JPS63207486A - レ−ザ−トリミング装置 - Google Patents
レ−ザ−トリミング装置Info
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- JPS63207486A JPS63207486A JP62039491A JP3949187A JPS63207486A JP S63207486 A JPS63207486 A JP S63207486A JP 62039491 A JP62039491 A JP 62039491A JP 3949187 A JP3949187 A JP 3949187A JP S63207486 A JPS63207486 A JP S63207486A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser beam
- trimming
- output value
- laser output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009966 trimming Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は混成集積回路の抵抗値あるいは電気的特性値の
調節を行うレーザートリミング装置に関する。
調節を行うレーザートリミング装置に関する。
従来、この種のレーザートリミング装置は第３図に示す
ようにレーザー電源１と、レーザー発振器３と、反射鏡
１１．１４と、ビームポジショナ９とからなり、レーザ
ー光５をビームポジショナ９の集光レンズ１０で集光し
試料１２に照射してレーザートリミングを行っており、
レーザー発振器３とビームポジショナ９までの光路途中
に、レーザー測定器のセンサ一部を置いて測定し、この
レーザー出力が所望の値でなかったら、レーザー測定器
を見ながらレーザー電源１の入力電流調整ダイヤルを回
してレーザー出力の調節を行っている。
ようにレーザー電源１と、レーザー発振器３と、反射鏡
１１．１４と、ビームポジショナ９とからなり、レーザ
ー光５をビームポジショナ９の集光レンズ１０で集光し
試料１２に照射してレーザートリミングを行っており、
レーザー発振器３とビームポジショナ９までの光路途中
に、レーザー測定器のセンサ一部を置いて測定し、この
レーザー出力が所望の値でなかったら、レーザー測定器
を見ながらレーザー電源１の入力電流調整ダイヤルを回
してレーザー出力の調節を行っている。
上述した従来のレーザートリミング装置では、レーザー
トリミング途中でレーザー出力が低下しても自動的にレ
ーザー出力を測定できないため、例えばオートハンドラ
ーで試料を供給していた場合、切削不良のトリミングを
してしまう問題があった・ 本発明の目的はトリミング不良の発生を防止したレーザ
ートリミング装置を提供することにある。
トリミング途中でレーザー出力が低下しても自動的にレ
ーザー出力を測定できないため、例えばオートハンドラ
ーで試料を供給していた場合、切削不良のトリミングを
してしまう問題があった・ 本発明の目的はトリミング不良の発生を防止したレーザ
ートリミング装置を提供することにある。
上述した従来のレーザートリミング装置に対し、本発明
はトリミング途中でレーザー出力の低下を検出し所望の
レーザー出力に補正するという独創的内容を有する。
はトリミング途中でレーザー出力の低下を検出し所望の
レーザー出力に補正するという独創的内容を有する。
Ｃ問題点を解決するための手段〕
本発明のレーザートリミング装置はレーザー電源の入力
電流を制御する電源制御部と、レーザー電源によりレー
ザー出力が制御されるレーザー発振器と、ビームポジシ
ョナまでの光路途中にレーザー光の一部を反射あるいは
透過するハーフミラ−と、該ハーフミラ−で反射あるい
は透過されたレーザー光の出力を測定するレーザー測定
器と、レーザー測定器で測定したレーザー出力値と所望
のレーザー出力値との差を電源制御部の制御により補正
するレーザー制御部とを有することを一特徴とするもの
である。
電流を制御する電源制御部と、レーザー電源によりレー
ザー出力が制御されるレーザー発振器と、ビームポジシ
ョナまでの光路途中にレーザー光の一部を反射あるいは
透過するハーフミラ−と、該ハーフミラ−で反射あるい
は透過されたレーザー光の出力を測定するレーザー測定
器と、レーザー測定器で測定したレーザー出力値と所望
のレーザー出力値との差を電源制御部の制御により補正
するレーザー制御部とを有することを一特徴とするもの
である。
以下、本発明の実施例を図により説明する。
（実施例１）
第１図は本発明の第１の実施例を示す図である。
第１図において、本実施例はレーザー電源１の入力電流
を制御する電源制御部２と、レーザー電源１によりレー
ザー出力が制御されるレーザー発振器３と、ビームポジ
ショナ９までの光路途中にレーザー光５の一部を反射あ
るいは透過するハーフミラ−４と、ハーフミラ−を透過
したレーザー光５の光路上にセンサ一部を配置したレー
ザー測定器７と、レーザー測定器７の測定コントロール
部７ａと、レーザー測定器７で測定したレーザー出力値
と所望のレーザー出力値との差を電源制御部２の制御に
より補正するレーザー制御部８とを備えている。
を制御する電源制御部２と、レーザー電源１によりレー
ザー出力が制御されるレーザー発振器３と、ビームポジ
ショナ９までの光路途中にレーザー光５の一部を反射あ
るいは透過するハーフミラ−４と、ハーフミラ−を透過
したレーザー光５の光路上にセンサ一部を配置したレー
ザー測定器７と、レーザー測定器７の測定コントロール
部７ａと、レーザー測定器７で測定したレーザー出力値
と所望のレーザー出力値との差を電源制御部２の制御に
