JPH0730177A - パルスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスレーザ発振装置Info
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- JPH0730177A JPH0730177A JP16759293A JP16759293A JPH0730177A JP H0730177 A JPH0730177 A JP H0730177A JP 16759293 A JP16759293 A JP 16759293A JP 16759293 A JP16759293 A JP 16759293A JP H0730177 A JPH0730177 A JP H0730177A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 レ―ザガス流中に、このレ―ザガス流と放電
方向が直交するように放電空間１を挟んで対向する陽極
側主放電電極２ａ及び陰極側主放電電極２ｂからなる一
対の主放電電極２が配置されている。主放電電極２に沿
って、レ―ザガス流の上流側及び下流側に千鳥状に交互
に複数のピ―キングコンデンサ３が配設され、ピ―キン
グコンデンサ３には予備電離紫外線発生用ピン５が配設
され、主放電電極２、ピ―キングコンデンサ３及び予備
電離紫外線発生用ピン５とで構成される放電部６にパル
ス電源７が接続されている。陽極側主放電電極２ａ側の
予備電離紫外線発生用ピン５は陰極側主放電電極２ｂの
方に屈曲され、予備電離空間４を形成し、陰極側主放電
電極２ｂ側の予備電離紫外線発生用ピン５は陽極側主放
電電極２ａの方へ屈曲され予備電離空間４を形成する。 【効果】 予備電離空間の間隔を小さくでき、放電が安
定する。
方向が直交するように放電空間１を挟んで対向する陽極
側主放電電極２ａ及び陰極側主放電電極２ｂからなる一
対の主放電電極２が配置されている。主放電電極２に沿
って、レ―ザガス流の上流側及び下流側に千鳥状に交互
に複数のピ―キングコンデンサ３が配設され、ピ―キン
グコンデンサ３には予備電離紫外線発生用ピン５が配設
され、主放電電極２、ピ―キングコンデンサ３及び予備
電離紫外線発生用ピン５とで構成される放電部６にパル
ス電源７が接続されている。陽極側主放電電極２ａ側の
予備電離紫外線発生用ピン５は陰極側主放電電極２ｂの
方に屈曲され、予備電離空間４を形成し、陰極側主放電
電極２ｂ側の予備電離紫外線発生用ピン５は陽極側主放
電電極２ａの方へ屈曲され予備電離空間４を形成する。 【効果】 予備電離空間の間隔を小さくでき、放電が安
定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレ―ザガス中で放電を行
いレ―ザ出力を得るパルスレ―ザ発振装置に関する。
いレ―ザ出力を得るパルスレ―ザ発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガスを媒介としたパルス発振方式のレ―
ザにおいては、主放電空間を挟んで対向する一対の主放
電電極をレ―ザガス流中に配置し、この主放電電極間に
パルス状の波形の電圧を印加し、主放電空間のレ―ザガ
スを励起するパルスレ―ザ発振装置が一般的である。主
放電空間への電圧印加以前に、主放電空間に紫外線等を
照射して主放電空間を予備電離状態にしておく。
ザにおいては、主放電空間を挟んで対向する一対の主放
電電極をレ―ザガス流中に配置し、この主放電電極間に
パルス状の波形の電圧を印加し、主放電空間のレ―ザガ
スを励起するパルスレ―ザ発振装置が一般的である。主
放電空間への電圧印加以前に、主放電空間に紫外線等を
照射して主放電空間を予備電離状態にしておく。
【０００３】従来のパルスレ―ザ発振装置を図７ないし
図９を参照して説明する。図７ないし図９に示すよう
に、レ―ザガス流中に、このレ―ザガス流と放電方向が
直交するように放電空間１を挟んで対向する陽極側主放
電電極２ａ及び陰極側主放電電極２ｂからなる一対の主
放電電極２が配置され、この主放電電極２に隣接して、
レ―ザガス流の上流側及び下流側に複数のピ―キンクグ
コンデンサ３がそれぞれ配設されている。ピ―キングコ
ンデンサ３には予備電離空間４を挟んで対向する予備電
離紫外線発生用ピン４がそれぞれ配設されている。主放
電電極２、ピ―キングコンデンサ３及び予備電離紫外線
発生用ピン５は放電部６を構成し、放電部６にはパルス
電源７が接続されている。
図９を参照して説明する。図７ないし図９に示すよう
に、レ―ザガス流中に、このレ―ザガス流と放電方向が
直交するように放電空間１を挟んで対向する陽極側主放
電電極２ａ及び陰極側主放電電極２ｂからなる一対の主
放電電極２が配置され、この主放電電極２に隣接して、
レ―ザガス流の上流側及び下流側に複数のピ―キンクグ
コンデンサ３がそれぞれ配設されている。ピ―キングコ
ンデンサ３には予備電離空間４を挟んで対向する予備電
