JPH02252278A - パルスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスレーザ発振装置Info
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- JPH02252278A JPH02252278A JP7199589A JP7199589A JPH02252278A JP H02252278 A JPH02252278 A JP H02252278A JP 7199589 A JP7199589 A JP 7199589A JP 7199589 A JP7199589 A JP 7199589A JP H02252278 A JPH02252278 A JP H02252278A
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- JP
- Japan
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- electrodes
- discharge
- electrode
- ionization
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- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 15
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
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- 230000001404 mediated effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、放電部に配設される予備電離電極に改良を施
したパルスレーザ発振装置に関するものである。
したパルスレーザ発振装置に関するものである。
（従来の技術）
ガスを媒介としたレーザにおいて、良好なレーザ発振を
得るためには、レーザガス中で空間的に均一な放電の生
成を必要とするが、ＴＥＭＡ−Ｃ０２レーザやエキシマ
レーザなどの短パルスレーザ光を発生させるパルスレー
ザ発振装置においては、その動作ガス圧力が散気圧もの
高圧力であるため、上記の放電が集束し、アーク放電に
なりゃすい。これを防止するために、主放電に先立って
予備電離を行うのが普通である。
得るためには、レーザガス中で空間的に均一な放電の生
成を必要とするが、ＴＥＭＡ−Ｃ０２レーザやエキシマ
レーザなどの短パルスレーザ光を発生させるパルスレー
ザ発振装置においては、その動作ガス圧力が散気圧もの
高圧力であるため、上記の放電が集束し、アーク放電に
なりゃすい。これを防止するために、主放電に先立って
予備電離を行うのが普通である。
第４図は、従来のパルスレーザ発振装置の一例を示す側
面図である。即ち、レーザ光軸４方向を長手方向とする
第１の主電極１と、第２の主電極２が、レーザガス中に
対向して配設されている。
面図である。即ち、レーザ光軸４方向を長手方向とする
第１の主電極１と、第２の主電極２が、レーザガス中に
対向して配設されている。
また、これらの主電極１，２の両側部には、スパーク放
電による紫外光を主放電部の側面から照射して、主放電
部を予備電離するための予備電離電極３が複数個配設さ
れ、また、この予備電離電極３には、予（ｉｉ電離電極
３に急激なパルス電圧を供給するためのピーキングコン
デンサ５が接続されている。なお、予備電離電極３は針
状に形成されている。
電による紫外光を主放電部の側面から照射して、主放電
部を予備電離するための予備電離電極３が複数個配設さ
れ、また、この予備電離電極３には、予（ｉｉ電離電極
３に急激なパルス電圧を供給するためのピーキングコン
デンサ５が接続されている。なお、予備電離電極３は針
状に形成されている。
この様に構成された従来のパルスレーザ発振装置の動作
を以下に説明する。即ち、主放電空間の放電に先立ち、
ピーキングコンデンサ５から急激なパルス電圧が予備電
離電極３に印加され、この急激な電圧により、上下の予
備電離電極３の間に設けられたギャップにスパーク放電
が発生し、側面から主放電空間に紫外線が照射される。
を以下に説明する。即ち、主放電空間の放電に先立ち、
ピーキングコンデンサ５から急激なパルス電圧が予備電
離電極３に印加され、この急激な電圧により、上下の予
備電離電極３の間に設けられたギャップにスパーク放電
が発生し、側面から主放電空間に紫外線が照射される。
この紫外光により主放電空間が予備電離され、その後、
主放電空間にパルス電圧が印加された時、主放電空間に
グロー状の放電がつき、レーザガスが励起され、所望の
レーザ光出力を得ることができる。
主放電空間にパルス電圧が印加された時、主放電空間に
グロー状の放電がつき、レーザガスが励起され、所望の
