JPS63228777A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明はレーザガスをＭ’２［エネルギで励起してレ
ーザ光を発振させるガスレーザ装置に関する。

（従来の技術） 一般に、大気圧あるいは高気圧横放電励起形のガスレー
ザ装置は、ＣＯ２、Ｎ２．１−１ｅなどの混合ガスから
なるレーザガスを収容した放電管内に、陰極と陽極とか
らなる一対の主Ｎ極を離間対向させて配設し、これら主
電極間で発生する放゛電によって上記レーザガスを励起
するとともに、上記主電極が放電を開始する前に、上記
レーザカスを予ｍｇｍａによって予＠電離するようにし
ている。

予備電離源としては、主Ｎ極の幅方向側方に端部を離間
対向させたビンｔｉを長手方向に沿って所定間隔で配設
し、これらピン電極の端部間で発生する放電で一対の主
電極間の空間を予備電離するようにしたものがある。し
かしながら、一対の主電極間の空間をその幅方向側方か
ら、しかも長手方向に沿って所定間隔で予備電離するよ
−うにしたのでは、一対の主電極間の空間を均一に予備
電離することができないという問題がある。

そこで、このような問題を解決するために、一対の主電
極の一方にその長手方向はぼ全長にわたる透過部を設け
るとともに、その主電場のＲ後に予備電離源を配設し、
この予備層ｙｔｉ源と上記遭過部を形成する部材との間
で放電を発生させることにより、上記透過部を介して一
対の主型橿間の空間を予備電離するということが行われ
ている。このような透過形の主電極を用いれば、非透過
形の電極を用いた場合に比べて予備電離を均一に行なう
ことができる。

ところで、従来、透過形の主電極としては第４図あるい
は第５図に示すようなものが用いられていた。すなわち
、第４図に示す主電極ａはその放電面に形成された開口
すに金網Ｃを張設して透過部を形成していた。しかしな
がら、このような構造によると、金網Ｃを一様な張力で
張設するのが難しいため、その金網Ｃが波打つことによ
ってその放電面に凹凸が生じやすい。すると、グロー放
電が安定した状態で発生しすらくなり、アーク放電が発
生しやすくなるということがあった。

また、第５図は多数の透孔ｄが形成されたパンチングメ
タルｅで主電極ａを形成するようにしている。しかしな
がら、パンチングメタルｅで形成された土竜％ａは、そ
の透孔ｅによる開口率を大きくすることが難しいから、
大きな予備電離効果が得すらいということがあった。

（発明が解決しようとする問題点） この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、アーク放電が発生しずらい均一な放
電面を有するとともに、大きな開口率によって十分な予
備電離効果が得られる透過形の主電極を備えたガスレー
ザ装置を提供することにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段及び作用）上記問題点を
解決するためにこの発明は、内部にレーザガスが収容さ
れたレーザ放電管と、このレーザ放電管内に離間対向し
て配設された少なくとも一対の主電極と、これら一対の
主電極の少なくとも一方に形成されたハニカム部材から
なる透過部と、この透過部の背面側に配設され上記レー
ザガスを予備電離する予！！電離源とを具備する。

そして、上記ハニカム材によって開口率が大きく、凹凸
のない放電面を得る。

（実施例） 以下、この発明の一実施例を第１図乃至第３図を参照し
て説明する。第３図はガスレーザ装置の概略図を示し、
図中１はレーザ放電管である。

このレーザ放電管１内にはＣＯ２、Ｎ２、Ｈｅなどのガ
スを混合したレーザガスが収容されている。

また、レーザ放電管１内には主電極を構成する上部電極
２と、下部電極３とが離間対向して配設されている。ざ
らに、レーザ放電管１内にはレーザガスを矢示方向に循
環させる送風機４と、上記一対の電極２．３間を通過し
たレーザガスを冷却する熱交換器５とが設けられている
。

上記上部電１ｆｉ２は第１図と第２図に示す透過形のも
のが用いられている。すなわち、この上部電極２は長尺
な帯板状をなした本体部６を備えている。この本体部６
にはその長手方向はぼ全長にわたる取付孔７が厚さ方向
に穿設されている。この取付孔７にはこれとほぼ同じ大
きさの透過部を形成するためのハニカム部材８が設けら
れている。

