FR2666939A1 - Oscillateur laser et dispositif pour fabriquer un semiconducteur, utilisant ledit oscillateur. - Google Patents

Abstract

L'invention concerne un oscillateur laser et un dispositif pour fabriquer un semiconducteur utilisant ledit oscillateur. Cet oscillateur laser comprend un résonateur possédant un miroir entièrement réfléchissant et un miroir de sortie, qui sont installés en étant séparés par un intervalle dans lequel est disposé un milieu laser, et des moyens pour exciter le milieu laser, comprend un système optique (5, 6, 7) pour sélectionner la directivité de la lumière à partir du résonateur (1, 2, 3) entre ledit miroir entièrement réfléchissant (2) et ledit milieu laser (1). Application notamment à la fabrication des semiconducteurs.

Description

La présente invention concerne un oscillateur laser, notamment un

oscillateur laser approprié pour une fabrication très précise, comme par exemple un dispositif

pour fabriquer un semiconducteur.

Une forme miniaturisée ou représentée à plus grande échelle d'un dessin, qui est tracé sur un masque, est reproduite dans un plan image, par transmission du masque au moyen d'une lumière et focalisation de l'image du dessin du masque dans le plan image, au moyen d'une lentille, etc. On utilise un laser comme source de lumière pour le procédé décrit précédemment et on utilise ce procédé pour une fabrication extrêmement précise, etc En ce qui concerne l'oscillateur laser utilisable, quelques uns des oscillateurs de ce type sont décrits dans la demande de

brevet japonais mise à l'inspection publique sous le no 61-

163681 ( 1986) (art antérieur 1) et le modèle d'utilité japonais mis à l'inspection publique sous le N O 62-49263

( 1987) (art antérieur 2).

Afin d'éviter d'obtenir dans l'espace et de façon permanente une image floue pour avoir une image stable de focalisation sur le masque dans le cas d'une fabrication très précise, il est nécessaire d'avoir en permanence une directivité constante et une absence d'interférence, même si

la directivité est faible.

Les deux techniques antérieures décrites précédemment ont pour but de former un laser ayant une bonne directivité L'art antérieur 1 élimine la lumière possédant une faible directivité, de la lumière délivrée, au moyen d'éléments de collecte de la lumière et d'un mécanisme d'ouverture afin que la lumière délivrée possède une bonne directivité Dans cet art antérieur, le faible rendement

pose un problème.

D'autre part, dans l'art antérieur 2, on installe deux éléments de collecte de la lumière et un mécanisme d'ouverture dans une position de foyer commune du milieu laser, qui émet en permanence le laser et du miroir de sortie Etant donné que la lumière laser est produite en continu, il est possible d'avoir en permanence une directivité constante, mais en raison de la formation d'un seul mode (distribution d'intensité semblable à une distribution unique de Gauss) le nombre indiquant l'intensité et la faiblesse du faisceau (qui est désigné comme étant le nombre d'ordre du mode latéral), qui est produit dans une section transversale verticale de la lumière formée dans un oscillateur, est unique, l'interférence est intense et il apparaît un diagramme en -forme de bandes, et il se pose le problème consistant en ce que ceci conduit à une intensité de l'image non uniforme spatialement. Le premier but de la présente invention est de fournir un oscillateur laser qui produise un faisceau laser

possédant en permanence une directivité presque constante.

Le second but de la présente invention est de fournir un oscillateur laser qui est préférable pour l'émission de faisceaux possédant spatialement une intensité

relativement uniforme.

Le troisième but de la présente invention est de fournir un oscillateur laser qui est préférable pour la production efficace d'un faisceau laser possédant en

permanence une directivité presque constante.

Le quatrième but de la présente invention est de fournir un oscillateur laser, qui est préférable pour la production d'un faisceau laser possédant en permanence une directivité presque constante et une très faible durée d'impulsion, comme par exemple un laser excimère, un laser à vapeur de cuivre, et un laser à colorant, qui est excité par

les lasers indiqués précédemment.

Le premier but de la présente invention est obtenu grâce à des moyens permettant d'arrêter la production de la lumière laser avant que le faisceau laser, qui est formé dans l'oscillateur, passe au mode unique, et moyennant l'installation d'un système optique supprimant le faisceau

laser ayant une faible directivité.

