JP2691029B2 - レーザー装置 - Google Patents
レーザー装置Info
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- JP2691029B2 JP2691029B2 JP1268884A JP26888489A JP2691029B2 JP 2691029 B2 JP2691029 B2 JP 2691029B2 JP 1268884 A JP1268884 A JP 1268884A JP 26888489 A JP26888489 A JP 26888489A JP 2691029 B2 JP2691029 B2 JP 2691029B2
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Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、レーザー光束を所望の断面形状に成形して
投射するレーザー装置に関するものである。
投射するレーザー装置に関するものである。
この種の技術に関しては実公昭60−39181号公報が公
知である。
知である。
この公知技術は長方形の開口を有する板状のスリット
部材によってレーザー光束の周辺部をカットし、所望の
断面形状のレーザー光束に成形する。
部材によってレーザー光束の周辺部をカットし、所望の
断面形状のレーザー光束に成形する。
[発明が解決しようとする課題] 前記の公知技術においては、一般に金属製のスリット
部材によってレーザー光束の周辺部を遮断するととも
に、該レーザー光束の中央部を通過させる。
部材によってレーザー光束の周辺部を遮断するととも
に、該レーザー光束の中央部を通過させる。
このため、パワー密度の高いレーザー光束の場合はス
リット部材がダメージを受ける。
リット部材がダメージを受ける。
本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、レーザ
ー光束のパワー密度が高くても、損耗を被る虞なく該レ
ーザー光束の断面形状が所望の形状となるように成形し
て投射し得るレーザー装置を提供することを目的とす
る。
ー光束のパワー密度が高くても、損耗を被る虞なく該レ
ーザー光束の断面形状が所望の形状となるように成形し
て投射し得るレーザー装置を提供することを目的とす
る。
[課題を解決するための手段] 従来技術に係る成形装置のスリット部材はレーザー光
の不透明材料で構成され、開口部の周辺に入射したレー
ザー光を遮断するものであったのに比して、 本発明のスリット部材はレーザー光の透明材料によっ
て構成され、レーザ光束の不要部を屈折させて除去す
る。即ち、例えばスリット周辺の縁の部分をナイフエッ
ジ状にテーパを付してプリズムを形成する。
の不透明材料で構成され、開口部の周辺に入射したレー
ザー光を遮断するものであったのに比して、 本発明のスリット部材はレーザー光の透明材料によっ
て構成され、レーザ光束の不要部を屈折させて除去す
る。即ち、例えばスリット周辺の縁の部分をナイフエッ
ジ状にテーパを付してプリズムを形成する。
[作用] 上記のように構成された本発明装置のスリット部材は
レーザー光に対して透明であるから入射したレーザー光
を透過せしめる。従って該レーザー光のエネルギを殆ど
吸収せず、損耗を被らない。
レーザー光に対して透明であるから入射したレーザー光
を透過せしめる。従って該レーザー光のエネルギを殆ど
吸収せず、損耗を被らない。
そして、スリットの開口部に入射したレーザー光束
は、該開口部と同じ断面形状に成形されて通過し、該開
口部の周辺に入射したレーザー光はプリズム部分によっ
て屈折せしめられ、側方に分岐して主光路から除外され
る。
は、該開口部と同じ断面形状に成形されて通過し、該開
口部の周辺に入射したレーザー光はプリズム部分によっ
て屈折せしめられ、側方に分岐して主光路から除外され
る。
[実施例] 第1図は本発明に係るレーザー装置の1実施例を示
し、模式的な断面図に光路を付記した図である。
し、模式的な断面図に光路を付記した図である。
レーザー光束1は、図の上方から下向きに、平行光束
として投射されている。Z−Zはその光軸である。
として投射されている。Z−Zはその光軸である。
上記の光軸Z−Zと直交せしめて、板状のスリット部
材2が設置される。
材2が設置される。
このスリット部材2には、所望の形状に構成した開口
2aが設けられており、その周辺にはプリズム部2bが形成
されている。
2aが設けられており、その周辺にはプリズム部2bが形成
されている。
本例のプリズム部2bは、の上面側(レーザー光束1の
照射を受ける側)はレーザー光束1の光軸Z−Zと直交
する平面をなし、その下面側は開口2aの縁がナイフエッ
ジをなすように傾斜している(上面側に対して斜交して
いる)。
照射を受ける側)はレーザー光束1の光軸Z−Zと直交
する平面をなし、その下面側は開口2aの縁がナイフエッ
ジをなすように傾斜している(上面側に対して斜交して
いる)。
スリット部材2はレーザー光に対して透明な材料で構
成する。具体的にはレーザー光の波長によつて材料を選
定し、近赤外〜可視域〜紫外域のレーザ光である場合は
