JPS62104089A - レ−ザ出力制御装置 - Google Patents
レ−ザ出力制御装置Info
- Publication number
- JPS62104089A JPS62104089A JP60243512A JP24351285A JPS62104089A JP S62104089 A JPS62104089 A JP S62104089A JP 60243512 A JP60243512 A JP 60243512A JP 24351285 A JP24351285 A JP 24351285A JP S62104089 A JPS62104089 A JP S62104089A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- laser
- power
- value
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、レーザ出力制御装置に闇し、特に加工中のレ
ーザ出力を一定に保つための制御装置に関する。
ーザ出力を一定に保つための制御装置に関する。
従来の技術
従来、この種の装置として第２図に示すものがあった０
図において、レーザ発振器Ａからのレーザ光光軸上にハ
ーフミラ−Ｂが設けられ、このハーフミラ−Ｂによって
レーザ光の一部が透過され残り全部が反射されて被加工
物Ｗへ導かれる。ハーフミラ−Ｂの後ろ側には透過され
た一部のレーザ光によってレーザ出力を検出するための
出力パワー検出器Ｃが設けられている。そして、この出
力パワー検出器Ｃの出力は増幅器りによって増幅され比
較器已に入力される。この比較器已において上記増幅さ
れた出力パワー値は出力設定器Ｆからの指令パワー値と
比較され、その誤差信号を誤差増幅器Ｇで増幅して電流
制御回ＭＨに与えレーザ発振器Ａの出力パラ−を指令パ
ワーと一致させるようにフィードバック制御していた。
図において、レーザ発振器Ａからのレーザ光光軸上にハ
ーフミラ−Ｂが設けられ、このハーフミラ−Ｂによって
レーザ光の一部が透過され残り全部が反射されて被加工
物Ｗへ導かれる。ハーフミラ−Ｂの後ろ側には透過され
た一部のレーザ光によってレーザ出力を検出するための
出力パワー検出器Ｃが設けられている。そして、この出
力パワー検出器Ｃの出力は増幅器りによって増幅され比
較器已に入力される。この比較器已において上記増幅さ
れた出力パワー値は出力設定器Ｆからの指令パワー値と
比較され、その誤差信号を誤差増幅器Ｇで増幅して電流
制御回ＭＨに与えレーザ発振器Ａの出力パラ−を指令パ
ワーと一致させるようにフィードバック制御していた。
しかし、この方法では一旦し−ザ発振器Ａから発射され
たレーザ光は被加工物Ｗによって反射され、その反射光
は逆経路をたどってレーザ発振器Ａに再入射しレーザ光
に混入するため、出力パワー検出器Ｃには反射光も同時
に検出されるため、レーザ出力は第３図のようになり反
射光を除く実際の出力は低下してしまう。したがって、
シャッタＩの閉じているときの非加工中のレーザ出力は
安定しているが、シャッタｌの開いた加工中は反射光成
分が加わるために検出出力は不規則に変化し、しかも反
射光成分を除いた実際の有効出力は低下して第３図中波
状に示されるように不規則に変化し、良好な加工が困難
となる欠陥があった。
たレーザ光は被加工物Ｗによって反射され、その反射光
は逆経路をたどってレーザ発振器Ａに再入射しレーザ光
に混入するため、出力パワー検出器Ｃには反射光も同時
に検出されるため、レーザ出力は第３図のようになり反
射光を除く実際の出力は低下してしまう。したがって、
シャッタＩの閉じているときの非加工中のレーザ出力は
安定しているが、シャッタｌの開いた加工中は反射光成
分が加わるために検出出力は不規則に変化し、しかも反
射光成分を除いた実際の有効出力は低下して第３図中波
状に示されるように不規則に変化し、良好な加工が困難
となる欠陥があった。
発明の目的およびその解決手段
ここに、本発明の目的は反射光成分による出力パワーへ
の影響を取除き、常に安定したレーザ出力を保つことに
ある。
の影響を取除き、常に安定したレーザ出力を保つことに
ある。
そこで、本発明は出力パワー検出器の他に反射パワー検
出器を設けて反射パワー検知も行い、出力パワー検出器
の値から反射パワー検出器の値を差し引いた値と必要と
するレーザ出力パワーの値とを比較しその差分をレーザ
ー発振器へフィードバックして出力制御を行うものであ
る。
出器を設けて反射パワー検知も行い、出力パワー検出器
の値から反射パワー検出器の値を差し引いた値と必要と
するレーザ出力パワーの値とを比較しその差分をレーザ
ー発振器へフィードバックして出力制御を行うものであ
る。
発明の構成
以下、本発明の具体的構成を第１図に基づいて説明する
。
。
１は陽ｆｆ１２と陰極３この間に放電部４を形成しこの
