JPS63227082A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
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- JPS63227082A JPS63227082A JP6195787A JP6195787A JPS63227082A JP S63227082 A JPS63227082 A JP S63227082A JP 6195787 A JP6195787 A JP 6195787A JP 6195787 A JP6195787 A JP 6195787A JP S63227082 A JPS63227082 A JP S63227082A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明はレーザ媒質としてガスを放電エネルギで励起
してレーザ光を発振させるガスレーザ発振装置に関する
。
してレーザ光を発振させるガスレーザ発振装置に関する
。
（従来の技術）
ガスレーザ発振装置には、レーザ媒質とじてＣＯ２にＮ
２やＨｅを混合した混合ガスを密閉容器内に所定の圧力
で収容した、ＴＥＡＣＯ２レーザ発撮器やＴＥＭＡ （
高気圧横放電励起）Ｃ○２レーザやＡｒやＸｅなどの希
ガスＣ２やＦなどのハロゲン元素をレーザ媒質としたエ
キシマレーザ発振器があることが知られている。このう
ち高気圧横放電励起ＣＯ２レーザは密閉容器内に離間対
向して配設された一対の主Ｎ穫と、これら主電極間の主
放電に先だって放電空間を予備電離するための予備電離
手段とレーザ増幅する光共振器を主要素として構成され
ている。
２やＨｅを混合した混合ガスを密閉容器内に所定の圧力
で収容した、ＴＥＡＣＯ２レーザ発撮器やＴＥＭＡ （
高気圧横放電励起）Ｃ○２レーザやＡｒやＸｅなどの希
ガスＣ２やＦなどのハロゲン元素をレーザ媒質としたエ
キシマレーザ発振器があることが知られている。このう
ち高気圧横放電励起ＣＯ２レーザは密閉容器内に離間対
向して配設された一対の主Ｎ穫と、これら主電極間の主
放電に先だって放電空間を予備電離するための予備電離
手段とレーザ増幅する光共振器を主要素として構成され
ている。
上記予備電離手段としては、主電極の近傍にビン電極を
配置し、これらビン電極間の放電によって発生する紫外
光で放電空間を予＠電離したり、上記密閉容器の外部に
Ｘ線管を配置し、このＸｎ管で発生するＸ線を密閉容器
内に導入してｔｌｉｌ空電を予備電離するなどのことが
行われている。
配置し、これらビン電極間の放電によって発生する紫外
光で放電空間を予＠電離したり、上記密閉容器の外部に
Ｘ線管を配置し、このＸｎ管で発生するＸ線を密閉容器
内に導入してｔｌｉｌ空電を予備電離するなどのことが
行われている。
しかしながら、ビン電慟を用いた手段では、そのビン電
極を主電極の長手方向に沿って所定の間隔で配冒しなけ
ればならず、その間隔を小さくするには限界があるので
、ｌｌｉｌ空電全体が均一な予備電離密度や電界強度と
なるよう予備電離することが難しかった。
極を主電極の長手方向に沿って所定の間隔で配冒しなけ
ればならず、その間隔を小さくするには限界があるので
、ｌｌｉｌ空電全体が均一な予備電離密度や電界強度と
なるよう予備電離することが難しかった。
また。Ｘ線を用いた手段によると、ビン電極を用いた場
合に比べて放電空間を均一に予備電離することができる
。しかしながら、高圧ガスが封入された上記密閉容器と
、高真空のＸ線管とを機械的、光学的に結合しなければ
ならないから、構造の複雑化を招くばかりか、十分な結
合強度を得ることが難しいということがあった。
合に比べて放電空間を均一に予備電離することができる
。しかしながら、高圧ガスが封入された上記密閉容器と
、高真空のＸ線管とを機械的、光学的に結合しなければ
ならないから、構造の複雑化を招くばかりか、十分な結
合強度を得ることが難しいということがあった。
（発明が解決しようとする問題点）
この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、Ｘ線管を用いた場合のように結合強
度の低下や構造の複雑化を招くことがなく、しかもビン
電極を用いた場合に比べて予備電離密度や電界強度の均
一化を計ることができるようにしたガスレーザ発振装置
を提供することにある。
的とするところは、Ｘ線管を用いた場合のように結合強
度の低下や構造の複雑化を招くことがなく、しかもビン
電極を用いた場合に比べて予備電離密度や電界強度の均
一化を計ることができるようにしたガスレーザ発振装置
