JPH03255682A - パルスレーザ装置 - Google Patents
パルスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH03255682A JPH03255682A JP5265790A JP5265790A JPH03255682A JP H03255682 A JPH03255682 A JP H03255682A JP 5265790 A JP5265790 A JP 5265790A JP 5265790 A JP5265790 A JP 5265790A JP H03255682 A JPH03255682 A JP H03255682A
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- Japan
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- electrode
- dielectric
- holes
- laser
- discharge
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- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 10
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 abstract 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000001404 mediated effect Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明ハ、パルスレーザ装置に係り、特に、その放電部
を構成する電極及び誘電体に改良を施したパルスレーザ
装置に関するものである。
を構成する電極及び誘電体に改良を施したパルスレーザ
装置に関するものである。
（従来の技術）
従来、ガスを媒介としたレーザにおいて、良好なレーザ
発振を得るためには、レーザガス中で空間的に均一な放
電を必要とするが、ＴＥＭＡ−Ｃ０２レーザやエキシマ
レーザなどの様に短パルスレーザ光を発生させるパルス
レーザ装置においては、その動作圧力が散気圧もの高気
圧であるため、−に記の放電が集束し、アーク放電にな
りやすい。
発振を得るためには、レーザガス中で空間的に均一な放
電を必要とするが、ＴＥＭＡ−Ｃ０２レーザやエキシマ
レーザなどの様に短パルスレーザ光を発生させるパルス
レーザ装置においては、その動作圧力が散気圧もの高気
圧であるため、−に記の放電が集束し、アーク放電にな
りやすい。
これを防止するため、主放電に先立って予備電離を行う
のが一般的である。
のが一般的である。
第２図は、従来のパルスレーザ装置の放電部構成の一例
を示す図である。即ち、第１の主電極１と複数の孔３を
有する第２の主電極２が対向して配設されて主放電部が
構成されている。また、前記第２の主電極２の背面には
、周囲に誘電体７を配設した予備電離電極６が設けられ
ている。さらに、これら主電極１，２及び予備電離電極
６は、パルス電源５に接続されている。また、前記主電
極１，２間にはレーザガス循環用送風機（図示せず）か
らレーザガスが循環されている。
を示す図である。即ち、第１の主電極１と複数の孔３を
有する第２の主電極２が対向して配設されて主放電部が
構成されている。また、前記第２の主電極２の背面には
、周囲に誘電体７を配設した予備電離電極６が設けられ
ている。さらに、これら主電極１，２及び予備電離電極
６は、パルス電源５に接続されている。また、前記主電
極１，２間にはレーザガス循環用送風機（図示せず）か
らレーザガスが循環されている。
この様に構成された従来のパルスレーザ装置は、以下に
述べる様に動作する。即ち、主放電空間の放電に先立ち
、パルス電源５から急激なパルス電圧が予備電離電極６
と第２の主電極２に印加される。すると、この急激な電
圧によって第２の主電極２と誘電体７との間で補助放電
４が発生し、主放電空間に紫外光が照射される。この紫
外光により主放電空間が予備電離され、その後、主放電
空間にパルス電圧が印加された時、主放電空間にグロー
状の放電がつき、レーザガスが励起され、所望のレーザ
出力を得ることができる。
述べる様に動作する。即ち、主放電空間の放電に先立ち
、パルス電源５から急激なパルス電圧が予備電離電極６
と第２の主電極２に印加される。すると、この急激な電
圧によって第２の主電極２と誘電体７との間で補助放電
４が発生し、主放電空間に紫外光が照射される。この紫
外光により主放電空間が予備電離され、その後、主放電
空間にパルス電圧が印加された時、主放電空間にグロー
状の放電がつき、レーザガスが励起され、所望のレーザ
出力を得ることができる。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記の様な構成を有する従来のパルスレ
ーザ装置には、以下に述べる様な解決すべき課題があっ