放電部４よりレーザ光を出力するレーザ発振器で、この
レーザ発振器１は上記放電部４を介してたがいに対向し
て設けられた全反射ミラー５および出力側のハーフミラ
−６を有している。７は上記レーザ発振器１の陽極２と
陰極３この間に電圧を供給する電源、８は上記レーザ発
振器１への電流を制御する電流制御回路である。また、
９は上記レーザ発振器１のハーフミラ−６から取出され
たレーザ光の光軸上に設けられたハーフミラ−で、この
ハーフミラ−９は上記レーザ発振器１がらのレーザの一
部を透過し他の全てを直角方向に反射させて加工用レー
ザとして被加工物Ｗ上へ導くものである。１０は上記ハ
ーフミラ−９を介してレーザ発振器１と反対側に設けら
れ上記ハーフミラ−９を透過したビームによりレーザ出
力を検出するための出力パワー検出器、１１は上記ハー
フミラ−９を介して被加工物Ｗと反対側に設けられ被加
工物Ｗによって反射された反射光を上記ハーフミラ−９
の透過光によって検出する反射パワー検出器である。１
２は上記出力パワー検出器１０からの検出信号を必要レ
ベルまで増幅する第１増幅器、１３は上記反射パワー検
出器１１からの検出信号を必要レベルまで増幅する第２
増幅器、１４はＮＧテープ等によりレーザの出力パワー
を指定するためのパワー設定手段である。１５は比較器
で、上記第１増幅器１２からの入力を一極に第２増幅器
１３およびパワー設定手段１４からの人力をそれぞれ十
極にもち、出力パワー値から反射パワー値を取除いた値
と設定手段１４による指令パワー値とを比較し、その差
分を誤差信号として、次段の誤差増幅器１６へ送る。そ
して、この誤差増幅器１６の出力は上記電流制御回路８
へ送られ、一連のフィードバック系が形成されている。
放電部４よりレーザ光を出力するレーザ発振器で、この
レーザ発振器１は上記放電部４を介してたがいに対向し
て設けられた全反射ミラー５および出力側のハーフミラ
−６を有している。７は上記レーザ発振器１の陽極２と
陰極３この間に電圧を供給する電源、８は上記レーザ発
振器１への電流を制御する電流制御回路である。また、
９は上記レーザ発振器１のハーフミラ−６から取出され
たレーザ光の光軸上に設けられたハーフミラ−で、この
ハーフミラ−９は上記レーザ発振器１がらのレーザの一
部を透過し他の全てを直角方向に反射させて加工用レー
ザとして被加工物Ｗ上へ導くものである。１０は上記ハ
ーフミラ−９を介してレーザ発振器１と反対側に設けら
れ上記ハーフミラ−９を透過したビームによりレーザ出
力を検出するための出力パワー検出器、１１は上記ハー
フミラ−９を介して被加工物Ｗと反対側に設けられ被加
工物Ｗによって反射された反射光を上記ハーフミラ−９
の透過光によって検出する反射パワー検出器である。１
２は上記出力パワー検出器１０からの検出信号を必要レ
ベルまで増幅する第１増幅器、１３は上記反射パワー検
出器１１からの検出信号を必要レベルまで増幅する第２
増幅器、１４はＮＧテープ等によりレーザの出力パワー
を指定するためのパワー設定手段である。１５は比較器
で、上記第１増幅器１２からの入力を一極に第２増幅器
１３およびパワー設定手段１４からの人力をそれぞれ十
極にもち、出力パワー値から反射パワー値を取除いた値
と設定手段１４による指令パワー値とを比較し、その差
分を誤差信号として、次段の誤差増幅器１６へ送る。そ
して、この誤差増幅器１６の出力は上記電流制御回路８
へ送られ、一連のフィードバック系が形成されている。
発明の作用
次に、本装置の動作を説明する。
まず、レーザ発振器１の陽極２と陰＠ｉ３の間に電源７
から電圧を印加すると放電部４が形成され、対向した全
反射ミラー５とハーフミラ−６の間でレーザ光が発生し
、ハーフミラ−６を介して外部へ発射される。このレー
ザ発振器１がら出力されたレーザ光の一部はハーフミラ
−９ｆ：透過して検出用レーザ光として出力パワー検出
器１０へ入射され、他はハーフミラ−９に反射されて加
工用レーザ光として被′加工物Ｗへ向かって照射される
。
から電圧を印加すると放電部４が形成され、対向した全
反射ミラー５とハーフミラ−６の間でレーザ光が発生し
、ハーフミラ−６を介して外部へ発射される。このレー
ザ発振器１がら出力されたレーザ光の一部はハーフミラ
−９ｆ：透過して検出用レーザ光として出力パワー検出
器１０へ入射され、他はハーフミラ−９に反射されて加
工用レーザ光として被′加工物Ｗへ向かって照射される
。
シャッタ１７が開いた加工中に、被加工物Ｗによって反
射光が発生した場合、その反射光はレーザ照射方向と逆
の経路をたどり、一部は途中のハーフミラ−９を透過し
て後方の反射パワー検出器１１へ反射パワー検出光とし
て入射され、他はハーフミラ−９によって反射されてレ
ーザ発振器１へ再入射し全反射ミラー５とハーフミラ−
６で反射されレーザ光に混入する。このため、出力パワ
