JPS59159579A - ホロ−カソ−ド放電形気体レ−ザ発振装置 - Google Patents
ホロ−カソ−ド放電形気体レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS59159579A JPS59159579A JP3379383A JP3379383A JPS59159579A JP S59159579 A JPS59159579 A JP S59159579A JP 3379383 A JP3379383 A JP 3379383A JP 3379383 A JP3379383 A JP 3379383A JP S59159579 A JPS59159579 A JP S59159579A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- discharge
- anode
- hollow cathode
- parallel
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
この発明は、ホローカソード放電形気体レーザ発振装置
に関し、特に、放電電力増大を図った電極構造に関する
。
に関し、特に、放電電力増大を図った電極構造に関する
。
〔従来技術とその問題点〔
第１図は、水冷された棒電極（正又は負）と、レーザビ
ームと平行に配列された複数個の棒状電極（負又は止）
とを鳴する従来のＣＯ２レーザ装置の発振部の構成を示
す概略図である。
ームと平行に配列された複数個の棒状電極（負又は止）
とを鳴する従来のＣＯ２レーザ装置の発振部の構成を示
す概略図である。
図において１は正又は負電位にある棒電極、２は負又は
正電位にある複数個の棒状電極、３は放電部、４はレー
ザ光の方向、５は気体の流れ方向、６は放電装置容器を
示めす。レーザ共振器は、図示されていないが、棒電極
１の両端に配置された２枚の反射鏡から構成される。
正電位にある複数個の棒状電極、３は放電部、４はレー
ザ光の方向、５は気体の流れ方向、６は放電装置容器を
示めす。レーザ共振器は、図示されていないが、棒電極
１の両端に配置された２枚の反射鏡から構成される。
このような放電部の構成で、高出力、連続そして安定な
レーザ発振を達成させるには、高蓄度で安定なグロー状
放電を発生させなければならない。
レーザ発振を達成させるには、高蓄度で安定なグロー状
放電を発生させなければならない。
なお、第２図は、レーザ光の方向からみた断面図である
。
。
しかし、このような従来のレーザ装置には次のような欠
点がある。
点がある。
（１）大電力化するためこは、多数の棒状電極を配置す
るか、グロー電流を増加させる必要があり、装置の複雑
化、あるいは、グロー電流増加に伴ないアーク放電へ移
行する薙率が高くなり、放電の不安性につながる。
るか、グロー電流を増加させる必要があり、装置の複雑
化、あるいは、グロー電流増加に伴ないアーク放電へ移
行する薙率が高くなり、放電の不安性につながる。
（２）第１図に示した棒状電極２は表面積がが小さいの
で、気体への熱伝達が悪く、熱容量も小さいため電極の
温度上昇が大きい。このために冷却装置の複雑化、大形
化につながる。
で、気体への熱伝達が悪く、熱容量も小さいため電極の
温度上昇が大きい。このために冷却装置の複雑化、大形
化につながる。
この発明は、上述した位来装置の欠点を改良したもので
枚重発掘体置の節略佳、小型化さくに電極の熱伝達向上
にともない、冷却装置の簡素化、小形化ができるホロー
カソ−ド放串形気体レーザ発振装置を仙世することを目
的とすも。
枚重発掘体置の節略佳、小型化さくに電極の熱伝達向上
にともない、冷却装置の簡素化、小形化ができるホロー
カソ−ド放串形気体レーザ発振装置を仙世することを目
的とすも。
本兄明は、薯頓と平行こ、離間対向した甲板屯悴が配置
され、さらに平板電極と前記両什板電極と等距離に離間
し配置された電極を構成することによって、グロー放電
密度を増大させることができ、通常のグロー放心りり数
倍から数十倍のグロー電流密度が缶られるホローカソー
ド放電形気体レーザ発撮装置である。
され、さらに平板電極と前記両什板電極と等距離に離間
し配置された電極を構成することによって、グロー放電
密度を増大させることができ、通常のグロー放心りり数
倍から数十倍のグロー電流密度が缶られるホローカソー
ド放電形気体レーザ発撮装置である。
〔発明の効果］
本発明によれば大へなグロー電流省度が得られるので、
放電装置の小型、簡晴化が可能となり、また、板状の電
極で構成されていとため、心棒の艮面積が入きく、熱伝
達の向上とともない冷却装置の小型、簡君化もできる。
放電装置の小型、簡晴化が可能となり、また、板状の電
極で構成されていとため、心棒の艮面積が入きく、熱伝
達の向上とともない冷却装置の小型、簡君化もできる。
〔二発明を二３図、山４巳に示す。両面ておいて同一番
号は、同一のものを小めす。７は、棒あるいは平板正目
