JPS63217680A - パルスガスレ−ザ装置 - Google Patents

パルスガスレ−ザ装置

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Publication number
JPS63217680A
JPS63217680A JP5018887A JP5018887A JPS63217680A JP S63217680 A JPS63217680 A JP S63217680A JP 5018887 A JP5018887 A JP 5018887A JP 5018887 A JP5018887 A JP 5018887A JP S63217680 A JPS63217680 A JP S63217680A
Authority
JP
Japan
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creeping discharge
insulator
discharge
main
creeping
Prior art date
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Pending
Application number
JP5018887A
Other languages
English (en)
Inventor
Setsuo Suzuki
鈴木　節雄
Etsuo Noda
悦夫 野田
Osamu Morimiya
森宮　脩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP5018887A priority Critical patent/JPS63217680A/ja
Publication of JPS63217680A publication Critical patent/JPS63217680A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 木受８Ａ　ｔｔ’ｉ　、　ＴＥＡＣＯ２レーザ、エキシ
マレース金属蒸気レーザ、ハロゲンガスレーザなど、レ
ーザガス中でパルス放電励起を行うパルスガスレーザ装
置に関する。
（従来の技術） レーザガスを励起してパルスレーザ発振を行うレーザ装
置としてＴＥＡＣＯ２レーザ、エキシマレーザ、金属蒸
気レーザ、ノ・ロゲンガスレーザなどがある。これらは
、電子線励起の大出力のものを除けば、放電励起のもの
が一般的である。第２図に従来の沿面放電離形パルスレ
ーザ装置の要部構成を示す、これは、レーザガス中に対
向して置かれた２つの主電極１と、絶縁体２を介して沿
面放電電極４．４との間で沿面放電を発生させ絶縁体２
に形成したプラズマとの間で主放電が行われる。
５．７はコンデンサ６と８はスイッチング素子である。
沿面放電電極４．４′との間にパルス電圧を加えること
によシ沿面放電が発生し、その時点で主電極ｌと、絶縁
体２との間でパルス放電を行うようになっている。しか
し、この構成であると。
沿面放電電極４．４′との間の距離を長くとった場合、
すなわち主放電領域を大きくとり大出力のパルスレーザ
を実現したい場合、沿面放電電極４．４′との間の沿面
放電が不均一になシ、広い領域を一様に予備放電が困難
である。
（発明が解決しようとする問題点） 以上のように従来の沿面放電子備電離形パルスレーザ装
置では大出力化が困難であった。
本発明の目的は、沿面放電予備電離形で、広い領域を一
様に予備電離することによシ、大出力で高効率のパルス
レーザを実現したパルスガスレーザ装置を提供すること
にある。
〔発明の構成〕
（問題点を解決するための手段） 広い領域を一様に予備放電するためには、沿面放電領域
をよシ広い領域で均一に放電する必要がある。そのため
に１本発明では、沿面放電領域を分割し広い領域で均一
に放電する事ができるように、沿面放電電極を複数個設
け、よシ広い領域を一様に予備電離することができるよ
うにした。
（作　用） 本発明は、沿面放電予備電離形よシ、広い領域を一様に
予備電離することによシ、大出力で高効率のパルスガス
レーザ装置が実現できる。
（実施例） 第１図に、本発明の実施例を示す、１は主電極、２は絶
縁体、３，４．４’は沿面放電電極である。
ビームと直角方向に絶縁体２の中心部に沿面放電電極３
を有し、また絶縁体２の両端部に沿面放電電極４．４′
が設置されている。レーザガス中に対向して置かれた２
つの主電極ｌと％絶縁体２を介して沿面数を電極３と４
および４′との間で夫々沿面放電を発生させ絶縁体２に
形成したプラズマとの間で主放電が行われる。５．７Ｆ
ｉコンデンサ、６と８はスイッチング素子である。この
ような構成にすることによシ夫々の沿面放電が均一とな
）主放電が一様となる。また、本実施例以外でも、ビー
ムと値角方向に絶縁体２の中心部以外に沿面放電電極３
を設置しても同様の効果が得られる。
〔発明の効果〕
本発明によ）主放電領域が一様に１１離されるため、大
出力で高効率のパルスガスレーザ装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は１本発明の一夾施例によるパルスガスレーザ装
置の要部を示す回路図、第２図従来の沿面放電子偏重離
形パルスガスレーザ装置の要部を示す回路図である。 １．１′・・・放電電極、２・・・絶縁体、３　、４　
、４’・・・沿面放電電極、５．７・・・主コンデンサ
、６．８・・・スイッチング素子。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 一対の放電電極からなり、前記放電電極の少なくとも一
    方の電極が予備電離用沿面放電電極を有した絶縁体から
    構成されたパルスガスレーザ装置において、前記予備電
    離用沿面放電電極を複数個設けてなることを特徴とする
    パルスガスレーザ装置。
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