離紫外線発生用ピン４がそれぞれ配設されている。主放
電電極２、ピ―キングコンデンサ３及び予備電離紫外線
発生用ピン５は放電部６を構成し、放電部６にはパルス
電源７が接続されている。
【０００４】放電部６にパルス電源７から電圧が印加さ
ると、各々の予備電離空間４でスパ―ク放電が生じ、主
放電電極２の側面から主放電空間１に紫外線が照射され
る。この紫外線により主放電空間１が予備電離され、そ
の後、主放電空間１にピ―キングコンデンサ３からパル
ス電圧が印加され、主放電空間１がグロ―放電状態とな
り、レ―ザガスが励起され、レ―ザ光出力が得られる。
ると、各々の予備電離空間４でスパ―ク放電が生じ、主
放電電極２の側面から主放電空間１に紫外線が照射され
る。この紫外線により主放電空間１が予備電離され、そ
の後、主放電空間１にピ―キングコンデンサ３からパル
ス電圧が印加され、主放電空間１がグロ―放電状態とな
り、レ―ザガスが励起され、レ―ザ光出力が得られる。
【０００５】繰り返し数が高いまたは、放電エネルギ―
密度が高いパルスレ―ザ発振装置の場合は、放電空間１
を均一に予備電離し、安定したグロ―放電を点弧する必
要があり、このためには予備電離空間４の間隔を小さく
する必要がある。
密度が高いパルスレ―ザ発振装置の場合は、放電空間１
を均一に予備電離し、安定したグロ―放電を点弧する必
要があり、このためには予備電離空間４の間隔を小さく
する必要がある。
【０００６】このような従来のパルスレ―ザ発振装置に
おいて、それぞれの対向する複数予備電離紫外線発生用
ピン５が形成する、隣合った予備電離空間４の間隔を小
さくするため、１つのピ―キングコンデンサ３に複数の
予備電離紫外線発生用ピン５を配設すると、最初にスパ
―ク放電が発生した一ケ所の予備電離紫外線発生用ピン
５の間でのみ放電が起こり、他の予備電離空間４ではス
パ―ク放電が発生しなくなる。このように１つのピ―キ
ナグコンデンサ３に複数の予備電離紫外線発生用ピン５
を配設すると、予備電離空間４ごとに電流の分担が異な
るため、予備電離紫外線の強度を均一として放電を安定
させるには１つのピ―キングコンデンサ３に１つの予備
電離紫外線発生用ピン５しか配設することができない。
このため、隣接する予備電離空間４の間隔はピ―キング
コンデンサ３の大きさで決まってしまい、繰り返し数が
高い、あるいは放電エネルギ―密度が高いパルスレ―ザ
発振装置の放電を安定させることが困難であるという問
題があった。
おいて、それぞれの対向する複数予備電離紫外線発生用
ピン５が形成する、隣合った予備電離空間４の間隔を小
さくするため、１つのピ―キングコンデンサ３に複数の
予備電離紫外線発生用ピン５を配設すると、最初にスパ
―ク放電が発生した一ケ所の予備電離紫外線発生用ピン
５の間でのみ放電が起こり、他の予備電離空間４ではス
パ―ク放電が発生しなくなる。このように１つのピ―キ
ナグコンデンサ３に複数の予備電離紫外線発生用ピン５
を配設すると、予備電離空間４ごとに電流の分担が異な
るため、予備電離紫外線の強度を均一として放電を安定
させるには１つのピ―キングコンデンサ３に１つの予備
電離紫外線発生用ピン５しか配設することができない。
このため、隣接する予備電離空間４の間隔はピ―キング
コンデンサ３の大きさで決まってしまい、繰り返し数が
高い、あるいは放電エネルギ―密度が高いパルスレ―ザ
発振装置の放電を安定させることが困難であるという問
題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来のパ
ルスレ―ザ発振装置においては、繰り返し数が高い、あ
るいは放電エネルギ―密度が高い場合、放電を安定させ
るのが困難であるという問題があった。そこで本発明の
目的は、放電を安定させた繰り返し数が高い、あるいは
放電エネルギ―密度が高いパルスレ―ザ発振装置を提供
することにある。
ルスレ―ザ発振装置においては、繰り返し数が高い、あ
るいは放電エネルギ―密度が高い場合、放電を安定させ
るのが困難であるという問題があった。そこで本発明の
目的は、放電を安定させた繰り返し数が高い、あるいは
放電エネルギ―密度が高いパルスレ―ザ発振装置を提供
することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明においては第１の発明として、レ―ザガス流中
に、このレ―ザガス流と放電方向が直交するように放電
空間を挟んで対向する陽極側主放電電極及び陰極側主放
電電極からなる一対の主放電電極が配置され、この主放
電電極に隣接して、前記レ―ザガス流の上流側及び下流
側に複数のピ―キングコンデンサがそれぞれ配設され、
このピ―キングコンデンサに予備電離紫外線発生電極が
それぞれ配設され、前記主放電電極、前記ピ―キングコ
ンデンサ及び前記予備電離紫外線発生電極とで構成され
る放電部にパルス電源が接続されているパルスレ―ザ発
振装置において、前記陽極側主放電電極に隣接して配設
された前記ピ―キングコンデンサと前記陰極側主放電電
