JPS62273786A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
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- JPS62273786A JPS62273786A JP11488286A JP11488286A JPS62273786A JP S62273786 A JPS62273786 A JP S62273786A JP 11488286 A JP11488286 A JP 11488286A JP 11488286 A JP11488286 A JP 11488286A JP S62273786 A JPS62273786 A JP S62273786A
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- JP
- Japan
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- discharge
- glass tube
- pins
- high frequency
- gas
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- Pending
Links
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 5
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- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
＆ 発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ＳＤ放電を用いたガスレーザ装置における
放電装置の改良に関するものである。
放電装置の改良に関するものである。
第５図は従来のＳＤ放ｔＫよるガスレーザ装置の放電装
置の構成を示す図であり、（１）はセラミックス等で形
成された誘電体、（２）は金属製の一対の電極、（３）
はこれらの電極（２）へ高周波電圧ン印加するためのＳ
Ｄ用の高周波電源、（４）は誘電体（１）および一対の
電極（２）を周辺物と絶縁するための絶縁体である。
置の構成を示す図であり、（１）はセラミックス等で形
成された誘電体、（２）は金属製の一対の電極、（３）
はこれらの電極（２）へ高周波電圧ン印加するためのＳ
Ｄ用の高周波電源、（４）は誘電体（１）および一対の
電極（２）を周辺物と絶縁するための絶縁体である。
上記のよ５に構成された従来の放電装置において、高周
波電源（３）よりの電極（２）間に高周波電圧の印加に
よって、誘電体（１）内にＳＤ放電が生じてレーザガス
を励起し、この励起によって誘電体（１）の端部に設け
られている図示のない部分反射光よりレーザ光を出力す
る。
波電源（３）よりの電極（２）間に高周波電圧の印加に
よって、誘電体（１）内にＳＤ放電が生じてレーザガス
を励起し、この励起によって誘電体（１）の端部に設け
られている図示のない部分反射光よりレーザ光を出力す
る。
上記のような従来のガスレーザ装置における放電装置で
は、誘電体（１）がセラミックスのような放電による熱
ひずみを受は易く、また印加される電圧に対する耐力が
低い材料によって作られていたので、短期間の使用で寿
命が尽きてしまうという問題があった。
は、誘電体（１）がセラミックスのような放電による熱
ひずみを受は易く、また印加される電圧に対する耐力が
低い材料によって作られていたので、短期間の使用で寿
命が尽きてしまうという問題があった。
この発明はかかる問題点を解消するためになされたもの
で、長期山ｊの使用に耐えてか−Ｉｔ力密度が高い＠極
部を備えた放電部を有するガスレーザ装置を得ることを
目的とする。
で、長期山ｊの使用に耐えてか−Ｉｔ力密度が高い＠極
部を備えた放電部を有するガスレーザ装置を得ることを
目的とする。
この発明に係るガスレーザ装置は、放電室を形成するガ
ラス管あるいはガラス板に複数の金属製のピンを挿通・
固定して、放電電力の分布のバランスか良い位置に配設
し、これらのピンと高周波匍１源との間に設けた誘電１
体を介して印加される電圧によって、放電室内のレーザ
ガスを励起させレーザ光を出力するようにしたものであ
る。
ラス管あるいはガラス板に複数の金属製のピンを挿通・
固定して、放電電力の分布のバランスか良い位置に配設
し、これらのピンと高周波匍１源との間に設けた誘電１
体を介して印加される電圧によって、放電室内のレーザ
ガスを励起させレーザ光を出力するようにしたものであ
る。
この発明においては電極となる複数の金属製のピンが、
放電、電力のバランスが良（なるように適切な位置に配