ー検出器１０では反射光成分が加わった不規則なバワー
が検出されることになる。この出力パワー検出器１０の
出力は第１増幅器１２で必要レベルに増幅され、比較器
１５ヘ一の極性で入力される。
射光が発生した場合、その反射光はレーザ照射方向と逆
の経路をたどり、一部は途中のハーフミラ−９を透過し
て後方の反射パワー検出器１１へ反射パワー検出光とし
て入射され、他はハーフミラ−９によって反射されてレ
ーザ発振器１へ再入射し全反射ミラー５とハーフミラ−
６で反射されレーザ光に混入する。このため、出力パワ
ー検出器１０では反射光成分が加わった不規則なバワー
が検出されることになる。この出力パワー検出器１０の
出力は第１増幅器１２で必要レベルに増幅され、比較器
１５ヘ一の極性で入力される。
同時に反射パワー検出器１１の出力は第２増幅器１３で
必要レベルに増幅され比較器１５へ十の極性で入力され
る。また、パワー設定手段１４かもの指令パワー値が比
較器１５に十の極性で入力されており、このため比較器
１５では検出パワー値と指令パワー値この比較に加え、
反射光による実パワーの低下を補正するために反射パワ
ー分だけ誤差値を補正している。すなわち、検出パワー
値から反射パワー値を差し引いた値と指令パワー値とが
比較され、その誤差信号が誤差増幅器１６で増幅され、
電流制御回路８へ送られる。このようにして、一連の出
力補償制御系を構成し、反射光の混入分の差し引き演算
を行った指令パワー通りの第３図点線で示すような安定
した実レーザ出力を維持する。
必要レベルに増幅され比較器１５へ十の極性で入力され
る。また、パワー設定手段１４かもの指令パワー値が比
較器１５に十の極性で入力されており、このため比較器
１５では検出パワー値と指令パワー値この比較に加え、
反射光による実パワーの低下を補正するために反射パワ
ー分だけ誤差値を補正している。すなわち、検出パワー
値から反射パワー値を差し引いた値と指令パワー値とが
比較され、その誤差信号が誤差増幅器１６で増幅され、
電流制御回路８へ送られる。このようにして、一連の出
力補償制御系を構成し、反射光の混入分の差し引き演算
を行った指令パワー通りの第３図点線で示すような安定
した実レーザ出力を維持する。
発明の詳細
な説明したように、本発明は出力パワー七一定に保つた
めの出力補償制御系において、出力パワー検出器の他に
被加工物によって反射された反射光を検出する反射パワ
ー検出器を設け、上記出力パワー検出器のパワー値から
上記反射パワー検出器のパワー値を取除いた値を指令パ
ワー値と比較し、その誤差分でレーザ出力を補償制御し
たので、被加工物によって反射光が発生し、その反射光
がレーザ発振器へ再入射してレーザ光に混入したとして
も、反射光成分が加わった出力パワー値からその反射光
成分を取除いて実出力パワーを指令パワー通りに安定に
保持することができる。したがって、反射光が発生して
も出力パワーに変動がなく安定した加工が行える効果が
ある。
めの出力補償制御系において、出力パワー検出器の他に
被加工物によって反射された反射光を検出する反射パワ
ー検出器を設け、上記出力パワー検出器のパワー値から
上記反射パワー検出器のパワー値を取除いた値を指令パ
ワー値と比較し、その誤差分でレーザ出力を補償制御し
たので、被加工物によって反射光が発生し、その反射光
がレーザ発振器へ再入射してレーザ光に混入したとして
も、反射光成分が加わった出力パワー値からその反射光
成分を取除いて実出力パワーを指令パワー通りに安定に
保持することができる。したがって、反射光が発生して
も出力パワーに変動がなく安定した加工が行える効果が
ある。
第１図は本発明の装置を示す図、第２図は従来の装置を
示す図、第３図は従来の装置の欠点を説明するための図
である。 １・・・レーザ発振器、８・・・電流制御回路、９・・
・ハーフミラ−１１０・・・出力パワー検出器、１１・
・・反射パワー検出器、１４・・・パワー設定手段、１
５・・・比較器、Ｗ・・・被加工物。 特許出願人 株式会社 日平トヤマ 第１図
示す図、第３図は従来の装置の欠点を説明するための図
である。 １・・・レーザ発振器、８・・・電流制御回路、９・・
・ハーフミラ−１１０・・・出力パワー検出器、１１・
・・反射パワー検出器、１４・・・パワー設定手段、１
５・・・比較器、Ｗ・・・被加工物。 特許出願人 株式会社 日平トヤマ 第１図
Claims (1)
- （１）レーザ発振器と、このレーザ発振器への電流を制
御する電流制御回路と、上記レーザ発振器からのレーザ
光光軸上に設けられ上記レーザ発振器から出力されたレ
ーザ光の一部を透過するとともに他を直角方向に反射さ
せて被加工物へ導くハーフミラーと、このハーフミラー
を透過したレーザ光のレーザ出力を検出する出力パワー
検出器と、上記ハーフミラーを介して被加工物からの反
射光を検出する反射パワー検出器と、レーザ出力を指令
