JPS622678A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
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- JPS622678A JPS622678A JP14053685A JP14053685A JPS622678A JP S622678 A JPS622678 A JP S622678A JP 14053685 A JP14053685 A JP 14053685A JP 14053685 A JP14053685 A JP 14053685A JP S622678 A JPS622678 A JP S622678A
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- Japan
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- discharge
- electrodes
- preliminary
- main discharge
- discharge electrode
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は予備電離方式によるガスレーザ発振装置に関す
る。
る。
［発明の技術的背景とその問題点］
レーザ発振方向に対して垂直方向に放電を発生させる横
方向励起ガスレーザで、ガスレーザ媒質が比較的高い圧
力で動作するエキシマレーザやＴＥ Ａ ＣＯｘレーザ
装置では放電を安定化するための予備電離が必要である
。この予備電離にはいろいろな種類があり、主電極と平
行に補助電極であるピン電極を配置した紫外光予備電離
方式もその−っである。このような方式で構成された装
置を復数組合せで一つのレーザ発振器にし、出力の向上
を図ることが行われている。第６図は二台のほぼ同一構
成になる発振装置１ａ、１ｂを並列に設置し１．二つの
反射鏡２ａ、２ｂによって光学的に結合した構成になる
従来例庖示している。すなわち、発振装置１ａ、１ｂは
上記並列設置において、同（、側になる一方の端部にそ
れぞれ全反射鏡３ａおよび出力鏡３ ｂか取り付けられ
ている。そしてこれら全反射鏡３ａ、出力鏡３ｂに対向
する他方の端部は透明体を機密封止した透過窓４ａ、４
ｂに構成されている。二つの反射鏡２ａ、２ｂは全反射
鏡３ｄ、出力鏡３ｂを共振器鏡とすべく、透過窓４ａ、
４ｂの近傍に設けられている。また、内部構造は第７図
に示すように、中央に板状の陰極５ａ、５ｂおよび同じ
く板状の陽極６ａ、６ｂからなる主放電電極が上下に設
けられた取付板７ａ、７ｂに保持されている。これら主
放電電極の両側には多数のコンデンサ８ａ、８ｂが同じ
く取付板？ａ、７ｂにそれぞれ対になって対向した状態
に保持されている。これら−コンデンサにはビン電極９
ａｓｌＯａおよび９ｂ、１０ｂが取り付けられている。
方向励起ガスレーザで、ガスレーザ媒質が比較的高い圧
力で動作するエキシマレーザやＴＥ Ａ ＣＯｘレーザ
装置では放電を安定化するための予備電離が必要である
。この予備電離にはいろいろな種類があり、主電極と平
行に補助電極であるピン電極を配置した紫外光予備電離
方式もその−っである。このような方式で構成された装
置を復数組合せで一つのレーザ発振器にし、出力の向上
を図ることが行われている。第６図は二台のほぼ同一構
成になる発振装置１ａ、１ｂを並列に設置し１．二つの
反射鏡２ａ、２ｂによって光学的に結合した構成になる
従来例庖示している。すなわち、発振装置１ａ、１ｂは
上記並列設置において、同（、側になる一方の端部にそ
れぞれ全反射鏡３ａおよび出力鏡３ ｂか取り付けられ
ている。そしてこれら全反射鏡３ａ、出力鏡３ｂに対向
する他方の端部は透明体を機密封止した透過窓４ａ、４
ｂに構成されている。二つの反射鏡２ａ、２ｂは全反射
鏡３ｄ、出力鏡３ｂを共振器鏡とすべく、透過窓４ａ、
４ｂの近傍に設けられている。また、内部構造は第７図
に示すように、中央に板状の陰極５ａ、５ｂおよび同じ
く板状の陽極６ａ、６ｂからなる主放電電極が上下に設
けられた取付板７ａ、７ｂに保持されている。これら主
