JPS61168973A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS61168973A JPS61168973A JP907085A JP907085A JPS61168973A JP S61168973 A JPS61168973 A JP S61168973A JP 907085 A JP907085 A JP 907085A JP 907085 A JP907085 A JP 907085A JP S61168973 A JPS61168973 A JP S61168973A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- rays
- anode
- laser gas
- charging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はガスレーザ装置に係シ、特に希ガスノ１２イド
エキシマレーザ装置に好適な、予備電離方法に関する。
エキシマレーザ装置に好適な、予備電離方法に関する。
従来の自動予備電離放電励起形エキシマーレーザ装置は
、文献「高効率自動予備電離放電励起＞ＣｅＣＬレーザ
」 （レーザ研究第１２巻第８号）「レーザ学会発行」
に記載のように、放ｔ￥を極近傍に設けた微小ギャップ
でのアーク放電で発生する紫外光を用いて、レーザガス
中ィング屯離を行なっていた。しかし、微小ギャップが
レーザガス中にあることから、アーク放電によるレーザ
ガスの勧化によっておこるレーザ出力の低下について配
慮されていなかった。また、Ｘ線による予備電離エキシ
マレーザ装置は、文献「Ｘ線予備区離希ガスハ２イドレ
ーザー」 （レーザ研究第１２巻第３号）「レーザ学会
発行」にに２１２のように別置したＸｉ管よシＸ線を照
射して予１１１電離を行なっているが、自動予備電離の
配慮がされていなかった。
、文献「高効率自動予備電離放電励起＞ＣｅＣＬレーザ
」 （レーザ研究第１２巻第８号）「レーザ学会発行」
に記載のように、放ｔ￥を極近傍に設けた微小ギャップ
でのアーク放電で発生する紫外光を用いて、レーザガス
中ィング屯離を行なっていた。しかし、微小ギャップが
レーザガス中にあることから、アーク放電によるレーザ
ガスの勧化によっておこるレーザ出力の低下について配
慮されていなかった。また、Ｘ線による予備電離エキシ
マレーザ装置は、文献「Ｘ線予備区離希ガスハ２イドレ
ーザー」 （レーザ研究第１２巻第３号）「レーザ学会
発行」にに２１２のように別置したＸｉ管よシＸ線を照
射して予１１１電離を行なっているが、自動予備電離の
配慮がされていなかった。
本発明の目的は、レーザガスの勧化がなく、予備電離効
果の大きくして、高出力を達成することができる予備電
離形のガスレーザ装置を提供することにある。
果の大きくして、高出力を達成することができる予備電
離形のガスレーザ装置を提供することにある。
本発明は、真空ギャップ中でアーク放電を行なわせると
Ｘｓｊを発生することに着目し、予備電離ギャップとし
て真空ギャップを設けて、それから発生するＸ線によっ
てレーザガスを予備′ｔａして安定な放電を確立させ、
前記目的を達成するようにしたものである。
Ｘｓｊを発生することに着目し、予備電離ギャップとし
て真空ギャップを設けて、それから発生するＸ線によっ
てレーザガスを予備′ｔａして安定な放電を確立させ、
前記目的を達成するようにしたものである。
以下、本発明の一実施例を図によシ説明する。
第１図放電励起希ガスハライドエキシマレーザの構成を
示す。電極部は板状の陽極１とそれと向い合った板状の
陰極２から構成され、電極間の両開には、主放１用コン
デンｔＣ！が複数個接続されている。同様にＩｔ電極間
左右に真空ギャップ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅが配
置されている。
示す。電極部は板状の陽極１とそれと向い合った板状の
陰極２から構成され、電極間の両開には、主放１用コン
デンｔＣ！が複数個接続されている。同様にＩｔ電極間
左右に真空ギャップ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅが配
置されている。
レーザ装置のｌＩｂ作をｓ２図の概略構成図と第３図の
電気回路図から説明する。直流高域圧＋１−ＩＶから充
電抵抗几を通して充電用コンダン？Ｃ１にリアクトルＬ
で接地して高電圧を光域しておく。スイッチＳＲを閉じ
ると光重用コンデンサＣ１に蓄えられ九ｄＩＷは８亀→
Ｃ１→真空ギヤツプ３の閉ループを構成して主放電用コ
ンデンサＣ１に移行し、コンデンサＣ８を光域する。こ
のとき真空ギャップ３内ではアーク放磁が起シＸ／ａを
発生する。
電気回路図から説明する。直流高域圧＋１−ＩＶから充
電抵抗几を通して充電用コンダン？Ｃ１にリアクトルＬ
で接地して高電圧を光域しておく。スイッチＳＲを閉じ
ると光重用コンデンサＣ１に蓄えられ九ｄＩＷは８亀→
Ｃ１→真空ギヤツプ３の閉ループを構成して主放電用コ
ンデンサＣ１に移行し、コンデンサＣ８を光域する。こ
のとき真空ギャップ３内ではアーク放磁が起シＸ／ａを
発生する。
このＸ線は陽極１と陰極２の放鑞空關にあるレーザガス
を予４ＷＬ１ｍする。そして、主放電用コンデンサＣ！
の光磁１圧が陽極１と１蓮２の自爆電圧に達すると、Ｘ
線によって一様に予Ｖｓ１離されている１４間で放＃ｔ
を開始し圧力故気圧のレーザガスを励起する。励起され
たレーザガス分子は、励起状態から安定状態に落ちる際
にレーザ光を発生し、このレーザ光が４１図の全反射鏡
４と出力鏡５とによって光共振器を構成することによっ
て、レーザ出力６ｆｔ得る。
を予４ＷＬ１ｍする。そして、主放電用コンデンサＣ！
の光磁１圧が陽極１と１蓮２の自爆電圧に達すると、Ｘ
線によって一様に予Ｖｓ１離されている１４間で放＃ｔ
を開始し圧力故気圧のレーザガスを励起する。励起され
たレーザガス分子は、励起状態から安定状態に落ちる際
にレーザ光を発生し、このレーザ光が４１図の全反射鏡