する出力パワー設定手段と、上記出力パワー検出器のパ
ワー値から上記反射パワー検出器のパワー値を取除いた
値を上記出力パワー設定手段の指令パワー値と比較し、
その誤差分に比例した電流値を上記電流制御回路へ与え
る比較器とを具備したことを特徴とするレーザ出力制御
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60243512A JPH0714098B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | レ−ザ出力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60243512A JPH0714098B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | レ−ザ出力制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62104089A true JPS62104089A (ja) | 1987-05-14 |
| JPH0714098B2 JPH0714098B2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=17105006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60243512A Expired - Fee Related JPH0714098B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | レ−ザ出力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0714098B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6448686A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-23 | Nec Corp | Laser beam trimming device |
| JPH01170591A (ja) * | 1987-11-25 | 1989-07-05 | Robert Bosch Gmbh | 工作物加工装置 |
| JPH0246987A (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-16 | Nec Corp | レーザ光エネルギー管理方法 |
| EP0367624A2 (en) * | 1988-11-03 | 1990-05-09 | Lasa Industries, Inc. | Method and apparatus for laser process control |
| JPH0825072A (ja) * | 1994-07-07 | 1996-01-30 | Nec Corp | レーザ溶接機用の溶接状態監視装置およびその監視方法 |
| JP2017144484A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 付加製造におけるレーザ出力監視 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7324976B2 (ja) * | 2019-07-01 | 2023-08-14 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | レーザ加工ヘッド、レーザ加工装置及びレーザ加工制御方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6026320A (ja) * | 1983-07-22 | 1985-02-09 | Canon Inc | 光学変調素子 |
| JPS60167486A (ja) * | 1984-02-10 | 1985-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工制御装置 |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP60243512A patent/JPH0714098B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6026320A (ja) * | 1983-07-22 | 1985-02-09 | Canon Inc | 光学変調素子 |