放電電極の両側には多数のコンデンサ８ａ、８ｂが同じ
く取付板？ａ、７ｂにそれぞれ対になって対向した状態
に保持されている。これら−コンデンサにはビン電極９
ａｓｌＯａおよび９ｂ、１０ｂが取り付けられている。
なお、陰極５ａ、５ｂにおいて、発振装置本体である容
器１１ａ、ｌｌｂと取付板７ａ、７ｂとの間には絶縁体
１２ａ、１２ｂが介在されている。また１３はアースさ
れた高圧のパルス電源で陰極５ａ、５ｂに高圧を印加す
るようになっている。
器１１ａ、ｌｌｂと取付板７ａ、７ｂとの間には絶縁体
１２ａ、１２ｂが介在されている。また１３はアースさ
れた高圧のパルス電源で陰極５ａ、５ｂに高圧を印加す
るようになっている。
上記の構成において、ビン電極での放電による紫外光は
四方へ方を照射するが、ビン電極が主放電電極を間にし
て設げられているので、紫外光がそれぞれ半分しか予備
電離に使われず効率的に問題があった。
四方へ方を照射するが、ビン電極が主放電電極を間にし
て設げられているので、紫外光がそれぞれ半分しか予備
電離に使われず効率的に問題があった。
［発明の目的］
本発明は発生した紫外光をより自゛効に予備電離に用い
安定動作を−ｄ−１）ガスレーザ発振装置を提供するも
のである。
安定動作を−ｄ−１）ガスレーザ発振装置を提供するも
のである。
［発明の概要］
本発明１．．１１個もしくは複数個の予備放電電極から
ちる複数個の予備放電電極群を複数の主放電電極を介装
するように配Ｅ Ｌ、 、、これ１．−）を容器の単一
の空所に収容して、相隣る主放電電極間の予備放電電極
群は直接両刃の主放電電極に対向させ、雨上放電電極の
放電領域に予備電離を行なうようにしたガスレーザ発振
装置である。
ちる複数個の予備放電電極群を複数の主放電電極を介装
するように配Ｅ Ｌ、 、、これ１．−）を容器の単一
の空所に収容して、相隣る主放電電極間の予備放電電極
群は直接両刃の主放電電極に対向させ、雨上放電電極の
放電領域に予備電離を行なうようにしたガスレーザ発振
装置である。
［発明の実施例］
以下本発明の詳細を図面を参照しながら実施例により説
明する。第１図および第２図は第１の実施例を示す。容
器２１は単一の空所２２ををし、ていて、この中に取付
板２３が直接取付けられており、取付板２４が絶縁板２
５を介して取付けられている。取付板２４には陰極２５
ａ、２５ｂが取゛□付けられていて、取付板２３には陽
極２６ａ、２６ｂが取付けられでおり、それぞれ主放電
電極２Ｔａ、２７ｂを構成している。これら主放電電極
２７ａ、２７ｂを介装する位置に予備放電電極群２８
ａ、 ２８ ｂ、 ２８ ｃが設けられている。予備放
電電極群２８ａは取イ；１板２３に取付けられたコンデ
ンサ３１ａの上に突設されたビン電極３２ａと、取付板
２４に取付けられたコンデンサ３３Ｈの上に突設された
ビン電極３４ａとで構成される予備放電電極３５ａを主
放電電極２ ’７ ａに沿って複数個設けＣ−構成され
ごいる。同様に予備放電電極群２８ｂ、２８ｃも″ｆ−
備放電電極３５ｂ、３５Ｃをそれぞれ複数個設けて構成
されている。また容器２１の一方端部には出力ミラー３
７、反射ミラー３８が設けられていて、他力端部には空
所２２内に反射ミラー３９．４０が取付けられている。
明する。第１図および第２図は第１の実施例を示す。容
器２１は単一の空所２２ををし、ていて、この中に取付
板２３が直接取付けられており、取付板２４が絶縁板２
５を介して取付けられている。取付板２４には陰極２５
ａ、２５ｂが取゛□付けられていて、取付板２３には陽
極２６ａ、２６ｂが取付けられでおり、それぞれ主放電
電極２Ｔａ、２７ｂを構成している。これら主放電電極
２７ａ、２７ｂを介装する位置に予備放電電極群２８
ａ、 ２８ ｂ、 ２８ ｃが設けられている。予備放
電電極群２８ａは取イ；１板２３に取付けられたコンデ
ンサ３１ａの上に突設されたビン電極３２ａと、取付板
２４に取付けられたコンデンサ３３Ｈの上に突設された
ビン電極３４ａとで構成される予備放電電極３５ａを主
放電電極２ ’７ ａに沿って複数個設けＣ−構成され
ごいる。同様に予備放電電極群２８ｂ、２８ｃも″ｆ−
備放電電極３５ｂ、３５Ｃをそれぞれ複数個設けて構成
