JP3796038B2 - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、コロナ放電による紫外光予備電離を用いた放電励起型ガスレーザ発振装置に関し、特にコロナ放電および主放電発生部の構造の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
TEA( Transversly Excited Atmospheric)レーザは、一対の対向する主電極によって構成される主放電空間に存在する1気圧以上の気体に、均一なグロー放電を発生させることにより、レーザ発振に必要な反転分布領域を形成してレーザ発振を行う方式である。このTEAレーザにおいて、主放電空間中の気体全体に均一なグロー放電を得るには、主放電を開始する前に、主放電空間中の気体全体を予備電離させる必要がある。特に、エキシマレーザの場合は、主放電に用いられる希ガス中での電子の寿命が短いため、寿命時間内に励起を行わない限り、反転分布が形成されないことから、主放電の直前にできるだけ多く主放電空間中の希ガス全体を電離させておく必要がある。現在、予備電離方式としては、X線、スパーク放電、コロナ放電などを使った様々な方式があるが、中でもコロナ放電を使った方式は、比較的簡便で主放電空間中の気体への汚染が少ないことから、容量移行型の予備電離方式として広く使用されている。
【0003】
図11は、従来のコロナ予備電離電極を用いたエキシマレーザ装置の構成を示すものである。
【0004】
このエキシマレーザ装置は、互いに対向配置した一対の主放電電極1,2を備える放電発生部と、Kr+Ne+F2 等のレーザガスGを矢印の方向へ循環させるファン8と、レーザガスGを冷却する熱交換器9とから構成されている。
【0005】
放電発生部においては、一方の主放電電極1の両側方にそれぞれ長手方向に沿って延びる幅Wの隙間S1,S2をおいて対向するよう配した一対のコロナ予備電離電極12を主放電電極1とともに支持盤6の上面に配設している。この隙間S1,S2は、予備電離電極12と各主放電電極1,2との距離の差を縮め、一方の主放電電極1の近傍における放電空間の予備電離強度と、他方の主放電電極2の近傍における放電空間の予備電離強度との差を小さくして主放電空間を均一に予備電離し、レーザ出力を安定させるために設けている。
【0006】
コロナ予備電離電極12は、それぞれ円柱形の背後電極4が、円筒形の誘電体パイプ3の中空部に配され、各誘電体パイプ3の外表面に断面L字形のコロナ電極5の端部が接触する構成となっている。
【0007】
かかる構成においては、主放電電極1,2間で放電を発生させる前に、まず、背後電極4とコロナ電極5との間に高電圧を印加し、コロナ電極5と誘電体パイプ3との接触部を起点11として誘電体パイプ3の外表面に生じるコロナ放電によって、紫外光を発生させる。この紫外光中の高電圧によって加速された電子により、主放電空間に満たされたレーザガスGを予備電離する。次に、一対の主放電電極1,2相互間に高電圧が印加されると、予備電離されたレーザガスGが絶縁破壊を起こし、主放電7が開始される。また、ファン8によりガス流を作ってレーザガスGを循環させ、前の放電で発生した主放電空間中の荷電粒子や不均質な媒質を次の放電までに流し去るようにして、高繰り返し周波数でのパルス発振を可能にしている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のレーザ装置では、一方の主放電電極1と予備電離電極12との間に存在する隙間S1,S2にレーザガスGの渦G′が発生するため、コロナ放電および主放電によって生じたフッ化金属等の放電生成物が隙間S1,S2に滞留し、この放電生成物が再び主放電空間中に放出されると、レーザガスGの純度が低下して主放電7が不安定になり、結果としてレーザ出力のばらつきが大きくなるという問題があった。
【0009】
