JPH01273376A - 固体レーザ装置 - Google Patents
固体レーザ装置Info
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- JPH01273376A JPH01273376A JP63101985A JP10198588A JPH01273376A JP H01273376 A JPH01273376 A JP H01273376A JP 63101985 A JP63101985 A JP 63101985A JP 10198588 A JP10198588 A JP 10198588A JP H01273376 A JPH01273376 A JP H01273376A
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 239000005337 ground glass Substances 0.000 abstract 1
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- JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N aluminum;oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Y+3] JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/0602—Crystal lasers or glass lasers
- H01S3/0606—Crystal lasers or glass lasers with polygonal cross-section, e.g. slab, prism
-
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- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08072—Thermal lensing or thermally induced birefringence; Compensation thereof
-
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- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08095—Zig-zag travelling beam through the active medium
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ加工などに用いられる固体レーザを発
振させる発振材料素子として、スラブ状の固体素子を用
いた固体レーザ装置に関するものである。
振させる発振材料素子として、スラブ状の固体素子を用
いた固体レーザ装置に関するものである。
従来、大出力用の固体レーザ素子として、イツトリウム
・アルミニューム・ガーネット（以上ＹＡＧと略す。）
、ガラスなどを材料とする断面円形の両端面を研磨した
反射面を持つ棒状のロッド型と呼ばれるものが用いられ
ている。
・アルミニューム・ガーネット（以上ＹＡＧと略す。）
、ガラスなどを材料とする断面円形の両端面を研磨した
反射面を持つ棒状のロッド型と呼ばれるものが用いられ
ている。
この種の固体レーザ素子を、励起光がロッドに集光され
るように設計された集光器に収納し、ランプとロッドの
発熱を冷却しなからレーザ発振させる。しかじロッド型
においては、励起光による温度分布がロッド内部に熱的
、光学的な変形を生じさすて、光の質を悪くしたり、ク
ラックを発生させたりする。そのため、一般にロッド型
の場合。
るように設計された集光器に収納し、ランプとロッドの
発熱を冷却しなからレーザ発振させる。しかじロッド型
においては、励起光による温度分布がロッド内部に熱的
、光学的な変形を生じさすて、光の質を悪くしたり、ク
ラックを発生させたりする。そのため、一般にロッド型
の場合。
ロッド１本で得られる最大レーザ出力は４００Ｗ程度と
されている。
されている。
そのため、現在、熱レンズ効果の小さいスラブ型の固体
レーザ素子が大出力用固体装置に用いられ始めている。
レーザ素子が大出力用固体装置に用いられ始めている。
ロッド型固体レーザ素子を用いた固体レーザ装置による
と、ロッド型の励起ランプ光を円筒楕型集光器で固体レ
ーザに集光させる方式であるため。
と、ロッド型の励起ランプ光を円筒楕型集光器で固体レ
ーザに集光させる方式であるため。
励起光はすべてロッド側面に垂直入射し、ロッド側面で
の反射損失が非常に少ない。
の反射損失が非常に少ない。
一方、固体レーザ素子がスラブ型の場合には。
はとんどの励起光が鏡面研磨された面に対して角度をも
りて入射するため１反射光が増えて反射損失が大きくな
るという問題がある。ランプ軸に垂直な方向の光に関し
ては、集光器の収率を最適に設計することで、その問題
をある程度改善される。
りて入射するため１反射光が増えて反射損失が大きくな
るという問題がある。ランプ軸に垂直な方向の光に関し
ては、集光器の収率を最適に設計することで、その問題
をある程度改善される。
しかしランプ軸方向についてはその問題を改善できない
。そのためにスラブ型固体レーザの場合。
。そのためにスラブ型固体レーザの場合。
ロッド型固体レーザ装置に比べてレーザ発振効率が低い
という欠点があった。
という欠点があった。
それ故に本発明の課題は、レーザ発振効率が向上したス
ラブ型の固体レーザ装置を提供することにある。
ラブ型の固体レーザ装置を提供することにある。
本発明によれば、複数のｈシガラス状のＶ形溝を有する
スラブ型固体レーザ素子と、上記Ｖ形溝に配した励起用
ランプと、上記Ｖ型溝をへった反射板とを含むことを特
徴とするスラブ型の固体レーザ装置が得られる。
スラブ型固体レーザ素子と、上記Ｖ形溝に配した励起用