されている。また容器２１の一方端部には出力ミラー３
７、反射ミラー３８が設けられていて、他力端部には空
所２２内に反射ミラー３９．４０が取付けられている。
さらにまた空所２２内には例えはＴ Ｅ Ａ Ｃ０２レ
ーザの場合は１．・−ザ媒質としてＣ０２、Ｉ−Ｉｅ、
Ｎｅの３種のガスが適量混合されて充填されていて、陰
極２５ａ、２５ｂにはアースされた高圧のパルス電源４
１より高圧が印加される。さらにまた容器２１、陽極２
６ａ、、２６ｂはそれぞれアースされている。なお上述
の反射ミラー３８．３９．４０および出力ミラー３７で
共振器を構成している。
ーザの場合は１．・−ザ媒質としてＣ０２、Ｉ−Ｉｅ、
Ｎｅの３種のガスが適量混合されて充填されていて、陰
極２５ａ、２５ｂにはアースされた高圧のパルス電源４
１より高圧が印加される。さらにまた容器２１、陽極２
６ａ、、２６ｂはそれぞれアースされている。なお上述
の反射ミラー３８．３９．４０および出力ミラー３７で
共振器を構成している。
次に作用につき説明すると、パルス電源４１で発生した
高圧パルスが取付板２４に印加されると、コンデンサ３
３ ａ、 ３３ ｂ、 ３３ ｃを介してビン電極３４
ａ、３４ｂ、３４ｃの先端は高電圧となリ、対になった
ピン電極３４ａ３５ａ、３４ｂ３５ｂ、３４ｃ３５ｃ間
でスパーの放電が゛発生する。
高圧パルスが取付板２４に印加されると、コンデンサ３
３ ａ、 ３３ ｂ、 ３３ ｃを介してビン電極３４
ａ、３４ｂ、３４ｃの先端は高電圧となリ、対になった
ピン電極３４ａ３５ａ、３４ｂ３５ｂ、３４ｃ３５ｃ間
でスパーの放電が゛発生する。
この過程でコンデンサ３３ａ１・・・３１ａ・・・は充
電さねる。この放電から放出される紫外光のうち第２図
において左側の予備放電電極群２８ａからの紫外光は主
放電電極２７ａの間の放電領域を予備電離する。同様に
予備放電電極群２８ｃは主成電電Ｗ ２７ ｂの放電領
域を予備電離する。そして予備放電電極群２８ｂは両主
放電電極２’７ａ、２７１）に直接望んでいるので紫外
光は両主放電電極２７ａ、２７ｂの放電領域を同時に予
備電離する。
電さねる。この放電から放出される紫外光のうち第２図
において左側の予備放電電極群２８ａからの紫外光は主
放電電極２７ａの間の放電領域を予備電離する。同様に
予備放電電極群２８ｃは主成電電Ｗ ２７ ｂの放電領
域を予備電離する。そして予備放電電極群２８ｂは両主
放電電極２’７ａ、２７１）に直接望んでいるので紫外
光は両主放電電極２７ａ、２７ｂの放電領域を同時に予
備電離する。
コンデンサ３１． ａ、３１ｂ、３１ｃおよび３３ａ１
３３ｂ、３３ｅが充電され、電極２６ａ、２６ｂに対し
電極２５ａ’、２５ｂが高圧になると、こイ１らＩの予
向電離により陰極２５ａと陽極２６ａ、陰極２５ｂと陽
極２６ｂとの間にはほぼ同時に均一なグロー放電が発生
ずる。これによりレーザガス媒質か励起され反射ミラー
３８．３９．４０および出力ミラー３７で構成する共振
器で増幅され、し〜す光が安定した状態で放出される。
３３ｂ、３３ｅが充電され、電極２６ａ、２６ｂに対し
電極２５ａ’、２５ｂが高圧になると、こイ１らＩの予
向電離により陰極２５ａと陽極２６ａ、陰極２５ｂと陽
極２６ｂとの間にはほぼ同時に均一なグロー放電が発生
ずる。これによりレーザガス媒質か励起され反射ミラー
３８．３９．４０および出力ミラー３７で構成する共振
器で増幅され、し〜す光が安定した状態で放出される。
次に第３図に示すものは第２の実施例で、容器２１の中
に２個の主放電電極４５ａ、４５ｂを封入し介装位置に
予備放電電極群４６ａ、４６ｂ、４６ｃをそれぞれ設け
、また一方端部には出力３ラー４７．４８を取付け、他
方端部には反射ミラー４９．５０を取付けて構成され、
２つのレーザ出力を得るもので、予備放電電極群４６ｂ
は両１−放電電極４５ａ、４５ｂの放電領域を同時に予
備電離する。
に２個の主放電電極４５ａ、４５ｂを封入し介装位置に
予備放電電極群４６ａ、４６ｂ、４６ｃをそれぞれ設け
、また一方端部には出力３ラー４７．４８を取付け、他
方端部には反射ミラー４９．５０を取付けて構成され、
２つのレーザ出力を得るもので、予備放電電極群４６ｂ