極に隣接して配設された前記ピ―キングコンデンサが、
前記主放電電極に沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置さ
れ、前記陽極側主放電電極に隣接して配設された前記ピ
―キングコンデンサの前記予備電離紫外線発生電極が前
記陰極側主放電電極と対向するように屈曲され、前記陰
極側主放電電極に隣接して配設された前記ピ―キングコ
ンデンサの前記予備電離紫外線発生電極が前記陽極側主
放電電極と対向するように屈曲されていることを特徴と
するパルスレ―ザ発振装置を提供する。
に本発明においては第１の発明として、レ―ザガス流中
に、このレ―ザガス流と放電方向が直交するように放電
空間を挟んで対向する陽極側主放電電極及び陰極側主放
電電極からなる一対の主放電電極が配置され、この主放
電電極に隣接して、前記レ―ザガス流の上流側及び下流
側に複数のピ―キングコンデンサがそれぞれ配設され、
このピ―キングコンデンサに予備電離紫外線発生電極が
それぞれ配設され、前記主放電電極、前記ピ―キングコ
ンデンサ及び前記予備電離紫外線発生電極とで構成され
る放電部にパルス電源が接続されているパルスレ―ザ発
振装置において、前記陽極側主放電電極に隣接して配設
された前記ピ―キングコンデンサと前記陰極側主放電電
極に隣接して配設された前記ピ―キングコンデンサが、
前記主放電電極に沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置さ
れ、前記陽極側主放電電極に隣接して配設された前記ピ
―キングコンデンサの前記予備電離紫外線発生電極が前
記陰極側主放電電極と対向するように屈曲され、前記陰
極側主放電電極に隣接して配設された前記ピ―キングコ
ンデンサの前記予備電離紫外線発生電極が前記陽極側主
放電電極と対向するように屈曲されていることを特徴と
するパルスレ―ザ発振装置を提供する。
【０００９】又第２の発明として、レ―ザガス流中に、
このレ―ザガス流と放電方向が直交するように放電空間
を挟んで対向する陽極側主放電電極及び陰極側主放電電
極からなる一対の主放電電極が配置され、この主放電電
極に隣接して、前記レ―ザガス流の上流側及び下流側に
複数のピ―キングコンデンサがそれぞれ配設され、この
ピ―キングコンデンサに予備電離空間を挟んで対向する
予備電離紫外線発生電極がそれぞれ配設され、前記主放
電電極、前記ピ―キングコンデンサ及び前記予備電離紫
外線発生電極とで構成される放電部にパルス電源が接続
されているパルスレ―ザ発振装置において、前記陽極側
主放電電極に隣接して配設された前記ピ―キングコンデ
ンサと前記陰極側主放電電極に隣接して配設された前記
ピ―キングコンデンサが、前記主放電電極に沿ってそれ
ぞれ千鳥状に交互に配置され、それぞれの前記主放電電
極に沿って配設されたピ―キングコンデンサの静電容量
が前記主放電電極にそって１つおきに異なり、このピ―
キングコンデンサのそれぞれに先端が２股に分岐してい
る前記予備電離紫外線発生電極が配設されていることを
特徴とするパルスレ―ザ発振装置を提供する。
このレ―ザガス流と放電方向が直交するように放電空間
を挟んで対向する陽極側主放電電極及び陰極側主放電電
極からなる一対の主放電電極が配置され、この主放電電
極に隣接して、前記レ―ザガス流の上流側及び下流側に
複数のピ―キングコンデンサがそれぞれ配設され、この
ピ―キングコンデンサに予備電離空間を挟んで対向する
予備電離紫外線発生電極がそれぞれ配設され、前記主放
電電極、前記ピ―キングコンデンサ及び前記予備電離紫
外線発生電極とで構成される放電部にパルス電源が接続
されているパルスレ―ザ発振装置において、前記陽極側
主放電電極に隣接して配設された前記ピ―キングコンデ
ンサと前記陰極側主放電電極に隣接して配設された前記
ピ―キングコンデンサが、前記主放電電極に沿ってそれ
ぞれ千鳥状に交互に配置され、それぞれの前記主放電電
極に沿って配設されたピ―キングコンデンサの静電容量
が前記主放電電極にそって１つおきに異なり、このピ―
キングコンデンサのそれぞれに先端が２股に分岐してい
る前記予備電離紫外線発生電極が配設されていることを
特徴とするパルスレ―ザ発振装置を提供する。
【００１０】
【作用】本発明においては、陽極側主放電電極に隣接し
て配設されたピ―キングコンデンサと陰極側主放電電極
に隣接して配設されたピ―キングコンデンサが、主放電
電極に沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置されている。
て配設されたピ―キングコンデンサと陰極側主放電電極
に隣接して配設されたピ―キングコンデンサが、主放電
電極に沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置されている。
【００１１】さらに第１の発明においては、陽極側主放
電電極に隣接して配設されたピ―キングコンデンサの予
備電離紫外線発生電極と陰極側主放電電極とで予備電離
