JPH07115239A - パルスレーザ発振器 - Google Patents
パルスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH07115239A JPH07115239A JP26054593A JP26054593A JPH07115239A JP H07115239 A JPH07115239 A JP H07115239A JP 26054593 A JP26054593 A JP 26054593A JP 26054593 A JP26054593 A JP 26054593A JP H07115239 A JPH07115239 A JP H07115239A
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- Japan
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- capacitor
- electrode
- capacitors
- main discharge
- electrostatic capacity
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 放電空間１を挟んで対向する主放電電極２
ａ，２ｂをレ―ザガス中に配設し、主放電電極２ａ，２
ｂの一側に複数のコンデンサから成るコンデンサ群４ｂ
を配置し、夫々のコンデンサに予備電離空間５を挟んで
対向するピン電極６を配設する。主放電電極２ａ，２ｂ
の他側には静電容量が前記コンデンサよりも大きいコン
デンサで構成されたコンデンサ群４ａを配設し、コンデ
ンサ群４ａ間を電気的に接続する。 【効果】 パルス幅が狭く、安定したレ―ザ光出力が得
られる。
ａ，２ｂをレ―ザガス中に配設し、主放電電極２ａ，２
ｂの一側に複数のコンデンサから成るコンデンサ群４ｂ
を配置し、夫々のコンデンサに予備電離空間５を挟んで
対向するピン電極６を配設する。主放電電極２ａ，２ｂ
の他側には静電容量が前記コンデンサよりも大きいコン
デンサで構成されたコンデンサ群４ａを配設し、コンデ
ンサ群４ａ間を電気的に接続する。 【効果】 パルス幅が狭く、安定したレ―ザ光出力が得
られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は予備電離電極の放電の後
に主放電電極が、放電してレ―ザガスを励起するパルス
レ―ザ発振器に関する。
に主放電電極が、放電してレ―ザガスを励起するパルス
レ―ザ発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のパルスレ―ザ発振器について図４
乃至図８を参照して説明する。図４乃至図６に示すよう
にレ―ザガス中に放電空間１を挟んで対向する一対の主
放電電極２ａ，２ｂを配設する。主放電電極２ａの両側
には主放電電極２ａに沿って略電気容量の等しいピ―キ
ングコンデンサ３ａを同数配設する。ピ―キングコンデ
ンサ３ａは主放電電極２ａの夫々の側でコンデンサ群４
を構成する。主放電電極２ｂの両側にも同様にピ―キン
グコンデンサ３ａを同数配設する。ピ―キングコンデン
サ３ａは主放電電極２ｂの各側でコンデンサ群４を構成
する。夫々のピ―キングコンデンサ３ａには予備電離空
間５を挟んで対向する予備電離紫外線発生用ピン（以下
ピン電極という）６を配設する。主放電電極２ａ，２
ｂ、コンデンサ群４及びピン電極６は放電部７を形成し
放電部７にはパルス電源８が接続されている。電気的に
はコンデンサ群４は主放電電極２ａ，２ｂに対して並列
に接続されており、主放電電極２ａ，２ｂ及びコンデン
サはパルス電源８に対して直列に接続されている。
乃至図８を参照して説明する。図４乃至図６に示すよう
にレ―ザガス中に放電空間１を挟んで対向する一対の主
放電電極２ａ，２ｂを配設する。主放電電極２ａの両側
には主放電電極２ａに沿って略電気容量の等しいピ―キ
ングコンデンサ３ａを同数配設する。ピ―キングコンデ