レーザ光出力を得ることができる。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記の様な構成を有す多パルスレーザ発
振装置においては、以下に述べる様な解決すべき課題が
あった。
振装置においては、以下に述べる様な解決すべき課題が
あった。
即ち、予備電離放電の回数が増加すると、針状の予備電
離電極の先端部が変形し、対向する予備電離電極間の距
離が変化する。その結果、対向して配設された複数個の
予備電離電極において、それぞれの放電する時刻にずれ
が生じるため、予備電離放電の強度が低下し、発生する
紫外光にむらが生じ、主放電電極に均一なグロー放電を
発生させることができないといった欠点があった。
離電極の先端部が変形し、対向する予備電離電極間の距
離が変化する。その結果、対向して配設された複数個の
予備電離電極において、それぞれの放電する時刻にずれ
が生じるため、予備電離放電の強度が低下し、発生する
紫外光にむらが生じ、主放電電極に均一なグロー放電を
発生させることができないといった欠点があった。
また、予備電離電極が針状に形成されているため、各電
極部分における電流密度が高くなり、予備電離電極が損
傷を受けやすいといった欠点もあった。
極部分における電流密度が高くなり、予備電離電極が損
傷を受けやすいといった欠点もあった。
本発明は、以上の欠点を解消するために提案されたもの
で、その目的は、予備電離電極間距離の変化を抑え、長
期間にわたって安定した大出力レーザ光を得ることので
きるパルスレーザ発振装置を提供することにある。
で、その目的は、予備電離電極間距離の変化を抑え、長
期間にわたって安定した大出力レーザ光を得ることので
きるパルスレーザ発振装置を提供することにある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、レーザ媒質中に２つの主電極を対向して配設
し、その側方に予備電離電極及び主放電に電力を供給す
るためのピーキングコンデンサを備え、前記予備電離電
極の放電により発生する紫外線を用いて、前記主電極間
の主放電空間を予備電離するパルスレーザ発振装置にお
いて、予備電離電極の形状を、断面略丁字形となる様に
構成したことを特徴とするものである。
し、その側方に予備電離電極及び主放電に電力を供給す
るためのピーキングコンデンサを備え、前記予備電離電
極の放電により発生する紫外線を用いて、前記主電極間
の主放電空間を予備電離するパルスレーザ発振装置にお
いて、予備電離電極の形状を、断面略丁字形となる様に
構成したことを特徴とするものである。
（作用）
本発明のパルスレーザ発振装置によれば、予備電離放電
が発生する領域と接する予備電離電極表面の面積が大き
く構成されているので、予備電離電極の先端部における
電流密度を低減することができる。また、予備電離電極
の先端部において、一部が損傷を受けても、他の部分で
安定した予備電離放電を行うことができる。
が発生する領域と接する予備電離電極表面の面積が大き
く構成されているので、予備電離電極の先端部における
電流密度を低減することができる。また、予備電離電極
の先端部において、一部が損傷を受けても、他の部分で
安定した予備電離放電を行うことができる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を第１図乃至第３図に基づいて
具体的に説明する。なお、第４図に示した従来型と同一
の部材には同一の符号を付して、説明は省略する。
具体的に説明する。なお、第４図に示した従来型と同一
の部材には同一の符号を付して、説明は省略する。
本実施例においては、第１図及び第２図に示した様に、
予備電離電極１０の先端部が略丁字形に形成され、予備
電離放電が発生する領域１１と接する予備電離電極表面
の面積が大きく構成されている。
予備電離電極１０の先端部が略丁字形に形成され、予備
電離放電が発生する領域１１と接する予備電離電極表面
の面積が大きく構成されている。
この様な構成を有する本実施例のパルスレーザ発振装置
においては、予備電離放電が発生する領域１１と接する
予備電離電極表面の面積を大きく構成したことにより、
予備電離電極の先端部における電流密度を低減すること
ができるので、予備電離電極１０が損傷を受けることを
防止することができる。また、予備電離電極１０の先端
部が損傷を受けないので、長期間にわたって安定したレ
ーザ出力を得ることができる。
においては、予備電離放電が発生する領域１１と接する
予備電離電極表面の面積を大きく構成したことにより、
予備電離電極の先端部における電流密度を低減すること
ができるので、予備電離電極１０が損傷を受けることを
防止することができる。また、予備電離電極１０の先端
部が損傷を受けないので、長期間にわたって安定したレ
ーザ出力を得ることができる。
さらに、第３図（Ａ）、（Ｂ）に示した様に、予備電離
電極１０の先端部の電極間距離が配設位置によって異な
る場合には、予備電離電極表面の一部分に放電電流１２
が集中し、電極表面に損傷を与えて欠如部１３が形成さ
