JPH0716065B2 - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPH0716065B2 JPH0716065B2 JP907085A JP907085A JPH0716065B2 JP H0716065 B2 JPH0716065 B2 JP H0716065B2 JP 907085 A JP907085 A JP 907085A JP 907085 A JP907085 A JP 907085A JP H0716065 B2 JPH0716065 B2 JP H0716065B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser device
- gas
- discharge
- gas laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はガスレーザ装置に係り、特に希ガスハライドエ
キシマレーザ装置に好適な、予備電離方法に関する。
キシマレーザ装置に好適な、予備電離方法に関する。
従来の自動予備電離放電励起形エキシマーレーザ装置
は、文献「高効率自動予備電離放電励起XeClレーザ」
（レーザ研究第12巻第８号）「レーザ学会発行」に記載
のように、放電電極近傍に設けた微小ギヤツプでのアー
ク放電で発生する紫外光を用いて、レーザガスの予備電
離を行なつていた。しかし、微小ギヤツプがレーザガス
中にあることから、アーク放電によるレーザガスの励化
によつておこるレーザ出力の低下について配慮されてい
なかつた。また、Ｘ線による予備電離エキシマレーザ装
置は、文献「Ｘ線予備電離希ガスハライドレーザー」
（レーザ研究第12巻第３号）「レーザ学会発行」に記載
のように別置したＸ線管よりＸ線を照射して予備電離を
行なつているが、自動予備電離の配慮がされていなかつ
た。
は、文献「高効率自動予備電離放電励起XeClレーザ」
（レーザ研究第12巻第８号）「レーザ学会発行」に記載
のように、放電電極近傍に設けた微小ギヤツプでのアー
ク放電で発生する紫外光を用いて、レーザガスの予備電
離を行なつていた。しかし、微小ギヤツプがレーザガス
中にあることから、アーク放電によるレーザガスの励化
によつておこるレーザ出力の低下について配慮されてい
なかつた。また、Ｘ線による予備電離エキシマレーザ装
置は、文献「Ｘ線予備電離希ガスハライドレーザー」
（レーザ研究第12巻第３号）「レーザ学会発行」に記載
のように別置したＸ線管よりＸ線を照射して予備電離を
行なつているが、自動予備電離の配慮がされていなかつ
た。
本発明の目的は、レーザガスの励化がなく、予備電離効
果の大きくして、高出力を達成することができる予備電
離形のガスレーザ装置を提供することにある。
果の大きくして、高出力を達成することができる予備電
離形のガスレーザ装置を提供することにある。
本発明は、真空ギヤツプ中でアーク放電を行なわせると
Ｘ線を発生することに着目し、予備電離ギヤツプとして
真空ギヤツプを設けて、それから発生するＸ線によつて
レーザガスを予備電離して安定な放電を確立させ、前記
目的を達成するようにしたものである。
Ｘ線を発生することに着目し、予備電離ギヤツプとして
真空ギヤツプを設けて、それから発生するＸ線によつて
レーザガスを予備電離して安定な放電を確立させ、前記
目的を達成するようにしたものである。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。第１図放
電励起希ガスハライドエキシマレーザの構成を示す。電
極部は板状の陽極１とそれと向い合つた板状の陰極２か
ら構成され、電極間の両側には、主放電用コンデンサC2
が複数個接続されている。同様に電極間の左右に真空ギ
ヤツプ3a,3b,3c,3d,3eが配置されている。レーザ装置の
動作を第２図の概略構成図と第３図の電気回路図から説
明する。直流高電圧＋HVから充電抵抗Ｒを通して充電用
コンデンサC1にリアクトルＬで接地して高電圧を充電し
ておく。スイツチS1を閉じると充電用コンデンサC1に蓄
えられた電荷はS1→C2→真空ギヤツプ３の閉ループを構
成して主放電用コンデンサC2に移行し、コンデンサC2を
充電する。このとき真空ギヤツプ３内ではアーク放電が
起りＸ線を発生する。このＸ線は陽極１と陰極２の放電
空間にあるレーザガスを予備電離する。そして、主放電
用コンデンサC2の充電電圧が陽極１と陰極２の自爆電圧
に達すると、Ｘ線によつて一様に予備電離されている電
極間で放電を開始し圧力数気圧のレーザガスを励起す
る。励起されたレーザガス分子は、励起状態から安定状
態に落ちる際にレーザ光を発生し、このレーザ光が第１
図の全反射鏡４と出力鏡５とによつて光共振器を構成す
ることによつて、レーザ出力６を得る。
電励起希ガスハライドエキシマレーザの構成を示す。電
極部は板状の陽極１とそれと向い合つた板状の陰極２か
ら構成され、電極間の両側には、主放電用コンデンサC2
が複数個接続されている。同様に電極間の左右に真空ギ
ヤツプ3a,3b,3c,3d,3eが配置されている。レーザ装置の
動作を第２図の概略構成図と第３図の電気回路図から説
明する。直流高電圧＋HVから充電抵抗Ｒを通して充電用
コンデンサC1にリアクトルＬで接地して高電圧を充電し
ておく。スイツチS1を閉じると充電用コンデンサC1に蓄
えられた電荷はS1→C2→真空ギヤツプ３の閉ループを構
成して主放電用コンデンサC2に移行し、コンデンサC2を