本発明は、こうした実状に鑑みてなされたもので、レーザガスの流れを整えることで、放電生成物が滞留し再び主放電空間中に放出されるのを防ぎ、主放電空間中のレーザガスの純度を維持させ、主放電を安定させてレーザ出力のばらつきを小さくすることができるガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段および作用効果】
上記目的を達成するため第1の発明では、ガスレーザ発振装置において、
対向するよう配された第1および第2の主放電電極と、
中空状の誘電体パイプと、この誘電体パイプの中空部に配される背後電極と、この誘電体パイプの外表面に接触されその接触部が前記第1の主放電電極の頂上部の高さより低くなるように且つ当該接触部を起点として発生する紫外光が前記第1、第2の主放電電極間に向けて照射されるように配されるコロナ電極とを有して成り、前記第1および第2の主放電電極のうちの第1の主放電電極の側方で該第1の主放電電極を挟むように該第1の主放電電極と所定の隙間をそれぞれおいて配設されるとともに、前記コロナ電極および前記背後電極間に高電圧が印加されることによりコロナ電極と前記誘電体パイプとの当接部を起点としたコロナ放電を発生させて前記主放電空間に予備電離を発生させる対の予備電離電極と、
前記第1の主放電電極および対の予備電離電極を固定支持する支持盤と、
一方の予備電離電極の側方から前記第1および第2の主放電電極との間の主放電空間を経由して他方の予備電離電極の側方へ流れるレーザガスと、
前記第1の主放電電極と前記対の予備電離電極との間の各隙間に、前記支持盤の上面から前記起点の高さまで介在する物体と、
を具えるようにしている。
【0011】
かかる構成によれば、前記第1の主放電電極と前記対の予備電離電極との間の各隙間に、前記支持盤の上面から前記起点の高さまで物体を介在させるようにしたことで、前記隙間でのレーザガスの渦の発生が抑制され、コロナ放電および主放電によって生じる放電生成物の前記隙間への滞留を防ぐことができる。
【0012】
これにより、放電生成物が再び主放電空間中のレーザガスへ放出されることがなくなり、レーザガスの純度の低下を防ぐことができ、主放電を安定させることができるので、結果としてレーザ出力のばらつきを小さくすることができる。
【0013】
また、第2の発明では、
対向するよう配された第1および第2の主放電電極と、
中空状の誘電体パイプと、この誘電体パイプの中空部に配される背後電極と、この誘電体パイプの外表面に接触されるように配されるコロナ電極とを有して成り、前記第1および第2の主放電電極のうちの第1の主放電電極の側方で該第1の主放電電極を挟むように該第1の主放電電極と所定の隙間をそれぞれおいて配設されるとともに、前記コロナ電極および前記背後電極間に高電圧が印加されることによりコロナ電極と前記誘電体パイプとの当接部を起点としたコロナ放電を発生させて前記主放電空間に予備電離を発生させる対の予備電離電極と、
前記第1の主放電電極および対の予備電離電極を固定支持する支持盤と、
を具え、一方の予備電離電極の側方から前記第1および第2の主放電電極との間の主放電空間を経由して他方の予備電離電極の側方へレーザガスを流すようにしたガスレーザ発振装置において、
前記第1の主放電電極に前記隙間の一方と他方とを結ぶ貫通孔を形成するようにしている。
【0014】
かかる構成によれば、前記第1の主放電電極に前記予備電離電極の一方と他方とを結ぶ貫通孔を形成するようにしたので、この貫通孔をレーザガスが通り抜けることにより、前記隙間でのレーザガスの渦の発生が抑制され、コロナ放電および主放電によって生じる放電生成物の前記隙間への滞留を防ぐことができる。
【0015】
これにより、放電生成物が再び主放電空間中のレーザガスへ放出されることがなくなり、レーザガスの純度の低下を防ぐことができ、主放電を安定させることができるので、結果としてレーザ出力のばらつきを小さくすることができる。
【0016】
また、第3の発明では、
対向するよう配された第1および第2の主放電電極と、