は両１−放電電極４５ａ、４５ｂの放電領域を同時に予
備電離する。
第４図は第３の実施例で、第２の実施例の場合と同様に
して主放電電極５１ａ、５１ｂ、 ・・、予備放電電
極群５２ａ、５２ｂ、・・・、出力ミラー５３ ａ−５
３ｂｓ ＝・、反射ミラー５４ａ、５４ｂ、・・・を設
けて異った多数のレーザ出力を得るものである。
して主放電電極５１ａ、５１ｂ、 ・・、予備放電電
極群５２ａ、５２ｂ、・・・、出力ミラー５３ ａ−５
３ｂｓ ＝・、反射ミラー５４ａ、５４ｂ、・・・を設
けて異った多数のレーザ出力を得るものである。
第５図はさらに第４の実施例を示すもので、六角形の容
器６１に主放電電極６２ａ、６２ｂ、・を環状に配置し
たもので、すべての予Ｑ ’ｊｌｔ、 ｊ↓Ｓ ｉ＜極
群６３ａ、６３ｂ、・・・はそれぞれ両側の［ト放電領
域を予備電離する。そＩ５て紙面直角方向両端部に反射
ミラー （図示しない）を取付け１個所を出力ミラーと
することにより強力なレーザ出力を得る。
器６１に主放電電極６２ａ、６２ｂ、・を環状に配置し
たもので、すべての予Ｑ ’ｊｌｔ、 ｊ↓Ｓ ｉ＜極
群６３ａ、６３ｂ、・・・はそれぞれ両側の［ト放電領
域を予備電離する。そＩ５て紙面直角方向両端部に反射
ミラー （図示しない）を取付け１個所を出力ミラーと
することにより強力なレーザ出力を得る。
なお、本実施例では直方体状の容器を用いた例につき述
べたが、円筒状の容器を用いてもよく、特に圧力の高い
場合などによい。
べたが、円筒状の容器を用いてもよく、特に圧力の高い
場合などによい。
［発明の効果］
以上詳述したように本発明のガスレーザ発振装置は相隣
れる主放電電極間に設けたは予備放電電極により両側の
主放電電極の放電領域を予備電離するように構成したの
で、従来のものに比べ、予備放電電極群の数が少なく構
成が簡単で小形化される。また予備電離作用が有効に活
用できる。さらにまた従来の装置においては例えば別個
の容器の２台のレーザ装置を用いていたため、高圧パル
スが印加されてから主放電が発生するまでには各装置固
有の時間遅れがあり、同時に動作させるのは困難であっ
た。しかしながら本装置においては２台の装置を１体化
したのでこのような不都合はない。
れる主放電電極間に設けたは予備放電電極により両側の
主放電電極の放電領域を予備電離するように構成したの
で、従来のものに比べ、予備放電電極群の数が少なく構
成が簡単で小形化される。また予備電離作用が有効に活
用できる。さらにまた従来の装置においては例えば別個
の容器の２台のレーザ装置を用いていたため、高圧パル
スが印加されてから主放電が発生するまでには各装置固
有の時間遅れがあり、同時に動作させるのは困難であっ
た。しかしながら本装置においては２台の装置を１体化
したのでこのような不都合はない。
第１図は本発明装置の第１の実施例のＷ面図、第２図は
第１図の■−〇線に沿った拡大断面図、第３図は同じく
第２の実施例の平面図、第４図は同じく第３の実施例の
平面図、８第５図は同じく第４の実施例の横断面図、第
６図は従来例の平面図、第７図は第６図の■−■線に沿
った拡大断面図である。 ２１．６１・・・容器、２２・・・空所、２５ａ、２５
ｂ ・・・陰極、２６ ａ、、 ２６ ｂ−・・陽極、
２７ａ、２７ｂ、４５ａ、４５ｂ、５１ａｓ ５］ｂ
、６２ａ。 ６２ ｂ−・・主放電電極２．３５ａ、３５ｂ、３５
ｃ −・・予備放電電極、２８ａ、２８ｂ、２８ｅ、６
３ａ。 ゝ６３ｂ、６３Ｃ１４６ａ、４６）３．４６ ｃ−０８
予備放電電極群
第１図の■−〇線に沿った拡大断面図、第３図は同じく
第２の実施例の平面図、第４図は同じく第３の実施例の
平面図、８第５図は同じく第４の実施例の横断面図、第
６図は従来例の平面図、第７図は第６図の■−■線に沿
った拡大断面図である。 ２１．６１・・・容器、２２・・・空所、２５ａ、２５
ｂ ・・・陰極、２６ ａ、、 ２６ ｂ−・・陽極、
２７ａ、２７ｂ、４５ａ、４５ｂ、５１ａｓ ５］ｂ
、６２ａ。 ６２ ｂ−・・主放電電極２．３５ａ、３５ｂ、３５
ｃ −・・予備放電電極、２８ａ、２８ｂ、２８ｅ、６
３ａ。 ゝ６３ｂ、６３Ｃ１４６ａ、４６）３．４６ ｃ−０８
予備放電電極群
Claims (4)
- （１）対向した陰極および陽極からなる複数個の主放電
