JPH079412Y2 - アルゴンガスレ−ザ装置 - Google Patents
アルゴンガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPH079412Y2 JPH079412Y2 JP1987100495U JP10049587U JPH079412Y2 JP H079412 Y2 JPH079412 Y2 JP H079412Y2 JP 1987100495 U JP1987100495 U JP 1987100495U JP 10049587 U JP10049587 U JP 10049587U JP H079412 Y2 JPH079412 Y2 JP H079412Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- output
- argon gas
- gas laser
- reference light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は光フィードバック回路を備えた多波長同時発振
型アルゴンガスレーザ装置の新規な構成に関する。
型アルゴンガスレーザ装置の新規な構成に関する。
従来の技術 この種のアルゴンガスレーザ装置は両端に一対の光共振
器用ミラーを具備した多波長同時発振型アルゴンイオン
レーザ管と、アルゴンイオンレーザ管を保持する筺体
と、レーザ出力光と光フィードバック参照光とを分離す
るビームスプリッタと、前記光フィードバック参照光を
受光する太陽電池と、該太陽電池の出力によって前記ア
ルゴンイオンレーザ管の放電電流を制御する制御回路と
を備え、出力レーザ光の一部を参照してフィードバック
することによって、レーザ管の出力を一定に維持するよ
うに構成されている。
器用ミラーを具備した多波長同時発振型アルゴンイオン
レーザ管と、アルゴンイオンレーザ管を保持する筺体
と、レーザ出力光と光フィードバック参照光とを分離す
るビームスプリッタと、前記光フィードバック参照光を
受光する太陽電池と、該太陽電池の出力によって前記ア
ルゴンイオンレーザ管の放電電流を制御する制御回路と
を備え、出力レーザ光の一部を参照してフィードバック
することによって、レーザ管の出力を一定に維持するよ
うに構成されている。
考案が解決しようとする問題点 本考案が関係する多波長同時発振型のアルゴンガスレー
ザ装置は、第２図に示すように、数種類の波長のレーザ
光を同時に出力する放電電流一出力特性を示す。第２図
中で、総出力中の占有率が高くほぼ総出力特性を支配す
る波長4880Åと波長5145Åの各寿命特性（放電電流が一
定の場合）は第３図に示すように互いに異なる特性を持
つ。また太陽電池は第４図に示すような分光感度特性を
有していることに起因して、初期に総出力が一定となる
ように光フィードバックモードでレーザ装置を動作させ
ても、動作時間の累積と共に、出力低下率の高い波長51
45Åの低下分を波長4880Åの出力で補うようになり、太
陽電池の感度の低い波長4880Åの総出力中での占有率が
高くなるので光フィードバック用信号が低下し、見かけ
上低出力となる。このため放電電流は上昇して、初期に
設定した総出力レベルより高いレベルの出力光となり、
出力の安定性が得られない。
ザ装置は、第２図に示すように、数種類の波長のレーザ
光を同時に出力する放電電流一出力特性を示す。第２図
中で、総出力中の占有率が高くほぼ総出力特性を支配す
る波長4880Åと波長5145Åの各寿命特性（放電電流が一
定の場合）は第３図に示すように互いに異なる特性を持
つ。また太陽電池は第４図に示すような分光感度特性を
有していることに起因して、初期に総出力が一定となる
ように光フィードバックモードでレーザ装置を動作させ
ても、動作時間の累積と共に、出力低下率の高い波長51
45Åの低下分を波長4880Åの出力で補うようになり、太
陽電池の感度の低い波長4880Åの総出力中での占有率が
高くなるので光フィードバック用信号が低下し、見かけ
上低出力となる。このため放電電流は上昇して、初期に
設定した総出力レベルより高いレベルの出力光となり、
出力の安定性が得られない。
本考案はかかる従来技術の欠点に鑑みてなされたもの
で、光フィードバック用参照光を二つの波長4880Åと51
45Åとに分け、独立に補正してフィードバックがかけら
れるようにして出力の安定性を向上したアルゴンガスレ
ーザ装置を提供することを目的とする。
で、光フィードバック用参照光を二つの波長4880Åと51