中空状の誘電体パイプと、この誘電体パイプの中空部に配される背後電極と、この誘電体パイプの外表面に接触されるように配されるコロナ電極とを有して成り、前記第1および第2の主放電電極のうちの第1の主放電電極の側方で該第1の主放電電極を挟むように該第1の主放電電極と所定の隙間をそれぞれおいて配設されるとともに、前記コロナ電極および前記背後電極間に高電圧が印加されることによりコロナ電極と前記誘電体パイプとの当接部を起点としたコロナ放電を発生させて前記主放電空間に予備電離を発生させる対の予備電離電極と、
前記第1の主放電電極および対の予備電離電極を固定支持する支持盤と、
を具え、一方の予備電離電極の側方から前記第1および第2の主放電電極との間の主放電空間を経由して他方の予備電離電極の側方へレーザガスを流すようにしたガスレーザ発振装置において、
前記支持盤のうち前記隙間が存在する2つの領域に当該支持盤の下面から上面を結ぶ貫通孔をそれぞれ形成するようにしている。
【0017】
かかる構成によれば、前記支持盤のうち前記隙間が存在する2つの領域に支持盤の下面から上面を結ぶ貫通孔をそれぞれ形成するようにしたことで、この貫通孔をレーザガスが通り抜けることにより、前記隙間でのレーザガスの渦の発生を抑制することができ、コロナ放電および主放電によって生じる放電生成物の前記隙間への滞留を防ぐことができる。
【0018】
これにより、放電生成物が再び主放電空間中のレーザガスへ放出されることがなくなり、レーザガスの純度の低下を防ぐことができ、主放電を安定させることができるので、結果としてレーザ出力のばらつきを小さくすることができる。
【0019】
さらに、第4の発明では、ガスレーザ発振装置において、
対向するよう配された第1および第2の主放電電極と、
中空状の誘電体パイプと、この誘電体パイプの中空部に配される背後電極と、この誘電体パイプの外表面に接触されるように配されるコロナ電極とを有して成り、前記第1の主放電電極の頂上部の高さより低い位置にそれぞれ配設され且つ前記第1の主放電電極の側方で該第1の主放電電極を挟むように該第1の主放電電極と所定の隙間をそれぞれおいて配設される対の予備電離電極と、
前記第1の主放電電極および対の予備電離電極を固定支持する支持盤と、
前記対の予備電離電極のうちの一方の予備電離電極の側方から前記第1および第2の主放電電極との間の主放電空間を経由して他方の予備電離電極の側方へ流れるレーザガスと、
前記支持盤の上面における前記第1の主放電電極と前記予備電離電極との間の各間隙に介在する、該第1の主放電電極よりも高さの低い導体と、
を具え、
前記コロナ電極は弾性を有し、
前記誘電体パイプは前記コロナ電極に押圧され前記導体に圧接されている。
【0020】
かかる構成によれば、前記第1の主放電電極と前記対の予備電離電極との間の各隙間に、前記第1の主放電電極よりも高さの低い導体を介在させるようにしたことで、前記隙間でのレーザガスの渦の発生が抑制され、コロナ放電および主放電によって生じる放電生成物の前記隙間への滞留を防ぐことができる。
【0021】
これにより、放電生成物が再び主放電空間中のレーザガスへ放出されることがなくなり、レーザガスの純度の低下を防ぐことができ、主放電を安定させることができるので、結果としてレーザ出力のばらつきを小さくすることができる。
【0022】
さらに、前記導体および前記コロナ電極を、それぞれ前記誘電体パイプの側方外表面を覆う態様で該誘電体パイプの表面に面接触させた場合、コロナ予備電離電極においてレーザ発振に寄与しない不要な発光がほとんどなくなり、コロナ予備電離電極からの発光光量のほとんどが、主放電空間に向けたものとなり、レーザ発振効率を著しく向上させることができるようになる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図1に、本発明の第1の実施形態を示す。
【0024】
