JP2746227B2 - イオンレーザ装置 - Google Patents
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
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- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/032—Constructional details of gas laser discharge tubes for confinement of the discharge, e.g. by special features of the discharge constricting tube
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08086—Multiple-wavelength emission
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はイオンレーザ装置に
関し、特に複数波長を同時に発振するイオンレーザ装置
の出力安定化に関する。
関し、特に複数波長を同時に発振するイオンレーザ装置
の出力安定化に関する。
【０００２】
【従来の技術】イオンレーザとして代表的なものにアル
ゴンイオンレーザ、クリプトンイオンレーザがある。イ
オンレーザには多数の発振波長がある。印刷、可視化装
置等のように光強度が重要な多波長同時発振の使用法
と、ラマン分光、ホログラフィー等のように単一波長発
振の使用法があるが、分光、顕微鏡、一部医療の用途と
して複数波長を同時に発振させ、各波長毎に役割を果た
す多波長同時発振の使用法もある。
ゴンイオンレーザ、クリプトンイオンレーザがある。イ
オンレーザには多数の発振波長がある。印刷、可視化装
置等のように光強度が重要な多波長同時発振の使用法
と、ラマン分光、ホログラフィー等のように単一波長発
振の使用法があるが、分光、顕微鏡、一部医療の用途と
して複数波長を同時に発振させ、各波長毎に役割を果た
す多波長同時発振の使用法もある。
【０００３】各波長の光が各自その役割を果たす多波長
同時発振の使用法においては、各波長の出力またその出
力比が重要な要素となる。
同時発振の使用法においては、各波長の出力またその出
力比が重要な要素となる。
【０００４】イオンレーザ装置における、各波長の出力
を制御するパラメータとして、イオンレーザ管の放電電
流、イオンレーザ管の放電電圧、磁界強度、及びガス圧
等がある。
を制御するパラメータとして、イオンレーザ管の放電電
流、イオンレーザ管の放電電圧、磁界強度、及びガス圧
等がある。
【０００５】このうち、ガス圧を調整しないで各波長の
出力を制御するものとして、以下のような技術が知られ
ている。
出力を制御するものとして、以下のような技術が知られ
ている。
【０００６】図３に、実開昭62-193755号公報に基づく
従来技術の構成をブロック図にて示す。図３を参照し
て、アルゴンガスレーザ管201は光共振器用ミラー202，
203を具備し、レーザ出力光206を発生する。
従来技術の構成をブロック図にて示す。図３を参照し
て、アルゴンガスレーザ管201は光共振器用ミラー202，
203を具備し、レーザ出力光206を発生する。
【０００７】ビームスプリッタ205により分岐された参
照光207をダイナミックミラー等の波長セレクタ208によ
り透過光210と反射光209に分割する。透過光210を太陽
電池211で受け、フィードバック回路により出力制御を
行なう。波長セレクタの種類の選択により488nm＋514.5
nm等の波長成分を１つだけ出力制御できる。但し、その
際全体の出力は制御しない。
照光207をダイナミックミラー等の波長セレクタ208によ
り透過光210と反射光209に分割する。透過光210を太陽
電池211で受け、フィードバック回路により出力制御を
行なう。波長セレクタの種類の選択により488nm＋514.5
nm等の波長成分を１つだけ出力制御できる。但し、その
際全体の出力は制御しない。
【０００８】図４に、特開平1-152682号公報に基づく従
来技術の構成をブロック図にて示す。図４を参照して、