た。即ち、放電励起式レーザにおいては、放電によって
レーザガスが分解するため、レーザガスを送風機で循環
させて主放電空間のレーザガスを常時入れ換えているが
、第２図に示した様な従来のパルスレーザ装置において
は、第２の主電極２の孔３内に存在するレーザガスは停
留し、その入れ換えが十分に行えないといった欠点があ
った。そのため、第２の主電極２の孔３内のレーザガス
は劣化し、その結果、レーザ出力が低下し、また、アー
クが発生することにより安定したグロー放電を得ること
ができないといった欠点があった。
ーザ装置には、以下に述べる様な解決すべき課題があっ
た。即ち、放電励起式レーザにおいては、放電によって
レーザガスが分解するため、レーザガスを送風機で循環
させて主放電空間のレーザガスを常時入れ換えているが
、第２図に示した様な従来のパルスレーザ装置において
は、第２の主電極２の孔３内に存在するレーザガスは停
留し、その入れ換えが十分に行えないといった欠点があ
った。そのため、第２の主電極２の孔３内のレーザガス
は劣化し、その結果、レーザ出力が低下し、また、アー
クが発生することにより安定したグロー放電を得ること
ができないといった欠点があった。
本発明は、以上の欠点を解消するために提案されたもの
で、その目的は、複数の孔を有する主電極を用いた場合
でも、レーザガスの停留を防止し、常に安定したレーザ
出力を得ることのできる高効率のパルスレーザ装置を提
供することにある。
で、その目的は、複数の孔を有する主電極を用いた場合
でも、レーザガスの停留を防止し、常に安定したレーザ
出力を得ることのできる高効率のパルスレーザ装置を提
供することにある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、レーザ媒質中に対向して配設する２つの主電
極の一方を複数の孔を有する電極から構成し、また、そ
の背面に誘電体を設け、この複数の孔を有する主電極と
誘電体との間に発生するコロナ放電による紫外光を用い
て、前記両主電極間を予備電離するパルスレーザ装置に
おいて、前記複数の孔を有する主電極の孔の内部を誘電
体で埋めたことを特徴とするものである。
極の一方を複数の孔を有する電極から構成し、また、そ
の背面に誘電体を設け、この複数の孔を有する主電極と
誘電体との間に発生するコロナ放電による紫外光を用い
て、前記両主電極間を予備電離するパルスレーザ装置に
おいて、前記複数の孔を有する主電極の孔の内部を誘電
体で埋めたことを特徴とするものである。
（作用）
本発明のパルスレーザ装置においては、一方の主電極に
形成されていた複数の孔が誘電体で埋められるため、孔
の内部にレーザガスが停留することがなくなり、主放電
空間のレーザガスの入れ換えが効果的に行える。また、
レーザガスの劣化を未然に防止できるので、常に安定し
たグロー放電を点弧することができる。
形成されていた複数の孔が誘電体で埋められるため、孔
の内部にレーザガスが停留することがなくなり、主放電
空間のレーザガスの入れ換えが効果的に行える。また、
レーザガスの劣化を未然に防止できるので、常に安定し
たグロー放電を点弧することができる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて具体的に説
明する。なお、第２図に示した従来型と同一の部材には
同一の符号を付して、説明は省略する。
明する。なお、第２図に示した従来型と同一の部材には
同一の符号を付して、説明は省略する。
本実施例においては、第１図に示した様に、第２の主電
極２に形成された複数の孔３が誘電体１０ａで埋められ
ている。この場合、第２の主電極２と誘電体１０ａの表
面は同一もしくは路間−に構成され、第２の主電極の孔
３の内部にレーザガスが停留しないように構成されてい
る。また、この誘電体１０ａは、予備電離電極６の周囲
に配設される誘電体１０と一体に構成されている。その
他の構成は第２図に示した従来例と同様である。
極２に形成された複数の孔３が誘電体１０ａで埋められ
ている。この場合、第２の主電極２と誘電体１０ａの表
面は同一もしくは路間−に構成され、第２の主電極の孔
３の内部にレーザガスが停留しないように構成されてい
る。また、この誘電体１０ａは、予備電離電極６の周囲
に配設される誘電体１０と一体に構成されている。その
他の構成は第２図に示した従来例と同様である。
この様な構成を有する本実施例のパルスレーザ装置にお
いては、以下に述べる様にしてレーザ出力を得ることが
できる。即ち、主放電空間の放電に先立ち、パルス電源
５から急激なパルス電圧が予備電離電極６と第２の主電
極２に印加される。
いては、以下に述べる様にしてレーザ出力を得ることが
できる。即ち、主放電空間の放電に先立ち、パルス電源
５から急激なパルス電圧が予備電離電極６と第２の主電
極２に印加される。
すると、この急激な電圧によって、第２の主電極２と第
２の主電極２の複数の孔３を埋めた誘電体１０ａとの間
で補助放電１１が発生し、主放電空間に紫外光が照射さ
れる。この紫外光により主放電空間が予備電離され、そ
