JPS6358884A - 無声放電式ガスレ−ザ装置 - Google Patents
無声放電式ガスレ−ザ装置Info
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- JPS6358884A JPS6358884A JP20308486A JP20308486A JPS6358884A JP S6358884 A JPS6358884 A JP S6358884A JP 20308486 A JP20308486 A JP 20308486A JP 20308486 A JP20308486 A JP 20308486A JP S6358884 A JPS6358884 A JP S6358884A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric electrodes
- dielectric
- discharge
- electrodes
- high voltage
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野〕
この発明は、無声放電式ガスレーザ装置に関する。
［従来の技術］
第２図に従来の無声放電式ガスレーザ装置の構成を示す
。
。
図において、（ｌａ） 、 （ｌｂ）は真空合憲２内に
、対向配ｌされた第１誘電体電極であって、金属電極（
２ａ）、 （２ｂ）の表面に誘電体（３ａ） 、 （３
ｂ）が被覆されている。（４ａ） 、 （４ｂ）は同じ
く真空容＝２内に対向配置された第２誘電体電極であっ
て前記第１誘電体電極（ｌａ） 、 （ｌｂ）と同様に
金属電極（５ａ）、 （５ｂ）の表面に誘電体（６ａ）
、 （６ｂ）が被覆されている。上記の第１誘電体電極
（ｌａ） 、 （ｌｂ）と第２誘電体電極（４ａ） 、
（４ｂ）とを２分割構成とするのは、レーザビームの
出力の増大化を計るために誘電体電極の長さを長くする
と、必然的に誘電体電極にたわみが生じるおそれがあり
、また長大の誘電体電極であると、その表面に均一な膜
厚の誘電体を形成し難く、膜厚の薄い部分に電流集中が
生じ絶縁破壊の原因となる等の欠点を補うためである。
、対向配ｌされた第１誘電体電極であって、金属電極（
２ａ）、 （２ｂ）の表面に誘電体（３ａ） 、 （３
ｂ）が被覆されている。（４ａ） 、 （４ｂ）は同じ
く真空容＝２内に対向配置された第２誘電体電極であっ
て前記第１誘電体電極（ｌａ） 、 （ｌｂ）と同様に
金属電極（５ａ）、 （５ｂ）の表面に誘電体（６ａ）
、 （６ｂ）が被覆されている。上記の第１誘電体電極
（ｌａ） 、 （ｌｂ）と第２誘電体電極（４ａ） 、
（４ｂ）とを２分割構成とするのは、レーザビームの
出力の増大化を計るために誘電体電極の長さを長くする
と、必然的に誘電体電極にたわみが生じるおそれがあり
、また長大の誘電体電極であると、その表面に均一な膜
厚の誘電体を形成し難く、膜厚の薄い部分に電流集中が
生じ絶縁破壊の原因となる等の欠点を補うためである。
２分割構成された上記の第１ＸＡ電体電極（ｌａ） 。
（１ｂ）と第２誘電体電８（４ａ） 、 （４ｂ）とは
、互いに並列接続され、一つの制御回路（１２）と一つ
の高周波高電圧電源（１３）に接続されている。
、互いに並列接続され、一つの制御回路（１２）と一つ
の高周波高電圧電源（１３）に接続されている。
（８）は上記第１．Ａ電体上極（ｌａ） 、 （ｌｂ）
および第２誘電体電極（４ａ） 、 （４ｂ）間で生じ
る無声放電、（９） 、 （１０）はレーザ光の光軸
上に配置した全反射鏡および部分反射鏡である。（１１
）は部分反射鏡（ｌＯ）を透過して出力されるレーザビ
ームである。
および第２誘電体電極（４ａ） 、 （４ｂ）間で生じ
る無声放電、（９） 、 （１０）はレーザ光の光軸
上に配置した全反射鏡および部分反射鏡である。（１１
）は部分反射鏡（ｌＯ）を透過して出力されるレーザビ
ームである。
また、上記の真空容器（２）内には炭酸ガスを含んだ混
合ガス（Ｈｅ 、Ｈ２、ＣＯ２、Ｃｏ等の混合ガス）充
填される。
合ガス（Ｈｅ 、Ｈ２、ＣＯ２、Ｃｏ等の混合ガス）充
填される。
上記の構成において、第１誘電体電極（ｌａ） 。
（ｌｂ）および第２誘電体電極（４ａ） 、 （４ｂ）
間ニ、ツレらに共通して接続した一つの交流高電圧電源
（７）より交流高電圧が印加されると、前記誘電体電極
間に形成される放電空間に無声放電（８）と呼ばれる放
電が生じる。この無声放電は誘電体（３ａ）、 （３ｂ
）、 （６ａ）、 （６ｂ）を介した交流放電であるた
め、アーク放電に移行することなく、電子温度のみが高
く、分子温度の上昇しない非平衡放電である。上記の放
電空間内で無声放電が起こると、全反射鏡（９）と部分