ンサ３ａは主放電電極２ａの夫々の側でコンデンサ群４
を構成する。主放電電極２ｂの両側にも同様にピ―キン
グコンデンサ３ａを同数配設する。ピ―キングコンデン
サ３ａは主放電電極２ｂの各側でコンデンサ群４を構成
する。夫々のピ―キングコンデンサ３ａには予備電離空
間５を挟んで対向する予備電離紫外線発生用ピン（以下
ピン電極という）６を配設する。主放電電極２ａ，２
ｂ、コンデンサ群４及びピン電極６は放電部７を形成し
放電部７にはパルス電源８が接続されている。電気的に
はコンデンサ群４は主放電電極２ａ，２ｂに対して並列
に接続されており、主放電電極２ａ，２ｂ及びコンデン
サはパルス電源８に対して直列に接続されている。
【０００３】放電部７にパルス電源８からパルス電圧が
印加されると、対向する夫々のピン電極６が形成する予
備電離空間５でスパ―ク放電が起こり、主放電電極２
ａ，２ｂの両側面から放電空間１に紫外線が照射され
る。この紫外線によって放電空間１中のレ―ザガスが予
備電離され、さらに主放電電極２ａ，２ｂにコンデンサ
群４からパルス電圧が印加されて放電空間１はグロ―放
電状態になる。このグロ―放電によって放電空間１のレ
―ザガスが励起されレ―ザ光出力が得られる。
印加されると、対向する夫々のピン電極６が形成する予
備電離空間５でスパ―ク放電が起こり、主放電電極２
ａ，２ｂの両側面から放電空間１に紫外線が照射され
る。この紫外線によって放電空間１中のレ―ザガスが予
備電離され、さらに主放電電極２ａ，２ｂにコンデンサ
群４からパルス電圧が印加されて放電空間１はグロ―放
電状態になる。このグロ―放電によって放電空間１のレ
―ザガスが励起されレ―ザ光出力が得られる。
【０００４】安定したレ―ザ光出力を得るためには放電
空間１のレ―ザガスを均一に予備電離し、安定したグロ
―放電を点弧する必要がある。このためには隣り合うピ
ン電極６の間隔を小さくし、紫外線照射が一様に行われ
るようにしなければならない。
空間１のレ―ザガスを均一に予備電離し、安定したグロ
―放電を点弧する必要がある。このためには隣り合うピ
ン電極６の間隔を小さくし、紫外線照射が一様に行われ
るようにしなければならない。
【０００５】一方パルス幅の狭いレ―ザ光出力を得るた
めにはコンデンサ群４の静電容量を大きくし、エネルギ
―の大きいパルス電圧を主放電電極ａ，２ｂに印加する
必要がある。
めにはコンデンサ群４の静電容量を大きくし、エネルギ
―の大きいパルス電圧を主放電電極ａ，２ｂに印加する
必要がある。
【０００６】しかしながら図７及び図５に示すように、
ピン電極６の間隔を小さくするためにはピン電極６を支
持するピ―キングコンデンサを小型化しなければならな
い。このようなピ―キングコンデンサ３ｂはピ―キング
コンデンサ３ａより小型であるため電気容量が小さい。
一般に一定のスペ―スにコンデンサを並列配置する場
合、静電容量の小さいコンデンサを多数配置するよりも
静電容量の大きいコンデンサを少数配置する方がコンデ
ンサ群の静電容量を大きくすることができる。このよう
にコンデンサ群の静電容量を大きくすることと、隣り合
うピン電極の間隔を小さくすることは相反する条件であ
るため、従来のパルス発振器は上記２つの条件を同時に
満たすことができなかった。
ピン電極６の間隔を小さくするためにはピン電極６を支
持するピ―キングコンデンサを小型化しなければならな
い。このようなピ―キングコンデンサ３ｂはピ―キング
コンデンサ３ａより小型であるため電気容量が小さい。
一般に一定のスペ―スにコンデンサを並列配置する場
合、静電容量の小さいコンデンサを多数配置するよりも
静電容量の大きいコンデンサを少数配置する方がコンデ
ンサ群の静電容量を大きくすることができる。このよう
にコンデンサ群の静電容量を大きくすることと、隣り合
うピン電極の間隔を小さくすることは相反する条件であ
るため、従来のパルス発振器は上記２つの条件を同時に
満たすことができなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来のパ
