JPH0535585B2 - - Google Patents
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- JPH0535585B2 JPH0535585B2 JP21283884A JP21283884A JPH0535585B2 JP H0535585 B2 JPH0535585 B2 JP H0535585B2 JP 21283884 A JP21283884 A JP 21283884A JP 21283884 A JP21283884 A JP 21283884A JP H0535585 B2 JPH0535585 B2 JP H0535585B2
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 16
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、横方向励起型パルスレーザ発振器
の改良に関するものである。
の改良に関するものである。
〔従来の技術）
第４図は従来この種のものとして代表的な横方
向励起型パルスレーザで、特にエキマシマレーザ
（例えばArF、KrF、XeF、Xe）、窒素レーザ
等で良く使われる装置の１例を示す縦断面図、第
５図は第４図をＶ−Ｖ線より見た横断面図であ
る。
向励起型パルスレーザで、特にエキマシマレーザ
（例えばArF、KrF、XeF、Xe）、窒素レーザ
等で良く使われる装置の１例を示す縦断面図、第
５図は第４図をＶ−Ｖ線より見た横断面図であ
る。
図において、１は第１の主電極すなわちこの例
では陰極、２は陰極１の背景に設置され、陰極１
の基板とレーザ筺体の一部を兼ねる絶縁性電極基
板、３は陰極１と対向する第２の主電極すなわち
この例では陽極、４は導電性の電極基板、5aは
陰極１の近くに配置され、絶縁性電極基板２に一
端が埋説された第１の予備電離電極、5bは陽極
３と電気的に接続され、第１の予備電離電極5a
と対向する第２の予備電離電極、７は絶縁性電極
基板２を介して陰極１と反対側に設置され、主電
極１，３に並列接続されたピーキングコンデンサ
ー、６は陰極１とコンデンサー３を接続する主放
電回路導電板、８は主放電によつてレーザが励起
される放電励起部、９は放電励起部８を主放電に
先立つて予備電離する紫外光、１０は紫外光９を
発生する予備電離ギヤツプ、１１はレーザ発振光
軸、１２はレーザガス流を示す矢印、１３はレー
ザガスを冷却する熱交換器、１４はレーザガスを
循環するブロワー、１５はレーザガスの循環系を
構成するガスダクト、１６はレーザガスを封入す
るレーザ筺体、１７はピーキングコンデンサー７
にパルス充電するメインコンデンサー、１８はメ
インコンデンサー１７を充電する高圧電流、１９
はメインコンデンサー１７の充電路を形成する充
電用インダクタンス、２０はレーザをスイツチン
グするスイツチング素子（例えばギヤツプスイツ
チ、サイラトロン、半導体素子等）、２１はスイ
ツチング素子２０に流れるピーク電流を制限し、
かつピーキングコンデンサー７に対し均等に電荷
を充電するインダクタンス、２２は全反射鏡、２
３は部分反射鏡、２４はレーザ光を示す矢印であ
る。
では陰極、２は陰極１の背景に設置され、陰極１
の基板とレーザ筺体の一部を兼ねる絶縁性電極基
板、３は陰極１と対向する第２の主電極すなわち
この例では陽極、４は導電性の電極基板、5aは
陰極１の近くに配置され、絶縁性電極基板２に一
端が埋説された第１の予備電離電極、5bは陽極
３と電気的に接続され、第１の予備電離電極5a
と対向する第２の予備電離電極、７は絶縁性電極
基板２を介して陰極１と反対側に設置され、主電
極１，３に並列接続されたピーキングコンデンサ
ー、６は陰極１とコンデンサー３を接続する主放
電回路導電板、８は主放電によつてレーザが励起
される放電励起部、９は放電励起部８を主放電に
先立つて予備電離する紫外光、１０は紫外光９を
発生する予備電離ギヤツプ、１１はレーザ発振光
軸、１２はレーザガス流を示す矢印、１３はレー
ザガスを冷却する熱交換器、１４はレーザガスを
循環するブロワー、１５はレーザガスの循環系を
構成するガスダクト、１６はレーザガスを封入す
るレーザ筺体、１７はピーキングコンデンサー７
にパルス充電するメインコンデンサー、１８はメ