ランプと、上記Ｖ型溝をへった反射板とを含むことを特
徴とするスラブ型の固体レーザ装置が得られる。
本発明の固体レーザ装置によると、励起用ランプから発
した励起光は磨りガラス状のＶ形溝面から固体レーザ累
、子に散乱入射し、鏡面に入射する場合に比べて一様に
固体レーザ素子内部に入射する。散乱反射した励起光は
、Ｖ形溝を覆っている反射板で反射された再度磨υガラ
ス状のＶ形溝面に入射する。
した励起光は磨りガラス状のＶ形溝面から固体レーザ累
、子に散乱入射し、鏡面に入射する場合に比べて一様に
固体レーザ素子内部に入射する。散乱反射した励起光は
、Ｖ形溝を覆っている反射板で反射された再度磨υガラ
ス状のＶ形溝面に入射する。
本発明の固体レーザ装置について実施例を挙げ。
図面を参照して説明する。まず１本発明によるレーザに
適用されるスラブ型固体レーザについて第１図の縦断正
面図を参照して説明する。スラブ型固体レーザ素子１は
、■溝４を有する。■溝が無い場合にこの部分でジグザ
グパスするレーザ光は。
適用されるスラブ型固体レーザについて第１図の縦断正
面図を参照して説明する。スラブ型固体レーザ素子１は
、■溝４を有する。■溝が無い場合にこの部分でジグザ
グパスするレーザ光は。
出射端面６で全反射を起すため、レーザ発振にまったく
寄与しない。したがってＶ溝によってレーザ発振効率が
低下することはない。
寄与しない。したがってＶ溝によってレーザ発振効率が
低下することはない。
■溝４にはランｆ２が配されている。さらにＶ溝４は反
射板３にて覆われている。■溝の面ば磨りガラス状にな
っているため、スラブ型固体レーザ素子１がランプ２に
よりて一様に励起される。
射板３にて覆われている。■溝の面ば磨りガラス状にな
っているため、スラブ型固体レーザ素子１がランプ２に
よりて一様に励起される。
反射板３は、ランプ２から出る励起光を反射させ。
スラブ型固体レーザ素子１に入射させる。誘導放出によ
るレーザ光９は、くり返し面５をジグザグパスし２反射
ミラー８と出射ミラー７間でくり返し増幅して、レーザ
発振を行なう。その際、レーザ光がジグザグパスするこ
とによって熱レンズ効果が無くなるため、質の良いレー
ザ光が得られる。
るレーザ光９は、くり返し面５をジグザグパスし２反射
ミラー８と出射ミラー７間でくり返し増幅して、レーザ
発振を行なう。その際、レーザ光がジグザグパスするこ
とによって熱レンズ効果が無くなるため、質の良いレー
ザ光が得られる。
また励起ランプ２及びスラブ型固体レーザ素子１は冷却
媒質（図示せず）によって冷却され熱的歪みが生じない
ようにしである。このスラブ型固体レーザ素子１はＶ溝
４を有しているため、素子内部をよシ効果的に冷却でき
、したがってクラックの発生を押えることができる。さ
らに集光器の必要が無く、ランプの本数に製約が無いと
いう利点もある。
媒質（図示せず）によって冷却され熱的歪みが生じない
ようにしである。このスラブ型固体レーザ素子１はＶ溝
４を有しているため、素子内部をよシ効果的に冷却でき
、したがってクラックの発生を押えることができる。さ
らに集光器の必要が無く、ランプの本数に製約が無いと
いう利点もある。
以上述べたように２本発明によれば、レーザ発振効率が
向上し、１個のレーザ素子でｋＷ級のレーザ光が得られ
るような固体レーザ装置を提供することができる。
向上し、１個のレーザ素子でｋＷ級のレーザ光が得られ
るような固体レーザ装置を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例によるスラブ型固体レーザ装
置の構成図である。 ｌはスラブ型固体レーザ素子、２は励起ランプ。 ３は反射板、４はＶ溝、５はくシ返し反射面、６は出射
面、７は出射ミラー、８は反射ミラー、９はレーザ光で
ある。
置の構成図である。 ｌはスラブ型固体レーザ素子、２は励起ランプ。 ３は反射板、４はＶ溝、５はくシ返し反射面、６は出射
面、７は出射ミラー、８は反射ミラー、９はレーザ光で
ある。
Claims (1)
- （１）複数の磨りガラス状のＶ形溝を有するスラブ型固
体レーザ素子と、上記Ｖ形溝に配した励起用ランプと、
上記Ｖ型溝を覆った反射板とを含むことを特徴とするス
ラブ型の固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63101985A JPH01273376A (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | 固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63101985A JPH01273376A (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | 固体レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01273376A true JPH01273376A (ja) | 1989-11-01 |
| JPH0342708B2 JPH0342708B2 (ja) | 1991-06-28 |
Family
ID=14315139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63101985A Granted JPH01273376A (ja) | 1988-04-25 | 1988-04-25 | 固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01273376A (ja) |
-
1988
- 1988-04-25 JP JP63101985A patent/JPH01273376A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0342708B2 (ja) | 1991-06-28 |
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