この実施形態において、一対の主放電電極1,2を対向させ、一方の主放電電極1の側方に長手方向に沿って延びる幅Wの隙間S1,S2を確保して対向するよう配した一対のコロナ予備電離電極12を主放電電極1とともに支持盤6の上面に配設している点、およびコロナ予備電離電極12は、円柱形の背後電極4が、円筒形の誘電体パイプ3の中空部に配され、各誘電体パイプ3の外表面に断面L字形のコロナ電極5の端部が接触する点は先の図11に示した従来技術と同様である。また、レーザガスGは、図11に示したファン8によって循環され、矢印に示した経路に沿って流れる。
【0025】
この第1の実施形態では、主放電電極1とコロナ予備電離電極12との間に確保した隙間S1,S2にそれぞれ導体10を介在させるようにしている。導体10の高さhは、誘電体パイプ3とコロナ電極5との接触部を起点11として発生される紫外光が主放電空間に照射されるのを遮蔽しないように、最大でも前記起点11までの高さを埋めるようにする。
【0026】
なお、本実施形態装置においては、各コロナ予備電離電極12の高さ方向の配置位置は、その高さの最も高い部分が、主放電電極1の頂上部の高さより低くなるようにしており、これによって、レーザガスの流れをコロナ予備電離電極12によって乱さないようにしている。
【0027】
このレーザガスの流れを考慮した主放電電極1とコロナ予備電離電極12との配置関係において、誘電体パイプ3とコロナ電極5との接触部を起点11に発生される紫外光を主放電空間に向けて照射する必要があるので、前記起点11の高さ位置は主放電電極1の頂上部よりも低い位置に配置するようにしている。
【0028】
かかる第1の実施形態によれば、隙間S1,S2の支持盤6の上面から起点11までの空間に導体10を介在させるようにしたので、レーザ出力を安定させた状態で、つまり一方の主放電電極1の近傍における放電空間の予備電離強度と、他方の主放電電極2の近傍における放電空間の予備電離強度との差を小さくして主放電空間を均一に予備電離させた状態で、隙間S1,S2でのレーザガスの渦の発生を抑制することができ、コロナ放電および主放電によって生じる放電生成物の隙間S1,S2への滞留を防ぐことができる。これにより、放電生成物が再び主放電空間中のレーザガスへ放出されることがなくなり、レーザガスの純度の低下を防ぐことができ、主放電を安定させることができるので、結果としてレーザ出力のばらつきを小さくすることができる。また、主放電空間で均一なガスの流れが実現できることから、高繰り返しパルス動作が可能となる。
【0029】
なお、隙間S1,S2に介在させる物体として、上述した導体10の代わりに絶縁体を適用してもよい。
【0030】
図2に、本発明の第2の実施形態を示す。なお、図1と同一の構成要素には、同一の符号を付している。
【0031】
この図2の実施形態においては、先の実施形態の導体10と主放電電極1とを一体的に構成にして、主放電電極1′を構成するようにしており、部品点数を削減することができる。なお、主放電電極1とコロナ電極5とを、双方とも接地側に接続する場合には、主放電電極1′とコロナ電極5とを含めて一体構造にしてもよい。
【0032】
図3(a)および図3(b)に、本発明の第3の実施形態を示す。なお、図1と同一の構成要素には、同一の符号を付している。
【0033】
この第3の実施形態では、主放電電極1に隙間S1,S2相互間を結ぶ貫通孔Hを形成するようにしている。
【0034】
この場合、貫通孔Hはその長辺が主放電電極1の長手方向に沿った1個の直方体形状となっている。
【0035】
かかる構成によれば、繰り返しパルス発振させるために前記ファンによりガス流を作りレーザガスを循環させると、放電発生部へ流入してくるレーザガスG1は、主放電空間を流れるG2と隙間S1へ流入するG3に分流される。レーザガスG3は隙間S1へ流入すると、主放電電極1に形成された貫通孔Hを通過し、隙間S2へ流出する。そして、このレーザガスG3とレーザガスG2とは再び合流しレーザガスG4として放電発生部から流出していく。
【0036】