設しであるので、放電室内のレーザカスの励起が安定す
る。また、放電部が金属製のピンの先端であるので、放
電によって生じる熱に対する耐力が高い。
放電、電力のバランスが良（なるように適切な位置に配
設しであるので、放電室内のレーザカスの励起が安定す
る。また、放電部が金属製のピンの先端であるので、放
電によって生じる熱に対する耐力が高い。
第１図はこの発明の一実施例によるガスレーザ装置にお
ける放電装置の構成を示す図であり、（ａ）図は正面図
、（ｂ）図はその側面断面図である。
ける放電装置の構成を示す図であり、（ａ）図は正面図
、（ｂ）図はその側面断面図である。
図において、（３Ｊは従来例と同様のＳＤ用の高周波電
源、（６＋はコンデンサ（７）と直列に接続されガラス
管（８）の内壁まで挿通・固定された金属製のピンであ
り、図示のようにガラス管（８）の軸方向に上下部処分
側されて複数個所で挿通・固定され、高周波電源（３）
の両極とコンデンサ（７）を介して接続された対向する
放電電極になっている。
源、（６＋はコンデンサ（７）と直列に接続されガラス
管（８）の内壁まで挿通・固定された金属製のピンであ
り、図示のようにガラス管（８）の軸方向に上下部処分
側されて複数個所で挿通・固定され、高周波電源（３）
の両極とコンデンサ（７）を介して接続された対向する
放電電極になっている。
上記のような構成のこの発明による放電装置において、
高周波電源（３）よりの高周波電圧が印加されると、ガ
ラス管（８）の上下部に分割されて挿通・固定されてい
る複数のピン（６）の上下間に放電（５）が生じ、ガラ
ス管（８）円のレーザカスを励起してこのガラス管（８
）の端部に設けられている部分反射鏡よりレーザ光を出
力する。
高周波電源（３）よりの高周波電圧が印加されると、ガ
ラス管（８）の上下部に分割されて挿通・固定されてい
る複数のピン（６）の上下間に放電（５）が生じ、ガラ
ス管（８）円のレーザカスを励起してこのガラス管（８
）の端部に設けられている部分反射鏡よりレーザ光を出
力する。
以上のように金属製の多数のピン（６）の先端が電極と
なって、対向するこれらのピン（６）間で放電（５）を
生じさせるので、これらの多数のピン（６）のガラス管
（８）に挿通・固定する位置を、励起ガスの種類、印加
する電圧値等の特性に応じてあらかじめ算定して配設す
るようにすると、適切な放電電力の分布が得られるため
罠、安定したガス励起によって良質のレーザ光が得られ
る。また、金属製のピン（６＋が放′ｆＩ！、電極とな
るので熱耐力が強（、ひずみなども生じないので長期間
の使用に耐える。
なって、対向するこれらのピン（６）間で放電（５）を
生じさせるので、これらの多数のピン（６）のガラス管
（８）に挿通・固定する位置を、励起ガスの種類、印加
する電圧値等の特性に応じてあらかじめ算定して配設す
るようにすると、適切な放電電力の分布が得られるため
罠、安定したガス励起によって良質のレーザ光が得られ
る。また、金属製のピン（６＋が放′ｆＩ！、電極とな
るので熱耐力が強（、ひずみなども生じないので長期間
の使用に耐える。
なお、上記実施例では多数のピン（６）をガラス管（８
）の軸に沿って配設した場合について説明したが、第２
図に示すようにガラス管（８）をとりま（ように配設す
るようにしてもよい。また、上記実施例ではピン（６）
１本ごとにコンデンサ（７）を直列に接続する例につい
て示したが、第３図に示すようにガラス管（ｓ） ＋
ｏｔｂ間に所定の誘電率を有する誘電体（９ａ）。
）の軸に沿って配設した場合について説明したが、第２
図に示すようにガラス管（８）をとりま（ように配設す
るようにしてもよい。また、上記実施例ではピン（６）
１本ごとにコンデンサ（７）を直列に接続する例につい
て示したが、第３図に示すようにガラス管（ｓ） ＋
ｏｔｂ間に所定の誘電率を有する誘電体（９ａ）。
（９ｂ）を封入し、これらの誘電体（９ａ） 、 （９
ｂ）とそれぞれ接続してガラス管（８）に挿通・固定さ
れたビイ（６ンを電極にして放電（５〕するようにして
もよい。。
ｂ）とそれぞれ接続してガラス管（８）に挿通・固定さ
れたビイ（６ンを電極にして放電（５〕するようにして
もよい。。
なお、上記実施例では軸流型ガスレーザ装置の円筒型の
放電室の場合について説明したが、第４図に示す平行平
板型のガスレーザ装置において、絶縁ケースαη内に電
極（２）と誘電体（９）を収納し、対向面に設けたガラ
ス板（２）に金属製のピン（６）を挿通・固定して、こ
のピン（６）間で放電（５）するようにしても上記実施
例と同一の効果を奏する。
放電室の場合について説明したが、第４図に示す平行平
板型のガスレーザ装置において、絶縁ケースαη内に電
極（２）と誘電体（９）を収納し、対向面に設けたガラ