| JPS60167486A (ja) * | 1984-02-10 | 1985-08-30 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工制御装置 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6448686A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-23 | Nec Corp | Laser beam trimming device |
| JPH01170591A (ja) * | 1987-11-25 | 1989-07-05 | Robert Bosch Gmbh | 工作物加工装置 |
| JPH0246987A (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-16 | Nec Corp | レーザ光エネルギー管理方法 |
| EP0367624A2 (en) * | 1988-11-03 | 1990-05-09 | Lasa Industries, Inc. | Method and apparatus for laser process control |
| JPH0825072A (ja) * | 1994-07-07 | 1996-01-30 | Nec Corp | レーザ溶接機用の溶接状態監視装置およびその監視方法 |
| JP2017144484A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 付加製造におけるレーザ出力監視 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0714098B2 (ja) | 1995-02-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5408482A (en) | Apparatus for and method of controlling the output of a laser source | |
| JPS62104089A (ja) | レ−ザ出力制御装置 | |
| WO2020108490A1 (zh) | 一种激光器及其出光控制方法、装置及激光设备 | |
| JP2647832B2 (ja) | レーザ発振器 | |
| US4949345A (en) | Method and apparatus for reducing the effect of random polarization on the power/energy output of lasers | |
| CA2038334A1 (en) | Apparatus and method for detecting the power level in single and multi-stripe integrated lasers | |
| JPH0550240A (ja) | 自動溶接装置とその溶接条件制御方法 | |
| JPS6342434B2 (ja) | ||
| JPH06196789A (ja) | パルスレーザ発生装置およびそれを用いた装置 | |
| JP2809064B2 (ja) | レーザ加工機の制御方法及び装置 | |
| JPS60223180A (ja) | レ−ザ出力制御装置 | |
| JPH0250837B2 (ja) | ||
| JPH05177372A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH0523176U (ja) | レーザ測距装置 | |
| JPS6055415A (ja) | 位置決めサ−ボ装置の速度オフセツト調整装置 | |
| JPH0212984A (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JPH07335960A (ja) | レーザ増幅装置 | |
| US4684782A (en) | Control system for a charged particle beam apparatus | |
| JPH0710864Y2 (ja) | レーザ加工機のレーザ出力制御装置 | |
| JPH01241391A (ja) | レーザビーム溶接における良否判定方法 | |
| JP2572235B2 (ja) | 波長制御装置 | |
| JPS54134659A (en) | Reflection type light beam system detector | |
| JPS60167486A (ja) | レ−ザ加工制御装置 | |
| JPS63207486A (ja) | レ−ザ−トリミング装置 | |
| JPH0566202A (ja) | 溶接状態検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |