JPH0883944A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0883944A JPH0883944A JP21977694A JP21977694A JPH0883944A JP H0883944 A JPH0883944 A JP H0883944A JP 21977694 A JP21977694 A JP 21977694A JP 21977694 A JP21977694 A JP 21977694A JP H0883944 A JPH0883944 A JP H0883944A
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- Japan
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- discharge
- laser
- gas
- discharge electrode
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 放電電極対により形成される放電空間部に位
置するレーザガスが放電により劣化してしまうことを防
止する。 【構成】 チャンバー１１内には放電電極１２を対向配
置して放電電極対１３が形成されており、その放電電極
対１３間の放電空間部１４に位置するレーザガスが放電
することによりレーザ光が出力される。ここで、放電電
極対１３は、それらの間に形成される放電空間部１４が
略垂直方向を指向するように配置されている。これによ
り、放電空間部１４に位置するレーザガスが放電により
高温となったときは、レーザガスは放電空間部１４を上
昇する。これにより、放電空間部１４にはレーザガスの
自然対流が生じて低温のレーザガスが供給されるので、
レーザ光を効率良く出力することができる。
置するレーザガスが放電により劣化してしまうことを防
止する。 【構成】 チャンバー１１内には放電電極１２を対向配
置して放電電極対１３が形成されており、その放電電極
対１３間の放電空間部１４に位置するレーザガスが放電
することによりレーザ光が出力される。ここで、放電電
極対１３は、それらの間に形成される放電空間部１４が
略垂直方向を指向するように配置されている。これによ
り、放電空間部１４に位置するレーザガスが放電により
高温となったときは、レーザガスは放電空間部１４を上
昇する。これにより、放電空間部１４にはレーザガスの
自然対流が生じて低温のレーザガスが供給されるので、
レーザ光を効率良く出力することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平行平板状の放電電極
を所定間隙存して対向することにより放電電極対を形成
したガスレーザ装置に関する。
を所定間隙存して対向することにより放電電極対を形成
したガスレーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ガスレーザ装置においては、熱交
換器及びレーザガス循環用の送風機を削減することによ
り小形化を図ったものが供されている。
換器及びレーザガス循環用の送風機を削減することによ
り小形化を図ったものが供されている。
【０００３】図３及び図４は、この種のガスレーザ装置
の一例を示している。これらの図３及び図４において、
チャンバー１内には所定間隙（例えば２ｍｍ）を存して
放電電極２を対向することにより放電電極対３が形成さ
れている。この場合、放電電極対３間の空隙が板状（ス
ラブ状）の放電空間部４に設定されている。そして、放
電電極対３に対応してミラー５ａ，５ｂを対向してなる
不安定形共振器５が配置されている。そして、チャンバ
ー１内にはＣＯ2 を主体とするレーザガスが充填されて
おり、放電電極２に高周波電源６から放電電力を印加す
ることにより放電空間部４に位置するレーザガスが励起
して不安定形共振器５からウインド７を通じてレーザ光
が出力されるようになっている。つまり、不安定形共振
器５内においては放電電極２の表面により光が反射され
ることにより光学的導波路が形成されるようになってお
り、斯様な光学的導波路により光が案内されることによ
り光の強度が増大するようになっている。
の一例を示している。これらの図３及び図４において、
チャンバー１内には所定間隙（例えば２ｍｍ）を存して
放電電極２を対向することにより放電電極対３が形成さ
れている。この場合、放電電極対３間の空隙が板状（ス
ラブ状）の放電空間部４に設定されている。そして、放
電電極対３に対応してミラー５ａ，５ｂを対向してなる
不安定形共振器５が配置されている。そして、チャンバ
ー１内にはＣＯ2 を主体とするレーザガスが充填されて
おり、放電電極２に高周波電源６から放電電力を印加す
ることにより放電空間部４に位置するレーザガスが励起
して不安定形共振器５からウインド７を通じてレーザ光
が出力されるようになっている。つまり、不安定形共振
器５内においては放電電極２の表面により光が反射され
ることにより光学的導波路が形成されるようになってお
り、斯様な光学的導波路により光が案内されることによ
り光の強度が増大するようになっている。
【０００４】上記構成のものによれば、放電空間部４に
位置するレーザガスが放電により高温状態となるにして
も、放電に伴って発生する熱を放電電極２を通じて効率
良く放熱することができるので、熱交換器及び送風機を
用いることなくレーザ光を効率良く出力することができ
る。
位置するレーザガスが放電により高温状態となるにして
も、放電に伴って発生する熱を放電電極２を通じて効率
良く放熱することができるので、熱交換器及び送風機を
用いることなくレーザ光を効率良く出力することができ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来構成の場合、放電電極対３により形成される放電空間
部４は水平方向を指向しているので、放電空間部４に位
置するレーザガスの温度が上昇した場合、レーザガスが
上方に位置する放電電極２により上昇するのが妨げられ
てしまう。このため、放電空間部４に位置するレーザガ
スは高温状態のまま拡散することなく放電空間部４にと
どまるので、放電空間部４に位置するレーザガスが高熱
で劣化してレーザ出力が低下してしまうという欠点があ
る。
来構成の場合、放電電極対３により形成される放電空間
部４は水平方向を指向しているので、放電空間部４に位
置するレーザガスの温度が上昇した場合、レーザガスが
上方に位置する放電電極２により上昇するのが妨げられ
てしまう。このため、放電空間部４に位置するレーザガ
スは高温状態のまま拡散することなく放電空間部４にと
どまるので、放電空間部４に位置するレーザガスが高熱
で劣化してレーザ出力が低下してしまうという欠点があ
る。
【０００６】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、放電電極対間に形成される放電空間部
に位置するレーザガスからレーザ光を出力する構成にお
いて、放電空間部に位置するレーザガスが劣化してしま
うことを防止することができるガスレーザ装置を提供す
ることにある。
で、その目的は、放電電極対間に形成される放電空間部
に位置するレーザガスからレーザ光を出力する構成にお
いて、放電空間部に位置するレーザガスが劣化してしま
うことを防止することができるガスレーザ装置を提供す
ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、放電電極を所
定間隙存して対向することにより放電電極対を形成し、
この放電電極対に放電電力を印加することにより放電電
極間に形成された放電空間部に位置するレーザガスを励
起してレーザ光を発生するガスレーザ装置において、前
記放電電極対を、それらの間に形成される前記放電空間
部が略垂直方向を指向するように配置したものである。
定間隙存して対向することにより放電電極対を形成し、
この放電電極対に放電電力を印加することにより放電電
極間に形成された放電空間部に位置するレーザガスを励
起してレーザ光を発生するガスレーザ装置において、前
記放電電極対を、それらの間に形成される前記放電空間
部が略垂直方向を指向するように配置したものである。
【０００８】
【作用】本発明のガスレーザ装置の場合、放電電極対に
より形成された放電空間部で放電が発生すると、放電空
間部に位置するレーザガスが高温となる。このとき、放
電空間部は略垂直方向に指向するように設定されている
ので、放電により高温となったレーザガスは放電空間部
を上昇する。これにより、放電空間部にはレーザガスの
自然対流が生じて低温のレーザガスが下方から供給され
るので、レーザ光を効率良く出力することができる。
より形成された放電空間部で放電が発生すると、放電空
間部に位置するレーザガスが高温となる。このとき、放
電空間部は略垂直方向に指向するように設定されている
ので、放電により高温となったレーザガスは放電空間部
を上昇する。これにより、放電空間部にはレーザガスの
自然対流が生じて低温のレーザガスが下方から供給され
るので、レーザ光を効率良く出力することができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１及び図２を参
照して説明する。図１は全体の構成を概略的に示してい
る。この図１において、チャンバー１１内には平行平板
状の放電電極１２が対向配設されさている。
照して説明する。図１は全体の構成を概略的に示してい
る。この図１において、チャンバー１１内には平行平板
状の放電電極１２が対向配設されさている。
【００１０】ここで、放電電極１２において互いに対向
する表面は光学的導波路を形成するように加工されてお