ス板（２）に金属製のピン（６）を挿通・固定して、こ
のピン（６）間で放電（５）するようにしても上記実施
例と同一の効果を奏する。
この発明は以上説明したように、放電室を形成するガラ
ス管あるいはガラス板に複数個の金属製のピンを挿通・
固定し、これらのピンに誘電体を介して高周波電圧を印
加して放電するように構成したので、上記複数のピンを
適切な位置に配設することによって、放電室内の放電電
力の分布のバランスが良（なるとともに、金属製のピン
の間で放電するので放電による熱ひずみの発生の恐れか
ないために、長期間の使用に耐えるようになる効果があ
る。
ス管あるいはガラス板に複数個の金属製のピンを挿通・
固定し、これらのピンに誘電体を介して高周波電圧を印
加して放電するように構成したので、上記複数のピンを
適切な位置に配設することによって、放電室内の放電電
力の分布のバランスが良（なるとともに、金属製のピン
の間で放電するので放電による熱ひずみの発生の恐れか
ないために、長期間の使用に耐えるようになる効果があ
る。
断面図、第２図（ａ） 、 （ｂ）はこの発明の他の実
施例であるガラス管にピンがとりまくように配設した構
成の放電装置を示す正面図および伸１面断面図、第６図
は同じくこの発明の他の実施例であるガラス管内誘電体
を個人し、この誘電体とピンとを接続するように構成し
た放電装置の断面図、第４図は同じくこの発明の他の実
施例である平行平板型のガスレーサ装置における放電装
置の断面図、第５図は従来の放電装置の一例を示す断面
図である。 図において、（３）は高周波電源、（５）は放電、（６
）はピン、（７）はコンデンサ、（８）はガラス管、（
６）はガラス板。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
施例であるガラス管にピンがとりまくように配設した構
成の放電装置を示す正面図および伸１面断面図、第６図
は同じくこの発明の他の実施例であるガラス管内誘電体
を個人し、この誘電体とピンとを接続するように構成し
た放電装置の断面図、第４図は同じくこの発明の他の実
施例である平行平板型のガスレーサ装置における放電装
置の断面図、第５図は従来の放電装置の一例を示す断面
図である。 図において、（３）は高周波電源、（５）は放電、（６
）はピン、（７）はコンデンサ、（８）はガラス管、（
６）はガラス板。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- ＳＤ放電によつてレーザガスを励起してレーザ光を出力
するガスレーザ装置において、放電室を形成するガラス
管あるいはガラス板に複数の金属製のピンを挿通・固定
して適切な位置に配設し、これらのピンと高周波電源と
の間に誘電体を介装し、上記高周波電源による上記複数
の対向するピン間に印加された電圧によつてこれらのピ
ン間に放電を生じさせ、上記放電室内のレーザガスを励
起させることを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11488286A JPS62273786A (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11488286A JPS62273786A (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62273786A true JPS62273786A (ja) | 1987-11-27 |
Family
ID=14649037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11488286A Pending JPS62273786A (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62273786A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022695A (ja) * | 1988-06-16 | 1990-01-08 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
-
1986
- 1986-05-21 JP JP11488286A patent/JPS62273786A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022695A (ja) * | 1988-06-16 | 1990-01-08 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
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