JP2772147B2 - パルスレーザ電極 - Google Patents
パルスレーザ電極Info
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- JP2772147B2 JP2772147B2 JP3017373A JP1737391A JP2772147B2 JP 2772147 B2 JP2772147 B2 JP 2772147B2 JP 3017373 A JP3017373 A JP 3017373A JP 1737391 A JP1737391 A JP 1737391A JP 2772147 B2 JP2772147 B2 JP 2772147B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高繰返しパルスレーザ
発振装置に用いられるパルスレーザ電極に関するもので
ある。
発振装置に用いられるパルスレーザ電極に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】一般に、レーザ発振を得るためには、主
放電電極間においてレーザ媒質が空間的に均一なグロー
放電を発生させることを必要とするが、ＴＥＭＡ−ＣＯ
2 レーザやエキシマレーザ等の短パルスレーザ光を発生
させる高繰返しパルスレーザ発振装置では、その動作圧
力が大気圧以上の高圧であるため、上記の放電は収束
し、アーク放電になりやすい。これを防止するために、
主放電空間の電界分布を調整したり、主放電に先立って
主放電空間の電子密度を予め高めるために、予備電離を
行うのが一般的である。
放電電極間においてレーザ媒質が空間的に均一なグロー
放電を発生させることを必要とするが、ＴＥＭＡ−ＣＯ
2 レーザやエキシマレーザ等の短パルスレーザ光を発生
させる高繰返しパルスレーザ発振装置では、その動作圧
力が大気圧以上の高圧であるため、上記の放電は収束
し、アーク放電になりやすい。これを防止するために、
主放電空間の電界分布を調整したり、主放電に先立って
主放電空間の電子密度を予め高めるために、予備電離を
行うのが一般的である。
【０００３】図４は従来から用いられているパルスレー
ザ電極の一例を示すものである。即ち、レーザ媒質中に
配置される第１の主電極１に対向する位置に、第２の主
電極２が配置され、前記第２の主電極２の長手方向両側
に、複数個のピン状予備電離電極３が一定の間隔で配設
されている。このピン状予備電離電極３は、ピン状金属
３ａとその両端以外の部分を覆う絶縁物３ｂとから構成
されている。また、前記ピン状予備電離電極３の外側、
即ち、ピン状予備電離電極３を中心として第２の主電極
２と向かい合う位置に、板状予備電離電極４が第２の主
電極２と電気的に電位が等しくなるように配設されてい
る。さらに、前記ピン状予備電離電極３の各先端部と板
状予備電離電極４の端部とは、１ｍｍ程度の距離を保っ
て配置されており、両者合わせて一組の予備電離電極対
が構成されている。
ザ電極の一例を示すものである。即ち、レーザ媒質中に
配置される第１の主電極１に対向する位置に、第２の主
電極２が配置され、前記第２の主電極２の長手方向両側
に、複数個のピン状予備電離電極３が一定の間隔で配設
されている。このピン状予備電離電極３は、ピン状金属
３ａとその両端以外の部分を覆う絶縁物３ｂとから構成
されている。また、前記ピン状予備電離電極３の外側、
即ち、ピン状予備電離電極３を中心として第２の主電極
２と向かい合う位置に、板状予備電離電極４が第２の主
電極２と電気的に電位が等しくなるように配設されてい
る。さらに、前記ピン状予備電離電極３の各先端部と板
状予備電離電極４の端部とは、１ｍｍ程度の距離を保っ
て配置されており、両者合わせて一組の予備電離電極対
が構成されている。
【０００４】また、前記２つの主電極１，２はピーキン
グコンデンサ５を介して電気的に接続されている。さら
に、対向配置された２つの主電極１，２間には、主放電
空間のレーザガスを速やかに交換するために、レーザガ
ス８が循環されている。
グコンデンサ５を介して電気的に接続されている。さら
に、対向配置された２つの主電極１，２間には、主放電
空間のレーザガスを速やかに交換するために、レーザガ
ス８が循環されている。
【０００５】この様に構成された従来のパルスレーザ電
極においては、高繰返しパルス電圧（ＨＶパルス）が印
加されると、まず、ＨＶパルス→バラストインダクタン
ス６→ピン状予備電離電極３→板状予備電離電極４→ピ
ーキングコンデンサ５の回路に電流が流れ、ピーキング