空間が形成される。同様に陰極側主放電電極に隣接して
配設されたピ―キングコンデンサの予備電離紫外線発生
電極と陽極側主放電電極とで予備電離空間が形成され
る。このため、１つのピ―キングコンデンサに複数の予
備電離紫外線発生電極を配設せずに、予備電離空間の間
隔を小さくすることができる。
電電極に隣接して配設されたピ―キングコンデンサの予
備電離紫外線発生電極と陰極側主放電電極とで予備電離
空間が形成される。同様に陰極側主放電電極に隣接して
配設されたピ―キングコンデンサの予備電離紫外線発生
電極と陽極側主放電電極とで予備電離空間が形成され
る。このため、１つのピ―キングコンデンサに複数の予
備電離紫外線発生電極を配設せずに、予備電離空間の間
隔を小さくすることができる。
【００１２】また第２の発明においては、それぞれの主
放電電極に沿って配設されたピ―キングコンデンサの静
電容量が主放電電極にそって１つおきに異なり、このピ
―キングコンデンサのそれぞれに先端が２股に分岐して
いる予備電離紫外線発生電極が配設されている。従っ
て、静電容量が等しいピ―キングコンデンサに配設され
た予備電離紫外線発生電極が対向して予備電離空間を形
成している部分と、静電容量が異なるピ―キングコンデ
ンサに配設された予備電離紫外線発生電極が対向して予
備電離空間を形成している部分とが存在する。
放電電極に沿って配設されたピ―キングコンデンサの静
電容量が主放電電極にそって１つおきに異なり、このピ
―キングコンデンサのそれぞれに先端が２股に分岐して
いる予備電離紫外線発生電極が配設されている。従っ
て、静電容量が等しいピ―キングコンデンサに配設され
た予備電離紫外線発生電極が対向して予備電離空間を形
成している部分と、静電容量が異なるピ―キングコンデ
ンサに配設された予備電離紫外線発生電極が対向して予
備電離空間を形成している部分とが存在する。
【００１３】放電部にパルス状の電圧が印加されると、
最初に静電容量の異なるピ―キングコンデンサに配設さ
れた予備電離紫外線発生電極の間に形成される予備電離
空間でスパ―ク放電が発生する。
最初に静電容量の異なるピ―キングコンデンサに配設さ
れた予備電離紫外線発生電極の間に形成される予備電離
空間でスパ―ク放電が発生する。
【００１４】この時、予備電離空間の電位は、主放電電
極の間に印加された電位差をピ―キングコンデンサの静
電容量の比の逆数倍したものとなる。従って、静電容量
の等しいピ―キングコンデンサの予備電離紫外線発生電
極の間に電位差が生じる。
極の間に印加された電位差をピ―キングコンデンサの静
電容量の比の逆数倍したものとなる。従って、静電容量
の等しいピ―キングコンデンサの予備電離紫外線発生電
極の間に電位差が生じる。
【００１５】このように、静電容量の異なるピ―キング
コンデンサ２の予備電離紫外線発生用電極が形成する予
備電離空間でスパ―ク放電が生じた後、静電容量の等し
いピ―キングコンデンサの予備電離紫外線発生用の予備
電離紫外線発生部７でスパ―ク放電が生じる。この結
果、予備電離紫外線発生部７の間隔が小さくなり、繰り
返し数が高いまたは、放電エネルギ―密度が高い場合で
も放電が安定する。
コンデンサ２の予備電離紫外線発生用電極が形成する予
備電離空間でスパ―ク放電が生じた後、静電容量の等し
いピ―キングコンデンサの予備電離紫外線発生用の予備
電離紫外線発生部７でスパ―ク放電が生じる。この結
果、予備電離紫外線発生部７の間隔が小さくなり、繰り
返し数が高いまたは、放電エネルギ―密度が高い場合で
も放電が安定する。
【００１６】
【実施例】次に本発明の第１の実施例を図１ないし図３
を参照して説明する。なお、従来と同じ部分には同一の
番号を付与して説明を省略する。図１ないし図３に示す
ように、レ―ザガス流中に、このレ―ザガス流と放電方
向が直交するように放電空間１を挟んで対向する陽極側
主放電電極２ａ及び陰極側主放電電極２ｂからなる一対
の主放電電極２が配設され、この主放電電極２に隣接し
て、レ―ザガス流の上流側及び下流側に複数のピ―キン
グコンデンサ３がそれぞれ配設されている。陽極側主放
電電極２ａに隣接して配設されたピ―キングコンデンサ
３と陰極側主放電電極２ｂに隣接して配設されたピ―キ
ングコンデンサ３は、図３に示すように主放電電極２に
沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置されている。陽極側
主放電電極２ａに隣接して配設されたピ―キングコンデ
ンサ３の予備電離紫外線発生用ピン５は、陰極側主放電
電極２ｂと対向するように屈曲され、また陰極側主放電
電極２ｂに隣接して配設されたピ―キングコンデンサ３
の予備電離紫外線発生用ピン５は陽極側主放電電極２ａ
と対向するように屈曲されている。対向する予備電離紫
外線発生用ピン５と陰極側主放電電極２ｂは予備電離空
間４を形成し、対向する予備電離紫外線発生用ピン５と
陽極側主放電電極２ａは予備電離空間４を形成する。主
放電電極２、ピ―キングコンデンサ３及び予備電離紫外