Le second but de la présente invention est atteint en donnant au diamètre de l'ouverture située dans le système optique pour l'obtention de la directivité, une valeur qui

fournit un mode transversal d'ordre supérieur.

Le troisième but de la présente invention est obtenu grâce à la mise en place de moyens empêchant la lumière inutile, qui est émise spontanément par le milieu

laser, de pénétrer à nouveau dans ce milieu laser.

Le quatrième but de la présente invention est atteint grâce à la mise en place d'un système optique qui élimine le faisceau présentant une faible directivité entre le milieu laser et un miroir entièrement réfléchissant dans

le laser et comportant les éléments décrits précédemment.

Tout d'abord, on va expliquer les moyens

permettant d'atteindre les premiers et quatrième objectifs.

Le laser prend graduellement une directivité préférentielle après un certain nombre de réflexions répétées en va-et-vient dans le résonateur, étant donné que la première lumière libérée par le milieu laser constitue une source La lumière laser subit de façon répétée des réflexions de va-et-vient un nombre de fois presque infini, dans un laser classique qui produit continûment le faisceau, et de ce fait la lumière subit une réflexion en va-et-vient répétée dans le résonateur pendant un nombre suffisant de fois pour former le mode latéral de rang inférieur, de sorte qu'il apparaît un seul mode ayant une directivité

préférable Un tel laser présente de fortes interférences.

La lumière laser du mode unique présente un angle de divergence du faisceau égal à > / 1 l a, % étant la longueur d'onde et a le rayon de la lumière laser dans le résonateur Par exemple, dans le cas d'un laser à gaz carbonique possédant un rayon de l Omm, l'angle est égal à 0,34 mrad à mi-valeur Cette valeur est équivalente à l'angle de divergence du faisceau traversant une ouverture circulaire possédant un rayon de l Omm et qui est prévue en un emplacement distant presque de 3 Om de la source de lumière ponctuelle C'est pourquoi, bien que la situation puisse varier en fonction du rayon de courbure du résonateur, en gros le faisceau laser possède un

interférence préférable après avoir été réfléchi en va-et-

vient sur une distance d'environ 30 m dans le résonateur à partir dudit but de l'excitation La durée nécessaire est extrêmement brève et égale à environ 100 ns (lns correspond à

-9 seconde) Dans la description de la présente invention,

la durée, qui est nécessaire pour la formation d'un seul mode sera désignée ci-après comme durée de formation d'un seul mode La durée est exprimée par la relation I Ta 2/,\c,

c étant la vitesse de la lumière.

D'autre part, la directivité du faisceau varie en permanence étant donné que la lumière prend graduellement une directivité préférentielle en raison de la répétition des réflexions en va-et-vient dans le temps C'est pourquoi, avec des oscillateurs laser fonctionnant en continu, comme par exemple un laser à gaz carbonique et des oscillateurs lasers à impulsions pendant une durée supérieure à la durée de formation du mode unique, l'oscillation se termine avant que s'achève le temps de formation du mode unique, dans la présente invention Il en résulte que les lumières lasers ayant des directivités différentes coexistent dans le résonateur Mais, dans le-cas d'un laser eximère, d'un laser à vapeur de mercure et d'un laser à colorant, qui est excité par les lasers décrits précédemment, la condition indiquée précédemment n'est pas nécessaire étant donné que les lasers

ont une durée d'oscillation inférieure à la durée de-

formation du mode unique L'utilisation uniquement d'un laser avant que la durée de formation du mode unique soit écoulée, signifie l'utilisation d'un laser avant que sa directivité soit stabilisée, et par conséquent la directivité du laser varie de façon permanente La directivité préférentielle est obtenue par suppression de faisceaux présentant une faible directivité, qui sont produits au début de l'oscillation, etc. Ci-après, on va décrire les moyens permettant

d'atteindre le second objectif de la présente invention.

Tout d'abord, on apprend l'ordre du mode transversal et la distribution de l'intensité Plus l'ordre du mode transversal est élevé, plus la distribution de l'intensité dans le plan, o le mode latéral est formé, devient plate Par exemple, dans le cas d'un seul mode, la

distribution est une distribution gaussienne avec un pic.