反射鏡（１ｏ）とにより構成される共振器内でレーザ発
振が起り、部分反射鏡（ｌＯ）を透過してレーザビーム
（１１）が出力される。
間ニ、ツレらに共通して接続した一つの交流高電圧電源
（７）より交流高電圧が印加されると、前記誘電体電極
間に形成される放電空間に無声放電（８）と呼ばれる放
電が生じる。この無声放電は誘電体（３ａ）、 （３ｂ
）、 （６ａ）、 （６ｂ）を介した交流放電であるた
め、アーク放電に移行することなく、電子温度のみが高
く、分子温度の上昇しない非平衡放電である。上記の放
電空間内で無声放電が起こると、全反射鏡（９）と部分
反射鏡（１ｏ）とにより構成される共振器内でレーザ発
振が起り、部分反射鏡（ｌＯ）を透過してレーザビーム
（１１）が出力される。
［発明が解決しようとする問題点］
従来の無声放電式ガスレーザ装置では、上記のように光
軸方向に分割された第１誘電体電極（ｌａ）、 （ｌｂ
）と第２：Ａ電体電極（４ａ）、 （４ｂ）が並列接続
され、一つの制御回路（１２）と一つの高周波高電圧電
源（１３）に接続されているので１次のよな問題点があ
った。
軸方向に分割された第１誘電体電極（ｌａ）、 （ｌｂ
）と第２：Ａ電体電極（４ａ）、 （４ｂ）が並列接続
され、一つの制御回路（１２）と一つの高周波高電圧電
源（１３）に接続されているので１次のよな問題点があ
った。
■一つの制御回路（１２）と、一つの高周波高電圧電源
（１３）とにより２分割構成された誘電体電極（ｌａ）
、 （ｌｂ）間、および誘電体電極（４ａ）、 （４ｂ
）間に流れる放電電流の合計値を制御するために、それ
ら誘電体電極（ｌａ）、 （ｌｂ）、および誘電体電極
（４ａ）、 （４ｂ）の構造のばらつきにより誘電体電
極（ｌａ）、 （ｌｂ）間、および誘電体電極（４ａ）
、 （４ｂ）間に流れる放電電流がばらつき、そのため
無声放電式ガスレーザ装δ自体の最大定格出力を下げざ
るを得ないこと。
（１３）とにより２分割構成された誘電体電極（ｌａ）
、 （ｌｂ）間、および誘電体電極（４ａ）、 （４ｂ
）間に流れる放電電流の合計値を制御するために、それ
ら誘電体電極（ｌａ）、 （ｌｂ）、および誘電体電極
（４ａ）、 （４ｂ）の構造のばらつきにより誘電体電
極（ｌａ）、 （ｌｂ）間、および誘電体電極（４ａ）
、 （４ｂ）間に流れる放電電流がばらつき、そのため
無声放電式ガスレーザ装δ自体の最大定格出力を下げざ
るを得ないこと。
■特に、低電流時に各々の誘電体電極
（ｌａ）、 （ｌｂ）間、および誘電体電極（４ａ）、
（４ｂ）間の放電開始電圧のばらつきにより無声放電
（８）の開始時点がばらつき、直線的な゛ポ流制御がで
きず、したがって出力されるレーザビーム（１１）の制
御性が悪くなってしまうこと。
（４ｂ）間の放電開始電圧のばらつきにより無声放電
（８）の開始時点がばらつき、直線的な゛ポ流制御がで
きず、したがって出力されるレーザビーム（１１）の制
御性が悪くなってしまうこと。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、出力されるレーザビームの制御性に優れ、か
つ最大定格出力を向上させることができる無声放電式ガ
スレーザ装ごを得ることを目的とする。
たもので、出力されるレーザビームの制御性に優れ、か
つ最大定格出力を向上させることができる無声放電式ガ
スレーザ装ごを得ることを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
この発明に係る無声放電式ガスレーザ装置は、複数に分
割して設けられた一対の誘電体電極間に流れる放電電流
を、各々独立して制御する制御回路と、前記誘電体電極
間に高周波高電圧を印加する高周波高電圧電源を各々独
立して設けたものである。
割して設けられた一対の誘電体電極間に流れる放電電流
を、各々独立して制御する制御回路と、前記誘電体電極
間に高周波高電圧を印加する高周波高電圧電源を各々独
立して設けたものである。
［作用］
この発明における無声放電式ガスレーザ装置は、複数に
分割して設けられた一対の誘電体電極間に流れる放電電
流が全て同一になるように、各々独立して設けた制御回
路により、他の誘電体電極間に流れる放電電流とは無関
係に独立的に制御し、各々の高周波高電圧電源から前記
誘電体電極に高周波高電圧を印加する。
分割して設けられた一対の誘電体電極間に流れる放電電
流が全て同一になるように、各々独立して設けた制御回
路により、他の誘電体電極間に流れる放電電流とは無関
係に独立的に制御し、各々の高周波高電圧電源から前記
誘電体電極に高周波高電圧を印加する。
［実施例］
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の無声放電式ガスレーザ装置の原理構