線発生用ピン５は放電部６を構成し、放電部６にはパル
ス電源７が接続されている。
を参照して説明する。なお、従来と同じ部分には同一の
番号を付与して説明を省略する。図１ないし図３に示す
ように、レ―ザガス流中に、このレ―ザガス流と放電方
向が直交するように放電空間１を挟んで対向する陽極側
主放電電極２ａ及び陰極側主放電電極２ｂからなる一対
の主放電電極２が配設され、この主放電電極２に隣接し
て、レ―ザガス流の上流側及び下流側に複数のピ―キン
グコンデンサ３がそれぞれ配設されている。陽極側主放
電電極２ａに隣接して配設されたピ―キングコンデンサ
３と陰極側主放電電極２ｂに隣接して配設されたピ―キ
ングコンデンサ３は、図３に示すように主放電電極２に
沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置されている。陽極側
主放電電極２ａに隣接して配設されたピ―キングコンデ
ンサ３の予備電離紫外線発生用ピン５は、陰極側主放電
電極２ｂと対向するように屈曲され、また陰極側主放電
電極２ｂに隣接して配設されたピ―キングコンデンサ３
の予備電離紫外線発生用ピン５は陽極側主放電電極２ａ
と対向するように屈曲されている。対向する予備電離紫
外線発生用ピン５と陰極側主放電電極２ｂは予備電離空
間４を形成し、対向する予備電離紫外線発生用ピン５と
陽極側主放電電極２ａは予備電離空間４を形成する。主
放電電極２、ピ―キングコンデンサ３及び予備電離紫外
線発生用ピン５は放電部６を構成し、放電部６にはパル
ス電源７が接続されている。
【００１７】本実施例の作用及び効果について述べる。
本実施例においては、陽極側主放電電極２ａに隣接して
配設されたピ―キングコンデンサ３と陰極側主放電電極
に隣接して配設されたピ―キングコンデンサ３が、主放
電電極２に沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置されてい
る。さらに、陽極側主放電電極２ａに隣接して配設され
たピ―キングコンデンサ３の予備電離紫外線発生用ピン
５と陰極側主放電電極２ｂとで予備電離空間４が形成さ
れる。同様に陰極側主放電電極２ｂに隣接して配設され
たピ―キングコンデンサ３の予備電離紫外線発生用ピン
５と陽極側主放電電極２ａとで予備電離空間４が形成さ
れる。このため、１つのピ―キングコンデンサ３には１
つの予備電離紫外線発生用ピン５しか配設せずに、隣接
する予備電離空間４の間隔を小さくすることができる。
本実施例においては、陽極側主放電電極２ａに隣接して
配設されたピ―キングコンデンサ３と陰極側主放電電極
に隣接して配設されたピ―キングコンデンサ３が、主放
電電極２に沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置されてい
る。さらに、陽極側主放電電極２ａに隣接して配設され
たピ―キングコンデンサ３の予備電離紫外線発生用ピン
５と陰極側主放電電極２ｂとで予備電離空間４が形成さ
れる。同様に陰極側主放電電極２ｂに隣接して配設され
たピ―キングコンデンサ３の予備電離紫外線発生用ピン
５と陽極側主放電電極２ａとで予備電離空間４が形成さ
れる。このため、１つのピ―キングコンデンサ３には１
つの予備電離紫外線発生用ピン５しか配設せずに、隣接
する予備電離空間４の間隔を小さくすることができる。
【００１８】従って、ピ―キングコンデンサ３の大きさ
に左右されず、予備電離空間４の間隔を小さくすること
ができ、放電を安定させた繰り返し数が高い、あるいは
放電エネルギ―密度が高いパルスレ―ザ発振装置を提供
することが可能となる。
に左右されず、予備電離空間４の間隔を小さくすること
ができ、放電を安定させた繰り返し数が高い、あるいは
放電エネルギ―密度が高いパルスレ―ザ発振装置を提供
することが可能となる。
【００１９】次に本発明の第２の実施例を図４ないし図
６を参照して説明する。なお、従来と同じ部分には同一
の番号を付与して説明を省略する。図４ないし図６に示
すように、レ―ザガス流中に、このレ―ザガス流と放電
方向が直交するように放電空間１を挟んで対向する陽極
側主放電電極２ａ及び陰極側主放電電極２ｂからなる一
対の主放電電極２が配置されている。主放電電極２のそ
れぞれに隣接して、レ―ザガス流の上流側及び下流側
に、１つおきに静電容量の異なる複数のピ―キングコン
デンサ３ａ，３ｂがそれぞれ配設されている。陽極側主
放電電極２ａに隣接して配設されたピ―キングコンデン
サ３ａ，３ｂと陰極側主放電電極２ｂに隣接して配設さ
れたピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂは、主放電電極２
に沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置されている。ピ―
キングコンデンサ３ａ，３ｂのそれぞれには先端が２股
に分岐している予備電離紫外線発生用ピン５が配設さ