ルス発振器においてはパルス幅が狭くしかも安定したレ
―ザ光出力を得ることができなかった。そこで本発明の
目的は上記２つの条件を同時に満たすことのできるパル
ス発振器を提供ることにある。
ルス発振器においてはパルス幅が狭くしかも安定したレ
―ザ光出力を得ることができなかった。そこで本発明の
目的は上記２つの条件を同時に満たすことのできるパル
ス発振器を提供ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明においてはレ―ザガス中に放電空間を挟んで対
向する一対の主放電電極を配置し、この主放電電極の両
側にこの主放電電極に沿って複数のコンデンサによって
形成される電気容量の略等しいコンデンサ群を夫々配設
したパルスレ―ザ発振器において、前記主放電電極の一
側に配設された前記コンデンサ群を構成するコンデンサ
の夫々に予備電離空間を挟んで対向する予備電離電極を
配設し、他側に配設されたコンデンサ群を構成するコン
デンサを前記予備電離電極が配設されたコンデンサより
も電気容量の大きいコンデンサとし、このコンデンサ間
を前記主放電電極と同電位になるように電気的に接続し
たことを特徴とするパルスレ―ザ発振器を提供する。
に本発明においてはレ―ザガス中に放電空間を挟んで対
向する一対の主放電電極を配置し、この主放電電極の両
側にこの主放電電極に沿って複数のコンデンサによって
形成される電気容量の略等しいコンデンサ群を夫々配設
したパルスレ―ザ発振器において、前記主放電電極の一
側に配設された前記コンデンサ群を構成するコンデンサ
の夫々に予備電離空間を挟んで対向する予備電離電極を
配設し、他側に配設されたコンデンサ群を構成するコン
デンサを前記予備電離電極が配設されたコンデンサより
も電気容量の大きいコンデンサとし、このコンデンサ間
を前記主放電電極と同電位になるように電気的に接続し
たことを特徴とするパルスレ―ザ発振器を提供する。
【０００９】
【作用】上記の構成を有する本発明においては、主放電
電極の一側に配置されたコンデンサ群を構成するコンデ
ンサとこのコンデンサの夫々に取付けられた予備電離電
極によってスパ―ク放電が起こりレ―ザガスを予備電離
状態にする。一方放電空間に印加されるパルス電圧の大
きさは主放電電極の両側に配設されたコンデンサ群の電
気容量に依存する。主放電電極の他側に配設されたコン
デンサ群は予備電離電極が配設されているコンデンサよ
りも電気容量の大きいコンデンサで構成されている。こ
のため、すべてのコンデンサ群を電気容量の小さい方の
コンデンサで構成する場合よりも大きなパルス電圧を主
放電電極に印加することができる。
電極の一側に配置されたコンデンサ群を構成するコンデ
ンサとこのコンデンサの夫々に取付けられた予備電離電
極によってスパ―ク放電が起こりレ―ザガスを予備電離
状態にする。一方放電空間に印加されるパルス電圧の大
きさは主放電電極の両側に配設されたコンデンサ群の電
気容量に依存する。主放電電極の他側に配設されたコン
デンサ群は予備電離電極が配設されているコンデンサよ
りも電気容量の大きいコンデンサで構成されている。こ
のため、すべてのコンデンサ群を電気容量の小さい方の
コンデンサで構成する場合よりも大きなパルス電圧を主
放電電極に印加することができる。
【００１０】
【実施例】以下に本発明の一実施例について図１乃至図
３を参照して説明する。なお従来と同様の構成部分につ
いては同一の番号を付与し説明を省略する。図１乃至図
３に示すように、レ―ザガス中に放電空間１を挟んで対
向する一対の主放電電極２ａ，２ｂを配設する。主放電
電極２ａの一側には主放電電極２ａに沿って、電気容量
の等しい複数のピ―キングコンデンサ３ｂを配設し、主
放電電極２ｂの一側にはこのピ―キングコンデンサ３ｂ
と夫々対向するように複数のピ―キングコンデンサ３ｂ
を配設する。ピ―キングコンデンサ３ｂの夫々には予備
電離空間５を挟んで対向するピン電極６を配設する。ピ
―キングコンデンサ３ｂは主放電電極２ａ，２ｂの一側
でコンデンサ群４ｂを夫々構成する。一方主放電電極２