45Åとに分け、独立に補正してフィードバックがかけら
れるようにして出力の安定性を向上したアルゴンガスレ
ーザ装置を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段 かかる目的を達成した本考案によるアルゴンガスレーザ
装置の構成は、両端に一対の光共振器用ミラーを備えた
多波長同時発振型アルゴンガスレーザ管と、該アルゴン
ガスレーザ管を保持固定する筺体と、レーザ出力光の光
路内に設置された光フィードバック用参照光を分離する
ビームスプリッタと、前記光フィードバック用参照光を
受光する太陽電池と該太陽電池の出力によって前記アル
ゴンガスレーザ管の放電電流を制御する電源とで構成さ
れたアルゴンガスレーザ装置において、前記ビームスプ
リッタで分離された光フィードバック用参照光の光路中
に置かれ光フィードバック用参照光の波長4880Åと波長
5145Åの光成分に分離するダイクロイックミラー等の波
長セパレータで分離された二つの波長の光成分をそれぞ
れ受光する二つの太陽電池と、調整用抵抗で調整された
太陽電池の出力の和の信号を形成して前記電源に入力す
る加算器とを具備している。
装置の構成は、両端に一対の光共振器用ミラーを備えた
多波長同時発振型アルゴンガスレーザ管と、該アルゴン
ガスレーザ管を保持固定する筺体と、レーザ出力光の光
路内に設置された光フィードバック用参照光を分離する
ビームスプリッタと、前記光フィードバック用参照光を
受光する太陽電池と該太陽電池の出力によって前記アル
ゴンガスレーザ管の放電電流を制御する電源とで構成さ
れたアルゴンガスレーザ装置において、前記ビームスプ
リッタで分離された光フィードバック用参照光の光路中
に置かれ光フィードバック用参照光の波長4880Åと波長
5145Åの光成分に分離するダイクロイックミラー等の波
長セパレータで分離された二つの波長の光成分をそれぞ
れ受光する二つの太陽電池と、調整用抵抗で調整された
太陽電池の出力の和の信号を形成して前記電源に入力す
る加算器とを具備している。
作 用 本考案に従うアルゴンレーザ装置では、ビームスプリッ
タで分離された光フィードバック用参照光を更に、ダイ
クロイックミラー等の波長セパレータによって主要発振
成分の二つの波長4880Åと5145Åとの二つの光成分に分
離し、それぞれの波長のレーザ光を独立した太陽電池で
受光し、更に太陽電池の出力信号を調整した後に加算
し、加算された信号を光フィードバック用参照光として
アルゴンガスレーザ装置に帰還し、太陽電池の分光感度
特性の影響を受けないように構成されている。
タで分離された光フィードバック用参照光を更に、ダイ
クロイックミラー等の波長セパレータによって主要発振
成分の二つの波長4880Åと5145Åとの二つの光成分に分
離し、それぞれの波長のレーザ光を独立した太陽電池で
受光し、更に太陽電池の出力信号を調整した後に加算
し、加算された信号を光フィードバック用参照光として
アルゴンガスレーザ装置に帰還し、太陽電池の分光感度
特性の影響を受けないように構成されている。
実施例 本考案によるアルゴンガスレーザ装置の一実施例を図面
に従って説明する。第１図は本考案の一実施例であるア
ルゴンガスレーザ装置の回路構成図である。
に従って説明する。第１図は本考案の一実施例であるア
ルゴンガスレーザ装置の回路構成図である。
第１図に示すように、このアルゴンガスレーザ装置17
は、アルゴンガスレーザ管１の両端に一対の光共振用ミ
ラー2,3を備えていて、筺体４によって固定保持されて
いる。アルゴンガスレーザ管１の電極に電源18の電圧が
印加されて光共振器ミラー2,3の間にレーザ光が励振さ
れ、一方の光共振器ミラー３を介して外部へレーザ出力
光６が取り出される。レーザ出力光６の一部はレーザ出
力光６の光路内に置かれたビームスプリッタ５を介し
て、光フィードバック用参照光７として分離される。光
フィードバック用参照光７は波長セパレータ８によって
反射光９と透過光10の二つの波長成分に分離される。
は、アルゴンガスレーザ管１の両端に一対の光共振用ミ
ラー2,3を備えていて、筺体４によって固定保持されて
いる。アルゴンガスレーザ管１の電極に電源18の電圧が
印加されて光共振器ミラー2,3の間にレーザ光が励振さ
れ、一方の光共振器ミラー３を介して外部へレーザ出力
光６が取り出される。レーザ出力光６の一部はレーザ出
力光６の光路内に置かれたビームスプリッタ５を介し
て、光フィードバック用参照光７として分離される。光