充電する。このとき真空ギヤツプ３内ではアーク放電が
起りＸ線を発生する。このＸ線は陽極１と陰極２の放電
空間にあるレーザガスを予備電離する。そして、主放電
用コンデンサC2の充電電圧が陽極１と陰極２の自爆電圧
に達すると、Ｘ線によつて一様に予備電離されている電
極間で放電を開始し圧力数気圧のレーザガスを励起す
る。励起されたレーザガス分子は、励起状態から安定状
態に落ちる際にレーザ光を発生し、このレーザ光が第１
図の全反射鏡４と出力鏡５とによつて光共振器を構成す
ることによつて、レーザ出力６を得る。
本発明によれば、真空ギヤツプ3a,3b,3c,3d,3eを設ける
ことでＸ線を発生でき、Ｘ線の透過力が大きいため、ガ
ス圧力が２〜６気圧と高くても放電空間全体を一様に予
備電離できることから、陽極１と陰極２間で起る放電も
一様なる。そのため、取り出されるレーザ光も大口径の
ビームが得られ、高効率のレーザ出力を得ることができ
る。
ことでＸ線を発生でき、Ｘ線の透過力が大きいため、ガ
ス圧力が２〜６気圧と高くても放電空間全体を一様に予
備電離できることから、陽極１と陰極２間で起る放電も
一様なる。そのため、取り出されるレーザ光も大口径の
ビームが得られ、高効率のレーザ出力を得ることができ
る。
また、この真空ギヤツプ中に、0.01〜10mHg程度の、Ar,
Xe,Krの希ガスを入れると、発生するＸ線は、波長が長
くなり、発生したＸ線とレーザガス分子との衝突確立が
高くなり、予備電離効果はさらに高くなり、大きなレー
ザ出力を得ることができる。
Xe,Krの希ガスを入れると、発生するＸ線は、波長が長
くなり、発生したＸ線とレーザガス分子との衝突確立が
高くなり、予備電離効果はさらに高くなり、大きなレー
ザ出力を得ることができる。
本発明によれば、レーザガスを励化することなく、放電
空間を一様に電離できるので、安定なレーザ出力を得る
効果がある。
空間を一様に電離できるので、安定なレーザ出力を得る
効果がある。
第１図は本発明の一実施例であるＸ線予備電離希ガスハ
ライドエキシマレーザの構成を示す斜視図、第２図はレ
ーザ光軸方向から見た概略正面図、第３図は第１図の等
価回路図である。 １……陽極、２……陰極、3a,3b,3c,3d,3e……真空ギヤ
ツプ。
ライドエキシマレーザの構成を示す斜視図、第２図はレ
ーザ光軸方向から見た概略正面図、第３図は第１図の等
価回路図である。 １……陽極、２……陰極、3a,3b,3c,3d,3e……真空ギヤ
ツプ。
Claims (3)
- 【請求項１】陽極電極と陰極電極との間にパルス放電を
発生せしめ、パルスレーザ発振を行なうガスレーザ装置
において、放電空間近傍に少なくとも１以上の真空ギヤ
ツプを設けたことを特徴とするガスレーザ装置。 - 【請求項２】特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装
置において、前記真空ギヤツプが、陽極電極と陰極電極
で構成される放電空間と電気的に直列に接続されること
を特徴とするガスレーザ装置。 - 【請求項３】特許請求の範囲第１項、第２項記載のガス
レーザ装置において、前記真空ギヤツプの中に0.01〜10
mHgのArや、Xe、Kr等の希ガスを入れたことを特徴とす
るガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP907085A JPH0716065B2 (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP907085A JPH0716065B2 (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61168973A JPS61168973A (ja) | 1986-07-30 |
| JPH0716065B2 true JPH0716065B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=11710348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP907085A Expired - Lifetime JPH0716065B2 (ja) | 1985-01-23 | 1985-01-23 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0716065B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2592821B2 (ja) * | 1987-02-16 | 1997-03-19 | 株式会社東芝 | ガスレーザ装置 |
| JPS63197373U (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-19 | ||
| JPH06105813B2 (ja) * | 1987-11-13 | 1994-12-21 | 工業技術院長 | ガスレーザ発振装置 |
-
1985
- 1985-01-23 JP JP907085A patent/JPH0716065B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61168973A (ja) | 1986-07-30 |
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