ａ，２ｂの他側には主放電電極２ａ，２ｂの夫々に沿っ
てピ―キングコンデンサ３ｂよりも電気容量の大きい複
数のピ―キングコンデンサ３ａを対向配置する。さらに
ピ―キングコンデンサ３ａ間を主放電電極２ａ，２ｂと
同電位になるように接続する。ピ―キングコンデンサ３
ａは主放電電極２ａ，２ｂの他側で夫々コンデンサ群４
ａを構成する。主放電電極２ａ，２ｂ、コンデンサ群４
ａ，４ｂ及びピン電極６は放電部７を構成し、放電部７
にはパルス電源８が接続されている。
３を参照して説明する。なお従来と同様の構成部分につ
いては同一の番号を付与し説明を省略する。図１乃至図
３に示すように、レ―ザガス中に放電空間１を挟んで対
向する一対の主放電電極２ａ，２ｂを配設する。主放電
電極２ａの一側には主放電電極２ａに沿って、電気容量
の等しい複数のピ―キングコンデンサ３ｂを配設し、主
放電電極２ｂの一側にはこのピ―キングコンデンサ３ｂ
と夫々対向するように複数のピ―キングコンデンサ３ｂ
を配設する。ピ―キングコンデンサ３ｂの夫々には予備
電離空間５を挟んで対向するピン電極６を配設する。ピ
―キングコンデンサ３ｂは主放電電極２ａ，２ｂの一側
でコンデンサ群４ｂを夫々構成する。一方主放電電極２
ａ，２ｂの他側には主放電電極２ａ，２ｂの夫々に沿っ
てピ―キングコンデンサ３ｂよりも電気容量の大きい複
数のピ―キングコンデンサ３ａを対向配置する。さらに
ピ―キングコンデンサ３ａ間を主放電電極２ａ，２ｂと
同電位になるように接続する。ピ―キングコンデンサ３
ａは主放電電極２ａ，２ｂの他側で夫々コンデンサ群４
ａを構成する。主放電電極２ａ，２ｂ、コンデンサ群４
ａ，４ｂ及びピン電極６は放電部７を構成し、放電部７
にはパルス電源８が接続されている。
【００１１】次に作用について説明する。パルス電源８
からパルス電圧が放電部７に印加されるとピン電極６が
形成する予備電離空間５でスパ―ク放電が起こり、主放
電電極２ａ，２ｂの一側面から放電空間１に紫外線が照
射される。この紫外線によって放電空間のレ―ザガスは
予備電離状態となる。一方コンデンサ群４ａ，４ｂは主
放電電極２ａ，２ｂにパルス電圧を印加するので放電空
間はグロ―放電状態となり、レ―ザガスが励起されてレ
―ザ光出力が得られる。
からパルス電圧が放電部７に印加されるとピン電極６が
形成する予備電離空間５でスパ―ク放電が起こり、主放
電電極２ａ，２ｂの一側面から放電空間１に紫外線が照
射される。この紫外線によって放電空間のレ―ザガスは
予備電離状態となる。一方コンデンサ群４ａ，４ｂは主
放電電極２ａ，２ｂにパルス電圧を印加するので放電空
間はグロ―放電状態となり、レ―ザガスが励起されてレ
―ザ光出力が得られる。
【００１２】本実施例によればピン電極６を配設する側
のピ―キングコンデンサ３ｂを静電容量の小さい小型の
コンデンサとし、他側のピ―キングコンデンサ３ａには
ピ―キングコンデンサ３ｂより静電容量の大きいものを
用い、主放電電極２ａ，２ｂと同電位になるようピ―キ
ングコンデンサ３ａ間を電気的に接続している。このた
め隣り合成うピン電極６の間隔を小さくでき、略一様な
紫外線を放電空間に照射することができる。またすべて
のコンデンサ群をピ―キングコンデンサ３ｂで構成する
場合に比較してコンデンサ群の静電容量を大きくするこ
とができるので、主放電電極２ａ，２ｂに従来より大き
なパルス電圧を印加できる。このためレ―ザ光出力が安
定でしかもパルス幅の狭いパルス発振器を提供すること
ができる。
のピ―キングコンデンサ３ｂを静電容量の小さい小型の
コンデンサとし、他側のピ―キングコンデンサ３ａには
ピ―キングコンデンサ３ｂより静電容量の大きいものを
用い、主放電電極２ａ，２ｂと同電位になるようピ―キ
ングコンデンサ３ａ間を電気的に接続している。このた
め隣り合成うピン電極６の間隔を小さくでき、略一様な
紫外線を放電空間に照射することができる。またすべて
のコンデンサ群をピ―キングコンデンサ３ｂで構成する
場合に比較してコンデンサ群の静電容量を大きくするこ