Dans le cas o l'ordre du mode latéral est quatre, quatre pics possédant des valeurs inférieures à celles du pic du mode unique sont produits en haut et en bas et à gauche et à droite d'un plan circulaire Par conséquent, on peut augmenter l'ordre du mode latéral pour obtenir la distribution plate requise d'intensité Par exemple, si un système optique, dont l'activité est réglée avec deux éléments de collecte de la lumière et un mécanisme à diaphragme qui est installé dans la position commune des foyers de ces éléments, l'ordre du mode latéral augmente lorsque le diamètre du diaphragme augmente et par conséquent la sélection du diamètre du diaphragme permet d'avoir, de

façon appropriée, une distribution plate de l'intensité.

Enfin, on va expliquer les moyens permettant

d'atteindre le troisième objectif.

Lorsqu'une tension est appliquée à un milieu laser, une lumière émise spontanément, qui correspond au niveau d'excitation du milieu laser, est produite Parmi les lumières émises spontanément, seule la lumière qui se réfléchit en va-et-vient entre le miroir entièrement réfléchissant et le miroir de sortie est utilisée en tant que lumière de sortie Pendant la réflexion en va-et-vient, l'énergie de la lumière émise est amplifiée par addition d'énergie à partir du laser possédant le même niveau d'excitation que la lumière émise par stimulation Ceci est désigné sous l'expression d'émission stimulée Si la lumière émise spontanément, qui n'est pas préférable pour la lumière de sortie, pénètre à nouveau dans le milieu laser, elle est également amplifiée Par conséquent plus une quantité importante de lumière spontanée inutile est réfléchie en direction du milieu laser, plus le rendement diminue par suite de la réduction du taux d'addition d'énergie à la lumière de sortie dans le milieu laser Par exemple, dans le cas du laser à gaz carbonique possédant un résonateur d'une longueur de 1,5 m, l'oscillation doit être terminée au moyen de 10 réflexions en va-et- vient D'autre part, la lumière émise spontanée est extrêmement faible et est de l'ordre de o-2 W/cm 2, et l'amplification de la lumière de l'ordre du kilowatt en un nombre de 10 réflexions en va-etvient requiert une amplification égale à 100 fois pour une réflexion en va-et-vient Habituellement, le laser à gaz carbonique possède un facteur d'amplification égal seulement à environ 2 Cela signifie qu'il devient nécessaire d'utiliser un laser possédant un facteur d'amplification extrêmement élevé Les inventeurs ont constaté expérimentalement que la lumière émise spontanément est, toujours dans toutes les directions à partir du milieu laser, existe dans le cas d'un laser tel que décrit précédemment, et que, si l'on ne renvoie pas la lumière émise spontanément au milieu laser pour empêcher une amplification de cette lumière, l'énergie excitée est consommée dans l'amplification de la lumière émise

spontanément, et le rendement devient extrêmement faible.

C'est pourquoi, en prévoyant des moyens permettant d'empêcher la lumière émise spontanément de pénétrer à nouveau dans le milieu laser, on augmente le taux de conversion de l'énergie en la lumière de sortie et on

améliore le rendement.

D'autres caractéristiques et avantages de la

présente invention ressortiront de la description donnée ci-

après prises en référence aux dessins annexés sur lesquels la figure 1 est une illustration schématique montrant la forme de réalisation de la présente invention appliquée à un dispositif servant à fabriquer un semiconducteur; la figure 2 est une illustration schématique montrant la seconde forme de réalisation de la présente invention; la figure 3 est un graphique montrant la relation entre le coefficient de réflexion du miroir de sortie et le facteur d'amplification de la lumière émise spontanément; la figure 4, formée des figures partielles 4 a,4 b et 4 c, montre des graphiques représentant les caractéristiques de sortie de l'oscillateur laser utilisé dans la seconde forme de réalisation de la présente invention; la figure 5 est un graphique montrant la caractéristique de sortie de l'oscillateur laser de l'art antérieur; la figure 6 est un schéma illustrant la mise en oeuvre d'un procédé pour empêcher que la lumière inutile émise spontanément ne pénètre à nouveau dans l'amplificateur; et la figure 7 est une illustration schématique montrant la forme de réalisation de la présente invention appliquée à l'oscillateur laser comportant un résonateur et

un amplificateur.