レーザ管301は紫外用光共振ミラー302，305と可視用光
共振ミラー303，306を有し、マウント304，307に設置さ
れている。また、プラズマ収束用電磁石308を有し、電
磁石制御回路312は可動片315が接点313と314を選択する
ことにより可視用と紫外用の電磁石印加電圧を選択す
る。ミラーの選択と電磁石制御回路312を連動させ、可
視または紫外の一方を選択的に最適条件で発振させるこ
とができる。
来技術の構成をブロック図にて示す。図４を参照して、
レーザ管301は紫外用光共振ミラー302，305と可視用光
共振ミラー303，306を有し、マウント304，307に設置さ
れている。また、プラズマ収束用電磁石308を有し、電
磁石制御回路312は可動片315が接点313と314を選択する
ことにより可視用と紫外用の電磁石印加電圧を選択す
る。ミラーの選択と電磁石制御回路312を連動させ、可
視または紫外の一方を選択的に最適条件で発振させるこ
とができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術においては、以下のような問題点があった。
来技術においては、以下のような問題点があった。
【００１０】前記実開昭62-193755号公報に記載の従来
技術においては、各波長成分の光出力を選択して、その
うちの１つだけの出力を制御することができる。しか
し、制御されている成分以外の光については制御でき
ず、分光比を制御することもできなかった。
技術においては、各波長成分の光出力を選択して、その
うちの１つだけの出力を制御することができる。しか
し、制御されている成分以外の光については制御でき
ず、分光比を制御することもできなかった。
【００１１】また、前記特開平1-152682号公報に記載の
従来技術においては、取り出したい波長成分の光を限定
して出力制御するため、やはり複数の成分の光出力を同
時に制御することはできず、分光比も制御できなかっ
た。
従来技術においては、取り出したい波長成分の光を限定
して出力制御するため、やはり複数の成分の光出力を同
時に制御することはできず、分光比も制御できなかっ
た。
【００１２】このため、イオンレーザ管内のガス分布及
び熱的状況が平衡に達していないイオンレーザ装置の始
動時に、また経時的にガス圧が減少するなど変化してい
く時には、各波長の光成分は異なった影響を受け、一定
の分光比の光出力を供給できないという問題点があっ
た。
び熱的状況が平衡に達していないイオンレーザ装置の始
動時に、また経時的にガス圧が減少するなど変化してい
く時には、各波長の光成分は異なった影響を受け、一定
の分光比の光出力を供給できないという問題点があっ
た。
【００１３】従って、本発明は、上記問題点を解消し、
複数の波長の光を同時に発振し、プラズマ収束用のソレ
ノイドを有しているイオンレーザ装置において、特定波
長の光の出力または分光比を一定に制御するイオンレー
ザ装置を提供することを目的とする。
複数の波長の光を同時に発振し、プラズマ収束用のソレ
ノイドを有しているイオンレーザ装置において、特定波
長の光の出力または分光比を一定に制御するイオンレー
ザ装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、ガスレーザ媒体を封止したイオンレーザ
管と、前記イオンレーザ管を両端に互いに対向して配設
された一対の光共振器用ミラーと、前記イオンレーザ管
の周囲に配設されたプラズマ収束用のソレノイドと、を
有し、２波長以上の光を同時発振するイオンレーザ装置
において、出力光を２つの成分に分割する波長セパレー
タを有し、出力光の全体又は特定波長域の成分を検出す
る第１のモニタ手段と、前記出力光の前記第１のモニタ
手段に入力する成分とは異なる波長域の成分を検出する
第２のモニタ手段と、を少なくとも含み、前記第１及び
第２のモニタ手段でそれぞれ得られた第１及び第２の信
号を演算し、前記イオンレーザ管の放電電流と前記ソレ
ノイドの電流とをそれぞれ制御するフィードバック制御
手段と、を備えたことを特徴とするイオンレーザ装置を
提供する。
め、本発明は、ガスレーザ媒体を封止したイオンレーザ
管と、前記イオンレーザ管を両端に互いに対向して配設
された一対の光共振器用ミラーと、前記イオンレーザ管
