JPH05335672A - エキシマレーザ装置 - Google Patents
エキシマレーザ装置Info
- Publication number
- JPH05335672A JPH05335672A JP18563592A JP18563592A JPH05335672A JP H05335672 A JPH05335672 A JP H05335672A JP 18563592 A JP18563592 A JP 18563592A JP 18563592 A JP18563592 A JP 18563592A JP H05335672 A JPH05335672 A JP H05335672A
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- electrodes
- discharge
- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 主電極間における予備電離電子の分布の均一
化を図ることを目的とする。 【構成】 主電極の側面にその長さ方向に沿って複数の
予備電離用の電極を配置する。この電極による予備電離
用の放電を、主電極の長さ方向に沿って発生させる。こ
の放電によって、主電極間の電界方向に対して直角方向
における、予備電離用の電子密度が均一に分布するよう
になる。
化を図ることを目的とする。 【構成】 主電極の側面にその長さ方向に沿って複数の
予備電離用の電極を配置する。この電極による予備電離
用の放電を、主電極の長さ方向に沿って発生させる。こ
の放電によって、主電極間の電界方向に対して直角方向
における、予備電離用の電子密度が均一に分布するよう
になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は放電励起形のエキシマレ
ーザ装置に関する。
ーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のようにこの種エキシマレーザ装置
は、レーザガスを封入したレーザチャンバ内に相対して
一対の主電極を設置し、この主電極間で一様な主放電を
起こしてレーザガスを励起し、レーザ光を発生させる。
は、レーザガスを封入したレーザチャンバ内に相対して
一対の主電極を設置し、この主電極間で一様な主放電を
起こしてレーザガスを励起し、レーザ光を発生させる。
【０００３】図３、図４はその従来構成を示し、１はレ
ーザチャンバ、２、３は主電極、４は放電用のコンデン
サ、５は互いに向かう合って対となっている予備電離用
の電極、６は電極５に直列に接続されてある充電用のコ
ンデンサで、電極５とコンデンサ６との直列回路は主電
極２、３間にまたがって接続されてある。７は充電コイ
ル、８はサイラトロンのようなスイッチ素子、９は充電
電源端子である。
ーザチャンバ、２、３は主電極、４は放電用のコンデン
サ、５は互いに向かう合って対となっている予備電離用
の電極、６は電極５に直列に接続されてある充電用のコ
ンデンサで、電極５とコンデンサ６との直列回路は主電
極２、３間にまたがって接続されてある。７は充電コイ
ル、８はサイラトロンのようなスイッチ素子、９は充電
電源端子である。
【０００４】最初に充電電源端子９からの電圧によっ
て、充電コイル７を介してコンデンサ６が充電される。
その充電の後、スイッチ素子８をオンにすると、コンデ
ンサ６の放電電流は電極５を介してコンデンサ４に流
れ、これを充電する。この過程で電極５間でスパーク放
電が発生し、電子を主電極２、３間に分布する。コンデ
ンサ４が所定電圧まで充電されると、主電極２、３間で
放電が発生し、レーザ光が発生する。レーザ光は射出窓
１０から外部に放出される。
て、充電コイル７を介してコンデンサ６が充電される。
その充電の後、スイッチ素子８をオンにすると、コンデ
ンサ６の放電電流は電極５を介してコンデンサ４に流
れ、これを充電する。この過程で電極５間でスパーク放
電が発生し、電子を主電極２、３間に分布する。コンデ
ンサ４が所定電圧まで充電されると、主電極２、３間で
放電が発生し、レーザ光が発生する。レーザ光は射出窓
１０から外部に放出される。
【０００５】この種装置において、高効率、高エネルギ
ーのレーザ光を得るためには、主電極２、３間で一様な
均質放電を起こすことが重要である。またアーク放電の
ような不均質放電は電極を劣化し、あるいはレーザガス
の寿命を縮める原因となる。したがつてこの種エキシマ
レーザ装置では均質な主放電を発生させることが必要不
可欠となる。
ーのレーザ光を得るためには、主電極２、３間で一様な
均質放電を起こすことが重要である。またアーク放電の
ような不均質放電は電極を劣化し、あるいはレーザガス
の寿命を縮める原因となる。したがつてこの種エキシマ
レーザ装置では均質な主放電を発生させることが必要不
可欠となる。