コンデンサ５を充電する。この時、ピン状予備電離電極
３と板状予備電離電極４間の小ギャップで起こる放電に
よって紫外線７が発生する。この紫外線により光電離さ
れて電子が生成し、両主電極１，２間の空間が予備電離
される。次いで、ピーキングコンデンサ５がさらに充電
されて、ピーキングコンデンサ５に加わる電圧が主電極
１，２間の放電破壊電圧に達すると、主放電が開始し、
レーザ光が発生する。なお、前記予備電離は、主放電を
グロー状の均一な放電とするために用いられている。
極においては、高繰返しパルス電圧（ＨＶパルス）が印
加されると、まず、ＨＶパルス→バラストインダクタン
ス６→ピン状予備電離電極３→板状予備電離電極４→ピ
ーキングコンデンサ５の回路に電流が流れ、ピーキング
コンデンサ５を充電する。この時、ピン状予備電離電極
３と板状予備電離電極４間の小ギャップで起こる放電に
よって紫外線７が発生する。この紫外線により光電離さ
れて電子が生成し、両主電極１，２間の空間が予備電離
される。次いで、ピーキングコンデンサ５がさらに充電
されて、ピーキングコンデンサ５に加わる電圧が主電極
１，２間の放電破壊電圧に達すると、主放電が開始し、
レーザ光が発生する。なお、前記予備電離は、主放電を
グロー状の均一な放電とするために用いられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た様な従来のパルスレーザ電極には、以下に述べる様な
解決すべき課題があった。即ち、図４に示した様に、予
備電離により生じた紫外線７は、２つの主電極１，２に
挟まれた空間の外側の領域にも拡散していく。そのた
め、主電極１，２に挟まれた空間の電子密度は、主放電
領域の中核部分及び陰極近傍（図中斜線部Ａ）における
電子密度と、予備電離電極４の近傍における電子密度と
の差が大きくなる。
た様な従来のパルスレーザ電極には、以下に述べる様な
解決すべき課題があった。即ち、図４に示した様に、予
備電離により生じた紫外線７は、２つの主電極１，２に
挟まれた空間の外側の領域にも拡散していく。そのた
め、主電極１，２に挟まれた空間の電子密度は、主放電
領域の中核部分及び陰極近傍（図中斜線部Ａ）における
電子密度と、予備電離電極４の近傍における電子密度と
の差が大きくなる。
【０００７】この様に、２つの主電極間の空間において
予備電離される領域が限定されているため、電子密度分
布に大きな勾配が生じる。その結果、広範囲にわたって
強く均一な予備電離が行えず、励起強度の高い、均一な
グロー放電を得ることができず、主放電を安定した状態
に維持することが非常に困難であった。
予備電離される領域が限定されているため、電子密度分
布に大きな勾配が生じる。その結果、広範囲にわたって
強く均一な予備電離が行えず、励起強度の高い、均一な
グロー放電を得ることができず、主放電を安定した状態
に維持することが非常に困難であった。
【０００８】また、予備電離電極対が第２の主電極２の
側方に配設されているため、予備電離電極付近において
レーザガス流が乱され、ガス交換を効率良く行うことが
できず、放電が不安定になるといった欠点もあった。
側方に配設されているため、予備電離電極付近において
レーザガス流が乱され、ガス交換を効率良く行うことが
できず、放電が不安定になるといった欠点もあった。
【０００９】なお、紫外線に変えてＸ線を用いる予備電
離方法も考えられるが、この方法は高繰返し動作に適さ
ず、装置が大型化しコストが大幅に増大するため、高繰
返しパルスレーザ発振装置の電極構造としては好ましい
ものではない。
離方法も考えられるが、この方法は高繰返し動作に適さ
ず、装置が大型化しコストが大幅に増大するため、高繰
返しパルスレーザ発振装置の電極構造としては好ましい
ものではない。
【００１０】本発明は、上記の様な従来技術の欠点を解
消するために提案されたものであり、その目的は、対向
配置された主電極間を広範囲にわたって均一に予備電離
し、安定したグロー放電を維持することのできる、高効
率のパルスレーザ電極を提供することにある。
消するために提案されたものであり、その目的は、対向
配置された主電極間を広範囲にわたって均一に予備電離
し、安定したグロー放電を維持することのできる、高効
率のパルスレーザ電極を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの手段として、請求項１の発明は、互いに対向配置さ
れた第１の主電極及び第２の主電極と、これら両主電極
間の主放電空間を予備電離させる予備電離電極とを備
え、前記予備電離電極として、ピン状及び板状の予備電
