JPS59129484A - 直交型ガスレ−ザ発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の対象〕 本発明は、陰極形状を改良した直交型ガスレーザ発生装
置に関する。

〔従来技術〕

従来の直交型ガスレーザ発生装置を第１図によシ説明す
る。複数個の陰極１は、絶縁支持板２に保持されている
。平板形状の陽極３は、各陰極１に対向して設置されて
いる。陰極ｌと陽極３との間には直流電源４に接続し、
直流電源４の一方端と陰極ｌとの間には、安定抵抗５を
接続している。

直流電源４より安定抵抗５を介して陰極ｌと陽極３との
間に電流を流ｊ−１第１図に示すように陰極１と陽極３
との間にグロー放電６を発生すると、紙面に垂直な方向
で流れるガス７たとえばＣｏ２゜Ｎ２．Ｈｅを励起し、
レーザ光８を発生する。レーザ光８は、陰極１および陽
極３とガス７と直交する方向に配置された反射鏡９と出
力鏡１０との間で共振し、出力鏡１０より外部に取り出
す。

この構成では、陰極表面の放電面積は、電流増加にとも
ない面積を増し、放電部分が陰極１の上方に移動して行
く。そのため、励起ガス領域ｌｌは、新たに励起ガス領
域１２を形成する。しかしながら、励起ガス領域１２け
、レーザ光８の中心点より上方に形成されている為に、
励起ガス７の有効な活用がなされず、出力の増加は得ら
れても、効率が低下する欠点を有している。、また、励
起ガス領域１２が絶縁支持部側に移動し、陰極ｌおよび
絶縁支持部２が溶損しやすい。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、レーザ光の発生効率を良くした直交型
ガスレーザ発生装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

この目的を達成するために、本発明の陰極は、ガス流に
平行な平行面を形成して、励起ガス領域をガス流の流れ
方向にのみ拡げることにより、励起ガスをレーザ光軸上
に有効に流する様にして、レーザ光の発生効率を高める
ことにある。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を第３．４図により説明する。

複数個の陰極１は、一端を絶縁支持板２に支持した垂直
部２ＯＡと、垂直部２ＯＡの他端に支持されているガス
流７に平行な平行面２０Ｂとから構成されている。グロ
ー放電６は、平行面２０Ｂと陽極３との間で行なわれ、
平行面２０Ｂと陽極２との間には、レーザ光軸８Ａが通
過しており、その位置はグロー放電６による励起ガス領
域１１を有効に拘束し、レーザ発振を行うように構成し
ている。この状態より更に出力を増加させるべく放電型
締を増すと、グロー放電６け平行面２０Ｂは、エネルギ
ーの緩和時間内にレーぜ光軸８Ａに到達し、レーザ出力
の増加を高効率に生じさせることができる。すなわち、
励起ガス領域１１゜１２は平行面２０Ｂに形成される。

このため、励起されたガス流７け有効にレーザ光軸８Ａ
を通過し、レーザ光８に変換する率が多く、高効率のレ
ーザ光出力を得ることができる。また、平行面２０Ｂに
すれば、反射鋼９と図示していない折返し鏡との間にレ
ーザ光を１回又は２回等の複数回往復させる場合には、
第３図（往復２回の場合を示す）の如く、励起ガス領域
１１．１２にレーザ光８Ｂが入るので、更にレーザ光８
への変換率を高めることができる。

一方、平行面２０Ｂによって、励起ガス領域１２け垂直
部２ＯＡに移行しにくいので、垂直部２０Ａ、絶縁支持
板２を溶４′０することが々い。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明の直交型ガスレーザ発生装置によ
れば、励起ガスのレーザ光への変換率がよく、高効率の
レーザ光を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の直交型ガスレーザ発生装置の側断面図、
第２図は第１図の放電部附近の側断面図、第３図および
第４図は本発明の実施例として示した放電部附近で、第
３図は側断面図、第４図はガス流方向から視た時の側断
面図である。 １・・・陰極、３・・・陽極、６・・・グロー放電、７
・・・ガス流、８Ａ、８Ｂ・・・レーザ光軸、２０Ａ・
・・垂直部、第１図 第２図 荀３図　　　　　　　躬４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、レーザ光軸と、ガス流および陰極と陽極との間で行
   うグロー放電との少なくとも一方側とを直交配置したガ
   スレーザ発生装置において、上記陰極は、垂直部と垂直
   部の一端に設けられ、かつガス流に平行な平行面とから
   成ることを特徴とする直交型ガスレーザ発生装置。