JPH03190177A - パルスガスレーザ装置 - Google Patents
パルスガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH03190177A JPH03190177A JP33080289A JP33080289A JPH03190177A JP H03190177 A JPH03190177 A JP H03190177A JP 33080289 A JP33080289 A JP 33080289A JP 33080289 A JP33080289 A JP 33080289A JP H03190177 A JPH03190177 A JP H03190177A
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- JP
- Japan
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- laser
- ultraviolet
- discharge
- spark
- ionizer
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- Pending
Links
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、パルスガスレーザ装置に関する。
従来のパルスガスレーザ装置については、豊田、付属監
修「エキシマレーザ最先端応用技術」第４章に詳細に記
載されている。この文献に記載されている従来のパルス
ガスレーザ装置の烏轍図を第３図−Ａ、断面図を第３図
−Ｂに示す。
修「エキシマレーザ最先端応用技術」第４章に詳細に記
載されている。この文献に記載されている従来のパルス
ガスレーザ装置の烏轍図を第３図−Ａ、断面図を第３図
−Ｂに示す。
このパルスガスレーザ装置は、アーク放電を発生させる
ためのスパーク電極対３２と、アーク放電により紫外線
が発生する領域であるスパークギャップ３４から成る紫
外線予備電離器３５と、レーザ光を励起するための電圧
が印加される放電電極対３１、レーザ光が発振する放電
空間３３とをレーザガスを封入したレーザ容器（図示省
略）内に収納した構成である。
ためのスパーク電極対３２と、アーク放電により紫外線
が発生する領域であるスパークギャップ３４から成る紫
外線予備電離器３５と、レーザ光を励起するための電圧
が印加される放電電極対３１、レーザ光が発振する放電
空間３３とをレーザガスを封入したレーザ容器（図示省
略）内に収納した構成である。
このパルスガスレーザにおいては、スパーク電極対３２
によりスパークギャップ３４にアーク放電を起こし紫外
線を発生させ、放電空間３３のレーザガスを予備電離さ
せる。これにより放電電極対３１の間でレーザ励起に必
要なグロー放電が生じ、レーザ光が励起される。
によりスパークギャップ３４にアーク放電を起こし紫外
線を発生させ、放電空間３３のレーザガスを予備電離さ
せる。これにより放電電極対３１の間でレーザ励起に必
要なグロー放電が生じ、レーザ光が励起される。
従来のパルスガスレーザ装置では、一対のスパーク電極
による紫外線予備電離器を用いているので、−個の紫外
線予備電離器に付き１点のスパークギャップのみのアー
ク放電により紫外線を発生させている。このため、放電
空間の均一な予備電離が難しく、安定で均一なグロー放
電が得にくいという欠点があった。更に、充分な量の紫
外線を発生させることが難しく、紫外線予備電離を用い
たパルスガスレーザの高出力化の妨げとなっている。
による紫外線予備電離器を用いているので、−個の紫外
線予備電離器に付き１点のスパークギャップのみのアー
ク放電により紫外線を発生させている。このため、放電
空間の均一な予備電離が難しく、安定で均一なグロー放
電が得にくいという欠点があった。更に、充分な量の紫
外線を発生させることが難しく、紫外線予備電離を用い
たパルスガスレーザの高出力化の妨げとなっている。
本発明の目的は、放電空間に多量な紫外線を均一に照射
し、安定で均一なグロー放電が得られ、かつ高出力なガ
スレーザ装置を提供することにある。
し、安定で均一なグロー放電が得られ、かつ高出力なガ
スレーザ装置を提供することにある。
本発明によるパルスガスレーザ装置は、レーザガスを封
入したレーザ容器内にレーザを励起するための一対の放
電電極対を有し、レーザガスを予備電離するための紫外
線を発生させるスパークギャップからなる紫外線予備電
離器を、前記放電電極対側面に多数個配置したパルスガ
スレーザにおいて、前記紫外線予備電離器が複数個のス
パークギャップを有することを特徴としている。
入したレーザ容器内にレーザを励起するための一対の放
電電極対を有し、レーザガスを予備電離するための紫外
線を発生させるスパークギャップからなる紫外線予備電
離器を、前記放電電極対側面に多数個配置したパルスガ
スレーザにおいて、前記紫外線予備電離器が複数個のス
パークギャップを有することを特徴としている。
〔作用〕
本発明によるパルスガスレーザにおいては、複数個のス
パークギャップを有する紫外線予備電離器を用いている
ので、−個の紫外線予備電離器で複数個のスパークギャ
ップより紫外線を発生させることができ、放電空間に多
量な紫外線を均一に照射することが出来る。これにより
、放電空間内で均一な予備電離を行うことが出来、安定
で均一なグロー放電が得られ、かつ高出力なレーザ光を
得ることができる。
パークギャップを有する紫外線予備電離器を用いている
ので、−個の紫外線予備電離器で複数個のスパークギャ
ップより紫外線を発生させることができ、放電空間に多
量な紫外線を均一に照射することが出来る。これにより
、放電空間内で均一な予備電離を行うことが出来、安定
で均一なグロー放電が得られ、かつ高出力なレーザ光を
得ることができる。
本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。
第１図Ａ、Ｂと第２図Ａ、Ｂは本発明のパルスガスレー
ザの一実施例であり、Ａは烏轍図、Ｂは断面図を示す。
ザの一実施例であり、Ａは烏轍図、Ｂは断面図を示す。
このパルスガスレーザ装置は、アーク放電を発生させる
ための複数個のスパーク電極１３を絶縁体１５上に１列
に並べて固着し、アーク放電により紫外線が発生する領
域である複数個のスパークギャップ１４を形成した複数
の紫外線予備電離器１７と、レーザ光を励起するための
電圧が印加される放電電極対１１とをレーザガスを封入