を提供することにある。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段及び作用）上記問題点を
解決するためにこの発明は、エキシマレーザ発振器と、
高気圧横放電励起形レーザと、上記エキシマレーザ発振
器から放出されたエキシマレーザ光を上記横放電励起形
レーザ装置の放電空間に予（ｌｉ電離源として入射させ
る光学系と、上記エキシマレーザ光が上記放電空間に入
射した時点で上記横放電形ガスレーザ装置の主放電を開
始させる発振器（社）部とを具備する。そして、エキシ
マレーザ発振器から発振されるレーザ光で高気圧横放電
励起形レーザ装置の放電空間を予備Ｎ離する。
解決するためにこの発明は、エキシマレーザ発振器と、
高気圧横放電励起形レーザと、上記エキシマレーザ発振
器から放出されたエキシマレーザ光を上記横放電励起形
レーザ装置の放電空間に予（ｌｉ電離源として入射させ
る光学系と、上記エキシマレーザ光が上記放電空間に入
射した時点で上記横放電形ガスレーザ装置の主放電を開
始させる発振器（社）部とを具備する。そして、エキシ
マレーザ発振器から発振されるレーザ光で高気圧横放電
励起形レーザ装置の放電空間を予備Ｎ離する。
（実施例）
以下、この発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図に示すガスレーザ発振装置はエキシマレーザ発振
器１と、高気圧構成ＴｉＣＯ２レーザ発振器２とから構
成されている。上記エキシマレーザ発振器１としては塩
化キセノン、フッ化クリプトンあるいはフッ化アルゴン
などいずれのガスを用いたものであってもよい。上記高
気圧横放電ＣＯ２レーザ発振器２は、その密閉容器３の
長手方向両端にアルカリハライドなどの材料からなるブ
リュースタ窓４が形成され、内部にはレーザガスとして
ＣＯ２、Ｈｅ１Ｎｅの混合ガスが収容されているととも
に、予備電離効率を向上させる目的でトリメチルアミン
や（ＣＨ３＞ａ Ｎなどのガスも入れられている。また
、上記ブリュースタ窓４と対向する密閉容器３の長手方
向一端には高反射鏡５、他端には上記へ反１）Ｊ鏡５と
で共振器を形成する出力鏡６が配設され、この出力１１
６から第１のレーザ光Ｌ１が後述するように発振される
。
器１と、高気圧構成ＴｉＣＯ２レーザ発振器２とから構
成されている。上記エキシマレーザ発振器１としては塩
化キセノン、フッ化クリプトンあるいはフッ化アルゴン
などいずれのガスを用いたものであってもよい。上記高
気圧横放電ＣＯ２レーザ発振器２は、その密閉容器３の
長手方向両端にアルカリハライドなどの材料からなるブ
リュースタ窓４が形成され、内部にはレーザガスとして
ＣＯ２、Ｈｅ１Ｎｅの混合ガスが収容されているととも
に、予備電離効率を向上させる目的でトリメチルアミン
や（ＣＨ３＞ａ Ｎなどのガスも入れられている。また
、上記ブリュースタ窓４と対向する密閉容器３の長手方
向一端には高反射鏡５、他端には上記へ反１）Ｊ鏡５と
で共振器を形成する出力鏡６が配設され、この出力１１
６から第１のレーザ光Ｌ１が後述するように発振される
。
上記エキシマレーザ発振器１は上記高気圧横放電ＣＯ２
レーザ発娠発振器ほぼ平行に配設されていて、これから
発振される第２のレーザ光Ｌ２はり窓４から高反射鏡５
と出力鏡６の共振軸光路に入射するようになっている。
レーザ発娠発振器ほぼ平行に配設されていて、これから
発振される第２のレーザ光Ｌ２はり窓４から高反射鏡５
と出力鏡６の共振軸光路に入射するようになっている。
上記高気圧構成Ｎ ＣＯ２レ一ザ発撮器２の内部には、
第２図に示すように一対の主Ｎ極８が離間対向して配設
されている。これら主電極８には高電圧パルス電源９と
、ピーキングコンデンサ１１とが接続されている。上記
高電圧パルス１ｉｌＩ９には遅延回路１２を介してトリ
ガーユニット１３が接続されている。また、このトリガ
ーユニット１３は上記エキシマレーザ１の駆動回路１４
に接続されている。上記遅延回路１２、トリガユニット
１３および駆動回路１４で発振制御部が構成されている
。したがって、トリガーユニット１３がらは起動信号が
エキシマレーザ発振器１の駆動回路１４に入力される。
第２図に示すように一対の主Ｎ極８が離間対向して配設
されている。これら主電極８には高電圧パルス電源９と
、ピーキングコンデンサ１１とが接続されている。上記
高電圧パルス１ｉｌＩ９には遅延回路１２を介してトリ
ガーユニット１３が接続されている。また、このトリガ
ーユニット１３は上記エキシマレーザ１の駆動回路１４
に接続されている。上記遅延回路１２、トリガユニット
１３および駆動回路１４で発振制御部が構成されている
。したがって、トリガーユニット１３がらは起動信号が
エキシマレーザ発振器１の駆動回路１４に入力される。