インコンデンサー１７を充電する高圧電流、１９
はメインコンデンサー１７の充電路を形成する充
電用インダクタンス、２０はレーザをスイツチン
グするスイツチング素子（例えばギヤツプスイツ
チ、サイラトロン、半導体素子等）、２１はスイ
ツチング素子２０に流れるピーク電流を制限し、
かつピーキングコンデンサー７に対し均等に電荷
を充電するインダクタンス、２２は全反射鏡、２
３は部分反射鏡、２４はレーザ光を示す矢印であ
る。
次に動作について説明する。
１例としてKrFレーザの場合について説明す
る。
る。
レーザ筺体１６に封入され、ガスダクト１５、
ブロワー１４、熱交換器１３からなるガス循環系
により、冷却されたKrとF2とHe（またはArか
Ne）からなるレーザガス１２が、陰極１と陽極
３の間に矢印１２の方向から流し込まれる。
ブロワー１４、熱交換器１３からなるガス循環系
により、冷却されたKrとF2とHe（またはArか
Ne）からなるレーザガス１２が、陰極１と陽極
３の間に矢印１２の方向から流し込まれる。
高圧電源１８により、メインコンデンサー１７
が所定の電圧で充電される。
が所定の電圧で充電される。
スイツチング素子２０がONされると、メイン
コンデンサー１７に蓄えられた電荷が、インダク
タンス２１、予備電離電極5a，5b、予備電離ギ
ヤツプ１０、電極基板４を通じて、ピーキングコ
ンデンサー７をパスル充電する。
コンデンサー１７に蓄えられた電荷が、インダク
タンス２１、予備電離電極5a，5b、予備電離ギ
ヤツプ１０、電極基板４を通じて、ピーキングコ
ンデンサー７をパスル充電する。
その際、予備電離ギヤツプ１０はアーク放電で
接続され、紫外光９を発生する。
接続され、紫外光９を発生する。
これにより、陰極１の近傍、ならびに放電励起
部８の全域に亘り、レーザガス１２が弱電離状態
（電子密度ne＝106〜108個／cm3）となる。
部８の全域に亘り、レーザガス１２が弱電離状態
（電子密度ne＝106〜108個／cm3）となる。
ピーキングコンデンサー７の充電により、陰極
１と陽極３の間の電圧が放電開始電圧に達する
と、ピーキングコンデンサー７に蓄えられた電荷
は、予備電離ギヤツプ１０、予備電離電極5a，
5bを通じて一気に陰極１、陽極３間に流れ、放
電励起部８にパルス放電が形成される。
１と陽極３の間の電圧が放電開始電圧に達する
と、ピーキングコンデンサー７に蓄えられた電荷
は、予備電離ギヤツプ１０、予備電離電極5a，
5bを通じて一気に陰極１、陽極３間に流れ、放
電励起部８にパルス放電が形成される。
これは、あらかじめ放電励起部８が紫外光９に
よつて均一な予備電離状態にされているため、均
一なグロー放電となる。
よつて均一な予備電離状態にされているため、均
一なグロー放電となる。
この放電により形成された放電励起部８では励
起状態のKrFが生成され、反転分布が形成され
る。
起状態のKrFが生成され、反転分布が形成され
る。
放電励起部８を挾み対向配置した全反射鏡２２
と部分反射鏡２３から成る光共振器により、レー
ザ発振が生じ、部分反射鏡２３からレーザビーム
２４が出射する。
と部分反射鏡２３から成る光共振器により、レー
ザ発振が生じ、部分反射鏡２３からレーザビーム
２４が出射する。
ところで、エキシマレーザにおいては、逆転分
布を形成するエキシマ分子を形成するエキシマ分
子（例えばKrF〓、XeC〓）の寿命が数ns〜数
十nsと極めて短かい。
布を形成するエキシマ分子を形成するエキシマ分
子（例えばKrF〓、XeC〓）の寿命が数ns〜数
十nsと極めて短かい。
そのため、レーザの高出力化、高効率化を実現
するためには、極めて立ち上がりが速く（例えば
数ns）、ピークパワーの高い（例えば数MW／cm3）
電力投入が必要である。
するためには、極めて立ち上がりが速く（例えば
数ns）、ピークパワーの高い（例えば数MW／cm3）
電力投入が必要である。
この条件は多分に主放電回路（第１図の例で
は、予備電離電極5a，5b、ピーキングコンデン
サー７、主放電回路導電板６、陰極１、陽極３、
陽極基板４が形成する回路）の浮遊のインダクタ
ンスで決まり、これを小さく押えること、具体的
には先の主放電回路の断面積をできるだけ小さく
することが重要である。
は、予備電離電極5a，5b、ピーキングコンデン
サー７、主放電回路導電板６、陰極１、陽極３、
陽極基板４が形成する回路）の浮遊のインダクタ
