JPS6037189A - 無声放電励起同軸型レ−ザ発振器 - Google Patents
無声放電励起同軸型レ−ザ発振器Info
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- JPS6037189A JPS6037189A JP58145174A JP14517483A JPS6037189A JP S6037189 A JPS6037189 A JP S6037189A JP 58145174 A JP58145174 A JP 58145174A JP 14517483 A JP14517483 A JP 14517483A JP S6037189 A JPS6037189 A JP S6037189A
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- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
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- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、無声放電によりレーザ媒質ガスの励起を行
う同軸型レーザ発振器に関するものである。
う同軸型レーザ発振器に関するものである。
従来この種の同軸型レーザ発振器としては、第１図に示
すものがあった。第１図は従来の同軸型レーザ発振器の
概略構成を示す断面図である。図に示す様に、ガラス管
等の絶縁物で構成された放電管１内にレーザ媒質ガス２
を流し、放電管１内に設けた陰極３と陽極４との間に直
Ｒ’Ｉｆ！、源５を接続し、各陰極３．陽極４間にグロ
ー放電６を発生させる。放電管１の両端には全反射鏡７
と部分反射鏡８を対抗して配設することによりレーザ発
振を発生させ、レーザ光９を外部へ出力する様にする。
すものがあった。第１図は従来の同軸型レーザ発振器の
概略構成を示す断面図である。図に示す様に、ガラス管
等の絶縁物で構成された放電管１内にレーザ媒質ガス２
を流し、放電管１内に設けた陰極３と陽極４との間に直
Ｒ’Ｉｆ！、源５を接続し、各陰極３．陽極４間にグロ
ー放電６を発生させる。放電管１の両端には全反射鏡７
と部分反射鏡８を対抗して配設することによりレーザ発
振を発生させ、レーザ光９を外部へ出力する様にする。
従来の同軸型レーザ発振器は以上の様に構成されている
ので、陰極３と陽極４との間の放電距離が比較的に長く
、レーザ媒質ガス２の圧力を約２０Ｔｏｒｒ程度に低く
しないと安定なグロー放電６を得ることが難かしく、ま
た、グロー放電６の放電電流を少なくしていくと、つい
にはグロー放電６が消滅してしまい、グロー放電６の放
電電流を広範囲に変化することはできなく、このため、
レーザ光９の出力の強度が小さい場合に、その出力の取
り出しはほとんど不可能となシ、また、各陰極３゜陽極
４等は金属で作られているため、グロー放電６により消
耗するなどの欠点があった。
ので、陰極３と陽極４との間の放電距離が比較的に長く
、レーザ媒質ガス２の圧力を約２０Ｔｏｒｒ程度に低く
しないと安定なグロー放電６を得ることが難かしく、ま
た、グロー放電６の放電電流を少なくしていくと、つい
にはグロー放電６が消滅してしまい、グロー放電６の放
電電流を広範囲に変化することはできなく、このため、
レーザ光９の出力の強度が小さい場合に、その出力の取
り出しはほとんど不可能となシ、また、各陰極３゜陽極
４等は金属で作られているため、グロー放電６により消
耗するなどの欠点があった。
この発明は、上記の様な従来のものの欠点全改善する目
的でなされたもので、同軸型レーザ発振器において、放
電管の外側にリング状に設けた少なくとも１対の電極を
配設し、この各電極に交流電圧を印加する様にして成る
構成を有し、放電管内に無声放電全発生させて、レーザ
光を出力できる高性能な無声放電励起同軸型レーザ発振
器を提供するものである。
的でなされたもので、同軸型レーザ発振器において、放
電管の外側にリング状に設けた少なくとも１対の電極を
配設し、この各電極に交流電圧を印加する様にして成る
構成を有し、放電管内に無声放電全発生させて、レーザ
光を出力できる高性能な無声放電励起同軸型レーザ発振
器を提供するものである。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第２図はこの発明の一実施例である無声放電励起同軸型
レーザ発振器の概略構成を示す断面図である。図に示す
様に、ガラス管等の絶縁物（誘電体）で構成された放電
管１内にレーザ媒質ガス２を流し、放電管１の外側には
リング状に設けた２対の電極１０Ａ、ＩＯＢ、ＩＯＣ，
ＩＯＤ金配設し、これら各電極１０Ａ〜ＩＯＤに交流電
源１１を接続し、それぞれ隣接する各電極１０Ａ、１０
１３及びｉｏｃ、 ＩＯＤ間に交流電圧を印加する。こ
の交流電圧の周波数は、約１０ＫＨｚ以上、特に約ｉｏ
ｏ〜５００Ｉ住Ｉｚ以上に設定すると良い。すると、放
電管１内には無声放電１２が発生する。ここで、放電管
ｉ１構成するガラス管等の誘電体は、発生する無声放電
１２をバランスさせる効果を持っており、このため、各
電極１０Ａ〜ＩＯＤ間には均一な電流が流れる。レーザ
媒質ガス２は無声放電１２により励起さ几、全反射鏡７
と部分反射鏡８との間でレーザ発１辰を発生し、レーザ
