JPH02235381A - パルスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスレーザ発振装置Info
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- JPH02235381A JPH02235381A JP5510789A JP5510789A JPH02235381A JP H02235381 A JPH02235381 A JP H02235381A JP 5510789 A JP5510789 A JP 5510789A JP 5510789 A JP5510789 A JP 5510789A JP H02235381 A JPH02235381 A JP H02235381A
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- electrodes
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- electrode
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- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 38
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 16
- 239000007769 metal material Substances 0.000 abstract description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 abstract 1
- 239000013528 metallic particle Substances 0.000 abstract 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 abstract 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、予備電離放電方法に改良を施したパルスレー
ザ発振装置に関するものである。
ザ発振装置に関するものである。
（従来の技術）
近年、ＣＯ２ レーザ等の各種パルスレーザ発振装置に
おける技術の著しい進歩に伴い、これらの各種パルスレ
ーザ発振装置の一層の小型化、高性能化が要求されてい
る。この様なパルスレーザ発振装置としては、例えば、
第２図に示した様なものが用いられている。即ち、レー
ザ媒質中に配置された第１の主電極１に対向する位置に
、第２の主電極２が配設され、第１の主電極１の長平方
向両側に、複数個の予備電離電極３ａがピーキングコン
デンサ４ａを介して適当な間隔をおいて配設され、また
、第２の主電極２の長平方向両側には、同様に複数個の
予備電離電極３ｂがビーキングコンデンサ４ｂを介して
、前記予備電離電極３ａと対向する位置に配設されてい
る。また、対向して配設された２つの主電極１，２は、
パルス電源５に接続されている。さらに、主電極１，２
の長手方向両端部には光共振器６が配設されている。
おける技術の著しい進歩に伴い、これらの各種パルスレ
ーザ発振装置の一層の小型化、高性能化が要求されてい
る。この様なパルスレーザ発振装置としては、例えば、
第２図に示した様なものが用いられている。即ち、レー
ザ媒質中に配置された第１の主電極１に対向する位置に
、第２の主電極２が配設され、第１の主電極１の長平方
向両側に、複数個の予備電離電極３ａがピーキングコン
デンサ４ａを介して適当な間隔をおいて配設され、また
、第２の主電極２の長平方向両側には、同様に複数個の
予備電離電極３ｂがビーキングコンデンサ４ｂを介して
、前記予備電離電極３ａと対向する位置に配設されてい
る。また、対向して配設された２つの主電極１，２は、
パルス電源５に接続されている。さらに、主電極１，２
の長手方向両端部には光共振器６が配設されている。
この様に構成された従来のパルスレーザ発振装置におい
ては、２つの主電極１，２間にパルス電源５よりパルス
電圧が印加されると、ピーキングコンデンサ４ａ，４ｂ
の充電が始まり、このとき予備電離電極３ａ，３ｂ間に
生じるアークより発生する紫外線を用いて主電極１，２
間のレーザガスが予備電離される。そして、ピーキング
コンデンサ４ａ，４ｂの充電が進み、主電極１．２間の
放電開始電圧に達すると、グロー放電が始まり、ピーキ
ングコンデンサ４ａ，４ｂからエネルギーが供給される
。この様にしてレーザガスが励起されると、両端部に配
設された光共振器６からレザ光７が出力される。
ては、２つの主電極１，２間にパルス電源５よりパルス
電圧が印加されると、ピーキングコンデンサ４ａ，４ｂ
の充電が始まり、このとき予備電離電極３ａ，３ｂ間に
生じるアークより発生する紫外線を用いて主電極１，２
間のレーザガスが予備電離される。そして、ピーキング
コンデンサ４ａ，４ｂの充電が進み、主電極１．２間の
放電開始電圧に達すると、グロー放電が始まり、ピーキ
ングコンデンサ４ａ，４ｂからエネルギーが供給される
。この様にしてレーザガスが励起されると、両端部に配
設された光共振器６からレザ光７が出力される。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上述した様な従来のパルスレーザ発振装