離電極が対となって構成された予備電離電極対を複数個
備えたパルスレーザ電極において、前記第２の主電極
が、第１の主電極との対向面側に複数の開孔部を有する
中空状の金属から構成され、前記板状の予備電離電極の
両側に前記ピン状の予備電離電極が配置されてなる前記
予備電離電極対が、前記複数の開孔部の背面側空間に配
設され、前記ピン状の予備電離電極はレーザ発振方向に
設けられ、前記板状の予備電離電極は、その断面がＴ字
型に設けられるとともに、前記ピン状の予備電離電極の
先端部と対向する部分が鋸歯状の突起部に形成され、前
記予備電離電極対の中心が、前記開孔部の中心と同心と
なるように配設されることを特徴とする。
めの手段として、請求項１の発明は、互いに対向配置さ
れた第１の主電極及び第２の主電極と、これら両主電極
間の主放電空間を予備電離させる予備電離電極とを備
え、前記予備電離電極として、ピン状及び板状の予備電
離電極が対となって構成された予備電離電極対を複数個
備えたパルスレーザ電極において、前記第２の主電極
が、第１の主電極との対向面側に複数の開孔部を有する
中空状の金属から構成され、前記板状の予備電離電極の
両側に前記ピン状の予備電離電極が配置されてなる前記
予備電離電極対が、前記複数の開孔部の背面側空間に配
設され、前記ピン状の予備電離電極はレーザ発振方向に
設けられ、前記板状の予備電離電極は、その断面がＴ字
型に設けられるとともに、前記ピン状の予備電離電極の
先端部と対向する部分が鋸歯状の突起部に形成され、前
記予備電離電極対の中心が、前記開孔部の中心と同心と
なるように配設されることを特徴とする。
【００１２】
【作用】以上の構成を有する本発明のパルスレーザ電極
においては、予備電離電極対が第２の主電極の背面側に
配設されているため、ピン状予備電離電極と板状予備電
離電極の突起部との間で発生する紫外線を、第２の主電
極の開孔部を通して、主放電領域に均一に拡散させるこ
とができる。また、予備電離電極対が主電極の側方に配
設されていないため、レーザガス流を妨害することもな
く、主放電部におけるガス交換も効率良く実施できる。
においては、予備電離電極対が第２の主電極の背面側に
配設されているため、ピン状予備電離電極と板状予備電
離電極の突起部との間で発生する紫外線を、第２の主電
極の開孔部を通して、主放電領域に均一に拡散させるこ
とができる。また、予備電離電極対が主電極の側方に配
設されていないため、レーザガス流を妨害することもな
く、主放電部におけるガス交換も効率良く実施できる。
【００１３】また、板状の予備電離電極は、前記ピン状
の予備電離電極の先端部と対向する部分が鋸歯状の突起
部となっているため、この鋸歯状の突起部付近で電解強
度が強くなるため、各ピン状予備電離電極での間のスパ
ーク放電が均一に点弧しやすくなる。
の予備電離電極の先端部と対向する部分が鋸歯状の突起
部となっているため、この鋸歯状の突起部付近で電解強
度が強くなるため、各ピン状予備電離電極での間のスパ
ーク放電が均一に点弧しやすくなる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１及び図２に基
づいて具体的に説明する。なお、図４に示した従来型と
同一の部材には同一の符号を付して、説明は省略する。
づいて具体的に説明する。なお、図４に示した従来型と
同一の部材には同一の符号を付して、説明は省略する。
【００１５】本実施例においては、図１及び図２に示し
た様に、第１の主電極１に対向配置される第２の主電極
が、中空状の多孔性主電極１０より構成されている。こ
の多孔性主電極１０には、図２に示した様に、第１の主
電極１との対向面側において、電極の長手方向２列に一
定間隔で複数個の孔１１が形成されている。また、これ
ら複数個の孔１１の背面側の空洞には、孔１１の位置に
合わせて複数個のピン状予備電離電極３が配設され、こ
の２列のピン状予備電離電極３の中間には、断面形状が
略Ｔ字形の板状予備電離電極１２が配設されている。
た様に、第１の主電極１に対向配置される第２の主電極
が、中空状の多孔性主電極１０より構成されている。こ
の多孔性主電極１０には、図２に示した様に、第１の主
電極１との対向面側において、電極の長手方向２列に一
定間隔で複数個の孔１１が形成されている。また、これ
ら複数個の孔１１の背面側の空洞には、孔１１の位置に
合わせて複数個のピン状予備電離電極３が配設され、こ
の２列のピン状予備電離電極３の中間には、断面形状が
略Ｔ字形の板状予備電離電極１２が配設されている。
【００１６】前記板状予備電離電極１２は、図２に示し