れた場合においても、予備電離電極の先端部が大きく構
成されているので、欠如した部分の近傍において予備電
離放電が行われ、全体として均一な予備電離放電が得ら
れる。
電極１０の先端部の電極間距離が配設位置によって異な
る場合には、予備電離電極表面の一部分に放電電流１２
が集中し、電極表面に損傷を与えて欠如部１３が形成さ
れた場合においても、予備電離電極の先端部が大きく構
成されているので、欠如した部分の近傍において予備電
離放電が行われ、全体として均一な予備電離放電が得ら
れる。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものではな
く、予備電離電極の先端部の形状は略丁字形に限定され
るものではなく、皿形等、先端部の面積を大きくするこ
とができるものであれば良い。この場合も上述した実施
例と同様の効果が得られる。
く、予備電離電極の先端部の形状は略丁字形に限定され
るものではなく、皿形等、先端部の面積を大きくするこ
とができるものであれば良い。この場合も上述した実施
例と同様の効果が得られる。
［発明の効果コ
以上述べた様に、本発明によれば、予備電離電極の形状
を、断面略丁字形となる様に構成するという簡単な手段
によって、予備電離電極間距離の変化を抑え、長期間に
わたって安定した大出力レーザ光を得ることのできるパ
ルスレーザ発振装置を提供することができる。
を、断面略丁字形となる様に構成するという簡単な手段
によって、予備電離電極間距離の変化を抑え、長期間に
わたって安定した大出力レーザ光を得ることのできるパ
ルスレーザ発振装置を提供することができる。
第１図は本発明のパルスレーザ発振装置の一実施例を示
す概略図、第２図は予備電離電極部分の拡大図、第３図
は本発明の予備電離電極を用いた場合の予備電離放電を
示すもので、（Ａ）は先端部に損傷を受ける前の状態を
示し、（Ｂ）は損傷を受けた後の状態を示す概略図、第
４図は従来のパルスレーザ発振装置の放電部の構成を示
す概略図である。 １・・・第１の主電極、２・・・第２の主電極、３・・
・予備電離電極、４・・・光軸、５・・・ピーキングコ
ンデンサ、１０・・・予備電離電極、１１・・・放電領
域、１２・・・放電電流、１３・・・欠如部。
す概略図、第２図は予備電離電極部分の拡大図、第３図
は本発明の予備電離電極を用いた場合の予備電離放電を
示すもので、（Ａ）は先端部に損傷を受ける前の状態を
示し、（Ｂ）は損傷を受けた後の状態を示す概略図、第
４図は従来のパルスレーザ発振装置の放電部の構成を示
す概略図である。 １・・・第１の主電極、２・・・第２の主電極、３・・
・予備電離電極、４・・・光軸、５・・・ピーキングコ
ンデンサ、１０・・・予備電離電極、１１・・・放電領
域、１２・・・放電電流、１３・・・欠如部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ媒質中に２つの主電極を対向して配設し、その
側方に予備電離電極及び主放電に電力を供給するための
ピーキングコンデンサを備え、前記予備電離電極の放電
により発生する紫外線を用いて、前記主電極間の主放電
空間を予備電離するパルスレーザ発振装置において、 前記予備電離電極の形状を、断面略Ｔ字形となる様に構
成したことを特徴とするパルスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7199589A JPH02252278A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | パルスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7199589A JPH02252278A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | パルスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02252278A true JPH02252278A (ja) | 1990-10-11 |
Family
ID=13476570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7199589A Pending JPH02252278A (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | パルスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02252278A (ja) |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP7199589A patent/JPH02252278A/ja active Pending
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