とができるので、主放電電極２ａ，２ｂに従来より大き
なパルス電圧を印加できる。このためレ―ザ光出力が安
定でしかもパルス幅の狭いパルス発振器を提供すること
ができる。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、静電容量
の小さい小型のコンデンサに予備電離電極を配設し、静
電容量の大きいコンデンサを主放電電極と同電位になる
ように電気的に接続しているので、パルス幅が狭くしか
も安定したレ―ザ光出力を得ることができるパルス発振
器を提供することができる。
の小さい小型のコンデンサに予備電離電極を配設し、静
電容量の大きいコンデンサを主放電電極と同電位になる
ように電気的に接続しているので、パルス幅が狭くしか
も安定したレ―ザ光出力を得ることができるパルス発振
器を提供することができる。
【図１】本発明の一実施例を示すパルスレ―ザ発振器の
電気回路図。
電気回路図。
【図２】図１に示したパルスレ―ザ発振器の放電部断面
図。
図。
【図３】図１に示したパルスレ―ザ発振器の放電部側面
図。
図。
【図４】従来のパルスレ―ザ発振器の電気回路図。
【図５】図４に示したパルスレ―ザ発振器の放電部断面
図。
図。
【図６】図４に示したパルスレ―ザ発振器の放電部側面
図。
図。
【図７】従来の他のパルスレ―ザ発振器の放電部断面
図。
図。
【図８】図７に示したパルスレ―ザ発振器の放電部側面
図。
図。
１…放電部、２ａ，２ｂ…主放電電極、３ａ，３ｂ…ピ
―キングコンデンサ、４ａ，４ｂ…コンデンサ群、５…
予備電離空間、６…ピン電極。
―キングコンデンサ、４ａ，４ｂ…コンデンサ群、５…
予備電離空間、６…ピン電極。
Claims (1)
- 【請求項１】 レ―ザガス中に放電空間を挟んで対向す
る一対の主放電電極を配置し、この主放電電極の両側に
この主放電電極に沿って複数のコンデンサによって形成
される電気容量の略等しいコンデンサ群を夫々配設した
パルスレ―ザ発振器において、前記主放電電極の一側に
配設された前記コンデンサ群を形成するコンデンサの夫
々に予備電離空間を挟んで対向する予備電離電極を配設
し、他側に配設されたコンデンサ群を形成するコンデン
サを前記予備電離電極が配設されたコンデンサよりも電
気容量の大きいコンデンサとし、このコンデンサ間を前
記主放電電極と同電位になるように電気的に接続したこ
とを特徴とするパルスレ―ザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26054593A JPH07115239A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | パルスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26054593A JPH07115239A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | パルスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07115239A true JPH07115239A (ja) | 1995-05-02 |
Family
ID=17349450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26054593A Pending JPH07115239A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | パルスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07115239A (ja) |
-
1993
- 1993-10-19 JP JP26054593A patent/JPH07115239A/ja active Pending
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