この第3の実施形態によれば、主放電電極1に隙間S1,S2相互間を結ぶ貫通孔Hを形成するようにしたので、隙間S1,S2でのレーザガスの渦の発生を抑制することができ、また、貫通孔Hを介して隙間S1から隙間S2へレーザガスG3が流れるので、コロナ放電および主放電によって生じる放電生成物の隙間S1,S2への滞留を防ぐことができる。これにより、放電生成物が再び主放電空間中のレーザガスへ放出されることがなくなり、レーザガスの純度の低下を防ぐことができ、主放電を安定させることができるので、結果としてレーザ出力のばらつきを小さくすることができる。また、主放電空間で均一なガスの流れが実現できることから、高繰り返しパルス動作が可能となる。
【0037】
図4(a)および図4(b)に、本発明の第4の実施形態を示す。なお、図1と同一の構成要素には、同一の符号を付している。
【0038】
この第4の実施形態では、経路形状がU字状(円弧状)の貫通孔Hを主放電電極1に形成するようにしている。
【0039】
この第4の実施形態によれば、貫通孔Hの形状をU字状にすることで貫通孔Hの経路の中心部の位置を貫通孔Hの両開口部の位置よりも主放電電極1の放電面と反対方向へ下げるようにしたので、隙間S1,S2相互間を結ぶ貫通孔Hの経路を直線状に形成した場合よりも、レーザガスG3を通り抜けやすくすることができる。
【0040】
図5(a)および図5(b)に、本発明の第5の実施形態を示す。なお、図1と同一の構成要素には、同一の符号を付している。
【0041】
この第5の実施形態では、経路形状がV字状の貫通孔Hを主放電電極1に形成するようにしている。
【0042】
この第5の実施形態によれば、貫通孔Hの経路形状をV字状に形成するようにしたので、隙間S1,S2相互間を結ぶ貫通孔Hの経路を直線状に形成した場合よりも、レーザガスG3が貫通孔Hを通り抜けやすくなる。さらに、主放電電極1に貫通孔Hを形成する場合に、前記経路形状をU字状にするよりも主放電電極1に対する加工を容易に行うことができる。
【0043】
図6(a)乃至図6(c)に、本発明の第6の実施形態を示す。
【0044】
この第6の実施形態では、上記各実施形態に示した各経路形状の貫通孔Hを主放電電極1の長手方向に沿って列設された複数個の孔として形成するようにしている。
【0045】
この第6の実施形態によれば、貫通孔Hを主放電電極1の長手方向に沿って複数に列設したことにより主放電電極1の強度を高めることが可能となる。
【0046】
また、貫通孔Hを円柱状とすれば加工が容易となる。
【0047】
図7に、本発明の第7の実施形態を示す。なお、図1と同一の構成要素には、同一の符号を付している。
【0048】
この第7の実施形態では、支持盤6のうち隙間S1,S2が存在する2つの領域に支持盤6の下面から上面を結ぶ貫通孔H1′,H2′を形成するようにしている。
【0049】
この場合、貫通孔H1′,H2′は、主放電電極1の長手方向に沿った長辺を有する直方体形状となっている。
【0050】
かかる構成によれば、レーザガスを循環させると、放電発生部へ流入してくるレーザガスは、主放電空間へ流れるG1と支持盤6に形成された貫通孔H1′を介して隙間S1へ流入するG1′とに分流されるが、これらのガスは主放電空間内で再び合流してG2′となり、さらに放電発生部外へ流出していくG4′と隙間S2を介して支持盤6に形成された貫通孔H2′から放電発生部外へ流出していくG3′とに分流される。
【0051】
従って、この第7の実施形態によれば、隙間S1,S2でのレーザガスの渦の発生を抑制するとともに、コロナ放電および主放電によって生じる放電生成物の隙間S1,S2への滞留を防ぐことができる。これにより、放電生成物が再び主放電空間中のレーザガスへ放出されることがなくなり、レーザガスの純度の低下を防ぐことができ、主放電を安定させることができるので、結果としてレーザ出力のばらつきを小さくすることができる。また、主放電空間で均一なガスの流れが実現できることから、高繰り返しパルス動作が可能となる。
【0052】
また、貫通孔H1′,H2′の幅を隙間S1,S2の幅Wと同じにしたことで、支持盤6の上面のうち貫通孔H1′,H2′の開口部周辺に塵や埃等が溜まるのを防ぐこともできる。
【0053】
図8に、本発明の第8の実施形態を示す。なお、図1と同一の構成要素には、同一の符号を付している。