の周囲に配設されたプラズマ収束用のソレノイドと、を
有し、２波長以上の光を同時発振するイオンレーザ装置
において、出力光を２つの成分に分割する波長セパレー
タを有し、出力光の全体又は特定波長域の成分を検出す
る第１のモニタ手段と、前記出力光の前記第１のモニタ
手段に入力する成分とは異なる波長域の成分を検出する
第２のモニタ手段と、を少なくとも含み、前記第１及び
第２のモニタ手段でそれぞれ得られた第１及び第２の信
号を演算し、前記イオンレーザ管の放電電流と前記ソレ
ノイドの電流とをそれぞれ制御するフィードバック制御
手段と、を備えたことを特徴とするイオンレーザ装置を
提供する。
【００１５】本発明によれば、レーザ管の出力光を２つ
の成分に分割するダイクロイックミラー、ビームスプリ
ッタ、プリズム、光学フィルタなどからなる波長セレク
タを有し、前記波長セレクタにより分割された出力光の
全体、または特定波長域の成分を検出する第１のモニタ
手段と前記波長セレクタにより分割された前記第１のモ
ニタ手段の入力光とは異なる波長域の成分を検出する第
２のモニタ手段とを有し、前記２つのモニタ手段で得ら
れた信号により直接または前記２つのモニタ手段で得ら
れた信号を演算する演算回路を有し、前記演算回路によ
り前記２つのモニタ手段で得られた信号を演算した信号
により、前記レーザ管の放電電流とプラズマ収束用のソ
レノイド電流とを制御するフィードバック手段を有して
いる。
の成分に分割するダイクロイックミラー、ビームスプリ
ッタ、プリズム、光学フィルタなどからなる波長セレク
タを有し、前記波長セレクタにより分割された出力光の
全体、または特定波長域の成分を検出する第１のモニタ
手段と前記波長セレクタにより分割された前記第１のモ
ニタ手段の入力光とは異なる波長域の成分を検出する第
２のモニタ手段とを有し、前記２つのモニタ手段で得ら
れた信号により直接または前記２つのモニタ手段で得ら
れた信号を演算する演算回路を有し、前記演算回路によ
り前記２つのモニタ手段で得られた信号を演算した信号
により、前記レーザ管の放電電流とプラズマ収束用のソ
レノイド電流とを制御するフィードバック手段を有して
いる。
【００１６】本発明によれば、上記構成のもと、パラメ
ータを管電流だけでなく、ソレノイド電流にまで拡大し
てフィードバック回路系を構成したことにより、全体の
光出力を一定に保つだけでなく、特定の波長成分の出力
を一定に保ち、光出力の分光比を安定化させるものであ
る。
ータを管電流だけでなく、ソレノイド電流にまで拡大し
てフィードバック回路系を構成したことにより、全体の
光出力を一定に保つだけでなく、特定の波長成分の出力
を一定に保ち、光出力の分光比を安定化させるものであ
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して以下に説明する。
して以下に説明する。
【００１８】
【実施形態１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る
イオンレーザ装置の構成を示すブロック図である。
イオンレーザ装置の構成を示すブロック図である。
【００１９】図１を参照して、本実施形態は、イオンレ
ーザ管１と、イオンレーザ管１に対向するように設置さ
れてなる一対の光共振器用ミラー２及び光共振用ミラー
３は、光共振系をなしている。
ーザ管１と、イオンレーザ管１に対向するように設置さ
れてなる一対の光共振器用ミラー２及び光共振用ミラー
３は、光共振系をなしている。
【００２０】イオンレーザ管１の周囲には、プラズマ収
束用にソレノイド４が配置されている。
束用にソレノイド４が配置されている。
【００２１】電源13はイオンレーザ管１に電力を供給
し、トリガー回路20によりイオンレーザ管１にトリガー
電圧が印加され放電が開始する。
し、トリガー回路20によりイオンレーザ管１にトリガー
電圧が印加され放電が開始する。
【００２２】光共振器用ミラー３を通して出力されたレ
ーザ光は、光共振器用ミラー３の前方に設置された第１
のビームスプリッタ５により主ビーム６と光フィードバ
ック用参照光７とに分割される。
ーザ光は、光共振器用ミラー３の前方に設置された第１
のビームスプリッタ５により主ビーム６と光フィードバ
ック用参照光７とに分割される。