光学ガラス、溶融石英、合成石英を用いるとよい。
成する。具体的にはレーザー光の波長によつて材料を選
定し、近赤外〜可視域〜紫外域のレーザ光である場合は
光学ガラス、溶融石英、合成石英を用いるとよい。
レーザー光束1の内で、スリット部材2の開口2a内に
入射した成分は、該開口2aの形状と同じ断面形状に成形
されたレーザー光束3として通過する。
入射した成分は、該開口2aの形状と同じ断面形状に成形
されたレーザー光束3として通過する。
上記の開口2aからハミ出した部分、すなわちプリズム
部2cに入射したレーザー光は、該プリズム部2bによって
屈折せしめられた光軸Z−Zから側方に外れ、屈折レー
ザー光4となる。
部2cに入射したレーザー光は、該プリズム部2bによって
屈折せしめられた光軸Z−Zから側方に外れ、屈折レー
ザー光4となる。
スリット部材2はレーザー光を遮断することなく屈
折,通過させるので、該レーザー光のエネルギーを殆ど
吸収せずに通過させる。このため、レーザー光による損
耗を受ける程度は微小であり、実用上は無視し得る。
折,通過させるので、該レーザー光のエネルギーを殆ど
吸収せずに通過させる。このため、レーザー光による損
耗を受ける程度は微小であり、実用上は無視し得る。
本実施例(第1図)によれば、以上のようにして所望
の断面形状を有するように成形されたレーザー光束3が
得られ、しかもこのレーザー装置の構成部材は殆ど損耗
しない。
の断面形状を有するように成形されたレーザー光束3が
得られ、しかもこのレーザー装置の構成部材は殆ど損耗
しない。
第2図は上述の実施例を更に改良した1例を示す。第
1図におけると同一の図面参照番号を付したものは前記
の実施例におけると同様乃至は類似の構成部分である。
次に、第1図の実施例に比して異なる点を説明する。
1図におけると同一の図面参照番号を付したものは前記
の実施例におけると同様乃至は類似の構成部分である。
次に、第1図の実施例に比して異なる点を説明する。
本例のスリット部材2のプリズム部2cは、その上面側
(レーザー光束1の照射を受ける側)に傾斜を付してあ
る。
(レーザー光束1の照射を受ける側)に傾斜を付してあ
る。
ここに傾斜を付することは、レーザー光束1の光軸Z
−Zに直交する仮想の面に対して斜交している意であ
る。
−Zに直交する仮想の面に対して斜交している意であ
る。
このため、レーザー光束1の一部分がプリズム部の上
面2c-1で正反射されたとき、その反射レーザー光は光軸
Z−Z方向には反射されない。即ち、レーザー光束1の
光源方向に逆行しない。従ってレーザー光源である発振
器の動作に悪影響を及ぼす虞が無い。
面2c-1で正反射されたとき、その反射レーザー光は光軸
Z−Z方向には反射されない。即ち、レーザー光束1の
光源方向に逆行しない。従ってレーザー光源である発振
器の動作に悪影響を及ぼす虞が無い。
第3図は前記と更に異なる実施例を示す。
光軸Z−Z方向に、図の下方に向けて投射されたレー
ザー光束1の光路上にスリット部材2が設けられてい
る。そして、このレーザー光束1の主光路は筒状の筐体
5で囲まれている。
ザー光束1の光路上にスリット部材2が設けられてい
る。そして、このレーザー光束1の主光路は筒状の筐体
5で囲まれている。
なお、本例は光軸Z−Zに関して左右対称であるから
図の左半分を省略してある。
図の左半分を省略してある。
プリズム部2cによって屈折されたレーザー光束4が筐
体5と交わる部分に窓6を設けると共に、該窓6の外側
を覆ってレーザー光吸収体7を設置する。本例のレーザ
ー光吸収体7には放熱フィン8を設けてある。
体5と交わる部分に窓6を設けると共に、該窓6の外側
を覆ってレーザー光吸収体7を設置する。本例のレーザ
ー光吸収体7には放熱フィン8を設けてある。
プリズム部2cによって屈折せしめられたレーザー光束
4は窓6を通ってレーザー光吸収体7内に入射して吸収
され、そのエネルギーは熱に変換される。
4は窓6を通ってレーザー光吸収体7内に入射して吸収
され、そのエネルギーは熱に変換される。
本実施例によれば、屈折せしめられたレーザー光束4
が除去され、他に悪影響を及ぼす虞が無い。従って、高
いパワー密度のレーザー光束の周辺部をカットして所望
の成形を行う作用を、長時間にわたって完全に行わせ得
る。
が除去され、他に悪影響を及ぼす虞が無い。従って、高
いパワー密度のレーザー光束の周辺部をカットして所望
の成形を行う作用を、長時間にわたって完全に行わせ得
る。
第1図、第2図、及び第3図はそれぞれ本発明に係るレ
ーザー装置の1実施例を示し模式的な断面図に光路を付
記した説明図である。 1……レーザー光束、2……スリット部材、2a……開
口、2b,2c……プリズム部、2c-1……プリズム部の上
面、3……成形されたレーザー光束、4……屈折せしめ
られたレーザー光束、5……筐体、6……筐体に穿たれ
た窓、7……レーザー光吸収体、8……冷却フィン。
ーザー装置の1実施例を示し模式的な断面図に光路を付
記した説明図である。 1……レーザー光束、2……スリット部材、2a……開
口、2b,2c……プリズム部、2c-1……プリズム部の上
面、3……成形されたレーザー光束、4……屈折せしめ
られたレーザー光束、5……筐体、6……筐体に穿たれ