た様に、ピン状予備電離電極３の先端部と対向する部分
が鋸歯状の突起部となっており、両者の先端部間は１ｍ
ｍ程度の間隔をおいて配置され、小ギャップを形成する
ように構成されている。この小ギャップ、即ち、板状予
備電離電極１２の１つの突起部とそれに対向する１つの
ピン状予備電離電極３とから、一組の予備電離電極対が
形成されることから、前記多孔性主電極１０の孔１１の
中心は、各予備電離電極対の中心と同心となるように形
成されている。さらに、ピン状予備電離電極３の先端部
と多孔性主電極１０の孔１１の端部との距離をＬ1 、前
記小ギャップの間隔をＬ2 とした場合に、Ｌ1 ＞Ｌ2 と
なるように、即ち、ピン状予備電離電極３の先端部に最
も近接する金属部分が、板状予備電離電極１２の突起部
先端であるように構成されている。
た様に、ピン状予備電離電極３の先端部と対向する部分
が鋸歯状の突起部となっており、両者の先端部間は１ｍ
ｍ程度の間隔をおいて配置され、小ギャップを形成する
ように構成されている。この小ギャップ、即ち、板状予
備電離電極１２の１つの突起部とそれに対向する１つの
ピン状予備電離電極３とから、一組の予備電離電極対が
形成されることから、前記多孔性主電極１０の孔１１の
中心は、各予備電離電極対の中心と同心となるように形
成されている。さらに、ピン状予備電離電極３の先端部
と多孔性主電極１０の孔１１の端部との距離をＬ1 、前
記小ギャップの間隔をＬ2 とした場合に、Ｌ1 ＞Ｌ2 と
なるように、即ち、ピン状予備電離電極３の先端部に最
も近接する金属部分が、板状予備電離電極１２の突起部
先端であるように構成されている。
【００１７】また、ピン状予備電離電極３はピン状金属
３ａの両端部を除いて絶縁物３ｂで被覆されているが、
これは、多孔性主電極１０をはじめとする周囲金属部分
との電気的絶縁を図るためである。さらに、前記ピン状
予備電離電極３は配線のインダクタンスが等しくなるよ
うに、各々個別にバラストインダクタンス６を介して、
高繰返しパルス電源（ＨＶパルス）に接続されている。
３ａの両端部を除いて絶縁物３ｂで被覆されているが、
これは、多孔性主電極１０をはじめとする周囲金属部分
との電気的絶縁を図るためである。さらに、前記ピン状
予備電離電極３は配線のインダクタンスが等しくなるよ
うに、各々個別にバラストインダクタンス６を介して、
高繰返しパルス電源（ＨＶパルス）に接続されている。
【００１８】この様な構成を有する本実施例のパルスレ
ーザ電極は、以下に述べる様に作用する。即ち、ピン状
予備電離電極３に高繰返しパルス電源が印加されると、
バラストインダクタンス６の作用で、各ピン状予備電離
電極３に等しく電流が分流される。この電流によりピン
状予備電離電極３の先端部と、そこから最も近い金属端
である板状予備電離電極１２の突起部との間の小ギャッ
プにおいてスパーク放電が発生し、これにより生じた紫
外線７が多孔性主電極１０の孔１１を通して主放電空間
に照射される。
ーザ電極は、以下に述べる様に作用する。即ち、ピン状
予備電離電極３に高繰返しパルス電源が印加されると、
バラストインダクタンス６の作用で、各ピン状予備電離
電極３に等しく電流が分流される。この電流によりピン
状予備電離電極３の先端部と、そこから最も近い金属端
である板状予備電離電極１２の突起部との間の小ギャッ
プにおいてスパーク放電が発生し、これにより生じた紫
外線７が多孔性主電極１０の孔１１を通して主放電空間
に照射される。
【００１９】また、この電流は板状予備電離電極１２を
介して多孔性主電極１０からピーキングコンデンサ５を
充電しながら、主電極からアースに流れる。そして、ピ
ーキングコンデンサ５の電圧が上昇して、主電極１と多
孔性主電極１０の間に充填されているレーザガスの放電
破壊電圧に達すると、両主電極間に主放電が点弧し、光
共振器（図示せず）の作用で、レーザ光が紙面垂直方向
に発生する。
介して多孔性主電極１０からピーキングコンデンサ５を
充電しながら、主電極からアースに流れる。そして、ピ
ーキングコンデンサ５の電圧が上昇して、主電極１と多
孔性主電極１０の間に充填されているレーザガスの放電
破壊電圧に達すると、両主電極間に主放電が点弧し、光
共振器（図示せず）の作用で、レーザ光が紙面垂直方向
に発生する。
【００２０】この場合、本実施例のパルスレーザ電極を
用いると、予備電離により発生する紫外線７は、多孔性
主電極１０の背面側から主放電領域を照射するため、対
向配置された第１の主電極１に向けて、主放電領域をも
れなく一様に照射することができる。そのため、従来の
様に主電極の側方から主放電領域に紫外線を照射してい
