KR910001160B1 - 보조전극을 사용하여 기체방전 레이저의 출력을 안정화시키는 방법 - Google Patents

보조전극을 사용하여 기체방전 레이저의 출력을 안정화시키는 방법 Download PDF

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Abstract

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Description

보조전극을 사용하여 기체방전 레이저의 출력을 안정화시키는 방법
제1도는 본 발명의 제1실시예도.
제2도는 본 발명의 제2실시예도.
본 발명은 기체방전 레이저에서 보조전극으로 방전전류를 궤환조절하여 레이저 출력을 안정화하는 방법에 관한 것이다.
기체방전 레이저는 공진기, 전원 및 레이저 매질(기체)의 3부분으로 분류할 수 있으며, 레이저 출력은 방전조건, 기체조건, 공진기조건 등의 변화에 의해서 요동한다.
이러한 출력의 요동을 안정화하기 위해서 주방전 전원의 전류조절 또는 단일파장레이저의 경우에는 공진기의 길이조절 등으로 레이저 출력을 안정화하는 방법이 사용되어 있으나, 본 발명에서는 양극과 음극사이에 보조전극을 설치하고 이 보조전극에 인가되는 전압의 크기를 레이저 출력의 요동에 따라 궤환조절하여 레이저 출력을 안정화하는 방법을 사용한다.
보조전극에 음전압(NEGATIVE VOLTAGE)을 인가하는 경우 음전압의 크기를 크게하면 방전관에 흐르는 전류가 증가하게 된다. 따라서 최적 전류 이하의 전류에서 작동하고 있는 레이저에서 보조전극에 인가되는 음전압의 크기를 크게하면 레이저 출력이 증가하고 음전압의 크기를 작게하면 레이저 출력이 감소되며, 최적전류 이상의 전류에서 작동하고 있는 레이저의 경우에는 음전압의 크기를 크게하면 레이저 출력이 감소하고 음전압의 크기를 작게하면 레이저 출력을 증가한다.
본 발명에서는 기체방전 레이저를 최적전류보다 약간 낮은 전류에서 작동하도록 하고 레이저 출력의 요동에 따라 보조전극에 인가되는 전압의 크기를 궤환조절하여 레이저 출력을 안정화시킨다.
이하 본 발명의 요지를 첨부도면에 연계시켜 상세히 설명하면 다음과 같다.
레이저 출력을 안정화하는 과정은 제1도와 제2도에서 보는 바와 같이 광분리기(1)로 레이저빔(2)의 일부를 분리하거나 전반사거울(3)에서 레이저빔의 일부가 투과하도록 하여 이것을 광감지기(4)로 측정하고 또는 레이저 출력의 요동을 방전관내의 임피던스변화로 측정하여 측정된 신호를 궤환조절장치(5)에 입력하여 신호의 요동 즉, 레이저 출력의 요동에 따라 궤환조절장치(5)에서 보조전극(6)에서 인가되는 전압의 크기를 조절하여 레이저 출력을 안정화되게 하는 것이다.
도면중 미설명부호 7은 전원 8은 레이저 매질(기체) 9는 양극 10은 음극 11은 반투과거울이다.
이와 같이된 본 발명의 특징은 보조전극은 주방전 전극보다 휠씬 낮은 전압과 전류에서 작동하기 때문에 궤환조절장치의 제작이 쉽고 안전하면 제작원가가 저렴하고, 레이저 출력의 요동은 안정화하지 않은 경우의 레이저 출력 요동의 1/10 이하로 감소하는 효과가 발생하는 것이다.

Claims (1)

  1. 광분리기(1)로 레이저빔(2)의 일부를 분리하여 이것을 광감지기(4)로 측정하거나 전반사거울(3)에서 레이저빔의 일부가 투과되도록 하여 이것을 광감지기(4)로 측정하고, 또는 레이저 출력의 요동을 방전관내의 임피던스의 변화로 측정하여 측정된 신호의 요동 즉, 레이저 출력의 요동에 따라 궤환조절장치(5)에서 보조전극에서 인가되는 전압의 크기를 조절하여 레이저 출력을 안정화함을 특징으로 하는 보조전극을 사용하여 기체방전 레이저의 출력을 안정화시키는 방법.
KR1019880008693A 1988-07-13 1988-07-13 보조전극을 사용하여 기체방전 레이저의 출력을 안정화시키는 방법 KR910001160B1 (ko)

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