成図であり、従来の無声放電式ガスレーザ装置と同一部
分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
成図であり、従来の無声放電式ガスレーザ装置と同一部
分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
図において、（６ａ） 、 （６ｂ）は２分割された一
対の誘電体電極（ｌａ） 、 （ｌｂ）および誘電体電
極（４ａ） 。
対の誘電体電極（ｌａ） 、 （ｌｂ）および誘電体電
極（４ａ） 。
（４ｂ）に各々独立的に接続された制御回路、（７ａ）
。
。
（７ｂ）は同じく一対の誘電体電極（ｌａ） 、 （ｌ
ｂ）および誘電体電極（４ａ） 、 （４ｂ）に各々独
立的に接続された高周波高電圧電源である。
ｂ）および誘電体電極（４ａ） 、 （４ｂ）に各々独
立的に接続された高周波高電圧電源である。
なお、上記の制御回路（１２ａ） 、 （１２ｂ）お
よび高周波高電圧’ｌＴｔ源（１３ａ） 、（１３ｂ
）は、分割される−対の誘電体電極の数に対応して複数
段けられもである。
よび高周波高電圧’ｌＴｔ源（１３ａ） 、（１３ｂ
）は、分割される−対の誘電体電極の数に対応して複数
段けられもである。
上記の構成により分割された一対の第１誘電体電極（ｌ
ａ） 、 （ｌｂ）間、第２誘電体電極（４ａ） 、
（ａｂ）間に生じる無声放電（８）が、各々独立して設
けられた制御回路により制御され、各誘電体電極の特性
のばらつきを考慮した高周波高電圧が各々の高周波高電
圧電源（１３ａ） 、 （１３ｂ）から与えられる。
ａ） 、 （ｌｂ）間、第２誘電体電極（４ａ） 、
（ａｂ）間に生じる無声放電（８）が、各々独立して設
けられた制御回路により制御され、各誘電体電極の特性
のばらつきを考慮した高周波高電圧が各々の高周波高電
圧電源（１３ａ） 、 （１３ｂ）から与えられる。
したがって、各誘電体電極間での全ての放電電流を同一
にすることが可使となる。また、放電開始時点のばらつ
きを抑えることができるので、レーザビーム（１１）の
出力が得られる電流値以上では、常に、全ての誘電体電
極間で放電が開始されており、そのため放電電流の直線
的な制御が可壱となる。さらに、特定の誘電体電極間に
電流が集中することがなくなり、無声放電式ガスレーザ
装置自体の最大定格出力を向上させることができる。
にすることが可使となる。また、放電開始時点のばらつ
きを抑えることができるので、レーザビーム（１１）の
出力が得られる電流値以上では、常に、全ての誘電体電
極間で放電が開始されており、そのため放電電流の直線
的な制御が可壱となる。さらに、特定の誘電体電極間に
電流が集中することがなくなり、無声放電式ガスレーザ
装置自体の最大定格出力を向上させることができる。
［発明の効果］
以上のようにこの発明によれば、複数に分割して設けら
れた一対の誘電体電極間に流れる放電電流を、各々独立
して制御する制御回路と、話゛心体電極間に高周波高電
圧を印加するための高周波高電圧電源を各々独立して設
けたので、放電電波の低電流時から高電流時まで直線的
な電流制御ができ、また、特定の誘電体′電極への゛心
魂集中を回避できるので、無声放電式ガスレーザ装置自
体の最大定格出力を向上させ得るなどの効果を奏する。
れた一対の誘電体電極間に流れる放電電流を、各々独立
して制御する制御回路と、話゛心体電極間に高周波高電
圧を印加するための高周波高電圧電源を各々独立して設
けたので、放電電波の低電流時から高電流時まで直線的
な電流制御ができ、また、特定の誘電体′電極への゛心
魂集中を回避できるので、無声放電式ガスレーザ装置自
体の最大定格出力を向上させ得るなどの効果を奏する。
第１図はこの発明の一実施例を示す無声放電式ガスレー
ザ装置の原理構成図、第２図は従来の無声放電式ガスレ
ーザ装置の原理構成図である。 （ｌａ） 、 （ｌｂ）−−・第１誘電体電極、（４ａ
） 、 （４ｂ）・・・第２誘電体電極、（１２ａ）
、 （１２ｂ）・・・制御回路、（１３ａ） 、
（１３ｂ）−・高周波高電圧電源、（８） ・−・無
ｊ！ｊ放電、（９）・・・全反射鏡、 （１０）−・・
部分反射鏡、（ｌｉ）・・・ レーザビーム。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
ザ装置の原理構成図、第２図は従来の無声放電式ガスレ
ーザ装置の原理構成図である。 （ｌａ） 、 （ｌｂ）−−・第１誘電体電極、（４ａ
） 、 （４ｂ）・・・第２誘電体電極、（１２ａ）
、 （１２ｂ）・・・制御回路、（１３ａ） 、
（１３ｂ）−・高周波高電圧電源、（８） ・−・無