た場合と比較して、広範囲にわたって電子密度の分布勾
配や分布ムラの少ない、均一な予備電離を実現できる。
その結果、レーザ励起強度が高まり、発振効率も大幅に
向上する。
用いると、予備電離により発生する紫外線７は、多孔性
主電極１０の背面側から主放電領域を照射するため、対
向配置された第１の主電極１に向けて、主放電領域をも
れなく一様に照射することができる。そのため、従来の
様に主電極の側方から主放電領域に紫外線を照射してい
た場合と比較して、広範囲にわたって電子密度の分布勾
配や分布ムラの少ない、均一な予備電離を実現できる。
その結果、レーザ励起強度が高まり、発振効率も大幅に
向上する。
【００２１】また、板状予備電離電極１２の鋸歯状の突
起部付近では電解強度が強くなるため、各ピン状予備電
離電極での間のスパーク放電が均一に点弧しやすくな
り、しかも予備電離光の強度も強くなる。よって、主放
電領域に紫外線をむらなく一様に且つ強く照射すること
が可能となり、均一で強い予備電離を実現することがで
きる。
起部付近では電解強度が強くなるため、各ピン状予備電
離電極での間のスパーク放電が均一に点弧しやすくな
り、しかも予備電離光の強度も強くなる。よって、主放
電領域に紫外線をむらなく一様に且つ強く照射すること
が可能となり、均一で強い予備電離を実現することがで
きる。
【００２２】さらに、予備電離電極対が主電極の背面側
に配設されているため、レーザガス流路の障害物とはな
らず、レーザガス８の流れを妨害することがないので、
主放電部におけるガス交換効率も大幅に向上される。
に配設されているため、レーザガス流路の障害物とはな
らず、レーザガス８の流れを妨害することがないので、
主放電部におけるガス交換効率も大幅に向上される。
【００２３】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく、図３に示した様に、板状予備電離電極
１２の断面形状は略Ｙ字形であっても、上記の実施例と
同様の効果が得られる。
るものではなく、図３に示した様に、板状予備電離電極
１２の断面形状は略Ｙ字形であっても、上記の実施例と
同様の効果が得られる。
【００２４】
【発明の効果】以上述べた通り、本発明によれば、第２
の主電極を、第１の主電極との対向面側に複数の開孔部
を有する中空状の金属から構成し、また、ピン状予備電
離電極及び板状予備電離電極から成る予備電離電極対
を、第２の主電極の複数の開孔部の背面側の空間に配設
することによって、対向配置された主電極間を広範囲に
わたって均一に予備電離し、安定したグロー放電を維持
することのできる、高効率のパルスレーザ電極を提供す
ることができる。
の主電極を、第１の主電極との対向面側に複数の開孔部
を有する中空状の金属から構成し、また、ピン状予備電
離電極及び板状予備電離電極から成る予備電離電極対
を、第２の主電極の複数の開孔部の背面側の空間に配設
することによって、対向配置された主電極間を広範囲に
わたって均一に予備電離し、安定したグロー放電を維持
することのできる、高効率のパルスレーザ電極を提供す
ることができる。
【００２５】特に、板状の予備電離電極は、前記ピン状
の予備電離電極の先端部と対向する部分が鋸歯状の突起
部となっているため、この鋸歯状の突起部付近で電解強
度が強くなり、各ピン状予備電離電極での間のスパーク
放電が均一に点弧しやすくなる。また、予備電離光の強
度も強くなる。よって、主放電領域に紫外線をむらなく
一様に且つ強く照射することが可能となり、均一で強い
予備電離を実現することができる。
の予備電離電極の先端部と対向する部分が鋸歯状の突起
部となっているため、この鋸歯状の突起部付近で電解強
度が強くなり、各ピン状予備電離電極での間のスパーク
放電が均一に点弧しやすくなる。また、予備電離光の強
度も強くなる。よって、主放電領域に紫外線をむらなく
一様に且つ強く照射することが可能となり、均一で強い
予備電離を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のパルスレーザ電極の一実施例を示す断
面図
面図
【図２】図１に示した実施例の要部拡大斜視図
【図３】本発明のパルスレーザ電極の他の実施例を示す
斜視図
斜視図
【図４】従来のパルスレーザ電極の一例を示す断面図
１…第１の主電極 ２…第２の主電極 ３…ピン状予備電離電極 ３ａ…ピン状金属 ３ｂ…絶縁物 ４…板状予備電離電極 ５…ピーキングコンデンサ ６…バラストインダクタンス ７…紫外線 ８…レーザガス １０…多孔性主電極 １１…孔 １２…板状予備電離電極