【０００６】そのために主放電の点灯以前に電極５間に
おける放電によって、予備電離を行なうのである。産業
用エキシマレーザ装置では、装置をコンパクトにできる
等の理由から、スパーク放電による紫外線予備電離方式
が採用されている。この方式は電極５を主電極２、３の
両側に１００本程度を列状に配列しておくのを普通とし
ている。
おける放電によって、予備電離を行なうのである。産業
用エキシマレーザ装置では、装置をコンパクトにできる
等の理由から、スパーク放電による紫外線予備電離方式
が採用されている。この方式は電極５を主電極２、３の
両側に１００本程度を列状に配列しておくのを普通とし
ている。
【０００７】ところで従来構成では、図３、図４に示す
ように、電極５間で発生する放電が主電極２、３間の電
界方向Ｅと同じ方向に発生するように、電極５を設置す
るようにしている。そのため電極５間で発生する放電に
基づく予備電離電子の分布密度は、曲線Ｃで示すよう
に、主電極２、３間の幅方向に広がる傾向となる。その
ため電界Ｅに対する直角方向（主電極２、３の長手方向
に沿う平行方向）の予備電離電子の分布は不均一とな
る。
ように、電極５間で発生する放電が主電極２、３間の電
界方向Ｅと同じ方向に発生するように、電極５を設置す
るようにしている。そのため電極５間で発生する放電に
基づく予備電離電子の分布密度は、曲線Ｃで示すよう
に、主電極２、３間の幅方向に広がる傾向となる。その
ため電界Ｅに対する直角方向（主電極２、３の長手方向
に沿う平行方向）の予備電離電子の分布は不均一とな
る。
【０００８】一方主電極２、３間の空間的な予備電離電
子の分布の不均一性に基づく、主電極２、３間の主放電
の一様性に与える影響は大きい。電界Ｅの方向に電子密
度の不均一がある場合、その密度の低い領域では、電子
密度に対する電界の強度の割合が高くなるので、アバラ
ンシェが促進され、時間とともに平均化されて一様な主
放電が得られる。
子の分布の不均一性に基づく、主電極２、３間の主放電
の一様性に与える影響は大きい。電界Ｅの方向に電子密
度の不均一がある場合、その密度の低い領域では、電子
密度に対する電界の強度の割合が高くなるので、アバラ
ンシェが促進され、時間とともに平均化されて一様な主
放電が得られる。
【０００９】これに対し、電界Ｅに対して直角の方向に
おける電子密度の不均一がある場合は、極端に主放電の
一様性に影響を与える。すなわち電子密度の高い領域で
まずアバランシェが進行し、放電が開始すると、その部
分のインピーダンスが低下しいしまい、他の領域では放
電しないようになるからである。
おける電子密度の不均一がある場合は、極端に主放電の
一様性に影響を与える。すなわち電子密度の高い領域で
まずアバランシェが進行し、放電が開始すると、その部
分のインピーダンスが低下しいしまい、他の領域では放
電しないようになるからである。
【００１０】ところが前記のように従来構成では、電界
Ｅに対して直角の方向における電子密度に不均一性が存
在しているので、電界Ｅに対して直角の方向の予備電離
電子の分布を均一にするためには、電極５の配置間隔を
短くする必要がある。しかしこのような構成とするため
には、その製作に困難な点が多い。
Ｅに対して直角の方向における電子密度に不均一性が存
在しているので、電界Ｅに対して直角の方向の予備電離
電子の分布を均一にするためには、電極５の配置間隔を
短くする必要がある。しかしこのような構成とするため
には、その製作に困難な点が多い。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、予備電離用
の電極の配置間隔を短くすることなく、主電極間におけ
る予備電離電子の分布の均一化を図ることを目的とす
る。
の電極の配置間隔を短くすることなく、主電極間におけ
る予備電離電子の分布の均一化を図ることを目的とす
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、主電極の側面
にその長さ方向に沿って複数の予備電離用の電極を配置
する構成において、この電極による予備電離用の放電
を、主電極の長さ方向に発生させるようにしたことを特
徴とする。
にその長さ方向に沿って複数の予備電離用の電極を配置
する構成において、この電極による予備電離用の放電
を、主電極の長さ方向に発生させるようにしたことを特
徴とする。
【００１３】
【作用】予備電離用の放電を主電極の長さ方向に沿って
発生させると、その放電は主電極間の電界方向に対して
直角の方向に発生することになる。そのためその方向に
おける電子密度の分布がより均一となるので、主電極間
において一様な主放電が発生するようになる。
発生させると、その放電は主電極間の電界方向に対して
直角の方向に発生することになる。そのためその方向に
おける電子密度の分布がより均一となるので、主電極間