ンスで決まり、これを小さく押えること、具体的
には先の主放電回路の断面積をできるだけ小さく
することが重要である。
このため、放電励起部８に予備電離電極5a，
5bをなるべく近づけるのが望ましい。
5bをなるべく近づけるのが望ましい。
しかしながら、従来の装置の構成では、予備電
離電極5a，5bを放電励起部８に近づけると、陰
極１と第１の予備電離電極5aの間で絶縁性電極
基板２表面またはレーザガス１２中を媒介として
放電が起こり、主電極１，３間のおいては放電が
行なわれないという問題点があつた。
離電極5a，5bを放電励起部８に近づけると、陰
極１と第１の予備電離電極5aの間で絶縁性電極
基板２表面またはレーザガス１２中を媒介として
放電が起こり、主電極１，３間のおいては放電が
行なわれないという問題点があつた。
また、予備電離ギヤツプ１０の位置も同じ理由
により放電励起部８に近づけられず、十分な予備
電離効果を発揮できないという問題点があつた。
により放電励起部８に近づけられず、十分な予備
電離効果を発揮できないという問題点があつた。
この発明は上記のような問題点を解決するため
になされたもので、高出力で高効率、なおかつ出
力の安定したパルスレーザ発振器を得ることを目
的としている。
になされたもので、高出力で高効率、なおかつ出
力の安定したパルスレーザ発振器を得ることを目
的としている。
この発明に係るパルスレーザ発振器は、絶縁性
電極基板に連説され、第１の主電極と第１の予備
電離電極の間の放電を防止する絶縁壁を備えたも
のである。
電極基板に連説され、第１の主電極と第１の予備
電離電極の間の放電を防止する絶縁壁を備えたも
のである。
この発明における絶縁壁は、第１と主電極と第
１の予備電離電極の間の放電を防止するので、予
備電離電極と予備電離ギヤツプの位置的な自由度
は非常に増加し、主放電回路の浮遊のインダクタ
ンスを小さくできると共に予備電離効果をも高め
ることができる。
１の予備電離電極の間の放電を防止するので、予
備電離電極と予備電離ギヤツプの位置的な自由度
は非常に増加し、主放電回路の浮遊のインダクタ
ンスを小さくできると共に予備電離効果をも高め
ることができる。
（実施例〕
以下、この発明の一実施例を図をもとに説明す
る。
る。
第１図はこの発明の一実施例の主要部を示す縦
断面図、第２図は第１図を−線より見た平面
図である。
断面図、第２図は第１図を−線より見た平面
図である。
図において、２５は絶縁性電極基板２に連設さ
れ、第１の主電極１と第１の予備電離電極５ａの
間に設けられた絶縁壁すなわち電極用絶縁壁であ
り、この例では第１の主電極１はこの絶縁壁２５
によつて囲まれている。
れ、第１の主電極１と第１の予備電離電極５ａの
間に設けられた絶縁壁すなわち電極用絶縁壁であ
り、この例では第１の主電極１はこの絶縁壁２５
によつて囲まれている。
次に動作について、従来例との相違点にポイン
トを置いて説明する。
トを置いて説明する。
予備電極ギヤツプ１０と放電励起部８が近接し
ている場合、絶縁性電極基板２の表面またはレー
ザガスを媒介として、第１の主電極１と第１の予
備電離電極５ａの間で放電が起ころうとするが、
電極用絶縁壁２５があるためこれを防止すること
ができる。
ている場合、絶縁性電極基板２の表面またはレー
ザガスを媒介として、第１の主電極１と第１の予
備電離電極５ａの間で放電が起ころうとするが、
電極用絶縁壁２５があるためこれを防止すること
ができる。
したがつて、予備電離電極５ａ，５ｂを放電励
起部８に近づけることが可能となり、主放電回路
の浮遊のインダクタンスを減らすことができる。
起部８に近づけることが可能となり、主放電回路
の浮遊のインダクタンスを減らすことができる。
また同時に、予備電離ギヤツプ１０の位置も最
適化することができる。
適化することができる。
これらの作用により、高出力で高効率、なおか
つ出力の安定したパルスレーザ発振器を実現でき
る。
つ出力の安定したパルスレーザ発振器を実現でき
る。
なお、電極用絶縁壁２５の高さは、レーザガス
流への影響、絶縁壁としての有効な作用という観
点から、第１の主電極面１とほぼ等しい高さにす
るのが望ましい。
流への影響、絶縁壁としての有効な作用という観
点から、第１の主電極面１とほぼ等しい高さにす
るのが望ましい。
まな、上記実施例では電極用絶縁壁２５によつ