れ、対向する予備電離紫外線発生用ピン５は予備電離空
間４を形成する。
６を参照して説明する。なお、従来と同じ部分には同一
の番号を付与して説明を省略する。図４ないし図６に示
すように、レ―ザガス流中に、このレ―ザガス流と放電
方向が直交するように放電空間１を挟んで対向する陽極
側主放電電極２ａ及び陰極側主放電電極２ｂからなる一
対の主放電電極２が配置されている。主放電電極２のそ
れぞれに隣接して、レ―ザガス流の上流側及び下流側
に、１つおきに静電容量の異なる複数のピ―キングコン
デンサ３ａ，３ｂがそれぞれ配設されている。陽極側主
放電電極２ａに隣接して配設されたピ―キングコンデン
サ３ａ，３ｂと陰極側主放電電極２ｂに隣接して配設さ
れたピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂは、主放電電極２
に沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置されている。ピ―
キングコンデンサ３ａ，３ｂのそれぞれには先端が２股
に分岐している予備電離紫外線発生用ピン５が配設さ
れ、対向する予備電離紫外線発生用ピン５は予備電離空
間４を形成する。
【００２０】図３が示すように、予備電離空間４には、
静電容量が異なるピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂに配
設された予備電離紫外線発生用ピン５が対向して形成す
る予備電離空間４ａと、静電容量が等しいピ―キングコ
ンデンサ３ａ，３ｂあるいはピ―キングコンデンサ３
ｂ，３ｂに配設された予備電離紫外線発生用ピン５が形
成する予備電離空間４ｂとが存在する。
静電容量が異なるピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂに配
設された予備電離紫外線発生用ピン５が対向して形成す
る予備電離空間４ａと、静電容量が等しいピ―キングコ
ンデンサ３ａ，３ｂあるいはピ―キングコンデンサ３
ｂ，３ｂに配設された予備電離紫外線発生用ピン５が形
成する予備電離空間４ｂとが存在する。
【００２１】次に本実施例の作用及び効果について述べ
る。放電部７にパルス状の電圧が印加されると、最初に
静電容量の異なるピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂの予
備電離紫外線発生用ピン５間の予備電離空間４ａでスパ
―ク放電が発生する。この時、予備紫外線空間４ａの電
位は、主放電電極２の間に印加された電位差をピ―キン
グコンデンサ３ａ，３ｂの静電容量の比の逆数倍したも
のとなる。
る。放電部７にパルス状の電圧が印加されると、最初に
静電容量の異なるピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂの予
備電離紫外線発生用ピン５間の予備電離空間４ａでスパ
―ク放電が発生する。この時、予備紫外線空間４ａの電
位は、主放電電極２の間に印加された電位差をピ―キン
グコンデンサ３ａ，３ｂの静電容量の比の逆数倍したも
のとなる。
【００２２】例えば、ピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂ
の静電容量の比を１：２とすると、静電容量の異なるピ
―キングコンデンサ３ａ，３ｂの予備電離紫外線発生用
ピン５の間の予備電離空間４ａで最初にスパ―ク放電が
発生した段階での予備電離空間４ａの電位は、一方の主
放電電極２を基準として、主放電電極２の間に印加され
た電位差の１／３倍、２／３倍となり、主放電電極２に
沿って１／３倍の電位と２／３倍の電位が交互に誘起さ
れる。この段階で静電容量の等しいピ―キングコンダン
サ３ａ，３ａあるいはピ―キングコンデンサ３ｂ，３ｂ
の予備電離紫外線発生用ピン５の間には主放電電極２の
間に印加された、電位差の１／３倍が誘起される。この
ように、静電容量の等しいピ―キングコンデンサ３ａ，
３ａあるいはピ―キングコンデンサ３ｂ，３ｂの予備電
離紫外線発生用ピン５の間に電位差が生じる。このた
め、静電容量の異なるピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂ
の予備電離紫外線発生用ピン５の間の予備電離空間４ａ
でスパ―ク放電が生じた後、静電容量の等しいピ―キン
グコンデンサ３ａ，３ａあるいはピ―キングコンデンサ
３ｂ，３ｂの予備電離紫外線発生用ピン５間の予備電離
空間４ｂでスパ―ク放電が生じる。
の静電容量の比を１：２とすると、静電容量の異なるピ
―キングコンデンサ３ａ，３ｂの予備電離紫外線発生用
ピン５の間の予備電離空間４ａで最初にスパ―ク放電が
発生した段階での予備電離空間４ａの電位は、一方の主
放電電極２を基準として、主放電電極２の間に印加され
た電位差の１／３倍、２／３倍となり、主放電電極２に
沿って１／３倍の電位と２／３倍の電位が交互に誘起さ
れる。この段階で静電容量の等しいピ―キングコンダン