において一様な主放電が発生するようになる。
【００１４】
【実施例】本発明の実施例を図１、図２によって説明す
る。なお図３、図４と同じ符号を付した部分は同一また
は対応する部分を示す。本発明にしたがい、電極５間に
おける放電を主電極２、３の長さ方向に沿って発生させ
るようにする。具体的にはたとえば図１、２に示すよう
に電極５を構成する一方の電極を主電極２、３の長さ方
向に屈曲させ、他方の電極に向い合わせるようにすれば
よい。
る。なお図３、図４と同じ符号を付した部分は同一また
は対応する部分を示す。本発明にしたがい、電極５間に
おける放電を主電極２、３の長さ方向に沿って発生させ
るようにする。具体的にはたとえば図１、２に示すよう
に電極５を構成する一方の電極を主電極２、３の長さ方
向に屈曲させ、他方の電極に向い合わせるようにすれば
よい。
【００１５】このように形成すると、電極５間における
予備電離用の放電が主電極２、３の長さ方向に発生す
る。そのため主電極２、３間の電界Ｅに対して直角の方
向に予備電離用の放電が電極５間で発生するようにな
る。したがって電界Ｅに対して直角の方向の予備電離用
の電子の密度がより均一に分布するようになる。
予備電離用の放電が主電極２、３の長さ方向に発生す
る。そのため主電極２、３間の電界Ｅに対して直角の方
向に予備電離用の放電が電極５間で発生するようにな
る。したがって電界Ｅに対して直角の方向の予備電離用
の電子の密度がより均一に分布するようになる。
【００１６】その結果主電極２、３間において一様な主
放電が発生し、高効率、高エネルギーのエキシマレーザ
光が得られるようになる。そしてその場合、従来のよう
に電極５の配置間隔を特に短くする必要はなくなり、し
たがって予備電離電子の均一な分布のための構成を比較
的容易に製作することができるようになる。
放電が発生し、高効率、高エネルギーのエキシマレーザ
光が得られるようになる。そしてその場合、従来のよう
に電極５の配置間隔を特に短くする必要はなくなり、し
たがって予備電離電子の均一な分布のための構成を比較
的容易に製作することができるようになる。
【００１７】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、主
放電を励起するための予備電離電子の分布を容易に均一
化できるし、またそのための構成も従来例に比較して極
めて簡単とすることができる効果を奏する。
放電を励起するための予備電離電子の分布を容易に均一
化できるし、またそのための構成も従来例に比較して極
めて簡単とすることができる効果を奏する。
【図１】本発明の実施例を示す縦断面図である。
【図２】図１の一部の概略斜視図である。
【図３】従来例の横断面図である。
【図４】図３の一部の概略斜視図である。
１ レーザチャンバ ２ 主電極 ３ 主電極 ５ 予備電離用の電極
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザチャンバの内部に、レーザガス励
起用の放電を発生させる主電極と、前記主電極の側面に
その長さ方向に沿って配置されてあって、前記主電極間
のレーザガスを電離する予備電離用の電極とを具備して
なるエキシマレーザ装置において、前記予備電離用の電
極による予備電離の放電を、前記主電極の長さ方向に発
生させるようにしてなるエキシマレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18563592A JPH05335672A (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18563592A JPH05335672A (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | エキシマレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05335672A true JPH05335672A (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=16174226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18563592A Pending JPH05335672A (ja) | 1992-06-02 | 1992-06-02 | エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05335672A (ja) |
-
1992
- 1992-06-02 JP JP18563592A patent/JPH05335672A/ja active Pending
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