り、各放電電極１２により放電電極対１３が形成されて
いる。この場合、各放電電極１２間の間隙寸法は２ｍｍ
に設定されており、各放電電極対１３を形成する放電電
極１２間の空隙により放電空間部１４が形成されてい
る。また、チャンバー１１内にはＣＯ2 ガスを主体とす
るレーザガスが１／１０気圧程度となるように充填され
ている。
する表面は光学的導波路を形成するように加工されてお
り、各放電電極１２により放電電極対１３が形成されて
いる。この場合、各放電電極１２間の間隙寸法は２ｍｍ
に設定されており、各放電電極対１３を形成する放電電
極１２間の空隙により放電空間部１４が形成されてい
る。また、チャンバー１１内にはＣＯ2 ガスを主体とす
るレーザガスが１／１０気圧程度となるように充填され
ている。
【００１１】この場合、上記放電電極対１３は、それら
の間に形成される放電空間部１４が略垂直方向を指向す
るように配置されている。
の間に形成される放電空間部１４が略垂直方向を指向す
るように配置されている。
【００１２】図２は前記放電電極対１３と電源との接続
関係を説明するための斜視図である。この図２におい
て、放電電極対１３に対応して不安定形共振器１５が設
けられている。この不安定形共振器１５は、放電電極対
１３を挟むように出力側ミラー１５ａと後部側ミラー１
５ｂとを対向配置して構成されており、出力側ミラー１
５ａの側方の開口された部位がレーザ光の出力部１６に
設定されている。また、放電電極１２には高周波電源１
７が接続されている。
関係を説明するための斜視図である。この図２におい
て、放電電極対１３に対応して不安定形共振器１５が設
けられている。この不安定形共振器１５は、放電電極対
１３を挟むように出力側ミラー１５ａと後部側ミラー１
５ｂとを対向配置して構成されており、出力側ミラー１
５ａの側方の開口された部位がレーザ光の出力部１６に
設定されている。また、放電電極１２には高周波電源１
７が接続されている。
【００１３】ここで、上述のように放電電極１２の表面
が光学的導波路を形成するように表面加工が施されてい
ると共にその間隙寸法が極めて狭く設定されたガスレー
ザ装置は、放電空間部１４に位置するレーザガスが放電
により高温状態となっても、放電に伴う熱を放電電極１
２を通じて放熱することができるので、熱交換器及び送
風機を用いることなくレーザ光を効率良く出力すること
ができるという特徴を有する。
が光学的導波路を形成するように表面加工が施されてい
ると共にその間隙寸法が極めて狭く設定されたガスレー
ザ装置は、放電空間部１４に位置するレーザガスが放電
により高温状態となっても、放電に伴う熱を放電電極１
２を通じて放熱することができるので、熱交換器及び送
風機を用いることなくレーザ光を効率良く出力すること
ができるという特徴を有する。
【００１４】さて、高周波電源１７から放電電極１２に
放電電力を与えると、放電電極１２間の放電空間部１４
に位置するレーザガスが放電する。これにより、不安定
形共振器１５内においては放電電極１２の表面により光
が反射されて光学的導波路が形成されるようになってお
り、斯様な光学的導波路により光が案内されることによ
り光の強度が増大して不安定共振器１５内でレーザ光が
誘起されて出力部１６から出力される。
放電電力を与えると、放電電極１２間の放電空間部１４
に位置するレーザガスが放電する。これにより、不安定
形共振器１５内においては放電電極１２の表面により光
が反射されて光学的導波路が形成されるようになってお
り、斯様な光学的導波路により光が案内されることによ
り光の強度が増大して不安定共振器１５内でレーザ光が
誘起されて出力部１６から出力される。
【００１５】そして、上述のように不安定形共振器１５
から出力されたレーザ光は図示しない加工ヘッドにより
集光されて被加工物に照射されることによりレーザ加工
が施される。
から出力されたレーザ光は図示しない加工ヘッドにより
集光されて被加工物に照射されることによりレーザ加工
が施される。
【００１６】この場合、上述のように放電空間部１４に
位置するレーザガスが放電すると、レーザガスが放電に
より高温となるので、高温となったレーザガスは放電空
間部１４を上昇するようになる。これにより、チャンバ
ー１１内には放電空間部１４を通過するようなレーザガ
スの自然対流が生じるので、図１中に矢印で示すように
放電空間部１４にはチャンバー１の下部から低温のレー
ザガスが継続して供給されるようになり、放電電極２の
温度が過度に上昇することを防止することができる。
位置するレーザガスが放電すると、レーザガスが放電に
より高温となるので、高温となったレーザガスは放電空
間部１４を上昇するようになる。これにより、チャンバ
ー１１内には放電空間部１４を通過するようなレーザガ
スの自然対流が生じるので、図１中に矢印で示すように
放電空間部１４にはチャンバー１の下部から低温のレー
ザガスが継続して供給されるようになり、放電電極２の