ｊ！ｊ放電、（９）・・・全反射鏡、 （１０）−・・
部分反射鏡、（ｌｉ）・・・ レーザビーム。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 金属電極の表面に誘電体を被覆した一対の誘電体電極を
少なくとも二組以上備え、前記一対の誘電体電極間に流
れる放電電流を制御する制御回路と高周波高電圧電源と
が上記一対の誘電体電極間に接続された無声放電式ガス
レーザ装置において、上記一対の誘電体電極間に流れる
放電電流を各々独立して制御する制御回路および独立し
た高周波高電圧電源とを備えたことを特徴とする無声放
電式ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20308486A JPS6358884A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20308486A JPS6358884A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6358884A true JPS6358884A (ja) | 1988-03-14 |
Family
ID=16468095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20308486A Pending JPS6358884A (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6358884A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6364383A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-22 | Fanuc Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS6398172A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-28 | Toshiba Corp | 高速繰返しパルスガスレ−ザ装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5513970A (en) * | 1978-07-17 | 1980-01-31 | Nec Corp | Gas laser device |
| JPS56131986A (en) * | 1980-03-19 | 1981-10-15 | Mitsubishi Electric Corp | Gas laser device |
| JPS56134790A (en) * | 1980-03-26 | 1981-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | Gas laser device |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP20308486A patent/JPS6358884A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5513970A (en) * | 1978-07-17 | 1980-01-31 | Nec Corp | Gas laser device |
| JPS56131986A (en) * | 1980-03-19 | 1981-10-15 | Mitsubishi Electric Corp | Gas laser device |
| JPS56134790A (en) * | 1980-03-26 | 1981-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | Gas laser device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6364383A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-22 | Fanuc Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS6398172A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-28 | Toshiba Corp | 高速繰返しパルスガスレ−ザ装置 |
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