このハニカム部材８はニッケルやニッケル合金などの金
属からなる所定の幅寸法の帯状片によって六角形状の多
数の透孔９を有する板状に形成されている。上記帯状片
はその幅方向をハニカム部材８の板面に対して直交する
方向に向けている。なお、上記下部電極３は金属のムク
材から成形したり、板材をプレス加工するなどして形成
された非透過形のものが用いられている。

上下方向に離間対向して配設された一対の電極２．３の
うち、上部電極２の背後には予漏電離源としてたとえば
コロナ電極１１が配置されている。

このコロナ電極１１と上記上部電極２とはピーキングコ
ンデンサ１２を介して高電圧パルスｔａ１３に電気的に
接続されている。また、この高電圧パルス電源１３には
主コンデンサ１４と高電圧スイッチ１５とが並列に接続
されているとともに、上記下部電極３が接続されている
。そして、上記高電圧スイッチ１５が閉じられると、ピ
ーキングコンデンサ１２に蓄えられた電気エネルギが放
出されて上部電極２とコロナ電極１１との間に放電が生
じ、その放電によって発生する紫外線で一対の電極２．
３間の空間が予備電離される。ついで、主コンデンサ１
４に蓄えられた電気エネルギが放出されて上部電極２と
下部電極３との間で主放電が生じ、それによってレーザ
ガスが励起されてレーザ光が図示せぬ出力鏡から発娠さ
れるようになっている。

このような構造のガスレーザ装置によれば、上部電極２
を透過形とするために、その本体部６に穿設された取付
孔７にハニカム部材８を設けるようにした。ハニカム部
材８は、帯状片がその幅方向を板面に対して垂直方向に
して形成されているから、剛性が高く、そりやうねりな
どが非常に小さく、放電面としての面積度を高精度に得
ることができる。したがって、このハニカム部材８とコ
ロナ電極１１との間に発生する放電やハニカム部材８と
下部電極３との間で発生する放電が安定したグロー放電
となり、アーク放電に移行しすらい。

また、ハニカム部材８はその六角形の透孔９によって十
分大きな開口率となるから、コロナ電極１１との間の放
電によって発生する紫外線が上部電極２と下部Ｎ極３と
の間の空間に流れやすくなる。したがって、その空間の
予備電離を効率良く行なうことができる。

たとえば、ハニカム部材８を０．５ａｍの厚さの帯状片
を用い、透孔９を一辺が３醜の六角形とすると、その開
口率は約９０％となり、従来用いられている金網やパン
チングメタルの開口率５０％に比べて大幅に増大させる
ことができる。したがって、そのハニカム部材８を用い
た透過形電極による予備電離効果も大きくなる。

なお、この発明は上記一実施例に限定されず、たとえば
予備電離源としてはコロナ電極に代わりＸ線管などであ
ってもよく、その点はなんら限定されるものでない。

［発明の効果］ 以上述べたようにこの発明はレーザ放電管内に離間対向
して配設される少なくとも一対の主電極のうちの一方を
、ハニカム部材によって透過部が形成された透過形のも
のとした。したがって、ハニカム部材がもつこの板面と
垂直方向の剛性によってそりやうねりが非常に小さな放
電面を得ることができるから、このハニカム部材と予備
電離源あるいは他方の主電極との間で発生する放電をア
ーク放電に移行しすらい安定したグロー放電とすること
ができる。また、ハニカム部材の開口率は従来の金網や
パンチングメタルに比べて十分に大きくすることができ
るから、このハニカム部材の背後に配設された予備電離
源による予備電離効果を大幅に向上させることができる
。

【図面の簡単な説明】 第１図はこの発明の一実施例を示す一方の主電極の斜視
図、第２図は同じく平面図、第３図はガスレーザ装置の
概略図、第４図と第５図はそれぞれこの発明の他の実施
例を示す主電極の斜視図である。 １・・・レーザ放Ｎ管、２・・・上部電極、３・・・下
部電極、８・・・ハニカム部材、１１・・・コロナ電極
（予備電離ａ）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 内部にレーザガスが収容されたレーザ放電管と、このレ
   ーザ放電管内に離間対向して配設された少なくとも一対
   の主電極と、これら一対の主電極の少なくとも一方に形
   成されたハニカム部材からなる透過部と、この透過部の
   背面側に配設され上記レーザガスを予備電離する予備電
   離源とを具備したことを特徴とするガスレーザ装置。