の後、主放電空間にパルス電圧が印加された時、主放電
空間にグロー状の放電がつき、レーザガスが励起され、
所望のレーザ出力を得ることができる。ここで、前記補
助放電１１は、第１図に示した様に、第２の主電極２と
誘電体１０ａの間の同一表面上もしくは路間−表面上に
発生する。
２の主電極２の複数の孔３を埋めた誘電体１０ａとの間
で補助放電１１が発生し、主放電空間に紫外光が照射さ
れる。この紫外光により主放電空間が予備電離され、そ
の後、主放電空間にパルス電圧が印加された時、主放電
空間にグロー状の放電がつき、レーザガスが励起され、
所望のレーザ出力を得ることができる。ここで、前記補
助放電１１は、第１図に示した様に、第２の主電極２と
誘電体１０ａの間の同一表面上もしくは路間−表面上に
発生する。
この様に、本実施例によれば、第２の主電極２に形成さ
れていた複数の孔３が誘電体１０ａによって埋められる
ので、孔３の内部にレーザガスが停留することを防止で
き、その部分のレーザガスが劣化することもなくなる。
れていた複数の孔３が誘電体１０ａによって埋められる
ので、孔３の内部にレーザガスが停留することを防止で
き、その部分のレーザガスが劣化することもなくなる。
その結果、主放電空間のレーザガスが常に均一に入れ換
えられるので、安定したグロー放電を点弧することがで
き、また、安定したレーザ出力を得ることができる。さ
らに、補助放電が第２の主電極２の表面において発生す
るので、主放電空間における予備電離効果も増強される
。
えられるので、安定したグロー放電を点弧することがで
き、また、安定したレーザ出力を得ることができる。さ
らに、補助放電が第２の主電極２の表面において発生す
るので、主放電空間における予備電離効果も増強される
。
［発明の効果コ
以上述べた様に、本発明によれば、一対の主電極の内、
複数の孔を有する主電極の孔の内部を誘電体で埋めるこ
とによって、レーザガスの停留を防止し、常に安定した
レーザ出力を得ることのできる高効率のパルスレーザ装
置を提供することができる。
複数の孔を有する主電極の孔の内部を誘電体で埋めるこ
とによって、レーザガスの停留を防止し、常に安定した
レーザ出力を得ることのできる高効率のパルスレーザ装
置を提供することができる。
第１図は本発明のパルスレーザ装置の一実施例を示す断
面図、第２図は従来のパルスレーザ装置の一例を示す断
面図である。 １・・・第１の主電極、２・・・第２の主電極、３・・
・複数の孔、４・・・補助放電、５・・・パルス電源、
６・・・予備電離電極、７・・・誘電体、１０・・・誘
電体、１１・・・補助放電。 １篤１０主電柚 （ 第 図 第２図
面図、第２図は従来のパルスレーザ装置の一例を示す断
面図である。 １・・・第１の主電極、２・・・第２の主電極、３・・
・複数の孔、４・・・補助放電、５・・・パルス電源、
６・・・予備電離電極、７・・・誘電体、１０・・・誘
電体、１１・・・補助放電。 １篤１０主電柚 （ 第 図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ媒質中に対向して配設する２つの主電極の一方を
複数の孔を有する電極から構成し、また、その背面に誘
電体を設け、この複数の孔を有する主電極と誘電体との
間に発生するコロナ放電による紫外光を用いて、前記両
主電極間を予備電離するパルスレーザ装置において、 前記複数の孔を有する主電極の孔の内部を誘電体で埋め
たことを特徴とするパルスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5265790A JPH03255682A (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | パルスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5265790A JPH03255682A (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | パルスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03255682A true JPH03255682A (ja) | 1991-11-14 |
Family
ID=12920935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5265790A Pending JPH03255682A (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | パルスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03255682A (ja) |
-
1990
- 1990-03-06 JP JP5265790A patent/JPH03255682A/ja active Pending
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