【0054】
この第8の実施形態では、貫通孔H1′,H2′の支持盤6の下面側の開口部の位置を、支持盤6の上面の開口部の位置よりも主放電電極1から遠くに離間させるようにしている。
【0055】
この第8の実施形態によれば、レーザガスの流れに沿った方向に貫通孔H1′,H2′を形成するようにしたので、貫通孔H1′,H2′を直方体に形成した場合よりも、レーザガスG1′,G3′が貫通孔H′1,H2′を通り抜けやすくなる。
【0056】
図9(a)および図9(b)に、本発明の第9の実施形態を示す。
【0057】
この第9の実施形態では、上記図7および図8の実施形態に示した各経路形状の貫通孔H1′,H2′を主放電電極1の長手方向に沿って複数個形成するようにしており、これにより先の実施形態に比べ支持盤6の強度を高めることが可能となる。
【0058】
この場合においても、貫通孔Hを円柱状とすれば加工が容易となる。
【0059】
図10に、本発明の第10の実施形態を示す。
【0060】
この実施形態において、一対の主放電電極1,2を対向させ、一方の主放電電極1の側方に長手方向に沿って延びる幅Wの隙間S1,S2を確保して対向するよう配した一対のコロナ予備電離電極12′を主放電電極1とともに支持盤6の上面に配設している点、およびレーザガスGが矢印に示した経路に沿って流れる点は先の各実施形態と同様であるものの、コロナ予備電離電極12′の詳細構成においてこれら先の実施形態と相違している。
【0061】
すなわち、この第10の実施形態で適用するコロナ予備電離電極12′は、それぞれ中空状の誘電体パイプ3′と、該誘電体パイプ3′の中空部に配される背後電極4′と、基端部が支持盤6の上面において外方側から一方の主放電電極1に向けて延在し、かつ中間部が上方に向けて屈曲し、さらに先端部が誘電体パイプ3′の互いに離反した側の外表面に沿って湾曲したコロナ電極5′とを備えて構成している。
【0062】
コロナ電極5′は、弾性に富んだ材質から成形したもので、基端部を介して支持盤6の上面に取り付けられているとともに、先端部が誘電体パイプ3′の外表面に面接触しており、その弾性によって各誘電体パイプ3′を一方の主放電電極1に向けて押圧している。ここで、コロナ電極5′が弾性体であれば、誘電体パイプ3に対して不必要に大きな力を加えることなく、該誘電体パイプ3′の長手方向に亘ってコロナ電極5′と誘電体パイプ3′とを互いに隙間なく接触させることができ、従って、ほとんど弾性のない誘電体パイプ3′に破損を来す虞れがない。
【0063】
また、この第10の実施形態では、主放電電極1とコロナ予備電離電極12′との間に確保した隙間S1,S2にそれぞれ導体10′を介在させるようにしている。導体10′は、支持盤6の上面からの高さが主放電電極1よりも低くなるように構成したもので、主放電電極1に対向する面が平坦状を成し、該平坦面を介して主放電電極1に当接している一方、コロナ予備電離電極12′に対向する面が誘電体パイプ3′の外表面に合致する円弧凹状を成し、該円弧凹状面を介して各誘電体パイプ3′の互いに対向する側の外表面に面接触しており、支持盤6の上面において上述した隙間S1,S2を埋める機能を有しているとともに、上述したコロナ電極5′との間において各誘電体パイプ3′を押圧挟持する機能を有している。
【0064】
なお、本実施形態装置においても、各コロナ予備電離電極12′の高さ方向の配置位置は、その高さの最も高い部分が、主放電電極1の頂上部の高さ以下となるようにしており、これによって、レーザガスGの流れをコロナ予備電離電極12′によって乱さないようにしている。
【0065】
かかる第10の実施形態によれば、支持盤6の上面に確保した隙間S1,S2が導体10′によって埋められることになるため、隙間S1,S2でのレーザガスGの渦の発生を抑制することができ、コロナ放電および主放電によって生じる放電生成物の隙間S1,S2への滞留を防ぐことができる。これにより、放電生成物が再び主放電空間中のレーザガスGへ放出されることがなくなり、レーザガスGの純度の低下を防ぐことができ、主放電を安定させることができるので、結果としてレーザ出力のばらつきを小さくすることができる。また、主放電空間で均一なレーザガスGの流れが実現できることから、高繰り返しパルス動作が可能となる。