Sur la figure 1 on a représenté une forme de réalisation de la présente invention appliquée à un dispositif servant à fabriquer un semiconducteur Un résonateur est constitué par un milieu laser 1, un miroir entièrement réfléchissant 2 et un miroir de sortie 3 Le milieu laser 1 est excité de façon impulsionnelle par des moyens d'excitation 30 et produit une lumière impulsionnelle Les moyens d'excitation réalisent une excitation en continu, mais il est possible d'obtenir une oscillation impulsionnelle en installant un modulateur optique qui intercepte et transmet la lumière alternativement dans le résonateur Les chiffres de référence 5,6, 8 et 9 désignent des éléments de collecte de la lumière, comme par exemple une lentille, et il est possible de constituer l'élément de collecte de la lumière au moyen d'une pluralité de lentilles de manière à réduire l'aberration Chacun des couples des éléments de collecte de la lumière 5,6 et 8,9 sont installés de manière que leurs foyers soient presque confondus et qu'il existe une distance f 1 +f 2 entre les lentilles, f 1 et f 2 représentant les distances focales des lentilles respectives En fonction de l'angle de divergence du laser, il existe des cas o les éléments de collecte de la lumière sont installés en étant

séparés par une distance inférieure à la distance fl +f 2.

Lorsqu'on réalise l'installation comme cela a été décrit précédemment, un faisceau parallèle projeté pénétrant dans l'élément de collecte de la lumière conserve sa caractéristique de faisceau parallèle lorsqu'il sort de l'autre élément de collecte de la lumière Etant donné que le miroir entièrement réfléchissant et le miroir de sortie sont des miroirs parallèles, la réflexion en va-et-vient du faisceau parallèle entre le miroir entièrement réfléchissant 2 et le miroir de sortie 3 se répète théoriquement un grand

nombre de fois sans modification du diamètre du faisceau.

Dans chacune des positions commune du foyer des couples des éléments de collecte de la lumière 5,6 et 8,9 est disposée l'un des diaphragmes 7 et 10 qui possèdent une ouverture circulaire On obtient deux émissions à partir du faisceau laser, l'une étant l'émission qui amplifie l'intensité du faisceau laser par adjonction de la lumière émise stimulée soumise à des réflexions en va-et-vient, et l'autre est l'émission qui est libérée spontanément dans toutes les directions Cette dernière lumière émise spontanément est interrompue par les diaphragmes 7 et 10, en raison de sa faible directivité La face des diaphragmes 7 et 10 du côté du milieu laser possède une structure apte à réaliser une réflexion diffuse ou une structure apte à absorber la lumière émise spontanément, étant donné que cette face est peinte en noir de manière à empêcher la lumière émise spontanément de pénétrer à nouveau dans le milieu laser Par conséquent, la lumière émise spontanément n'entraîne aucune émission stimulée au niveau d'autres atomes ou molécules excités, grâce à la réflexion de la partie du milieu laser avec réflexion sur le miroir entièrement réfléchissant Bien que la lumière émise spontanément soit amplifiée globalement, ce qui provoque une émission stimulée avant la libération à partir du milieu laser, son intensité est encore faible et sensiblement négligeable et par conséquent l'amplification de la lumière émise spontanément est empêchée par le diaphragme qui est installé à l'extérieur du milieu laser Le miroir de sortie 3 réfléchit une partie de la lumière projetée et transmet le reste, et la lumière transmise est utilisée en tant que lumière laser La lumière laser transmise, à savoir la lumière de sortie 4, traverse le plan pourvu d'un masque pour des semiconducteurs 12 et est collectée par la lentille convergente 13 et est projetée en réalisant une miniaturisation sur la tranche 14 située sur la plaque de fixation 15 La durée de l'impulsion laser est telle que l'oscillation se termine en une durée inférieure à Tta 2/ >c à partir de l'excitation du milieu laser Si la durée de l'impulsion est supérieure à la durée

indiquée précédemment, le faisceau laser présente une forte-

interférence Le rayon de l'ouverture du diaphragme est déterminé de manière à être égal au moins au double du rayon du faisceau monomode Si le rayon du faisceau laser est inférieur au rayon indiqué précédemment, le faisceau laser présente une forte interférence Le rayon peut être exprimé par la relation 2 f X /Tra, f étant la distance focale la plus courte des lentilles entre les éléments de collecte de la lumière 5 et 6 Lorsqu'on élargit le diamètre de l'ouverture, l'ordre du mode latéral augmente graduellement et l'intensité spatiale de la lumière sortante devient constante. La seconde forme de réalisation de l'oscillateur laser est représentée sur la figure 2 La présente forme de réalisation permet de supprimer le système de diaphragme à ouverture sur le côté sortie sur la figure 1 c'est-à-dire les éléments de collecte de la lumière 8 et 9 et le

diaphragme 10 afin de réduire la longueur du résonateur.