【００２３】そして、光フィードバック用参照光７は、
第２のビームスプリッタ８により、更に全体光フィード
バック用参照光９と、特定波長光フィードバック用参照
光10と、に分割される。
第２のビームスプリッタ８により、更に全体光フィード
バック用参照光９と、特定波長光フィードバック用参照
光10と、に分割される。
【００２４】全体光フィードバック用参照光９は、太陽
電池11によって受光され、可変抵抗12を介して電源13内
の第１のフィードバック回路14へ信号が送られる。第１
のフィードバック回路14は、入力した信号が、予め設定
された出力レベルになるようにイオンレーザ管１の放電
電流を可変に制御する。
電池11によって受光され、可変抵抗12を介して電源13内
の第１のフィードバック回路14へ信号が送られる。第１
のフィードバック回路14は、入力した信号が、予め設定
された出力レベルになるようにイオンレーザ管１の放電
電流を可変に制御する。
【００２５】一方、特定波長光フィードバック用参照光
10は、その光路上に配置された光学フィルタ15により特
定の波長成分光のみが透過され、太陽電池16及び可変抵
抗17を介して比較演算回路18へ信号が送信される。
10は、その光路上に配置された光学フィルタ15により特
定の波長成分光のみが透過され、太陽電池16及び可変抵
抗17を介して比較演算回路18へ信号が送信される。
【００２６】比較演算回路18には、全体光からの信号
（太陽電池11及び可変抵抗12の出力）が同時に送信され
てきており、特定波長成分光の信号との出力の比較（差
分、比率演算等）を行ない、その比較結果を信号として
第２のフィードバック回路19に送出し、第２のフィード
バック回路19は、出力比が一定となるようにソレノイド
電流（すなわち磁界）を可変に制御する。
（太陽電池11及び可変抵抗12の出力）が同時に送信され
てきており、特定波長成分光の信号との出力の比較（差
分、比率演算等）を行ない、その比較結果を信号として
第２のフィードバック回路19に送出し、第２のフィード
バック回路19は、出力比が一定となるようにソレノイド
電流（すなわち磁界）を可変に制御する。
【００２７】
【実施形態２】図２は、本発明の第２の実施形態に係る
イオンレーザ装置の構成を示すブロック図である。以下
では、本実施形態を、前記第１の実施形態との相違点に
ついて説明する。
イオンレーザ装置の構成を示すブロック図である。以下
では、本実施形態を、前記第１の実施形態との相違点に
ついて説明する。
【００２８】図２を参照して、本実施形態においては、
光共振器用ミラー103の前方に設置されたビームスプリ
ッタ105により主ビーム106と分割された光フィードバッ
ク参照光107は、ダイクロイックミラー108により２つの
出力光成分に分割され、２つの光出力成分は、第１のフ
ィードバック回路114と第２のフィードバック回路119に
それぞれ入力され、第１のフィードバック回路114は入
力した信号に基づきイオンレーザ管１の放電電流をフィ
ードバック制御し、第２のフィードバック回路119は入
力した信号に基づきソレノイド104に流す電流をフィー
ドバック制御する。
光共振器用ミラー103の前方に設置されたビームスプリ
ッタ105により主ビーム106と分割された光フィードバッ
ク参照光107は、ダイクロイックミラー108により２つの
出力光成分に分割され、２つの光出力成分は、第１のフ
ィードバック回路114と第２のフィードバック回路119に
それぞれ入力され、第１のフィードバック回路114は入
力した信号に基づきイオンレーザ管１の放電電流をフィ
ードバック制御し、第２のフィードバック回路119は入
力した信号に基づきソレノイド104に流す電流をフィー
ドバック制御する。
【００２９】図５は、クリプトンイオンレーザでガス圧
が1.5Torrの場合の、波長647.1nmの光出力401と、波長5
68.2nm及び530.9nmの光出力402の磁界依存性を表すグラ
フである。
が1.5Torrの場合の、波長647.1nmの光出力401と、波長5
68.2nm及び530.9nmの光出力402の磁界依存性を表すグラ
フである。
【００３０】本発明の実施形態においては、プラズマ収
束用ソレノイドを有するアルゴン、クリプトン等のイオ
ンレーザ装置全般に有効であるが、図５に示す波長のよ