サ３ａ，３ａあるいはピ―キングコンデンサ３ｂ，３ｂ
の予備電離紫外線発生用ピン５の間には主放電電極２の
間に印加された、電位差の１／３倍が誘起される。この
ように、静電容量の等しいピ―キングコンデンサ３ａ，
３ａあるいはピ―キングコンデンサ３ｂ，３ｂの予備電
離紫外線発生用ピン５の間に電位差が生じる。このた
め、静電容量の異なるピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂ
の予備電離紫外線発生用ピン５の間の予備電離空間４ａ
でスパ―ク放電が生じた後、静電容量の等しいピ―キン
グコンデンサ３ａ，３ａあるいはピ―キングコンデンサ
３ｂ，３ｂの予備電離紫外線発生用ピン５間の予備電離
空間４ｂでスパ―ク放電が生じる。
【００２３】以上のように本実施例によれば、陽極側主
放電電極２ａに隣接して配設されたピ―キングコンデン
サ３ａ，３ｂと陰極側主放電電極２ｂに隣接して配設さ
れたピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂが、主放電電極２
に沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置され、しかも、ピ
―キングコンデンサ３ａ，３ｂのそれぞれに先端が２股
に分岐している予備電離紫外線発生用ピン５が配設され
ている。従って、ピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂの大
きさに左右されず、予備電離空間４ａ，４ｂの間隔を小
さくすることができ、放電を安定させた繰り返し数が高
い、あるいは放電エネルギ―密度が高いパルスレ―ザ発
振装置を提供することが可能となる。
放電電極２ａに隣接して配設されたピ―キングコンデン
サ３ａ，３ｂと陰極側主放電電極２ｂに隣接して配設さ
れたピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂが、主放電電極２
に沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置され、しかも、ピ
―キングコンデンサ３ａ，３ｂのそれぞれに先端が２股
に分岐している予備電離紫外線発生用ピン５が配設され
ている。従って、ピ―キングコンデンサ３ａ，３ｂの大
きさに左右されず、予備電離空間４ａ，４ｂの間隔を小
さくすることができ、放電を安定させた繰り返し数が高
い、あるいは放電エネルギ―密度が高いパルスレ―ザ発
振装置を提供することが可能となる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明においては、陽極
側主放電電極に隣接して配設されたピ―キングコンデン
サと陰極側主放電電極に隣接して配設されたピ―キング
コンデンサが、主放電電極に沿ってそれぞれ千鳥状に交
互に配置されている。従って、ピ―キングコンデンサの
大きさに左右されず、隣接する予備電離空間の間隔を小
さくすることができるため、放電を安定させた繰り返し
数が高い、あるいは放電エネルギ―密度が高いパルスレ
―ザ発振装置を提供できるという効果を奏する。
側主放電電極に隣接して配設されたピ―キングコンデン
サと陰極側主放電電極に隣接して配設されたピ―キング
コンデンサが、主放電電極に沿ってそれぞれ千鳥状に交
互に配置されている。従って、ピ―キングコンデンサの
大きさに左右されず、隣接する予備電離空間の間隔を小
さくすることができるため、放電を安定させた繰り返し
数が高い、あるいは放電エネルギ―密度が高いパルスレ
―ザ発振装置を提供できるという効果を奏する。
【図１】本発明の第１の実施例を示すパルスレ―ザ発振
装置の電気回路図
装置の電気回路図
【図２】本発明の第１の実施例を示すパルスレ―ザ発振
装置の放電部の断面図
装置の放電部の断面図
【図３】本発明の第１の実施例を示すパルスレ―ザ発振
装置の放電部の側面図
装置の放電部の側面図
【図４】本発明の第２の実施例を示すパルスレ―ザ発振
装置の電気回路図
装置の電気回路図
【図５】本発明の第２の実施例を示すパルスレ―ザ発振
装置の放電部の断面図
装置の放電部の断面図
【図６】本発明の第２の実施例を示すパルスレ―ザ発振
装置の放電部の側面図
装置の放電部の側面図
【図７】従来のパルスレ―ザ発振装置の電気回路図
【図８】従来のパルスレ―ザ発振装置の放電部の断面図
【図９】従来のパルスレ―ザ発振装置の放電部の側面図
１…主放電空間、２…主放電電極、２ａ…陽極側主放電
電極、２ｂ…陰極側主放電電極、３，３ａ，３ｂ…ピ―
キングコンデンサ、４，４ａ，４ｂ…予備電離空間、５
…予備電離紫外線発生用ピン、６…放電部、７…パルス
電源
電極、２ｂ…陰極側主放電電極、３，３ａ，３ｂ…ピ―
キングコンデンサ、４，４ａ，４ｂ…予備電離空間、５
…予備電離紫外線発生用ピン、６…放電部、７…パルス
電源
Claims (2)
- 【請求項１】 レ―ザガス流中に、このレ―ザガス流と
放電方向が直交するように放電空間を挟んで対向する陽