L'effet de la mesure sur le rapport de la puissance de sortie de la lumière émise spontanément et amplifiée à la sortie du laser dans le cas de l'utilisation d'un laser à vapeur de cuivre en tant qu'oscillateur laser, est représentée sur la figure 3 Un rapport sensiblement négligeable de la lumière émise spontanément et amplifiée est désigné par Ro Le coefficient de réflexion du miroir de sortie permettant d'obtenir Ro = 5 % est 18 % D'une manière générale, la relation entre les coefficients de réflexion limite Ro et d'autres paramètres est fournie par Ro= f L t/a, L étant la longueur du résonateur, a le rayon de la lumière laser, Y l'angle d'ouverture du système optique à ouverture 5,6 et 7 On calcule & au moyen de la relation ro/f 1 (se référer à la figure pour ro), la valeur de étant égale à 1,6 x 10-3 D'autre part, si on réduit le coefficient de réflexion à moins de 1 %, la lumière émise spontanément devient non négligeable étant donné que

l'intensité du faisceau laser lui-même, qui subit des-

réflexions en va-et-vient, est affaiblie.

Etant donné qu'on peut réduire la longueur du résonateur conformément à la présente invention, on peut il accroître la distance focale des éléments 5 et 6 des éléments de collecte de la lumière pour réduire l'aberration sphérique de la petite lentille De même le déplacement pulsatoire de l'impulsion devient faible lorsqu'on réduit la longueur du résonateur, et on peut réduire le facteur d'amplification de la lumière émise spontanément Par exemple, dans le cas d'un diamètre de 35 mm pour la lumière visible, on obtient une longueur d'environ 70 cm Lorsque le milieu laser possède une longueur de 1 m, la durée nécessaire pour une réflexion en va-et-vient dans le résonateur est accrue grâce à l'insertion de deux ensembles de systèmes d'ouvertures, et la forme d'onde de l'impulsion laser présente un déplacement pulsatoire La période d'un cycle du déplacement pulsatoire est la durée nécessaire pour un déplacement en va-et-vient dans le résonateur S'il existe une partie dans laquelle l'intensité du laser est faible, la lumière émise spontanément est accrue et le rendement diminue en raison de la réduction de l'émission

induite dans cette partie.

Dans la seconde forme de réalisation, les moyens permettant d'empêcher la lumière émise spontanément de pénétrer à nouveau dans le milieu laser sont également prévus comme dans la première forme de réalisation, sur la

face du diaphragme 7 du côté du milieu laser.

La figure 4 montre une réponse permanente de la lumière sortante de la forme de réalisation qui set représentée sur la figure 2, et la figure 5 représente la réponse de la lumière sortante dans le cas du résonateur de l'art antérieur 2 Les mesures reproduites sur les figures 4 et 5 ont été exécutées au moyen de la mesure de l'intensité de la lumière sortante, qui est transmise dans le système optique constitué des éléments de collecte de la lumière possédant une distance focale f et de diaphragmes possédant un diamètre d'ouverture d et qui sont installés au niveau des foyers des éléments de collecte de la lumière L'angle

de divergence & sur les figures 4 et 5 est défini par d/f.