そして、所定時間経過すると、上記高気圧構成ＭＣＯ２
レーザ発振器２にも起動信号が入力されるようになって
いる。
レーザ発振器２にも起動信号が入力されるようになって
いる。
なお、上記エキシマレーザ発振器１から放出された第２
のレーザ光Ｌ２は上記高気圧横放電Ｃ○２レーザ発振器
２の一対の主電極８間の放電空間Ｓに入射し、この放電
空間Ｓを長手方向に沿って走査するようになっている。
のレーザ光Ｌ２は上記高気圧横放電Ｃ○２レーザ発振器
２の一対の主電極８間の放電空間Ｓに入射し、この放電
空間Ｓを長手方向に沿って走査するようになっている。
このような構造のガスレーザ発振装置によれば、まずト
リガーユニット１３をオンにすると、このトリガーユニ
ット１３からの起動信号がエキシマレーザ発振器１に入
力される。すると、このエキシマレーザ発振器１が励起
されてここから第２のレーザ光Ｌ２が発振される。この
第２のレーザ光Ｌ２は反射鏡７で反射して高気圧横放電
ＣＯ２レーザ発振器２の一対の主Ｎ極８間の放電空間Ｓ
に入射する。したがって、高気圧横放電ＣＯ２レーザ発
振器２の放電空間Ｓが上記第２のレーザ光Ｌ２によって
予備電離されることになる。
リガーユニット１３をオンにすると、このトリガーユニ
ット１３からの起動信号がエキシマレーザ発振器１に入
力される。すると、このエキシマレーザ発振器１が励起
されてここから第２のレーザ光Ｌ２が発振される。この
第２のレーザ光Ｌ２は反射鏡７で反射して高気圧横放電
ＣＯ２レーザ発振器２の一対の主Ｎ極８間の放電空間Ｓ
に入射する。したがって、高気圧横放電ＣＯ２レーザ発
振器２の放電空間Ｓが上記第２のレーザ光Ｌ２によって
予備電離されることになる。
このようにエキシマレーザ発振器１が起動されて高気圧
構成ＴｌＣＯ２レーザ発振器２の放電空間Ｓが予備電離
されたのち、遅延回路１２が作動して上記高気圧横放電
ＣＯ２レーザ発振器２の高電圧パルスＮ源９にも起動信
号が入力される。すると、一対の主Ｔｉ極８間に放電が
生じるから、その放電によって放電空間Ｓのレーザガス
が励起されて出力１６から第１のレーザ光Ｌ１が出力さ
れることになる。上記放電空間Ｓは上述したようにエキ
シマレーザ発振器１から発振された第２のレーザ光Ｌ２
によって予備電離されている。この第２のレーザ光Ｌ２
は第２図に示すような円形パターンで一対の主電極８間
に入射し、その長手方向に沿って進むから、上記放電空
間Ｓ全体をほぼ均一した第１のレーザ光Ｌ１を発振させ
ることができる。
構成ＴｌＣＯ２レーザ発振器２の放電空間Ｓが予備電離
されたのち、遅延回路１２が作動して上記高気圧横放電
ＣＯ２レーザ発振器２の高電圧パルスＮ源９にも起動信
号が入力される。すると、一対の主Ｔｉ極８間に放電が
生じるから、その放電によって放電空間Ｓのレーザガス
が励起されて出力１６から第１のレーザ光Ｌ１が出力さ
れることになる。上記放電空間Ｓは上述したようにエキ
シマレーザ発振器１から発振された第２のレーザ光Ｌ２
によって予備電離されている。この第２のレーザ光Ｌ２
は第２図に示すような円形パターンで一対の主電極８間
に入射し、その長手方向に沿って進むから、上記放電空
間Ｓ全体をほぼ均一した第１のレーザ光Ｌ１を発振させ
ることができる。
なお、上記実施例では高気圧横放電ＣＯ２レーザ発振器
の例を示したが、この発振器と類似の形式の他のガスレ
ーザ発振器（たとえばＴＥＡＣＯ２レーザ発振器）にも
適用でき、さらに、発振器でなく増幅装置にも適用でき
るものである。この増幅装置の場合、光共振器としての
全反射鏡および出力鏡は必要でないが、第２のレーザ光
Ｌ２を放電空間Ｓに入射させるために、全反射１ｔ！Ｉ
（もしくは出力鏡）に相当する部分にＣＯ２レーザ光は
透過するが、エキシマレーザ光は反射する反射膜をコー
ティングした光学系が必要である。
の例を示したが、この発振器と類似の形式の他のガスレ
ーザ発振器（たとえばＴＥＡＣＯ２レーザ発振器）にも
適用でき、さらに、発振器でなく増幅装置にも適用でき
るものである。この増幅装置の場合、光共振器としての
全反射鏡および出力鏡は必要でないが、第２のレーザ光
Ｌ２を放電空間Ｓに入射させるために、全反射１ｔ！Ｉ
（もしくは出力鏡）に相当する部分にＣＯ２レーザ光は
透過するが、エキシマレーザ光は反射する反射膜をコー
ティングした光学系が必要である。
［発明の効果］
以上述べたようにこの発明は、エキシマレーザ発振器か
ら発振されたレーザ光を横放電励起形ガスレーザに入射
させてこの放電空間を予ａ電離するようにした。したが
って、従来のビン電極を用いた場合に比べて放電空間を
ほぼ均一に予備電離することができるばかりか、Ｘ線管
を用いた場合に比べ構造の簡略化を計ることができるな
どの利点を有する。
