JP2012515941A - レーザ走査式プロジェクタ用のスペックル除去装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
NA = n1sinθ
V = a k0 NA
を中心としたΔλの光の放射の場合、コヒーレンス時間tcは、通常、大まかに次式のようになることが認知されている:
に相当する。
− 計算に用いるパッチの寸法;
− コントラスト比を測定する照明パッチの均一性;
− スペックルの空間周波数;及び
− カメラのノイズ/背景の粗さ。
Claims (17)
- コヒーレント光のスペックルの可視性を低減する装置であって、
前記コヒーレント光を伝搬させて、モード分散によって前記コヒーレント光のコヒーレンス長を低減するように構成されたマルチモードの光導波手段と、
前記コヒーレント光を、前記マルチモードの光導波手段を通過する前又は後に反射させ、異なる伝搬モードに渡って波束を分布させることにより、前記コヒーレンス長をさらに低減するとともに、前記モードに渡るエネルギー分布を平均化することにより、モード構造を無くして、より均一な照明に導くように構成された振動可能な膜ミラー手段と、
を備えた装置。 - 前記振動可能な膜ミラー手段は、前記コヒーレント光の平行光線を複数の変動角度で反射させて、前記光導波手段を伝搬するモードに渡るパワー及び位相の分布が、時間と共に変動するように構成されている、請求項1に記載の装置。
- レーザが、光ファイバーにより、前記コヒーレント光が前記振動可能な膜ミラー手段に入射するように構成されたコリメートレンズ手段に結合される、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記コリメートレンズ手段からの光が、前記振動可能な膜ミラー手段に略45°で入射するように構成された、請求項3に記載の装置。
- 前記振動可能な膜ミラー手段から反射されたコヒーレント光を、前記マルチモードの光導波手段に結合するように構成された結合光学手段をさらに備えた、請求項1〜4のいずれかに記載の装置。
- 前記マルチモードの光導波手段から光を投射するように構成された光学系を備えた、請求項1〜5のいずれかに記載の装置。
- 前記振動可能な膜ミラー手段は、当該膜ミラー手段の膜を駆動するように構成された圧電アクチュエータ手段を備えている、請求項1〜6のいずれかに記載の装置。
- 前記マルチモードの光導波手段は、ステップインデックス型のマルチモードの光ファイバーである、請求項1〜7のいずれかに記載の装置。
- レーザ線発生装置を備えた、請求項1〜8のいずれかに記載の装置。
- コヒーレント光のスペックルの可視性を低減する方法であって、
a. 前記コヒーレント光を、モード分散によって前記コヒーレント光のコヒーレンス長を低減するように構成されたマルチモードの光導波手段を通して伝搬させるステップと、
b. 前記コヒーレント光を、振動可能な膜ミラー手段から、前記マルチモードの光導波手段を通過する前又は後に反射させて、異なる伝搬モードに渡って波束を分布させることにより、前記コヒーレント光のコヒーレンス長をさらに低減するとともに、前記モードに渡るエネルギー分布を平均化することにより、モード構造を無くして、さらに均一な照明に導くステップと、
を含む方法。 - 前記コヒーレント光の平行光線を、前記振動可能な膜ミラー手段により複数の変動角度で反射させて、前記光導波手段を伝搬するモードに渡るパワー及び位相の分布を、時間と共に変動させるステップを含む、請求項10に記載の方法。
- 光ファイバーによりレーザに結合されたコリメートレンズを用いて、前記コヒーレント光を前記振動可能な膜ミラー手段に入射させる、請求項9又は10に記載の方法。
- 前記コリメートレンズからの光を、前記振動可能な膜ミラー手段に略45°で入射させる、請求項10〜12のいずれかに記載の方法。
- 前記コヒーレント光を、結合光学手段を用いて、前記マルチモードの光導波手段に結合させるステップを含む、請求項10〜13のいずれかに記載の方法。
- 前記マルチモードの光導波手段からの光を、投射光学手段を用いて投射するステップを含む、請求項10〜14のいずれかに記載の方法。
- 前記振動可能な膜ミラー手段の膜を、圧電アクチュエータ手段によって駆動するステップを含む、請求項10〜15のいずれかに記載の方法。
- 前記マルチモードの光導波手段は、ステップインデックス型のマルチモードの光ファイバーである、請求項10〜16のいずれかに記載の方法。
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