【0066】
さらに、この第10の実施形態では、誘電体パイプ3′の外表面において互いに対向する部位が導体10′によって覆われ、かつ互いに離反する部位がコロナ電極5′によって覆われることになるため、コロナ予備電離電極12′においてレーザ発振に寄与しない不要な発光がほとんどなくなる。この結果、コロナ予備電離電極12′からの発光光量のほとんどが、主放電空間に向けたものとなり、レーザ発振効率を著しく向上させることができるようになる。
【0067】
なお、上述した各実施形態においてコロナ予備電離電極は1対に限らず、複数対にしてもよい。
【0068】
また、上述した各実施形態では、本発明をエキシマレーザに適用するようにしているが、予備電離を行うものであれば、他の任意のガスレーザに適用するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示す図。
【図2】本発明の第2の実施形態を示す図。
【図3】本発明の第3の実施形態を示す図。
【図4】本発明の第4の実施形態を示す図。
【図5】本発明の第5の実施形態を示す図。
【図6】本発明の第6の実施形態を示す図。
【図7】本発明の第7の実施形態を示す図。
【図8】本発明の第8の実施形態を示す図。
【図9】本発明の第9の実施形態を示す図。
【図10】本発明の第10の実施形態を示す図。
【図11】従来の装置を示す図。
【符号の説明】
1,1′,2…主放電電極、3,3′…誘電体パイプ、4,4′…背後電極、5,5′…コロナ電極、6…支持盤、10,10′…導体、11…起点、12,12′…コロナ予備電離電極、G…レーザガス、H…貫通孔。
Claims (15)
- 対向するよう配された第1および第2の主放電電極と、
中空状の誘電体パイプと、この誘電体パイプの中空部に配される背後電極と、この誘電体パイプの外表面に接触されその接触部が前記第1の主放電電極の頂上部の高さより低くなるように且つ当該接触部を起点として発生する紫外光が前記第1、第2の主放電電極間に向けて照射されるように配されるコロナ電極とを有して成り、前記第1および第2の主放電電極のうちの第1の主放電電極の側方で該第1の主放電電極を挟むように該第1の主放電電極と所定の隙間をそれぞれおいて配設されるとともに、前記コロナ電極および前記背後電極間に高電圧が印加されることによりコロナ電極と前記誘電体パイプとの当接部を起点としたコロナ放電を発生させて前記主放電空間に予備電離を発生させる対の予備電離電極と、
前記第1の主放電電極および対の予備電離電極を固定支持する支持盤と、
一方の予備電離電極の側方から前記第1および第2の主放電電極との間の主放電空間を経由して他方の予備電離電極の側方へ流れるレーザガスと、
前記第1の主放電電極と前記対の予備電離電極との間の各隙間に、前記支持盤の上面から前記起点の高さまで介在する物体と、
を具えたガスレーザ発振装置。 - 前記物体を導体にしたことを特徴とする請求項1記載のガスレーザ発振装置。
- 前記導体を前記第1の主放電電極と一体構造にしたことを特徴とする請求項2記載のガスレーザ発振装置。
- 対向するよう配された第1および第2の主放電電極と、
中空状の誘電体パイプと、この誘電体パイプの中空部に配される背後電極と、この誘電体パイプの外表面に接触されるように配されるコロナ電極とを有して成り、前記第1および第2の主放電電極のうちの第1の主放電電極の側方で該第1の主放電電極を挟むように該第1の主放電電極と所定の隙間をそれぞれおいて配設されるとともに、前記コロナ電極および前記背後電極間に高電圧が印加されることによりコロナ電極と前記誘電体パイプとの当接部を起点としたコロナ放電を発生させて前記主放電空間に予備電離を発生させる対の予備電離電極と、
前記第1の主放電電極および対の予備電離電極を固定支持する支持盤と、