た窓、7……レーザー光吸収体、8……冷却フィン。
Claims (4)
- 【請求項1】レーザー光源から発射されたレーザー光の
光路中に、スリット状開口部と該スリット状開口部の周
辺で前記レーザー光の光束の不要な部分を屈折させて該
レーザー光の光束から除去する部位とを備えた前記レー
ザー光に対して透明な材料で構成されたスリット部材を
配置し、該スリット部材により断面が上記スリット状開
口部の形状の平行光束に成形されたレーザー光束を投射
することを特徴とするレーザー装置。 - 【請求項2】レーザー光源から発射されたレーザー光の
光路中に配置されてスリット状開口部と該スリット状開
口部の周辺で前記レーザー光の光束の不要な部分を屈折
させて該レーザー光の光束から除去する部位とを備えた
スリット部材と、該スリット部材で屈折した前記レーザ
ー光の光路上に配置されて前記屈折したレーザー光を吸
収する吸収部材とを備え、前記スリット部材により断面
が上記スリット状開口部の形状の平行光束に成形された
レーザー光束を投射することを特徴とするレーザー装
置。 - 【請求項3】前記吸収部材が、前記レーザー装置の筐体
に設けられたことを特徴とする請求項2記載のレーザー
装置。 - 【請求項4】前記スリット部材が、光学ガラス、溶融石
英または合成石英の何れかにより形成されていることを
特徴とする請求項1または2の何れかに記載のレーザー
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1268884A JP2691029B2 (ja) | 1989-10-18 | 1989-10-18 | レーザー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1268884A JP2691029B2 (ja) | 1989-10-18 | 1989-10-18 | レーザー装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03133590A JPH03133590A (ja) | 1991-06-06 |
JP2691029B2 true JP2691029B2 (ja) | 1997-12-17 |
Family
ID=17464602
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1268884A Expired - Lifetime JP2691029B2 (ja) | 1989-10-18 | 1989-10-18 | レーザー装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2691029B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3710724B2 (ja) | 2001-05-14 | 2005-10-26 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 結像光学装置 |
JP2005201935A (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Fujinon Corp | プロジェクションレンズ |
WO2005098483A1 (en) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Micronic Laser Systems Ab | Aperture stop assembly for high power laser beams |
JP4762653B2 (ja) * | 2005-09-16 | 2011-08-31 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
JP5110310B2 (ja) * | 2008-10-29 | 2012-12-26 | ソニー株式会社 | レーザ光発生装置 |
JP2009117881A (ja) * | 2009-03-04 | 2009-05-28 | Ihi Corp | アパーチャ |
JP5585135B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2014-09-10 | オムロン株式会社 | レーザ加工装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5425113U (ja) * | 1977-07-21 | 1979-02-19 |
-
1989
- 1989-10-18 JP JP1268884A patent/JP2691029B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5425113U (ja) * | 1977-07-21 | 1979-02-19 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03133590A (ja) | 1991-06-06 |
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