て第１の主電極１の側面を囲つた場合について説
明したが、予備電離電極５ａ，５ｂの配置によつ
ては、第１の主電極１と第１の予備電離電極５ａ
の間にのみ電極用絶縁壁２５を設けても上記実施
例と同様の効果を奏する。
て第１の主電極１の側面を囲つた場合について説
明したが、予備電離電極５ａ，５ｂの配置によつ
ては、第１の主電極１と第１の予備電離電極５ａ
の間にのみ電極用絶縁壁２５を設けても上記実施
例と同様の効果を奏する。
第３図はこの発明の他の実施例の主要部を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
図において、２６は絶縁性電極器板２に連設さ
れ、主放電回路導電板６とコンデンサー７の間に
設けられた絶縁壁すなわちコンデンサー用絶縁壁
であり、レーザガス雰囲気外での第１の電極１と
第１の予備電離電極５ａの間の絶縁破壊を防止す
ることができる。
れ、主放電回路導電板６とコンデンサー７の間に
設けられた絶縁壁すなわちコンデンサー用絶縁壁
であり、レーザガス雰囲気外での第１の電極１と
第１の予備電離電極５ａの間の絶縁破壊を防止す
ることができる。
これにより、ピーキングコンデンサー７の設定
位置に自由度が与えられ、主放電回路に浮遊する
インダクタンスをより小さくすることが可能とな
り、この発明の効果を一層高めることができる。
位置に自由度が与えられ、主放電回路に浮遊する
インダクタンスをより小さくすることが可能とな
り、この発明の効果を一層高めることができる。
なお、この実施例では電極用絶縁壁２５とコン
デンサ用絶縁壁２６とを併設した場合について説
明したが、コンデンサ用絶縁壁２６のみを備えた
場合でも上記実施例と同様の効果が得られる。
デンサ用絶縁壁２６とを併設した場合について説
明したが、コンデンサ用絶縁壁２６のみを備えた
場合でも上記実施例と同様の効果が得られる。
なお、上記実施例ではエキシマレーザ媒質を用
いた場合について説明したが、F2、N2、HF、
CO2レーザ等、他のレーザ媒質を用いた場合にも
適用できるのは言うまでもない。
いた場合について説明したが、F2、N2、HF、
CO2レーザ等、他のレーザ媒質を用いた場合にも
適用できるのは言うまでもない。
また、上記実地例では、工場的に有用な、１秒
間に数百回から数千回に亘つてレーザ発振を行な
う、ガス流のある装置について説明したが、ガス
流のない装置に本発明を適用しても同様の効果が
得られることはいうまでもない。
間に数百回から数千回に亘つてレーザ発振を行な
う、ガス流のある装置について説明したが、ガス
流のない装置に本発明を適用しても同様の効果が
得られることはいうまでもない。
以上のように、この発明によれば、第１の主電
極の第１の予備電離電極の間に絶縁性電極基板に
連設された絶縁壁を備えたので、第１の主電極と
第１の予備電離電極間の放電を防止でき、高出力
で高効率、なおかつ出力が安定したパルスレーザ
発振器が得られる効果がある。
極の第１の予備電離電極の間に絶縁性電極基板に
連設された絶縁壁を備えたので、第１の主電極と
第１の予備電離電極間の放電を防止でき、高出力
で高効率、なおかつ出力が安定したパルスレーザ
発振器が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるパルスレー
ザ発振器の要部を示す縦断面図、第２図は第１図
を−線方向から見た平面図、第３図はこの発
明の他の実施例によるパルスレーザ発振器の要部
を示す縦断面図、第４図は従来のパルスレーザ発
振器を示す縦断面図、第５図は第４図の−線
横断面図である。 図において、１は第１の主電極、２は絶縁性電
極基板、３は第２の主電極、５ａは第１の予備電
離電極、５ｂは第２の予備電離電極、６は主放電
回路導電板、７はコンデンサー、２５，２６は絶
縁壁、である。なお、各図中同一符号は同一また
は担当部分を示すものとする。
ザ発振器の要部を示す縦断面図、第２図は第１図
を−線方向から見た平面図、第３図はこの発
明の他の実施例によるパルスレーザ発振器の要部
を示す縦断面図、第４図は従来のパルスレーザ発
振器を示す縦断面図、第５図は第４図の−線
横断面図である。 図において、１は第１の主電極、２は絶縁性電
極基板、３は第２の主電極、５ａは第１の予備電
離電極、５ｂは第２の予備電離電極、６は主放電
回路導電板、７はコンデンサー、２５，２６は絶
縁壁、である。なお、各図中同一符号は同一また
は担当部分を示すものとする。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ レーザガス中に配設された第１の主電極と、
この第１の主電極と対向して配設された第２の主
電極と、上記第１の主電極の周辺に配設された第
１の予備電離電極と、この第１の予備電離電極と
対向して配設された第２の予備電離電極と、上記
第１の主電極と上記第２の主電極を含む主放電回
路に直列に接続されたコンデンサーと、上記第１
の予備電離電極と上記第２の予備電離電極との間
を放電させて上記コンデンサーをパルス的に充電
する電源とを備え、上記コンデンサーに充電され
た電荷により、上記第１の主電極と上記第２の主
電極との間にパルス状の放電を生成させて、上記
第１の主電極と上記第２の主電極との間に形成さ
れた光共振器からレーザ光を出射させるように構
成したパルスレーザ発振器において、 上記第１の主電極と上記第１の予備電離電極と
を絶縁性電極基板上に固定し、上記第１の主電極
と上記第１の予備電離電極との間に上記第１の主
電極と上記第１の予備電離電極との間の放電を防
止する上記絶縁性電極基板と連接する絶縁壁を設
けたことを特徴とするパルスレーザ発振器。 ２ 上記絶縁壁の高さは上記第１の主電極の放電
面とほぼ等しい高さであることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のパルスレーザ発振器。 ３ 上記第１の主電極と上記コンデンサーとを電
気的に接続する主放電回路導電板と上記コンデン
サーとの間に第２の絶縁壁を設けたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のパルスレーザ発
振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21283884A JPS6190481A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | パルスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21283884A JPS6190481A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | パルスレ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190481A JPS6190481A (ja) | 1986-05-08 |
| JPH0535585B2 true JPH0535585B2 (ja) | 1993-05-26 |
Family
ID=16629182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21283884A Granted JPS6190481A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | パルスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6190481A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6484677A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-29 | Agency Ind Science Techn | Gas laser oscillator |
| JPH04177773A (ja) * | 1990-11-09 | 1992-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレーザ用スイッチ |
-
1984
- 1984-10-09 JP JP21283884A patent/JPS6190481A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6190481A (ja) | 1986-05-08 |
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