ら発振されたレーザ光を横放電励起形ガスレーザに入射
させてこの放電空間を予ａ電離するようにした。したが
って、従来のビン電極を用いた場合に比べて放電空間を
ほぼ均一に予備電離することができるばかりか、Ｘ線管
を用いた場合に比べ構造の簡略化を計ることができるな
どの利点を有する。
図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は出願人代理
人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図
人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図
Claims (1)
- エキシマレーザ発振器と、高気圧横放電励起形レーザと
、上記エキシマレーザ発振器から放出されたエキシマレ
ーザ光を上記横放電励起形レーザ装置の放電空間に予備
電離源として入射させる光学系と、上記エキシマレーザ
光が上記放電空間に入射した時点で上記横放電形ガスレ
ーザ装置の主放電を開始させる発振制御部とを具備した
ことを特徴とするガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6195787A JPS63227082A (ja) | 1987-03-17 | 1987-03-17 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6195787A JPS63227082A (ja) | 1987-03-17 | 1987-03-17 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63227082A true JPS63227082A (ja) | 1988-09-21 |
Family
ID=13186178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6195787A Pending JPS63227082A (ja) | 1987-03-17 | 1987-03-17 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63227082A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4102079A1 (de) * | 1990-01-24 | 1991-08-01 | Hitachi Ltd | Hochdruck-gaslaservorrichtung |
| US6661499B2 (en) | 1998-06-12 | 2003-12-09 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus with a catadioptric projection optical system |
| JP2007250666A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Komatsu Ltd | 露光用２ステージエキシマレーザ装置 |
| CN105048256A (zh) * | 2015-09-23 | 2015-11-11 | 江苏卓远激光科技有限公司 | 一种激光器电极板活动安装式结构 |
-
1987
- 1987-03-17 JP JP6195787A patent/JPS63227082A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4102079A1 (de) * | 1990-01-24 | 1991-08-01 | Hitachi Ltd | Hochdruck-gaslaservorrichtung |
| US6661499B2 (en) | 1998-06-12 | 2003-12-09 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus with a catadioptric projection optical system |
| JP2007250666A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Komatsu Ltd | 露光用２ステージエキシマレーザ装置 |
| CN105048256A (zh) * | 2015-09-23 | 2015-11-11 | 江苏卓远激光科技有限公司 | 一种激光器电极板活动安装式结构 |
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