フィードバック用参照光７は波長セパレータ８によって
反射光９と透過光10の二つの波長成分に分離される。
波長セパレータ８にはダイクロイックミラーが使用され
る。第５図及び第６図は、使用可能なダイクロイックミ
ラーの波長−透過特性を示す。第６図の特性をもつダイ
クロイックミラーを波長セパレータ８として使用した場
合の動作を説明する。ビームスプリッタ５で分離された
フィードバック用参照光７は波長セパレータ８によって
反射光９と透過光10とに分離される。このときの反射光
９は波長4880Åが主波長であり、透過光10は波長5145Å
が主波長となる。反射光９は光電変換素子である太陽電
池11で、透過光10は太陽電池12によってそれぞれ受光さ
れ、太陽電池11の出力信号は調整抵抗13で、太陽電池12
の出力信号は調整抵抗14でそれぞれ調整される。
る。第５図及び第６図は、使用可能なダイクロイックミ
ラーの波長−透過特性を示す。第６図の特性をもつダイ
クロイックミラーを波長セパレータ８として使用した場
合の動作を説明する。ビームスプリッタ５で分離された
フィードバック用参照光７は波長セパレータ８によって
反射光９と透過光10とに分離される。このときの反射光
９は波長4880Åが主波長であり、透過光10は波長5145Å
が主波長となる。反射光９は光電変換素子である太陽電
池11で、透過光10は太陽電池12によってそれぞれ受光さ
れ、太陽電池11の出力信号は調整抵抗13で、太陽電池12
の出力信号は調整抵抗14でそれぞれ調整される。
例えば太陽電池11の出力はレーザ出力光６の波長4880成
分が1mWの時、1mVとなるように、同様に太陽電池12の出
力はレーザ出力光６の波長5145Å成分が1mWのとき、1mV
となるようにそれぞれ調整しておくと、レーザ出力光６
の波長4880Å成分に対応した出力信号が太陽電池11から
出力され、レーザ出力光６の波長5145Åに対応した出力
信号が太陽電池12から出力されるので、太陽電池11と太
陽電池12との出力信号を加算器15により加算するとレー
ザ出力光６の波長4880Å成分と波長5145Å成分の占有率
に関係ない出力値に対応した信号となる。この信号を光
フィードバック信号16としてレーザ出力光６の変化とし
て検出し自動的に電源18からアルゴンガスレーザ管１の
放電電流を制御しレーザ出力光６を一定に保つことがで
きる。
分が1mWの時、1mVとなるように、同様に太陽電池12の出
力はレーザ出力光６の波長5145Å成分が1mWのとき、1mV
となるようにそれぞれ調整しておくと、レーザ出力光６
の波長4880Å成分に対応した出力信号が太陽電池11から
出力され、レーザ出力光６の波長5145Åに対応した出力
信号が太陽電池12から出力されるので、太陽電池11と太
陽電池12との出力信号を加算器15により加算するとレー
ザ出力光６の波長4880Å成分と波長5145Å成分の占有率
に関係ない出力値に対応した信号となる。この信号を光
フィードバック信号16としてレーザ出力光６の変化とし
て検出し自動的に電源18からアルゴンガスレーザ管１の
放電電流を制御しレーザ出力光６を一定に保つことがで
きる。
考案の効果 本考案によるアルゴンガスレーザ装置によれば、光フィ
ードバック用参照光をさらに波長セパレータによって二
つの主波長成分に分離し、それぞれ太陽電池で受光し、
二つの太陽電池の出力信号を、その時のレーザ出力光中
の二つの波長成分に対応するように調整し、加算した信
号を光フィードバック信号としてアルゴンガスレーザ管
の放電電流を制御することよって、レーザ出力光の出力
安定度が極めて改善された。
ードバック用参照光をさらに波長セパレータによって二
つの主波長成分に分離し、それぞれ太陽電池で受光し、
二つの太陽電池の出力信号を、その時のレーザ出力光中
の二つの波長成分に対応するように調整し、加算した信
号を光フィードバック信号としてアルゴンガスレーザ管
の放電電流を制御することよって、レーザ出力光の出力
安定度が極めて改善された。
第１図は本考案によるアルゴンガスレーザ装置の一実施
例の回路構成図、第２図は多波長同時発振型アルゴンガ
スレーザ装置の放電電流一出力特性を示す図、第３図は
放電電流が一定の場合の寿命特性の図、第４図は太陽電
池の分光感度特性を示す図、第５図及び第６図は本考案
において波長セパレータとして使用可能なダイクロイッ
