JPH02105481A - パルスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH02105481A JPH02105481A JP25700188A JP25700188A JPH02105481A JP H02105481 A JPH02105481 A JP H02105481A JP 25700188 A JP25700188 A JP 25700188A JP 25700188 A JP25700188 A JP 25700188A JP H02105481 A JPH02105481 A JP H02105481A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- current
- laser oscillation
- pulsed laser
- oscillation device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 title claims description 15
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 38
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 abstract description 13
- 101100028088 Danio rerio opn1lw2 gene Proteins 0.000 abstract 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、パルスレーザ発振装置に関するものであり、
特に放電回路に改良を施したパルスレーザ発振装置に関
するものである。
特に放電回路に改良を施したパルスレーザ発振装置に関
するものである。
（従来の技術）
近年、パルスレーザ発振装置における技術の著しい進歩
にともない、パルスレーザ発振装置の一層の小型化、高
性能化が要求されている。
にともない、パルスレーザ発振装置の一層の小型化、高
性能化が要求されている。
この様なパルスレーザ発振装置の電源回路の一例として
、第２図に示す回路がある６第２図の回路は、容量移行
型と呼ばれるもので５充電用インダクタンスＬ１を通し
て、充電用コンデンサＣ□が充電される。その後スイッ
チＳが閉じると、コンデンサＣ０に蓄えられていた電荷
はピーキングコンデンサＣＰに移動すると同時にコロナ
予備電離用コンデンサＣ０にも電流が流れ、その時起き
るコロナ放電から発生するＵＶ光によって主電極１間の
レーザガスを電離し電子を発生させる。ピーキングコン
デンサＣＰの充電が進み主電極間が放電開始電圧に達す
るとグロー放電が点弧する。グロー放電によって励起さ
れたレーザガス中でエネルギ準位の反転分布が生じ、共
振器間でレーザ光が増幅し出力される。
、第２図に示す回路がある６第２図の回路は、容量移行
型と呼ばれるもので５充電用インダクタンスＬ１を通し
て、充電用コンデンサＣ□が充電される。その後スイッ
チＳが閉じると、コンデンサＣ０に蓄えられていた電荷
はピーキングコンデンサＣＰに移動すると同時にコロナ
予備電離用コンデンサＣ０にも電流が流れ、その時起き
るコロナ放電から発生するＵＶ光によって主電極１間の
レーザガスを電離し電子を発生させる。ピーキングコン
デンサＣＰの充電が進み主電極間が放電開始電圧に達す
るとグロー放電が点弧する。グロー放電によって励起さ
れたレーザガス中でエネルギ準位の反転分布が生じ、共
振器間でレーザ光が増幅し出力される。
（発明が解決しようとする課頭）
しかしながら、第２図に示した放電回路においては、浮
遊インダクタンスＬｓ１．Ｌ５２が大きいためにコロナ
予備゛社離用コンデンサＣ０の端子電圧変化１（ｄｒ／
ｄｔ）が小さくなり、コロナ予備電離用コンデンサＣ６
に流れる電流（＝ｃｃ ” ）もｔ 小さくなる。その結果、予備電離に用いるコロナ（＝Ｕ
Ｖ光）の発生も少なくなりグロー放電を安定化するため
に部分な初期電子密度が得られないという問題を生じて
いる。
遊インダクタンスＬｓ１．Ｌ５２が大きいためにコロナ
予備゛社離用コンデンサＣ０の端子電圧変化１（ｄｒ／
ｄｔ）が小さくなり、コロナ予備電離用コンデンサＣ６
に流れる電流（＝ｃｃ ” ）もｔ 小さくなる。その結果、予備電離に用いるコロナ（＝Ｕ
Ｖ光）の発生も少なくなりグロー放電を安定化するため
に部分な初期電子密度が得られないという問題を生じて
いる。
上記のように、従来のパルスレーザ発振装置においては
、コロナ放電用コンデンサＣ６に流れる電流が小さいた
めに発生するコロナ（ＵＶ光）が弱く充分な初期電子密
度が得られなかった。本発明はこの様な問題点を解決す
るために提案されたものであり、その目的は、コロナ放
電用コンデンサにかかる電圧変化を大きくして電流を増
やし、強力なＵＶ光を発生させ、グロー放電を安定につ
けるのに十分な初期電子密度を得、安定したレーザ出力
を得ることができるパルスレーザ発振装置を提供するこ
とにある。
、コロナ放電用コンデンサＣ６に流れる電流が小さいた
めに発生するコロナ（ＵＶ光）が弱く充分な初期電子密
度が得られなかった。本発明はこの様な問題点を解決す
るために提案されたものであり、その目的は、コロナ放
電用コンデンサにかかる電圧変化を大きくして電流を増
やし、強力なＵＶ光を発生させ、グロー放電を安定につ
けるのに十分な初期電子密度を得、安定したレーザ出力
を得ることができるパルスレーザ発振装置を提供するこ
とにある。
（課題を解決するための手段）
本発明によるパルスレーザ発振装置は、主電極の一方と
ピーキングコンデンサとの間にギャップを配置したこと
を特徴としている。
ピーキングコンデンサとの間にギャップを配置したこと
を特徴としている。
（作 用）
このような構成を有する本発明においては、主電極の一
方とピーキングコンデンサとの間にギャップを配置する
ことによりコロナ放電用コンデンサに流れる電流を大き
くすることができ、強力なＵＶ光を発生できるため、グ