光９を外部へ出力する。
レーザ発振器の概略構成を示す断面図である。図に示す
様に、ガラス管等の絶縁物（誘電体）で構成された放電
管１内にレーザ媒質ガス２を流し、放電管１の外側には
リング状に設けた２対の電極１０Ａ、ＩＯＢ、ＩＯＣ，
ＩＯＤ金配設し、これら各電極１０Ａ〜ＩＯＤに交流電
源１１を接続し、それぞれ隣接する各電極１０Ａ、１０
１３及びｉｏｃ、 ＩＯＤ間に交流電圧を印加する。こ
の交流電圧の周波数は、約１０ＫＨｚ以上、特に約ｉｏ
ｏ〜５００Ｉ住Ｉｚ以上に設定すると良い。すると、放
電管１内には無声放電１２が発生する。ここで、放電管
ｉ１構成するガラス管等の誘電体は、発生する無声放電
１２をバランスさせる効果を持っており、このため、各
電極１０Ａ〜ＩＯＤ間には均一な電流が流れる。レーザ
媒質ガス２は無声放電１２により励起さ几、全反射鏡７
と部分反射鏡８との間でレーザ発１辰を発生し、レーザ
光９を外部へ出力する。
第３図はこの発明の他の実施例である無声放電励起同軸
型レーザ発振器の概略構成を示す一部拡大断面図である
。第３図に示すものでは、放電管１のリング状の各電極
１０Ａ〜ＩＯＤの設けられる近傍を、チタン酸バリウム
系の磁器の様な高誘電率の誘電体１３とした構成を有し
、これにより、無声放電１２の電流を増加させることが
でき、大きなレーザ光９の出力を得ることができる。そ
の他の構成は、上記第２図に示すものと同様に構成され
ている。
型レーザ発振器の概略構成を示す一部拡大断面図である
。第３図に示すものでは、放電管１のリング状の各電極
１０Ａ〜ＩＯＤの設けられる近傍を、チタン酸バリウム
系の磁器の様な高誘電率の誘電体１３とした構成を有し
、これにより、無声放電１２の電流を増加させることが
でき、大きなレーザ光９の出力を得ることができる。そ
の他の構成は、上記第２図に示すものと同様に構成され
ている。
上記した各実施例に示される様に、この発明による無声
放電励起同軸型レーザ発振器では、無声放電１２はその
電流バランスが良く、放電電流を広範囲に可変できるた
めに、この種の従来例の同軸型レーザ発振器と比べて、
レーザ光９の出力を任意に変化させることができる。ま
た、上記無声放電１２は放電管１の内部で発生するので
、放電管１の外側に設けた各電極１０Ａ〜ＩＯＤが消耗
することはなくなる。
放電励起同軸型レーザ発振器では、無声放電１２はその
電流バランスが良く、放電電流を広範囲に可変できるた
めに、この種の従来例の同軸型レーザ発振器と比べて、
レーザ光９の出力を任意に変化させることができる。ま
た、上記無声放電１２は放電管１の内部で発生するので
、放電管１の外側に設けた各電極１０Ａ〜ＩＯＤが消耗
することはなくなる。
なお、上記実施例では、各電極１０Ａ〜ＩＯＤは２対設
けた場合について説明したが、何対設けても良く、上記
実施例と同様の効果を奏する。
けた場合について説明したが、何対設けても良く、上記
実施例と同様の効果を奏する。
この発明は以上説明した様に、同軸型レーザ発振器にお
いて、放電管の外側にリング状で、かつ＼ 交流電圧を印加する少なくとも１対の電極を配設し、前
記放電管内に発生する無声放電によシレーザ媒質ガスを
励起させる様に構成したので、この種の同軸型レーザ発
振器と比べて、安定した放電が行われ、広範囲にレーザ
光の出力を可変にできると共に、電極の消耗を著しく軽
減でき、極めて高性能な無声放電励起同軸型レーザ発振
器が得られるという優れた効果を奏する・ものである。
いて、放電管の外側にリング状で、かつ＼ 交流電圧を印加する少なくとも１対の電極を配設し、前
記放電管内に発生する無声放電によシレーザ媒質ガスを
励起させる様に構成したので、この種の同軸型レーザ発
振器と比べて、安定した放電が行われ、広範囲にレーザ
光の出力を可変にできると共に、電極の消耗を著しく軽
減でき、極めて高性能な無声放電励起同軸型レーザ発振
器が得られるという優れた効果を奏する・ものである。
第１図は従来の同軸型レーザ発振器の概略構成を示す断
面図、第２図はこの発明の一実施例である無声放電励起
同軸型レーザ発振器の概略構成を示す断面図、第３図は
この発明の他の実施例である無声放電励起同軸型レーザ
発振器の概略構成を示す一部拡大断面図である。 図において、■・・・放電管、２・・・レーザ媒質ガス
、３・・・＠極、４・・・陽極、５・・・直流電源、６
・・・グロー放電、７・・・全反射鏡、８・・・部分反
射鏡、９・・・レーザ光、ＩＯＡ〜１０１）・・・電極
、１１・・・交流電源、１２・−・無声放電、１３・・
・高誘電率の誘電体である。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分全示す。 代理人 大岩増雄
面図、第２図はこの発明の一実施例である無声放電励起
同軸型レーザ発振器の概略構成を示す断面図、第３図は
この発明の他の実施例である無声放電励起同軸型レーザ
発振器の概略構成を示す一部拡大断面図である。 図において、■・・・放電管、２・・・レーザ媒質ガス
、３・・・＠極、４・・・陽極、５・・・直流電源、６
・・・グロー放電、７・・・全反射鏡、８・・・部分反
射鏡、９・・・レーザ光、ＩＯＡ〜１０１）・・・電極
、１１・・・交流電源、１２・−・無声放電、１３・・
・高誘電率の誘電体である。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分全示す。 代理人 大岩増雄