４と出力鏡５とによって光共振器を構成することによっ
て、レーザ出力６ｆｔ得る。
本発明によれば、真空ギャップ３ ａ、 ３ ｂ、
３ｃ。
３ｃ。
ａａ、ａｅを設けることでＸ線を発生でき、Ｘ線の透過
力が大きいため、ガス圧力が２〜６気圧と高くても放電
空間全体を一様に予備ｔｌａできることから、陽極１と
陰極２間で起る放電も一様になる。そのため、取シ出さ
れるレーザ光も大口径のビームが得られ、高効率のレー
ザ出力を得ることができる。
力が大きいため、ガス圧力が２〜６気圧と高くても放電
空間全体を一様に予備ｔｌａできることから、陽極１と
陰極２間で起る放電も一様になる。そのため、取シ出さ
れるレーザ光も大口径のビームが得られ、高効率のレー
ザ出力を得ることができる。
また、この真空ギャップ中に、０．０１〜１０ｍｌ（ｇ
種度の、Ａｒ、 Ｘｅ、 Ｋｒの希ガスを入れると、発
生するＸ線は、波長が長くな９、発生したＸ線とレーザ
ガス分子との衝突確立が閤くなシ、予備電離効率はさら
に高くなり、大きなレーザ出力を得ることができる、 〔発明の効果〕 本発明によれば、レーザガスを勧化することなく、数域
空間を一鑵にｔａできるので、安定なレーザ出力を得る
効果がろる。
種度の、Ａｒ、 Ｘｅ、 Ｋｒの希ガスを入れると、発
生するＸ線は、波長が長くな９、発生したＸ線とレーザ
ガス分子との衝突確立が閤くなシ、予備電離効率はさら
に高くなり、大きなレーザ出力を得ることができる、 〔発明の効果〕 本発明によれば、レーザガスを勧化することなく、数域
空間を一鑵にｔａできるので、安定なレーザ出力を得る
効果がろる。
第１図は本発明の一実施例であるＸ線予備電離希ガスハ
ライドエキシマレーザの構成を示す斜視図、第２因はレ
ーザ光軸方向から見た概略正面図、第３図は第１図の等
価回路図である。 １−・・陽極、２−４ｔｆｉ、３ａ、 ３ｂ、 ３ｃ、
３ｄ。
ライドエキシマレーザの構成を示す斜視図、第２因はレ
ーザ光軸方向から見た概略正面図、第３図は第１図の等
価回路図である。 １−・・陽極、２−４ｔｆｉ、３ａ、 ３ｂ、 ３ｃ、
３ｄ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、陽極電極と陰極電極との間にパルス放電を発生せし
め、パルスレーザ発振を行なうガスレーザ装置において
、放電空間近傍に少なくても１以上の真空ギャップを設
けたことを特徴とするガスレーザ装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装置におい
て、前記真空ギャップが、陽極電極と陰極電極で構成さ
れる放電空間と電気的に直列に接続されることを特徴と
するガスレーザ装置。 ３、特許請求の範囲第１項、第２項記載のガスレーザ装
置において、前記真空ギャップの中に０．０１〜１０ｍ
ＨｇのＡｒや、Ｘｅ、Ｋｒ等の希ガスを入れたことを特
徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP907085A JPH0716065B2 (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP907085A JPH0716065B2 (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61168973A true JPS61168973A (ja) | 1986-07-30 |
| JPH0716065B2 JPH0716065B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=11710348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP907085A Expired - Lifetime JPH0716065B2 (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0716065B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63199475A (ja) * | 1987-02-16 | 1988-08-17 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ装置 |
| JPS63197373U (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-19 | ||
| JPH01128482A (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-22 | Agency Of Ind Science & Technol | ガスレーザ発振装置 |
-
1985
- 1985-01-23 JP JP907085A patent/JPH0716065B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63199475A (ja) * | 1987-02-16 | 1988-08-17 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ装置 |
| JPS63197373U (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-19 | ||
| JPH01128482A (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-22 | Agency Of Ind Science & Technol | ガスレーザ発振装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0716065B2 (ja) | 1995-02-22 |
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