置においては、Ｔ−（ＪＭ電離電極３ａ，３ｂ間に生じ
るアークによって、予備電離電極を構成する材料がスパ
ッタリングされて、金属粒子が主放電空間に浮遊したり
、予備電離電極が消耗して、レーザ出力が不安定なもの
となり、また、電極の寿命が短くなるといった欠点があ
った。
置においては、Ｔ−（ＪＭ電離電極３ａ，３ｂ間に生じ
るアークによって、予備電離電極を構成する材料がスパ
ッタリングされて、金属粒子が主放電空間に浮遊したり
、予備電離電極が消耗して、レーザ出力が不安定なもの
となり、また、電極の寿命が短くなるといった欠点があ
った。
本発明は、以上の欠点を解決するために提案されたもの
で、その目的は、予備電離電極間で発生するアークのエ
ネルギーを低減し、金属粒子の飛散や電極の消耗を抑制
して、安定したレーザ出力を得ることのできる、長寿命
なパルスレーザ発振装置を提供することにある。
で、その目的は、予備電離電極間で発生するアークのエ
ネルギーを低減し、金属粒子の飛散や電極の消耗を抑制
して、安定したレーザ出力を得ることのできる、長寿命
なパルスレーザ発振装置を提供することにある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、レーザ媒質中に２つの主電極を対向して配設
し、その側方に予備電離電極及び主放電に電力を注入す
るためのピーキングコンデンサを備え、且つ、前記主電
極の表面に沿ってレーザガスを循環させるパルスレーザ
発振装置において、前記ビーキングコンデンサを、容量
の異なるコンデンサから構成し、容量の大きいピーキン
グコンデンサを前記主電極と並列に接続し、一方、容量
の小さいビーキングコンデンサを予備電離電極を介して
主電極と接続したことを特徴とするものである。
し、その側方に予備電離電極及び主放電に電力を注入す
るためのピーキングコンデンサを備え、且つ、前記主電
極の表面に沿ってレーザガスを循環させるパルスレーザ
発振装置において、前記ビーキングコンデンサを、容量
の異なるコンデンサから構成し、容量の大きいピーキン
グコンデンサを前記主電極と並列に接続し、一方、容量
の小さいビーキングコンデンサを予備電離電極を介して
主電極と接続したことを特徴とするものである。
（作用）
本発明のパルスレーザ発振装置によれは、パルス電源よ
りパルス電圧が印加されると、まず、主電極に並列に接
続された容量の大きいピーキングコンデンサの充電が始
まり、予備電離電極に接続されたビーキングコンデンサ
には、充電される全エネルギーの一部が流れるのみなの
で、予備電離電極間に発生するアークのエネルギーを低
減することができる。
りパルス電圧が印加されると、まず、主電極に並列に接
続された容量の大きいピーキングコンデンサの充電が始
まり、予備電離電極に接続されたビーキングコンデンサ
には、充電される全エネルギーの一部が流れるのみなの
で、予備電離電極間に発生するアークのエネルギーを低
減することができる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて具体的に説
明する。なお、第２図に示した従来型と同一の部材には
同一の符号を付して、説明は省略する。
明する。なお、第２図に示した従来型と同一の部材には
同一の符号を付して、説明は省略する。
本実施例においては、第１図に示した様に、ピーキング
コンデンサとして容量の異なる２種類のピーキングコン
デンサを用い、容量の大きいビーキングコンデンサ１０
ａ．１０ｂは、予備電離電極を介さずに、２つの主電極
１．２間に並列に接続されている。一方、容量の小さい
ピーキングコンデンサｌｌａ，ｌｌｂは、従来と同様に
予備電離電極３ａ．３ｂに接続されている。
コンデンサとして容量の異なる２種類のピーキングコン
デンサを用い、容量の大きいビーキングコンデンサ１０
ａ．１０ｂは、予備電離電極を介さずに、２つの主電極
１．２間に並列に接続されている。一方、容量の小さい
ピーキングコンデンサｌｌａ，ｌｌｂは、従来と同様に
予備電離電極３ａ．３ｂに接続されている。
この様な構成を有する本実施例のパルスレーザ発振装置
においては、以下に述べる様にして予備電離放電が行わ
れる。
においては、以下に述べる様にして予備電離放電が行わ
れる。
即ち、２つの主電極１．２間にパルス電源５よリパルス
電圧が印加され始めると、まず、主電極１．２間に並列
に接続された容量の大きいピーキングコンデンサ１０ａ
，１０ｂの充電が始まり、その後、予備電離電極３ａ，
３ｂ間の電圧が放電開始電圧に達すると、両者間にアー
クが発生し、ビーキングコンデンサｌｌａ．ｌｌｂが充
電され始める。この時、予備電離電極３ａ，３ｂ間に発
生するアークのエネルギーは、ピーキングコンデンサ１
０．１１に充電される全エネルギーのＣＩ／ （ＣＩ
＋Ｃ２ ）倍となる。なお、Ｃ１は容量の小さいピーキ
ングコンデンサｌｌａ．ｌｌｂの合成容量を、また、Ｃ
２は容量の大きいビーキングコンデンサ１０ａ，１０ｂ
の合成容量を示している。
電圧が印加され始めると、まず、主電極１．２間に並列
に接続された容量の大きいピーキングコンデンサ１０ａ
，１０ｂの充電が始まり、その後、予備電離電極３ａ，
３ｂ間の電圧が放電開始電圧に達すると、両者間にアー
クが発生し、ビーキングコンデンサｌｌａ．ｌｌｂが充