を具え、一方の予備電離電極の側方から前記第1および第2の主放電電極との間の主放電空間を経由して他方の予備電離電極の側方へレーザガスを流すようにしたガスレーザ発振装置において、
前記第1の主放電電極に前記隙間の一方と他方とを結ぶ貫通孔を形成するようにしたことを特徴とするガスレーザ発振装置。 - 前記貫通孔の経路の中心部の位置を該貫通孔の両開口部の位置よりも前記第1の主放電電極の放電面と反対方向へ下げるようにしたことを特徴とする請求項4記載のガスレーザ発振装置。
- 前記貫通孔の経路形状をU字状にしたことを特徴とする請求項5記載のガスレーザ発振装置。
- 前記貫通孔の経路形状をV字状にしたことを特徴とする請求項5記載のガスレーザ発振装置。
- 前記貫通孔は、前記第1の主放電電極の長手方向に沿って一体形成された1個の孔である請求項4から請求項7のいずれか1項記載のガスレーザ発振装置。
- 前記貫通孔は、前記第1の主放電電極の長手方向に沿って列設される複数の孔である請求項4から請求項7のいずれか1項記載のガスレーザ発振装置。
- 対向するよう配された第1および第2の主放電電極と、
中空状の誘電体パイプと、この誘電体パイプの中空部に配される背後電極と、この誘電体パイプの外表面に接触されるように配されるコロナ電極とを有して成り、前記第1および第2の主放電電極のうちの第1の主放電電極の側方で該第1の主放電電極を挟むように該第1の主放電電極と所定の隙間をそれぞれおいて配設されるとともに、前記コロナ電極および前記背後電極間に高電圧が印加されることによりコロナ電極と前記誘電体パイプとの当接部を起点としたコロナ放電を発生させて前記主放電空間に予備電離を発生させる対の予備電離電極と、
前記第1の主放電電極および対の予備電離電極を固定支持する支持盤と、
を具え、一方の予備電離電極の側方から前記第1および第2の主放電電極との間の主放電空間を経由して他方の予備電離電極の側方へレーザガスを流すようにしたガスレーザ発振装置において、
前記支持盤のうち前記隙間が存在する2つの領域に当該支持盤の下面から上面を結ぶ貫通孔をそれぞれ形成するようにしたことを特徴とするガスレーザ発振装置。 - 前記各貫通孔における支持盤の下面側開口部の位置を、前記支持盤の上面側開口部の位置よりも前記第1の主放電電極から遠くに離間させるようにしたことを特徴とする請求項10記載のガスレーザ発振装置。
- 前記各貫通孔は、前記第1の主放電電極の長手方向に沿って一体形成された1個の孔である請求項10または請求項11記載のガスレーザ発振装置。
- 前記各貫通孔は、前記第1の主放電電極の長手方向に沿って列設される複数の孔である請求項10または請求項11記載のガスレーザ発振装置。
- 対向するよう配された第1および第2の主放電電極と、
中空状の誘電体パイプと、この誘電体パイプの中空部に配される背後電極と、この誘電体パイプの外表面に接触されるように配されるコロナ電極とを有して成り、前記第1の主放電電極の頂上部の高さより低い位置にそれぞれ配設され且つ前記第1の主放電電極の側方で該第1の主放電電極を挟むように該第1の主放電電極と所定の隙間をそれぞれおいて配設される対の予備電離電極と、
前記第1の主放電電極および対の予備電離電極を固定支持する支持盤と、
前記対の予備電離電極のうちの一方の予備電離電極の側方から前記第1および第2の主放電電極との間の主放電空間を経由して他方の予備電離電極の側方へ流れるレーザガスと、
前記支持盤の上面における前記第1の主放電電極と前記予備電離電極との間の各間隙に介在する、該第1の主放電電極よりも高さの低い導体と、
を具え、
前記コロナ電極は弾性を有し、
前記誘電体パイプは前記コロナ電極に押圧され前記導体に圧接されていることを特徴とするガスレーザ発振装置。 - 前記導体および前記コロナ電極を、それぞれ前記誘電体パイプの側方外表面を覆う態様で該誘電体パイプの表面に面接触させることを特徴とする請求項14記載のガスレーザ発振装置。
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