したレーザ容器（図示省略）内に配設した構成である。
ための複数個のスパーク電極１３を絶縁体１５上に１列
に並べて固着し、アーク放電により紫外線が発生する領
域である複数個のスパークギャップ１４を形成した複数
の紫外線予備電離器１７と、レーザ光を励起するための
電圧が印加される放電電極対１１とをレーザガスを封入
したレーザ容器（図示省略）内に配設した構成である。
各紫外線予備電離器１７は放電電極対の側面に配置され
、放電電極対の電極間の空間がレーザ光が発振する放電
空間１２となる。
、放電電極対の電極間の空間がレーザ光が発振する放電
空間１２となる。
第１図に示したパルスガスレーザ装置は、１つの紫外線
予備電離器に複数のスパークギャップを設けて、紫外線
予備電離器１７を構成する複数個のスパーク電極１３に
より、複数個のスパークギャップ１４にアーク放電を起
こし紫外線を発生させ、放電空間１２のレーザガスを予
備電離する。複数個のスパークギャップ１４により紫外
線を発生させることにより、放電空間１２のレーザガス
を均一かつ強く予備電離することができる。
予備電離器に複数のスパークギャップを設けて、紫外線
予備電離器１７を構成する複数個のスパーク電極１３に
より、複数個のスパークギャップ１４にアーク放電を起
こし紫外線を発生させ、放電空間１２のレーザガスを予
備電離する。複数個のスパークギャップ１４により紫外
線を発生させることにより、放電空間１２のレーザガス
を均一かつ強く予備電離することができる。
第２図に示したパルスガスレーザ装置は、第１の実施例
と同様の構成を持ち、スパーク電極１３をインダクタ１
６上に接続している。この実施例においては、スパーク
ギャップ１４に対し、インダクタ１６のインダクタンス
が並列に接続された構造をもっているので、スパークギ
ャップ１４がアーク放電しない状態では、電流はインダ
クタ１６上を流れるが、スパークギャップ１４に印加さ
れる電圧が放電電圧に達すると、スパークギャップ１４
にアーク放電が生じ、スパークギャップ１４のインピー
ダンスが急激に減少し、インダクタ１６のインピーダン
スより小さくなる。このため、スパークギャップ１４の
放電開始以後は、電流はインダクタ１６上を流れずスパ
ーク電極を通しアーク放電によりスパークギャップ１４
を流れ紫外線が発生する。
と同様の構成を持ち、スパーク電極１３をインダクタ１
６上に接続している。この実施例においては、スパーク
ギャップ１４に対し、インダクタ１６のインダクタンス
が並列に接続された構造をもっているので、スパークギ
ャップ１４がアーク放電しない状態では、電流はインダ
クタ１６上を流れるが、スパークギャップ１４に印加さ
れる電圧が放電電圧に達すると、スパークギャップ１４
にアーク放電が生じ、スパークギャップ１４のインピー
ダンスが急激に減少し、インダクタ１６のインピーダン
スより小さくなる。このため、スパークギャップ１４の
放電開始以後は、電流はインダクタ１６上を流れずスパ
ーク電極を通しアーク放電によりスパークギャップ１４
を流れ紫外線が発生する。
この実施例においては、紫外線予備電離器１７を金属で
構成できるので、強い強度を持つ紫外線予備電離器が実
現できる。
構成できるので、強い強度を持つ紫外線予備電離器が実
現できる。
以上述べたように 本発明によるパルスガスレーザ装置
においては、１個の紫外線予備電離器上に複数個のスパ
ークギャップが配置されているので、放電空間に多量の
紫外線を均一に照射でき、従って安定で均一なグロー放
電が得られ、大きなレーザ出力が得られる。
においては、１個の紫外線予備電離器上に複数個のスパ
ークギャップが配置されているので、放電空間に多量の
紫外線を均一に照射でき、従って安定で均一なグロー放
電が得られ、大きなレーザ出力が得られる。
第１図Ａ、Ｂ及び第２図Ａ、Ｂは本発明のパルスガスレ
ーザ装置の一実施例を示す烏轍図（Ａ）と断面図（Ｂ）
、第３図Ａ、Ｂは従来の紫外線予備電離ガスレーザ装置
を示す烏轍図と断面図である。 １１・・・放電電極対、１２・・・放電空間、１３・・
・スパーク電極、１４・・・スパークギャップ、１５・
・・絶縁体、１６・・インダクタ、１７・・・紫外線予
備電離器。
ーザ装置の一実施例を示す烏轍図（Ａ）と断面図（Ｂ）
、第３図Ａ、Ｂは従来の紫外線予備電離ガスレーザ装置
を示す烏轍図と断面図である。 １１・・・放電電極対、１２・・・放電空間、１３・・
・スパーク電極、１４・・・スパークギャップ、１５・
・・絶縁体、１６・・インダクタ、１７・・・紫外線予
備電離器。
Claims (1)
- レーザガスを封入したレーザ容器内にレーザを励起する
ための一対の放電電極対を有し、レーザガスを予備電離
するための紫外線を発生させるスパークギャップからな
る紫外線予備電離器を、前記放電電極対側面に多数個配
置したパルスガスレーザにおいて、前記紫外線予備電離
器が複数個のスパークギャップを有することを特徴とす
るパルスガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33080289A JPH03190177A (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | パルスガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33080289A JPH03190177A (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | パルスガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03190177A true JPH03190177A (ja) | 1991-08-20 |
Family
ID=18236717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33080289A Pending JPH03190177A (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | パルスガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03190177A (ja) |
-
1989
- 1989-12-19 JP JP33080289A patent/JPH03190177A/ja active Pending
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