電され始める。この時、予備電離電極３ａ，３ｂ間に発
生するアークのエネルギーは、ピーキングコンデンサ１
０．１１に充電される全エネルギーのＣＩ／ （ＣＩ
＋Ｃ２ ）倍となる。なお、Ｃ１は容量の小さいピーキ
ングコンデンサｌｌａ．ｌｌｂの合成容量を、また、Ｃ
２は容量の大きいビーキングコンデンサ１０ａ，１０ｂ
の合成容量を示している。
この様に本実施例によれば、予備電離電極間に発生する
アークのエネルギーは、全エネルギーが通過していた従
来に比べて大幅に低減されるので、予備電離電極を構成
する金属材料がスパッタリングを起こすことを低減でき
、金属粒子の飛散や電極の消耗を抑制することができる
。また、その結果、予備電離電極の耐久性も増すので、
常に安定したレーザ出力を得ることができ、パルスレー
ザ発振装置の長寿命化も達成できる。
アークのエネルギーは、全エネルギーが通過していた従
来に比べて大幅に低減されるので、予備電離電極を構成
する金属材料がスパッタリングを起こすことを低減でき
、金属粒子の飛散や電極の消耗を抑制することができる
。また、その結果、予備電離電極の耐久性も増すので、
常に安定したレーザ出力を得ることができ、パルスレー
ザ発振装置の長寿命化も達成できる。
［発明の効果］
以上述べた様に、本発明によれば、ピーキングコンデン
サを容量の異なるコンデンサから構成し、容量の大きい
ピーキングコンデンサを主電極と並列に接続し、一方、
容量の小さいビーキングコンデンサを予備電離電極を介
して主電極と接続するという簡単な手段によって、予備
電離電極間で発生するアークのエネルギーを低減し、金
属粒子の飛散や電極の消耗を抑制して、安定したレーザ
出力を得ることのできる、長寿命なパルスレーザ発振装
置を提供することができる。
サを容量の異なるコンデンサから構成し、容量の大きい
ピーキングコンデンサを主電極と並列に接続し、一方、
容量の小さいビーキングコンデンサを予備電離電極を介
して主電極と接続するという簡単な手段によって、予備
電離電極間で発生するアークのエネルギーを低減し、金
属粒子の飛散や電極の消耗を抑制して、安定したレーザ
出力を得ることのできる、長寿命なパルスレーザ発振装
置を提供することができる。
第１図は本発明のパルスレーザ発振装置の一実施例を示
す構成図、第２図は従来のパルスレーザ発振装置の一例
を示す構成図である。 １・・・第１の主電極、２・・・第２の主電極、３ａ，
３ｂ・・・予備電離電極、４ａ，４ｂ・・・ピーキング
コンデンサ、５・・・パルス電源、６・・・光共振器、
７・・・レーザ光、１０ａ，１０ｂ・・・容量の大きい
ピーキングコンデンサ、ｌｌａ，ｌｌｂ・・・容量の小
さいピーキングコンデンサ。
す構成図、第２図は従来のパルスレーザ発振装置の一例
を示す構成図である。 １・・・第１の主電極、２・・・第２の主電極、３ａ，
３ｂ・・・予備電離電極、４ａ，４ｂ・・・ピーキング
コンデンサ、５・・・パルス電源、６・・・光共振器、
７・・・レーザ光、１０ａ，１０ｂ・・・容量の大きい
ピーキングコンデンサ、ｌｌａ，ｌｌｂ・・・容量の小
さいピーキングコンデンサ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ媒質中に２つの主電極を対向して配設し、その側
方に予備電離電極及び主放電に電力を注入するためのピ
ーキングコンデンサを備え、且つ、前記主電極の表面に
沿ってレーザガスを循環させるパルスレーザ発振装置に
おいて、 前記ピーキングコンデンサを、容量の異なるコンデンサ
から構成し、容量の大きいピーキングコンデンサを前記
主電極と並列に接続し、一方、容量の小さいピーキング
コンデンサを予備電離電極を介して主電極と接続したこ
とを特徴とするパルスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5510789A JPH02235381A (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | パルスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5510789A JPH02235381A (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | パルスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02235381A true JPH02235381A (ja) | 1990-09-18 |
Family
ID=12989529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5510789A Pending JPH02235381A (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | パルスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02235381A (ja) |
-
1989
- 1989-03-09 JP JP5510789A patent/JPH02235381A/ja active Pending
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