電極と、レーザ媒質と、放電により上記レーザ媒質を電
離する１個もしくは複数個の予備放電電極からなりかつ
上記複数個の主放電電極を介装する位置に設けられると
ともに相隣れる両主放電電極間においては上記両主放電
電極の放電領域に対し予備電離作用を有する複数個の予
備放電電極群と、上記主放電電極および上記レーザ媒質
および上記予備放電電極群を単一空所に機密に収容する
容器とを具備したことを特徴とするガスレーザ発振装置
。 - （２）各主放電電極および予備放電電極群は容器内にお
いて環状の位置関係に配置されたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振装置 - （３）複数個の主放電電極は直列に共振路を形成し出力
レーザ光は１つであることを特徴とする特許請求の範囲
第１項または第２項に記載のガスレーザ発振装置。 - （４）複数個の主放電電極はそれぞれ別個に共振路を形
成し別個にレーザ光を出力することを特徴とする特許請
求の範囲第１項または第２項に記載のガスレーザ発振装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14053685A JPS622678A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14053685A JPS622678A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS622678A true JPS622678A (ja) | 1987-01-08 |
Family
ID=15270951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14053685A Pending JPS622678A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS622678A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01194374A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 | Toshiba Corp | ガスレーザ発振装置 |
| JP2009065173A (ja) * | 2003-07-23 | 2009-03-26 | Asml Netherlands Bv | リソグラフ装置及びデバイスの製造方法 |
| WO2013127111A1 (zh) * | 2012-03-02 | 2013-09-06 | 中国科学院光电研究院 | 单腔双电极放电腔及准分子激光器 |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP14053685A patent/JPS622678A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01194374A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 | Toshiba Corp | ガスレーザ発振装置 |
| JP2009065173A (ja) * | 2003-07-23 | 2009-03-26 | Asml Netherlands Bv | リソグラフ装置及びデバイスの製造方法 |
| WO2013127111A1 (zh) * | 2012-03-02 | 2013-09-06 | 中国科学院光电研究院 | 单腔双电极放电腔及准分子激光器 |
| US9252557B2 (en) | 2012-03-02 | 2016-02-02 | Academy Of Opto-Electronics, Chinese Academy Of Sciences | Single cavity dual-electrode discharge cavity and excimer laser |
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