Claims (3)
- （１） ガラス管等の絶縁物で構成さ牡た放電管内にレ
ーザ媒質ガスを流し、前記放電管内で放電を発生させて
前記レーザ媒質ガスを励起することによシ、前記放電管
の両端に対抗して配置した全反射鏡と部分反射鏡の間で
レーザ発４辰を発生する同軸型レーザ発振器において、
前記放電管の外側にリング状に設けた少なくとも１対の
電極を配設し、この各電極に交流電圧を印加する様にし
て成ることを特徴とする無声放電励起同軸型レーザ発振
器。 - （２） 前記放電管の電極の近傍は、高誘電率の誘電体
とすることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無
声放電励起同軸型レーザ発振器。 - （３） 前記高誘電率の誘電体は、チタン酸バリウム系
の磁器とすることを特徴とする特許請求の範囲第２項記
載の無声放電励起同軸型レーザ発振器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58145174A JPS6037189A (ja) | 1983-08-09 | 1983-08-09 | 無声放電励起同軸型レ−ザ発振器 |
| GB08417870A GB2145275B (en) | 1983-08-09 | 1984-07-13 | A coaxial type laser oscillator for excitation by silent discharge |
| US06/631,173 US4597086A (en) | 1983-08-09 | 1984-07-16 | Coaxial type laser oscillator for excitation by silent discharge |
| DE19843426658 DE3426658A1 (de) | 1983-08-09 | 1984-07-19 | Laservorrichtung der koaxial-bauart |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58145174A JPS6037189A (ja) | 1983-08-09 | 1983-08-09 | 無声放電励起同軸型レ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6037189A true JPS6037189A (ja) | 1985-02-26 |
Family
ID=15379143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58145174A Pending JPS6037189A (ja) | 1983-08-09 | 1983-08-09 | 無声放電励起同軸型レ−ザ発振器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4597086A (ja) |
| JP (1) | JPS6037189A (ja) |
| DE (1) | DE3426658A1 (ja) |
| GB (1) | GB2145275B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7087295B2 (en) | 2002-01-18 | 2006-08-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Surface-coated cutting tool |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3536770A1 (de) * | 1985-10-16 | 1987-04-16 | Heraeus Gmbh W C | Gaslaser |
| DE8619083U1 (de) * | 1986-07-16 | 1987-11-12 | Rofin-Sinar Laser Gmbh, 22113 Hamburg | Gaslaser mit Hochfrequenzanregung |
| JPS6398175A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-28 | Fanuc Ltd | レ−ザ装置 |
| JPH0787255B2 (ja) * | 1986-12-23 | 1995-09-20 | フアナツク株式会社 | 高周波放電励起レ−ザ装置 |
| DE3732135A1 (de) * | 1987-09-24 | 1989-04-13 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Entladungskanal fuer hochleistungslaser |
| DE3825871A1 (de) * | 1988-07-29 | 1990-02-01 | Leybold Ag | Einrichtung fuer die anregung des gases eines gaslasers |
| JPH081972B2 (ja) * | 1991-07-29 | 1996-01-10 | 株式会社東芝 | ガスレーザ発振器 |