ロー放電を安定につけるのに十分な初期電子密度が得ら
れ安定したレーザ出力を得ることができる。
方とピーキングコンデンサとの間にギャップを配置する
ことによりコロナ放電用コンデンサに流れる電流を大き
くすることができ、強力なＵＶ光を発生できるため、グ
ロー放電を安定につけるのに十分な初期電子密度が得ら
れ安定したレーザ出力を得ることができる。
（実施例）
以下、本発明によるパルスレーザ発振装置の一実施例を
説明する。
説明する。
第１図に、本発明の一実ｌｆａ例を示す。第２図と同じ
部分には同一符号をつけ説明を省略する。
部分には同一符号をつけ説明を省略する。
第１図において、スイッチＳを閉じると、従来技術と同
様に充電用コンデンサＣ１の電荷がピーキングコンデン
サＣＰに移行しピーキングコンデンサＣＤの充電が開始
されるが、ギャップＧがあるだめにコロナ予備電離用コ
ンデンサＣ０には電流が流れない。ギャップＧがピーキ
ングコンデンサＣＰのピーク値で動作したとし、Ｃ□＝
ＣＰ。
様に充電用コンデンサＣ１の電荷がピーキングコンデン
サＣＰに移行しピーキングコンデンサＣＤの充電が開始
されるが、ギャップＧがあるだめにコロナ予備電離用コ
ンデンサＣ０には電流が流れない。ギャップＧがピーキ
ングコンデンサＣＰのピーク値で動作したとし、Ｃ□＝
ＣＰ。
ｃｅ＜ｃＰであると仮定すると、従来技術によるコロナ
予備電離用コンデンサＣ６の電流は１ ／ Ｃｐ ”
Ｌｓｔｚｚに比例するのに対して本発明によれば電流は
ほぼ１／Ｆ汀Ｔで；に比例する。従ピーキングコンデン
サＣｐ、浮遊インダクタンスＬｓｘ ともコロナ予備電
離用コンデンサＣ０，浮遊インダクタンスＬ□よりもそ
れぞれ２ケタ程度大きいため、電流は従来よりも２ケタ
程度大きくなり、予備電離のためのＵＶ光も強力になり
、グロー放電を安定につけるのに必要な初期電子密度（
１０”／ａＪ）が得られ、安定したレーザ出力を得るこ
とができる。
予備電離用コンデンサＣ６の電流は１ ／ Ｃｐ ”
Ｌｓｔｚｚに比例するのに対して本発明によれば電流は
ほぼ１／Ｆ汀Ｔで；に比例する。従ピーキングコンデン
サＣｐ、浮遊インダクタンスＬｓｘ ともコロナ予備電
離用コンデンサＣ０，浮遊インダクタンスＬ□よりもそ
れぞれ２ケタ程度大きいため、電流は従来よりも２ケタ
程度大きくなり、予備電離のためのＵＶ光も強力になり
、グロー放電を安定につけるのに必要な初期電子密度（
１０”／ａＪ）が得られ、安定したレーザ出力を得るこ
とができる。
以上説明したように１本発明においては、主電極の一方
とピーキングコンデンサとの間にギャップを設けること
により、コロナ放電電流を大きくし、発生するＵＶ光を
強力にすることで従来に比べて安定したレーザ出力を得
られるような優れたパルスレーザ発振装置を提供できる
。
とピーキングコンデンサとの間にギャップを設けること
により、コロナ放電電流を大きくし、発生するＵＶ光を
強力にすることで従来に比べて安定したレーザ出力を得
られるような優れたパルスレーザ発振装置を提供できる
。
第１図は、本発明によるパルスレーザ発振装置の放電回
路を示す回路図、第２図は、従来のパルスレーザ発振装
置の放電回路を示す回路図である。 Ｓ・・・スイッチ、 Ｃ□・・・充電用コンデンサ、 Ｌ工・・・充電用インダクタンス、 Ｌ Ｓ１１ Ｌ Ｓ□・・・浮遊インダクタンス、ＣＰ
・・・ピーキングコンデンサ、 Ｇ・・・ギャップ、 Ｃ０・・・コロナ放電用コンデンサ、 １・・・主電極。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健
路を示す回路図、第２図は、従来のパルスレーザ発振装
置の放電回路を示す回路図である。 Ｓ・・・スイッチ、 Ｃ□・・・充電用コンデンサ、 Ｌ工・・・充電用インダクタンス、 Ｌ Ｓ１１ Ｌ Ｓ□・・・浮遊インダクタンス、ＣＰ
・・・ピーキングコンデンサ、 Ｇ・・・ギャップ、 Ｃ０・・・コロナ放電用コンデンサ、 １・・・主電極。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健
Claims (1)
- 対向配置された主電極にパルス電圧を印加するピーキ
ングコンデンサを有し、前記主電極の背面からコロナ放
電によって予備電離を行ない、更に主電極の表面に沿っ
てレーザガスを強制循環させるパルスレーザ発振装置に
おいて、前記主電極の一方と前記ピーキングコンデンサ
との間にギャップを設けたことを特徴とするパルスレー
ザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25700188A JPH02105481A (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | パルスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25700188A JPH02105481A (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | パルスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02105481A true JPH02105481A (ja) | 1990-04-18 |
Family
ID=17300344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25700188A Pending JPH02105481A (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | パルスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02105481A (ja) |
-
1988
- 1988-10-14 JP JP25700188A patent/JPH02105481A/ja active Pending
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