うに、出力の磁界依存性が強く、しかも波長により磁界
依存性が異なる場合に特に有効である。また、出力光の
波長域としては、可視光だけでなく紫外光から赤外光ま
でを含むものである。
束用ソレノイドを有するアルゴン、クリプトン等のイオ
ンレーザ装置全般に有効であるが、図５に示す波長のよ
うに、出力の磁界依存性が強く、しかも波長により磁界
依存性が異なる場合に特に有効である。また、出力光の
波長域としては、可視光だけでなく紫外光から赤外光ま
でを含むものである。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、イオン
レーザ装置の光制御系において、パラメータを管電流だ
けでなく、ソレノイド電流に拡大してフィードバック回
路系を形成するようにしたことにより、全体の光出力を
一定に保つだけでなく、特定の波長成分の出力を一定に
保ち、光出力の分光比を安定化させることができるとい
う効果を有する。
レーザ装置の光制御系において、パラメータを管電流だ
けでなく、ソレノイド電流に拡大してフィードバック回
路系を形成するようにしたことにより、全体の光出力を
一定に保つだけでなく、特定の波長成分の出力を一定に
保ち、光出力の分光比を安定化させることができるとい
う効果を有する。
【００３２】このため、本発明によれば、イオンレーザ
装置の立上がり時のガスの流体的また熱的不安定要因を
補完し、一定出力、一定分光比の出力光を生じせしめ
る、または経時的にイオンレーザ管内のガス圧が減少す
る等の影響を補完し、安定的に一定出力、一定分光比の
光出力を供給することができるイオンレーザ装置を提供
するものである。
装置の立上がり時のガスの流体的また熱的不安定要因を
補完し、一定出力、一定分光比の出力光を生じせしめ
る、または経時的にイオンレーザ管内のガス圧が減少す
る等の影響を補完し、安定的に一定出力、一定分光比の
光出力を供給することができるイオンレーザ装置を提供
するものである。
【図１】本発明の第１の実施形態に係るイオンレーザ装
置の構成を示すブロック図である。
置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係るイオンレーザ装
置の構成を示すブロック図である。
置の構成を示すブロック図である。
【図３】実開昭62-193755号公報に基づく従来のガスレ
ーザ装置の構成を示すブロック図である。
ーザ装置の構成を示すブロック図である。
【図４】特開平1-152682号公報に基づく従来のイオンレ
ーザ装置の構成を示すブロック図である。
ーザ装置の構成を示すブロック図である。
【図５】クリプトンイオンレーザにおける波長647.1nm
の光と波長568.2nm及び530.9nmの光の1.5Torrにおける
出力の磁界強度依存性を表すグラフである。
の光と波長568.2nm及び530.9nmの光の1.5Torrにおける
出力の磁界強度依存性を表すグラフである。
１，101 イオンレーザ管 ２，３，102，103 光共振器用ミラー ４，104 ソレノイド ５，105 ビームスプリッタ ６，106 主ビーム ７，107 光フィードバック用参照光 ８ ビームスプリッタ ９，109 全体光フィードバック用参照光 10，110 特定波長光フィードバック用参照光 11，16，111，116 太陽電池 12，17，112，117 可変抵抗 13，113 電源 14，19，114，119 フィードバック回路 15 光学フィルタ 18 比較演算回路 20，120 トリガー回路 108 ダイクロイックミラー 201 アルゴンガスレーザ管 202 全反射ミラー 203 ハーフミラー 204 トリガー回路 205 ビームスプリッタ 206 レーザ出力光 207 参照光 208 波長セレクタ 209 反射光 210 透過光 211 太陽電池 212 アルゴンガスレーザ発振器 213 レーザ電源 310 レーザ管 302 紫外用全反射ミラー 303 可視用全反射ミラー 304，307 マウント 305 紫外用出力ミラー 306 可視用出力ミラー 308 電磁石 309 陰極 310 陽極 311 供給電源 312 電磁石制御回路 313，314 接点 315 可動片 401 647.1nm光出力 402 568.2nm及び530.9nm光出力