| DE4232843A1 (de) * | 1992-09-30 | 1994-03-31 | Siemens Ag | Diffusionsgekühlter CO¶2¶-Bandleiterlaser mit reduzierter Zündspannung |
| TW337049B (en) * | 1996-02-02 | 1998-07-21 | Shibuya Kogyo Co Ltd | Laser oscillator |
| US6757309B1 (en) * | 2001-11-07 | 2004-06-29 | Laser Diode Array, Inc. | Low inductance laser diode arrays, laser diode array assemblies, and fabrication thereof |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| GB1085013A (en) * | 1963-12-04 | 1967-09-27 | Canadian Patents Dev | Gaseous laser |
| US3460053A (en) * | 1966-11-08 | 1969-08-05 | Us Air Force | Means for producing long gas discharges |
| GB1196785A (en) * | 1967-11-22 | 1970-07-01 | Nat Res Dev | Improvements in Lasers. |
| NL6802368A (ja) * | 1968-02-19 | 1969-08-21 | ||
| DE2124878A1 (de) * | 1970-06-04 | 1971-12-16 | Jenoptik Jena Gmbh | Impulsgaslaser Anordnung |
| US4061986A (en) * | 1976-01-02 | 1977-12-06 | Coherent Radiation | Soft power supply for pulsed laser |
| JPS5839396B2 (ja) * | 1978-08-25 | 1983-08-30 | 株式会社日立製作所 | ガスレ−ザ発生装置 |
| JPS5673484A (en) * | 1979-11-21 | 1981-06-18 | Mitsubishi Electric Corp | Voiceless discharge gas laser device |
| JPS56142688A (en) * | 1980-04-04 | 1981-11-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Driving method of gas laser |
| IT1171313B (it) * | 1981-06-17 | 1987-06-10 | Selenia Ind Elettroniche | Laser a scarica longitudinale ad impulsi con preionizzazione ottenuta mediante effetto corona |
| US4455658A (en) * | 1982-04-20 | 1984-06-19 | Sutter Jr Leroy V | Coupling circuit for use with a transversely excited gas laser |
-
1983
- 1983-08-09 JP JP58145174A patent/JPS6037189A/ja active Pending
-
1984
- 1984-07-13 GB GB08417870A patent/GB2145275B/en not_active Expired
- 1984-07-16 US US06/631,173 patent/US4597086A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-07-19 DE DE19843426658 patent/DE3426658A1/de active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7087295B2 (en) | 2002-01-18 | 2006-08-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Surface-coated cutting tool |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2145275A (en) | 1985-03-20 |
| GB2145275B (en) | 1987-02-04 |
| DE3426658C2 (ja) | 1989-11-30 |
| GB8417870D0 (en) | 1984-08-15 |
| US4597086A (en) | 1986-06-24 |
| DE3426658A1 (de) | 1985-02-28 |
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