より補正するレーザー制御部８とを備えている。
第１図において、レーザー発振器３で発振されたレーザ
ー光５の一部がハーフミラ−４で透過し、その透過光６
がレーザー測定器７のセンサ一部へ照射される。
ー光５の一部がハーフミラ−４で透過し、その透過光６
がレーザー測定器７のセンサ一部へ照射される。
これよりレーザー発振器３からのレーザー出力値をレー
ザー測定器７の測定コントロール部７ａで取り出し、デ
ータをレーザー制御部８へ送り、レーザー制御部８でレ
ーザー発振器３からのレーザー出力値と所望のレーザー
出力を比較し、差が０になるように電源制御部２を制御
して、レーザー電源１の入力電流を変え、レーザー発振
器３からのレーザー出力を調節する。
ザー測定器７の測定コントロール部７ａで取り出し、デ
ータをレーザー制御部８へ送り、レーザー制御部８でレ
ーザー発振器３からのレーザー出力値と所望のレーザー
出力を比較し、差が０になるように電源制御部２を制御
して、レーザー電源１の入力電流を変え、レーザー発振
器３からのレーザー出力を調節する。
尚、所望値のデータは本発明ではトリミング制御装置１
５よりレーザー制御部８へ送る。
５よりレーザー制御部８へ送る。
（実施例２）
第２図は本発明の第２の実施例の概略図である。
本実施例ではレーザー発振器３で発振されたレーザー光
５の一部がハーフミラ−４で反射し、その反射光１３が
レーザー測定器７のセンサ一部へ照射され第１の実施例
に示した方法と同じようにレーザー出力が調節される。
５の一部がハーフミラ−４で反射し、その反射光１３が
レーザー測定器７のセンサ一部へ照射され第１の実施例
に示した方法と同じようにレーザー出力が調節される。
以上説明したように本発明はレーザートリミング途中で
レーザー出力を測定し、その測定値と所望のレーザー出
力値とに差があれば、レーザー出力を補正することがで
き、その結果オートハンドラー等自動で試料を供給して
も切削不良のトリミングを防止できる効果を有するもの
である。
レーザー出力を測定し、その測定値と所望のレーザー出
力値とに差があれば、レーザー出力を補正することがで
き、その結果オートハンドラー等自動で試料を供給して
も切削不良のトリミングを防止できる効果を有するもの
である。
第１図は本発明の第１の実施例を示す概略図、第２図は
本発明の第２の実施例の概略図、第３図は従来のレーザ
ートリミング装置を示す概略図である。 １・・・レーザー電源 ２・・・電源制御部３・
・・レーザー発振器 ４・・・ハーフミラ−５・・
・レーザー光 ６・・・透過光７・・・レーザ
ー測定器 ８・・・レーザー制御部９・・・ビーム
ポジショナ １０・・・集光レンズ１１．１４・・・
反射鏡 １２・・・試料１３・・・反射光
本発明の第２の実施例の概略図、第３図は従来のレーザ
ートリミング装置を示す概略図である。 １・・・レーザー電源 ２・・・電源制御部３・
・・レーザー発振器 ４・・・ハーフミラ−５・・
・レーザー光 ６・・・透過光７・・・レーザ
ー測定器 ８・・・レーザー制御部９・・・ビーム
ポジショナ １０・・・集光レンズ１１．１４・・・
反射鏡 １２・・・試料１３・・・反射光
Claims (1)
- （１）レーザー電源の入力電流を制御する電源制御部と
、該レーザー電源によりレーザー出力が制御されるレー
ザー発振器と、ビームポジショナまでの光路途中にレー
ザー光の一部を反射あるいは透過するハーフミラーと、
該ハーフミラーで反射あるいは透過された該レーザー光
の出力を測定するレーザー測定器と、該レーザー測定器
で測定したレーザー出力値と所望のレーザー出力値との
差を電源制御部の制御により補正するレーザー制御部と
を有することを特徴とするレーザートリミング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62039491A JPS63207486A (ja) | 1987-02-23 | 1987-02-23 | レ−ザ−トリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62039491A JPS63207486A (ja) | 1987-02-23 | 1987-02-23 | レ−ザ−トリミング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63207486A true JPS63207486A (ja) | 1988-08-26 |
Family
ID=12554521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62039491A Pending JPS63207486A (ja) | 1987-02-23 | 1987-02-23 | レ−ザ−トリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63207486A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017144484A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 付加製造におけるレーザ出力監視 |
-
1987
- 1987-02-23 JP JP62039491A patent/JPS63207486A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017144484A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 付加製造におけるレーザ出力監視 |
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