クミラーの波長−透過率特性を示す図である。 （主な参照番号） １……アルゴンガスレーザ管 2,3……光共振用ミラー ４……筺体 ５……ビームスプリッタ ６……レーザ出力光 ７……光フィードバック用参照光 ８……波長セパレータ ９……反射光 10……透過光 11,12……太陽電池 13,14……調整用抵抗 15……加算器 16……光フィードバック信号 17……アルゴンガスレーザ装置 18……電源
例の回路構成図、第２図は多波長同時発振型アルゴンガ
スレーザ装置の放電電流一出力特性を示す図、第３図は
放電電流が一定の場合の寿命特性の図、第４図は太陽電
池の分光感度特性を示す図、第５図及び第６図は本考案
において波長セパレータとして使用可能なダイクロイッ
クミラーの波長−透過率特性を示す図である。 （主な参照番号） １……アルゴンガスレーザ管 2,3……光共振用ミラー ４……筺体 ５……ビームスプリッタ ６……レーザ出力光 ７……光フィードバック用参照光 ８……波長セパレータ ９……反射光 10……透過光 11,12……太陽電池 13,14……調整用抵抗 15……加算器 16……光フィードバック信号 17……アルゴンガスレーザ装置 18……電源
Claims (1)
- 【請求項１】両端に一対の共振器用ミラーを備えた多波
長同時発振型アルゴンガスレーザ管と、該アルゴンガス
レーザ管を保持固定する筐体と、該レーザ管の出力光路
上に設置された光フィードバック用参照光を分離するビ
ームスプリッタと、該光フィードバック用参照光を受光
する太陽電池と、該太陽電池の出力に応じて該アルゴン
ガスレーザ管の放電電流が制御される電源とを備えたア
ルゴンガスレーザ装置において、 更に、該ビームスプリッタで分離された光フィードバッ
ク用参照光の光路上に配置され、該光フィードバック用
参照光を波長4880Åと波長5145Åとの光成分に分離する
ダイクロックミラー等の波長セパレータと、 該分離された光フィードバック用参照光の光成分を個別
に受光し、該太陽電池の各々の分光感度に応じて調整用
抵抗で調整された信号を出力する１対の太陽電池と、 該１対の太陽電池の出力の和信号を生成して該電源へ入
力する加算器とを具備することを特徴とするアルゴンガ
スレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987100495U JPH079412Y2 (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 | アルゴンガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987100495U JPH079412Y2 (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 | アルゴンガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS646058U JPS646058U (ja) | 1989-01-13 |
| JPH079412Y2 true JPH079412Y2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=31328618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987100495U Expired - Lifetime JPH079412Y2 (ja) | 1987-06-30 | 1987-06-30 | アルゴンガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079412Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2746227B2 (ja) * | 1995-09-29 | 1998-05-06 | 日本電気株式会社 | イオンレーザ装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6028290A (ja) * | 1983-07-27 | 1985-02-13 | Nec Corp | アルゴンガスレ−ザ装置 |
-
1987
- 1987-06-30 JP JP1987100495U patent/JPH079412Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS646058U (ja) | 1989-01-13 |
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