温度が過度に上昇することを防止することができる。
【００１７】上記構成のものによれば、放電電極対３
を、それらの間に形成される放電空間部１４が略垂直方
向を指向するように配置したので、放電電極対により形
成される放電空間部が略水平方向を指向するように配置
されている従来例のものと違って、放電空間部１４に位
置するレーザガスが放電により高温となった場合には、
レーザガスの対流により放電電極１２の熱を円滑に熱拡
散することによりレーザガスの温度を低減し、発振効率
の良好なレーザ装置を得ることができる。
を、それらの間に形成される放電空間部１４が略垂直方
向を指向するように配置したので、放電電極対により形
成される放電空間部が略水平方向を指向するように配置
されている従来例のものと違って、放電空間部１４に位
置するレーザガスが放電により高温となった場合には、
レーザガスの対流により放電電極１２の熱を円滑に熱拡
散することによりレーザガスの温度を低減し、発振効率
の良好なレーザ装置を得ることができる。
【００１８】本発明は、上記実施例に限定されるもので
はなく、次のように変形または拡張できる。チャンバー
１１内にガスの冷却機構を一体に設けることにより、放
電電極１２間に常に冷却されたレーザガスを供給するこ
とができるので、放電電極１２間の過度の温度上昇を一
層防止することができる。
はなく、次のように変形または拡張できる。チャンバー
１１内にガスの冷却機構を一体に設けることにより、放
電電極１２間に常に冷却されたレーザガスを供給するこ
とができるので、放電電極１２間の過度の温度上昇を一
層防止することができる。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のガスレーザ装置によれば、放電電極対を、それらの間
に形成される放電空間部が略垂直方向を指向するように
配置したので、放電空間部に位置するレーザガスが劣化
してしまうことを防止して、レーザ光を効率良く出力す
ることができる。
のガスレーザ装置によれば、放電電極対を、それらの間
に形成される放電空間部が略垂直方向を指向するように
配置したので、放電空間部に位置するレーザガスが劣化
してしまうことを防止して、レーザ光を効率良く出力す
ることができる。
【図１】本発明の一実施例における全体を概略的に示す
正面図
正面図
【図２】概略的に示す全体の斜視図
【図３】従来例における全体を概略的に示す側面図
【図４】図２相当図
１２は放電電極、１３は放電電極対、１４は放電空間部
である。
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村田 隆昭 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株 式会社東芝浜川崎工場内 (72)発明者 玉川 徹 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株 式会社東芝浜川崎工場内
Claims (1)
- 【請求項１】 放電電極を所定間隙存して対向すること
により放電電極対を形成し、この放電電極対に放電電力
を印加することにより放電電極間に形成された放電空間
部に位置するレーザガスを励起してレーザ光を発生する
ガスレーザ装置において、 前記放電電極対は、それらの間に形成される前記放電空
間部が略垂直方向を指向するように配置されていること
を特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21977694A JPH0883944A (ja) | 1994-09-14 | 1994-09-14 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21977694A JPH0883944A (ja) | 1994-09-14 | 1994-09-14 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0883944A true JPH0883944A (ja) | 1996-03-26 |
Family
ID=16740828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21977694A Pending JPH0883944A (ja) | 1994-09-14 | 1994-09-14 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0883944A (ja) |
-
1994
- 1994-09-14 JP JP21977694A patent/JPH0883944A/ja active Pending
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