Par conséquent, l'angle de divergence 0 < 1 mrad indique l'intensité de la lumière sortante, avec un angle de divergence du faisceau égal au maximum à 1 mrad dans la lumière de sortie collectée Sur les figures 4 et 5, la directivité constante en permanence signifie que la divergence du faisceau est constante en permanence Pour établir cette condition, il faut qu'à tout moment le rapport de l'intensité de la forme d'onde de sortie pour chaque angle de divergence à l'intensité de la forme d'onde de sortie de l'ensemble du faisceau soit constant La forme de réalisation représentée sur la figure 2 montre que, bien que l'on modifie le diamètre du trou d'épingle du diaphragme 7 en lui donnant une valeur 0,6 mm, 1 mm et 1,5 mm, le rapport de l'intensité et de la forme d'onde de sortie pour chaque angle de divergence à l'intensité de la forme d'onde de sortie de l'ensemble du faisceau est presque constant indépendamment du temps Par ailleurs, l'art antérieur, représenté sur la figure 5 montre que, bien que le rapport des intensités correspondant aux différents angles de divergence pour 8 = 1 mrad, 1,5 mrad et 2 mrad indiqués sur la figure 5 soit constant, le rapport de l'intensité et de la forme d'onde de sortie pour chaque angle de divergence à l'intensité de la forme d'onde de sortie de l'ensemble du faisceau varie de façon permanente Cela signifie que la lumière de sortie, pour lequel on a un rapport différent de l'intensité et de la lumière de sortie pour un angle de divergence égal au maximum à 2 mrad existe pour l'angle de divergence possédant une valeur égale à au moins 2 mrad Par conséquent, la divergence du faisceau de la lumière de sortie n'est pas constante en permanence Comme cela a été expliqué précédemment, la présente forme de réalisation montre expérimentalement que la directivité devient en

permanence presque constante.

La figure 6 montre la seconde forme de réalisation qui empêche que la lumière émise spontanément ne pénètre à nouveau dans le milieu laser Lorsqu'on utilise la plaque noire possédant un degré élevé d'absorption, en tant que diaphragme, cette plaque est endommagée thermiquement en raison du faible diamètre du faisceau Même si on fait diffuser la lumière, la lumière qui est arrêtée par le diaphragme, devient une lumière formant une source de lumière presque ponctuelle autour de sa position focale, et la lumière pénètre à nouveau dans le milieu laser et par conséquent l'effet d'arrêt produit par le diaphragme est faible. C'est pourquoi, on installe une plaque possédant une surface relativement lisse obliquement de manière que la lumière ne pénètre pas à nouveau sur le côté du milieu laser En outre, l'ouverture circulaire oblique se présente sous une forme ovale lorsqu'on la regarde dans la direction de l'axe de la lumière laser De ce fait, on installe une ouverture 11 telle que l'ouverture apparaisse comme ayant

une forme circulaire.

La figure 7 représente une forme de réalisation, dans laquelle la présente invention est appliquée à un oscillateur laser comprenant un résonateur et un amplificateur Dans cette forme de réalisation, la lumière émise spontanément par l'amplificateur est empêchée de retourner à ce dernier C'est-à-dire que, dans la présente forme de réalisation, une lumière laser 4 possédant une directivité constante et qui oscille à partir du résonateur , est amplifiée par les amplificateurs 24 et 25, ce qui

accroît la puissance de sortie.

Dans la présente forme de réalisation décrite précédemment, la lumière, qui fait partie de la lumière émise spontanément par les amplificateurs 24 et 25 et qui est envoyée au côté du résonateur 20, est réfléchie par le miroir formant réfléchisseur 2 et revient aux amplificateurs 24 et 25 Lorsque les systèmes de diaphragmes 5,6 et 7 de l'oscillateur agissent en éliminant la lumière émise spontanément par l'amplificateur, un laser délivrant de brèves impulsions et possédant une directivité constante peut être mis en oscillations par le système du laser De même les systèmes formant diaphragmes 21,22 et 23 ont pour effet d'empêcher une amplification de la lumière émise spontanément, par le milieu laser 1 et l'oscillateur 20, et empêcher un retour de la lumière émise spontanément par l'amplificateur en raison d'une réflexion partielle par le miroir de sortie 3 de l'oscillateur 20 Comme cela été précédemment, la présente invention fournit les effets

indiqués ci-après.

L'invention permet de réaliser un oscillateur laser possédant en permanence une directivité presque

constante.

De même la présente invention permet de fournir un oscillateur laser possédant un faisceau ayant, dans

l'espace, une intensité presque constante.

En outre la présente invention permet de réaliser

un oscillateur en anneau qui oscille de manière efficace.

En outre, on réalise des oscillateurs laser à impulsions comme par exemple un laser eximère et un laser à vapeur de cuivre, qui font osciller le laser possédant en

permanence une directivité presque constante.