極側主放電電極及び陰極側主放電電極からなる一対の主
放電電極が配置され、この主放電電極に隣接して、前記
レ―ザガス流の上流側及び下流側に複数のピ―キングコ
ンデンサがそれぞれ配設され、このピ―キングコンデン
サに予備電離紫外線発生電極がそれぞれ配設され、前記
主放電電極、前記ピ―キングコンデンサ及び前記予備電
離紫外線発生電極とで構成される放電部にパルス電源が
接続されているパルスレ―ザ発振装置において、 前記陽極側主放電電極に隣接して配設された前記ピ―キ
ングコンデンサと前記陰極側主放電電極に隣接して配設
された前記ピ―キングコンデンサが、前記主放電電極に
沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置され、前記陽極側主
放電電極に隣接して配設された前記ピ―キングコンデン
サの前記予備電離紫外線発生電極が前記陰極側主放電電
極と対向するように屈曲され、前記陰極側主放電電極に
隣接して配設された前記ピ―キングコンデンサの前記予
備電離紫外線発生電極が前記陽極側主放電電極と対向す
るように屈曲されていることを特徴とするパルスレ―ザ
発振装置。 - 【請求項２】 レ―ザガス流中に、このレ―ザガス流と
放電方向が直交するように放電空間を挟んで対向する陽
極側主放電電極及び陰極側主放電電極からなる一対の主
放電電極が配置され、この主放電電極に隣接して、前記
レ―ザガス流の上流側及び下流側に複数のピ―キングコ
ンデンサがそれぞれ配設され、このピ―キングコンデン
サに予備電離空間を挟んで対向する予備電離紫外線発生
電極がそれぞれ配設され、前記主放電電極、前記ピ―キ
ングコンデンサ及び前記予備電離紫外線発生電極とで構
成される放電部にパルス電源が接続されているパルスレ
―ザ発振装置において、 前記陽極側主放電電極に隣接して配設された前記ピ―キ
ングコンデンサと前記陰極側主放電電極に隣接して配設
された前記ピ―キングコンデンサが、前記主放電電極に
沿ってそれぞれ千鳥状に交互に配置され、それぞれの前
記主放電電極に沿って配設されたピ―キングコンデンサ
の静電容量が前記主放電電極にそって１つおきに異な
り、このピ―キングコンデンサのそれぞれに先端が２股
に分岐した前記予備電離紫外線発生電極が配設されてい
ることを特徴とするパルスレ―ザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16759293A JPH0730177A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | パルスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16759293A JPH0730177A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | パルスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0730177A true JPH0730177A (ja) | 1995-01-31 |
Family
ID=15852623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16759293A Pending JPH0730177A (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | パルスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730177A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007076563A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Bridgestone Corp | 車両連結部用外幌構造 |
| KR102658909B1 (ko) * | 2023-08-28 | 2024-04-18 | 국립한국교통대학교산학협력단 | 철도 차량 연결부 공기 저항 저감 장치 |
-
1993
- 1993-07-07 JP JP16759293A patent/JPH0730177A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007076563A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Bridgestone Corp | 車両連結部用外幌構造 |
| KR102658909B1 (ko) * | 2023-08-28 | 2024-04-18 | 국립한국교통대학교산학협력단 | 철도 차량 연결부 공기 저항 저감 장치 |
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