（図甲は棒市惨）８は、平行平板型のポロー陰極３は、
放電部、５はガスの流れ方向（節方向でも良い）４はレ
ーザ光の方向、６は放電装置容器である。
号は、同一のものを小めす。７は、棒あるいは平板正目
（図甲は棒市惨）８は、平行平板型のポロー陰極３は、
放電部、５はガスの流れ方向（節方向でも良い）４はレ
ーザ光の方向、６は放電装置容器である。
レーザ共振器は、図示されていついが第３図の７文び８
の心棒両端に配着された２枚の反射鏡から構成されでい
る。
の心棒両端に配着された２枚の反射鏡から構成されでい
る。
この発明てよる装置では、陰極部８ば２枚の平行平板型
であるため、ホローカソードグロー放翫が実院可能とす
る。またカス流え方向を第３図に示す方向と逆方向に流
すとより安定を方向で得られる。したがってグロー数箱
々流密度は、通常のグロー放璽の数倍から数七倍にする
とろができ、人童力を投入可能となる。また俸電極に比
較すると表面積が太きぐとれるので冷玲効果も十分大き
くなり、冷却装置の簡素化、小形化に太いこ役立つ。
であるため、ホローカソードグロー放翫が実院可能とす
る。またカス流え方向を第３図に示す方向と逆方向に流
すとより安定を方向で得られる。したがってグロー数箱
々流密度は、通常のグロー放璽の数倍から数七倍にする
とろができ、人童力を投入可能となる。また俸電極に比
較すると表面積が太きぐとれるので冷玲効果も十分大き
くなり、冷却装置の簡素化、小形化に太いこ役立つ。
収上の実施例の説明は、電極一対のものについて述べだ
が複数個によって警戒さまたものについても回降に適用
される。えた、この発明の変形例第５図、第６図に示め
す。第３図と同一缶号は、同一のものを示めす。第５図
において、陰極部を複雑の平行平板で構成しても同一の
効果が得つれる。
が複数個によって警戒さまたものについても回降に適用
される。えた、この発明の変形例第５図、第６図に示め
す。第３図と同一缶号は、同一のものを示めす。第５図
において、陰極部を複雑の平行平板で構成しても同一の
効果が得つれる。
まこ二枚一対の平行平板型ホローカソードを、アノード
７かも秀間隔に２組自已した例である。
７かも秀間隔に２組自已した例である。
これらも同様に太喝力仕などに同一の効果が得られる。
第１図は征米のＣＯ２レーサ装匝の光振部の構成概略図
、第２図は第１図の断面図、第３図は、本発明の実旅例
の成成熱略図、第４図は、第３図の断面図、第５劇およ
ひ第６図は本発明の変形例を示す断面図である、 １・・・棒稙称、２捧市極、３・・・放電部、４・・・
ビーム方向、５・・・ガス方向、７・・・俸又は平板電
極（陽椿）、８，９．１０・・・平板型ホローカソード
。 代理人 弁理士 則近憲佑 （ほか１名）第１図 第２図 第３図 ／ ？ 第４図
、第２図は第１図の断面図、第３図は、本発明の実旅例
の成成熱略図、第４図は、第３図の断面図、第５劇およ
ひ第６図は本発明の変形例を示す断面図である、 １・・・棒稙称、２捧市極、３・・・放電部、４・・・
ビーム方向、５・・・ガス方向、７・・・俸又は平板電
極（陽椿）、８，９．１０・・・平板型ホローカソード
。 代理人 弁理士 則近憲佑 （ほか１名）第１図 第２図 第３図 ／ ？ 第４図
Claims (1)
- 光軸と平行に、離間対向した平板電極が配置され、さら
に子板成極と前記両平板電極と等距離に離間し配置され
た電極からなるポローカソード放也形気体レーザ発振装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3379383A JPS59159579A (ja) | 1983-03-03 | 1983-03-03 | ホロ−カソ−ド放電形気体レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3379383A JPS59159579A (ja) | 1983-03-03 | 1983-03-03 | ホロ−カソ−ド放電形気体レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59159579A true JPS59159579A (ja) | 1984-09-10 |
Family
ID=12396344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3379383A Pending JPS59159579A (ja) | 1983-03-03 | 1983-03-03 | ホロ−カソ−ド放電形気体レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59159579A (ja) |
-
1983
- 1983-03-03 JP JP3379383A patent/JPS59159579A/ja active Pending
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