Claims (11)

REVENDICATIONS

1 Oscillateur laser comportant un résonateur possédant un miroir entièrement réfléchissant et un miroir de sortie, qui sont installés en étant séparés par un intervalle dans lequel est disposé un milieu laser, et des moyens pour exciter le milieu laser, caractérisé en ce qu'il comprend un système optique ( 5,6,7) pour sélectionner la directivité de la lumière à partir du résonateur ( 1,2,3) entre ledit miroir entièrement réfléchissant ( 2) et ledit

milieu laser ( 1).

2 Oscillateur laser selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens ( 7) pour empêcher qu'une lumière inutile émise spontanément, qui est produite par ledit

milieu laser, ne pénètre à nouveau dans ledit milieu laser.

3 Oscillateur laser selon l'une des

revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comprend

deux éléments ( 5,6) de collecte de la lumière, disposés entre ledit miroir entièrement réfléchissant et ledit milieu laser, et un mécanisme d'ouverture ( 7) disposé dans la position presque commune des foyers desdits éléments de

collecte de la lumière.

4 Oscillateur laser selon l'une quelconque des

revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'il comprend

deux éléments de collecte de la lumière ( 5,6; 8,9), et une ouverture circulaire ( 7; 10) située dans la position presque commune des foyers desdits éléments de collecte de la lumière, dans au moins un intervalle présent entre ledit milieu laser ( 1) et ledit miroir entièrement réfléchissant ( 2) et entre ledit milieu laser ( 1) et ledit miroir de sortie ( 3), le rayon de ladite ouverture étant égal au moins au double du rayon d'une image qui est focalisée sur ladite ouverture lorsqu'un faisceau monomode est formé dans ledit résonateur. 5 Oscillateur laser selon la revendication 4, caractérisé en ce que ladite ouverture ( 7,10) est disposée obliquement par rapport à un axe du laser, qui est formé

dans ledit résonateur.

6 Oscillateur laser selon l'une des

revendications 4 ou 5, caractérisé en ce que

le coefficient de réflexion dudit miroir de sortie ( 3) est égal au moins à 1 %, et le coefficient d'amplification de la lumière inutile émise spontanément par ledit milieu laser ( 1) et réfléchie par ledit miroir de sortie ( 3) est égal au maximum

à un pourcentage désiré.

7 Oscillateur laser selon la revendication 6, caractérisé en ce que ledit oscillateur est un laser à vapeur de cuivre et que ledit pourcentage désiré est égal à

18 %.

8 Oscillateur laser selon l'une quelconque des

revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'il comporte un

amplificateur ( 24,25) qui amplifie la lumière de sortie

délivrée par le résonateur ( 20).

9 Oscillateur laser selon l'une quelconque des

revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comporte

des moyens d'excitation pulsatoire ( 30) dudit

milieu laser.

Oscillateur laser selon l'une quelconque des

revendications 1 à 9, caractérisé en ce qu'il comprend

des moyens pour interrompre l'excitation dudit milieu laser ( 1) avant qu'un laser, qui est formé dans ledit

résonateur, établisse un mode transversal.

11 Oscillateur laser selon l'une quelconque des

revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'il produit une

lumière laser possédant en permanence une directivité

presque constante.

12 Oscillateur laser selon l'une quelconque des

revendications 1 à 11, caractérisé en ce qu'il produit une

lumière laser possédant une intensité presque constante dans l'espace. 13 Oscillateur laser selon l'une quelconque des

revendications 1 à 12, caractérisé en ce qu'il produit une

lumière laser possédant en permanence une directivité presque constante et une puissance de sortie de l'ordre du watt. 14 Oscillateur laser selon l'une quelconque des

revendications 1 à 13, caractérisé en ce que lesdits moyens

situés entre ledit miroir entièrement réfléchissant et ledit milieu laser et servant à sélectionner une lumière émise spontanément forment une lumière parallèle dans ledit résonateur, à partir de la lumière émise spontanément et

produite par ledit milieu laser.

Dispositif pour la fabrication de semiconducteurs, caractérisé en ce qu'il comporte un oscillateur laser selon l'une quelconque des

revendications 1 à 14,

des moyens pour diriger la lumière laser ( 4) délivrée par ledit oscillateur laser vers un masque ( 12), ledit oscillateur laser produisant une lumière laser ayant en permanence une directivité presque constante

et ne présentant aucune interférence.