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−215079（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−228778（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−245977（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01S 3/0977 H01S 3/038
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに対向配置された第１の主電極及び
第２の主電極と、これら両主電極間の主放電空間を予備
電離させる予備電離電極とを備え、前記予備電離電極と
して、ピン状及び板状の予備電離電極が対となって構成
された予備電離電極対を複数個備えたパルスレーザ電極
において、 前記第２の主電極が、第１の主電極との対向面側に複数
の開孔部を有する中空状の金属から構成され、 前記板状の予備電離電極の両側に前記ピン状の予備電離
電極が配置されてなる前記予備電離電極対が、前記複数
の開孔部の背面側空間に配設され、 前記ピン状の予備電離電極はレーザ発振方向に設けら
れ、 前記板状の予備電離電極は、その断面がＴ字型に設けら
れるとともに、前記ピン状の予備電離電極の先端部と対
向する部分が鋸歯状の突起部に形成され、 前記予備電離電極対の中心が、前記開孔部の中心と同心
となるように配設されること、 を特徴とするパルスレーザ電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3017373A JP2772147B2 (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | パルスレーザ電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3017373A JP2772147B2 (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | パルスレーザ電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04256391A JPH04256391A (ja) | 1992-09-11 |
| JP2772147B2 true JP2772147B2 (ja) | 1998-07-02 |
Family
ID=11942217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3017373A Expired - Lifetime JP2772147B2 (ja) | 1991-02-08 | 1991-02-08 | パルスレーザ電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2772147B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5513725A (en) * | 1994-12-28 | 1996-05-07 | Michael; Micha | Remote summoning of elevators |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63228778A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-22 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ装置 |
| JPS63245977A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-13 | Shimadzu Corp | 紫外線励起型レ−ザ発振管 |
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-
1991
- 1991-02-08 JP JP3017373A patent/JP2772147B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04256391A (ja) | 1992-09-11 |
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