010-03-15 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011189389A JP2011189389A (ja) | 2011-09-29 |
JP5585135B2 true JP5585135B2 (ja) | 2014-09-10 |
Family
ID=44794862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010058243A Expired - Fee Related JP5585135B2 (ja) | 2010-03-15 | 2010-03-15 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5585135B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102589354B1 (ko) * | 2023-01-11 | 2023-10-16 | 주식회사 원광에스앤티 | 태양광 패널 분해 장치 |
KR102589353B1 (ko) * | 2022-12-29 | 2023-10-16 | 주식회사 원광에스앤티 | 태양광 패널 분해 장치 |
KR102589352B1 (ko) * | 2022-12-29 | 2023-10-16 | 주식회사 원광에스앤티 | 태양광 패널 분해 장치 및 이를 이용한 태양광 패널의 분해 방법 |
KR102677732B1 (ko) | 2023-10-10 | 2024-06-24 | 주식회사 원광에스앤티 | 태양광 패널 분해 장치 및 태양광 패널의 분해 방법 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013192612A1 (en) * | 2012-06-22 | 2013-12-27 | Ipg Photonics Corporation | Laser drilling method and system for producing shaped holes |
JP2015054330A (ja) * | 2013-09-10 | 2015-03-23 | 株式会社片岡製作所 | レーザ加工機 |
JP6901261B2 (ja) * | 2016-12-27 | 2021-07-14 | 株式会社ディスコ | レーザー装置 |
JP7458203B2 (ja) * | 2020-02-26 | 2024-03-29 | 株式会社アマダ | 光ファイバ及びレーザ加工機 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2691029B2 (ja) * | 1989-10-18 | 1997-12-17 | 株式会社日立製作所 | レーザー装置 |
JP2006278525A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Shibaura Mechatronics Corp | レーザ加工装置 |
JP2009045626A (ja) * | 2007-08-13 | 2009-03-05 | Fuji Electric Systems Co Ltd | レーザ加工装置 |
-
2010
- 2010-03-15 JP JP2010058243A patent/JP5585135B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102589353B1 (ko) * | 2022-12-29 | 2023-10-16 | 주식회사 원광에스앤티 | 태양광 패널 분해 장치 |
KR102589352B1 (ko) * | 2022-12-29 | 2023-10-16 | 주식회사 원광에스앤티 | 태양광 패널 분해 장치 및 이를 이용한 태양광 패널의 분해 방법 |
WO2024144032A1 (ko) * | 2022-12-29 | 2024-07-04 | 주식회사 원광에스앤티 | 태양광 패널 분해 장치 및 이를 이용한 태양광 패널의 분해 방법 |
WO2024144033A1 (ko) * | 2022-12-29 | 2024-07-04 | 주식회사 원광에스앤티 | 태양광 패널 분해 장치 |
KR102589354B1 (ko) * | 2023-01-11 | 2023-10-16 | 주식회사 원광에스앤티 | 태양광 패널 분해 장치 |
WO2024150950A1 (ko) * | 2023-01-11 | 2024-07-18 | 주식회사 원광에스앤티 | 태양광 패널 분해 장치 |
KR102677732B1 (ko) | 2023-10-10 | 2024-06-24 | 주식회사 원광에스앤티 | 태양광 패널 분해 장치 및 태양광 패널의 분해 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011189389A (ja) | 2011-09-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5585135B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
KR100433896B1 (ko) | 레이저 마킹방법과 장치 및 마킹된 부재 | |
JP2007115729A (ja) | レーザ照射装置 | |
US9904069B2 (en) | Apparatus and method for speckle reduction in laser processing equipment | |
JP2012515941A (ja) | レーザ走査式プロジェクタ用のスペックル除去装置及び方法 | |
JPWO2008108068A1 (ja) | 光走査装置及びそれを用いた二次元画像表示装置 | |
CN108723012A (zh) | 一种集成式激光清洗光电系统 | |
CN1617784A (zh) | 激光加工装置 | |
JP7062005B2 (ja) | 半導体材料で作られたサンプルの光学的機能化を図る方法及びシステム | |
US9134537B2 (en) | Laser lighting device | |
US20120268939A1 (en) | Method of laser processing | |
JP5348155B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
US10996411B2 (en) | Optoelectronic assembly | |
JP3654357B2 (ja) | レーザビーム長尺化装置 | |
Konishi et al. | Development of rectangular core optical fiber cable for high power laser | |
US12076816B2 (en) | Laser scanner and laser machining device | |
CN107851953B (zh) | 平面波导型激光装置 | |
JP2006275917A (ja) | 多光子励起型観察装置および多光子励起型観察用光源装置 | |
WO2012090519A1 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
TW202025257A (zh) | 雷射加工方法 | |
JPWO2019176572A1 (ja) | レーザ発振器、レーザ加工装置、光ファイバー、光ファイバーの製造方法、及び、光ファイバーの製造装置 | |
JP2012003131A (ja) | レーザ照射装置 | |
JP5058935B2 (ja) | 光変調器および画像記録装置 | |
JP2012211939A (ja) | レーザ光照射装置、レーザ光照射モジュール調整装置、およびレーザ光照射モジュール調整方法 | |
EP4160195A1 (en) | Thin film characteristic measuring apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130111 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140116 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140123 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140624 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140707 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5585135 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |