JPS63217681A - パルスガスレ−ザ装置 - Google Patents
パルスガスレ−ザ装置Info
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- JPS63217681A JPS63217681A JP5019087A JP5019087A JPS63217681A JP S63217681 A JPS63217681 A JP S63217681A JP 5019087 A JP5019087 A JP 5019087A JP 5019087 A JP5019087 A JP 5019087A JP S63217681 A JPS63217681 A JP S63217681A
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- JP
- Japan
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- electrode
- main
- auxiliary electrode
- pinholes
- laser device
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- Pending
Links
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- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
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- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
木受ＨＡ Ｉｄ、 、 ＴＥＡＣＯ２レーザ、エキシマ
レーザ、金属蒸気レーザ、ハロゲンガスレーザなど、レ
ーザガス中でパルス放電励起を行うパルスガスレーザ装
置に関する。
レーザ、金属蒸気レーザ、ハロゲンガスレーザなど、レ
ーザガス中でパルス放電励起を行うパルスガスレーザ装
置に関する。
（従来の技術）
レーザガスを励起してパルスレーザ発振を行うレーザ装
置としてＴＥＡＣＯ２レーザ、エキシマレーザ、金属蒸
気レーザ、ハロゲンガスレーザナトがある。これらは、
電子線励起の大出力のものを除けば、放電励起のものが
一般的である。第３図に従来のコロナ放電子偏重離形パ
ルスレーザ装置の要部構成を示す。これは、レーザガス
中に対向して置かれた２つの主電極にパルス電圧を加え
ることによりパルス放電を行うようになっている。
置としてＴＥＡＣＯ２レーザ、エキシマレーザ、金属蒸
気レーザ、ハロゲンガスレーザナトがある。これらは、
電子線励起の大出力のものを除けば、放電励起のものが
一般的である。第３図に従来のコロナ放電子偏重離形パ
ルスレーザ装置の要部構成を示す。これは、レーザガス
中に対向して置かれた２つの主電極にパルス電圧を加え
ることによりパルス放電を行うようになっている。
このパルス放電を安定に行わせるために予め予備放電を
行うの普通である。
行うの普通である。
第３図に示す如く主電極５に取付けられた誘電体８およ
びコロナ放電磁極９から構成されている。
びコロナ放電磁極９から構成されている。
しかし、この構成であると、予備放電入力が小さく電子
の発生が少ない。したがって、小出力のパルスレーザで
は、実用化可能であるが、大出力のパルスレーザでは、
広い領域を一様に予備放電が必要なため従来のコロナ予
備電離形では、広い領域を一様に予備放電することが困
難である。また。
の発生が少ない。したがって、小出力のパルスレーザで
は、実用化可能であるが、大出力のパルスレーザでは、
広い領域を一様に予備放電が必要なため従来のコロナ予
備電離形では、広い領域を一様に予備放電することが困
難である。また。
誘電体８にコ四す放電が発生するため、誘電体から不純
ガスが発生し、レーザガスが劣化するため、レーザの寿
命が低下する。
ガスが発生し、レーザガスが劣化するため、レーザの寿
命が低下する。
（発明が解決しようとする問題点）
以上のように従来のコロナ予備軍離形パルスレーザ装置
では大出力化が困難であった。
では大出力化が困難であった。
本発明の目的は、コロナ予備電離形より、より大電力を
投入できる火花放電を予備放電に使用し。
投入できる火花放電を予備放電に使用し。
広い領域を一様に予備電離することにより、大出力で高
効率のパルスガスレーザが実現でき、更に、コロナ放電
による誘電体から不純ガス発生による。
効率のパルスガスレーザが実現でき、更に、コロナ放電
による誘電体から不純ガス発生による。
レーザガス劣化を防止し長寿命化が実現できる。
パルスガスレーザ装置を提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
広い領域を一様に予備放電するためには、より大電力を
投入できる放電形式が必要となる。本発明では、より大
電力を投入できる火花放電を使用し、火花放電から発生
する紫外線により広い領域を一様に予備電離することが
できるようにした。
投入できる放電形式が必要となる。本発明では、より大
電力を投入できる火花放電を使用し、火花放電から発生
する紫外線により広い領域を一様に予備電離することが
できるようにした。
また、レーザガス劣化を防止するためにできるだけ放電
による不純ガス発生を抑えるために、主電極の表面から
できるだけ火花放電発生湯所離すことにより、主放電領
域への不純ガス混入を防止した。
による不純ガス発生を抑えるために、主電極の表面から
できるだけ火花放電発生湯所離すことにより、主放電領
域への不純ガス混入を防止した。
（作 用）
本発明は、コロナ放電子偏重離形より、より大電力を投
入できる火花放電を予備放電に使用し。
入できる火花放電を予備放電に使用し。
広い領域を一様に予備電離することによυ、大出力で高
効率のパルスガスレーザが実現できる。主電極の表面か
らできるだけ火花放電発生湯所雛すことにより、主放電
領域への不純ガス混入を防止でき、長寿命化が達成でき
る。
効率のパルスガスレーザが実現できる。主電極の表面か
らできるだけ火花放電発生湯所雛すことにより、主放電
領域への不純ガス混入を防止でき、長寿命化が達成でき
る。
（実施例）
ｗｃ１図に、本発明の実施例を示す、１は主電極、２は
補助電極、３はピン電極である。主電極１と補助電極２
は同電位である。５．７はコンデンサ、６．８はスイッ
チング素子である。補助電極２とピン電極３との間で、
火花放電が発生する。
補助電極、３はピン電極である。主電極１と補助電極２
は同電位である。５．７はコンデンサ、６．８はスイッ
チング素子である。補助電極２とピン電極３との間で、
火花放電が発生する。
主′イ極ｌには多数の小穴が設けられている。又、補助
電極２にも前記主電極ｌの小穴と同程度の大きさの小穴
が多数設けられておシ、火花放電の発生により紫外線が
発生し、主放電領域が一様に電ｍ１勺）、ｔた。主電極
ｌの背後で火花放電の発生するため、コロナ放電予備ｔ
ｍ形よりネ純ガス混入が少なく、ガス劣化を防止するこ
とができる。本実施例以外でも補助電極２に前記主′−
極１の小穴より小式な小穴を多数設けても前記効果は変
わらない、また、補助電極２の小穴および主電極１の小
穴の形状は円形でも矩形でも前記効果は変わらない。さ
らに、ガス流れΦがある場合、第２図に示すように、ガ
ス流れ方向に沿って、前記補助電極と前記ピン電極との
距離が徐徐に長くなるように配置されていれば前記効果
はさらに大きい。
電極２にも前記主電極ｌの小穴と同程度の大きさの小穴
が多数設けられておシ、火花放電の発生により紫外線が
発生し、主放電領域が一様に電ｍ１勺）、ｔた。主電極
ｌの背後で火花放電の発生するため、コロナ放電予備ｔ
ｍ形よりネ純ガス混入が少なく、ガス劣化を防止するこ
とができる。本実施例以外でも補助電極２に前記主′−
極１の小穴より小式な小穴を多数設けても前記効果は変
わらない、また、補助電極２の小穴および主電極１の小
穴の形状は円形でも矩形でも前記効果は変わらない。さ
らに、ガス流れΦがある場合、第２図に示すように、ガ
ス流れ方向に沿って、前記補助電極と前記ピン電極との
距離が徐徐に長くなるように配置されていれば前記効果
はさらに大きい。
本発明により主放電領域が一様に電離されるため、大出
力で高効率のパルスレーザが実現できる。また不純ガス
発生抑制するため、レーザガス劣化を防止し長寿命化が
実現できる。
力で高効率のパルスレーザが実現できる。また不純ガス
発生抑制するため、レーザガス劣化を防止し長寿命化が
実現できる。
第１図は、本発明の一実施例によるパルスガスレーザ装
置の要部構成を示す図、第２図は、本発明の変形例によ
るパルスガスレーザ装置の要部構成を示す図、第３図従
来のコロナ予備軍離形パルスレーザ装置の要部構成を示
す図である。 １．１′・・・主′イ極、２・・・□補助電極、３．３
’・・・ピン電極、８・・・誘電体、９・・・コロナ電
極。 ＨＶＩ １５ 第２図
置の要部構成を示す図、第２図は、本発明の変形例によ
るパルスガスレーザ装置の要部構成を示す図、第３図従
来のコロナ予備軍離形パルスレーザ装置の要部構成を示
す図である。 １．１′・・・主′イ極、２・・・□補助電極、３．３
’・・・ピン電極、８・・・誘電体、９・・・コロナ電
極。 ＨＶＩ １５ 第２図
Claims (4)
- （１）レーザガス中に対向して配置された第１および第
２の主電極と、その主電極のもしくはその主電極の背面
に配置された予備電離用電極とからなるパルスガスレー
ザ装置に於いて、前記主電極の少なくとも一方が多数の
小穴を有し、さらに前記主電極の多数の小穴のほぼ中心
上に、かつ前記主電極の多数の小穴と同程度の大きさの
小穴を持つ補助電極を有し、かつ前記補助電極の背後に
前記補助電極の小穴のほぼ中心上にピン状電極を有する
ことを特徴とするパルスガスレーザ装置 - （２）前記補助電極の小穴の大きさが前記主電極の小穴
より小さいことを特徴とする特許請求範囲第１号記載の
パルスガスレーザ装置 - （３）前記補助電極の小穴もしくは前記主電極の小穴の
形状が円形または矩形であることを特徴とする特許請求
範囲第１項記載のパルスガスレーザ装置 - （４）ガス流れ方向に沿って、前記補助電極と前記ピン
電極との距離が徐徐に長くなるように配置されたことを
特徴とする特許請求範囲第１項記載のパルスガスレーザ
装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5019087A JPS63217681A (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | パルスガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5019087A JPS63217681A (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | パルスガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63217681A true JPS63217681A (ja) | 1988-09-09 |
Family
ID=12852244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5019087A Pending JPS63217681A (ja) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | パルスガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63217681A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103915747A (zh) * | 2014-03-26 | 2014-07-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大能量脉冲放电装置 |
-
1987
- 1987-03-06 JP JP5019087A patent/JPS63217681A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103915747A (zh) * | 2014-03-26 | 2014-07-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大能量脉冲放电装置 |
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