Claims (5)
- 【請求項１】ガスレーザ媒体を封止したイオンレーザ管
と、 前記イオンレーザ管を両端に互いに対向して配設された
一対の光共振器用ミラーと、 前記イオンレーザ管の周囲に配設されたプラズマ収束用
のソレノイドと、 を有し、２波長以上の光を同時発振するイオンレーザ装
置において、 出力光を２つの成分に分割する波長セパレータを有し、 出力光の全体又は特定波長域の成分を検出する第１のモ
ニタ手段と、 前記出力光の前記第１のモニタ手段に入力する成分とは
異なる波長域の成分を検出する第２のモニタ手段と、 を少なくとも含み、 前記第１及び第２のモニタ手段でそれぞれ得られた第１
及び第２の信号に対して所定の演算を行い、前記イオン
レーザ管の放電電流と前記ソレノイドの電流とをそれぞ
れ制御するフィードバック制御手段と、 を備えたことを特徴とするイオンレーザ装置。 - 【請求項２】前記第１のモニタ手段で得られた第１の信
号に基づき前記イオンレーザ管の放電電流をフィードバ
ック制御し、 前記第１及び第２のモニタ手段で得られた前記第１及び
第２の信号の所定の演算結果に基づき前記ソレノイドの
電流を制御するフィードバック手段を有することを特徴
とする請求項１記載のイオンレーザ装置。 - 【請求項３】前記フィードバック手段が、前記第１のモ
ニタ手段で得られた第１の信号に基づき前記イオンレー
ザ管の放電電流をフィードバック制御し、 前記第２のモニタ手段で得られた第２の信号に基づき前
記ソレノイドの電流を制御するように構成されたことを
特徴とする請求項１記載のイオンレーザ装置。 - 【請求項４】前記フィードバック手段が、前記第１及び
第２のモニタ手段で得られた前記第１及び第２の信号の
加算、減算及び比率演算のいずれか一の演算結果に基づ
き前記ソレノイドの電流を可変に制御することを特徴と
する請求項２記載のイオンレーザ装置。 - 【請求項５】前記イオンレーザ管から前記光共振器用ミ
ラーを通して出力された出力光を第１のビームスプリッ
ト手段で分割して参照光を取り出し、 前記参照光を更に第２のビームスプリット手段で分割
し、 前記参照光の分割された一の光が前記第１のモニタ手段
に入力され前記参照光の分割された他の光が所定のフィ
ルタ手段を介して所定の波長成分が抽出されて前記第２
のモニタ手段に入力されてなる、 ことを特徴とする請求項１記載のイオンレーザ装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7276569A JP2746227B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | イオンレーザ装置 |
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| DE19640270A DE19640270A1 (de) | 1995-09-29 | 1996-09-30 | Ionenlasergerät |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP7276569A JP2746227B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | イオンレーザ装置 |
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| JPH0997942A JPH0997942A (ja) | 1997-04-08 |
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Family
ID=17571312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7276569A Expired - Lifetime JP2746227B2 (ja) | 1995-09-29 | 1995-09-29 | イオンレーザ装置 |
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|---|---|
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