JPH0144026B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0144026B2 JPH0144026B2 JP20424583A JP20424583A JPH0144026B2 JP H0144026 B2 JPH0144026 B2 JP H0144026B2 JP 20424583 A JP20424583 A JP 20424583A JP 20424583 A JP20424583 A JP 20424583A JP H0144026 B2 JPH0144026 B2 JP H0144026B2
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- JP
- Japan
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- mirror
- laser
- cathode
- discharge
- metal
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Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 23
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 16
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は内部鏡方式のレーザー発振管に関する
物である。
物である。
一般に気体レーザーにおいては、レーザー活性
媒体としての気体中に放電を行なわせレーザー活
性媒体を励起するプラズマチユーブと、１枚以上
の反射鏡を組合せレーザー共振器を構成する。放
電は一般には、アノードとカソード間で起こる
が、内部鏡方式のレーザー管ではミラーと電極と
は、レーザー活性媒体であるガスを介して接続さ
れている為、電圧印加開始時に、電極とミラー間
でも放電が起こる可能性がある。連続発振中にお
いては、電極の印加電圧の瞬時的な大きな変化は
ない為、電極とミラー間の放電は起こりにくい。
しかしパルス発振と言われる断続的発振方法にお
いては、電圧印加が周期的に行なわれ電極の電位
が大きく変動する為、電極とミラー間の放電もく
りかえし行なわれ、ミラー表面上の汚れ、損傷の
原因となる。これを防ぐ為、従来は電極とミラー
との間隔をはなし、異物の付着を防ぐなどの方法
がとられていた。しかしこの方法では、レーザー
共振器長に対して有効放電長が短かくなり、同じ
レーザー出力を得る為にレーザー管全体が長くな
つてしまい不利である。
媒体としての気体中に放電を行なわせレーザー活
性媒体を励起するプラズマチユーブと、１枚以上
の反射鏡を組合せレーザー共振器を構成する。放
電は一般には、アノードとカソード間で起こる
が、内部鏡方式のレーザー管ではミラーと電極と
は、レーザー活性媒体であるガスを介して接続さ
れている為、電圧印加開始時に、電極とミラー間
でも放電が起こる可能性がある。連続発振中にお
いては、電極の印加電圧の瞬時的な大きな変化は
ない為、電極とミラー間の放電は起こりにくい。
しかしパルス発振と言われる断続的発振方法にお
いては、電圧印加が周期的に行なわれ電極の電位
が大きく変動する為、電極とミラー間の放電もく
りかえし行なわれ、ミラー表面上の汚れ、損傷の
原因となる。これを防ぐ為、従来は電極とミラー
との間隔をはなし、異物の付着を防ぐなどの方法
がとられていた。しかしこの方法では、レーザー
共振器長に対して有効放電長が短かくなり、同じ
レーザー出力を得る為にレーザー管全体が長くな
つてしまい不利である。
これに対し本発明は、電極をミラーの近くにお
いてもミラーと電極の間に放電が起らない様にし
て、高いくりかえしのパルス発振においてもミラ
ー表面の汚れ、損傷の少ないレーザー管を得る事
を目的とする。
いてもミラーと電極の間に放電が起らない様にし
て、高いくりかえしのパルス発振においてもミラ
ー表面の汚れ、損傷の少ないレーザー管を得る事
を目的とする。
以下図面により説明する。
第１図は本発明の一実施例である。１はガラス
製２重管構造のプラズマチユーブであり、該プラ
ズマチユーブ１の両端部近くには、円筒状のカソ
ード２ａ及び２ｂが取り付けられており、該カソ
ード２ａ，２ｂに接続されたリード引き出しロツ
ド４ａ，４ｂが、ガラスと気密シールを保つてプ
ラズマチユーブ１の側壁に取り付けられている。
又プラズマチユーブ１の中央にはアノード３が気
密シールを保つて取り付けられている。プラズマ
チユーブ１は両端を、絶縁材料で作られたミラー
ホルダー５ａ及び５ｂに設けられた凹部に気密シ
ールを保つて接着剤により固定される。金属製共
振器ミラー６は、ミラーホルダー５ａに設けられ
た凹部に、ミラーおさえリング７でＯ−リング８
をしめつける事により、気密を保つて保持され
る。出力ミラー９もミラーホルダー５ｂに、ミラ
ー押えリング１０とＯ−リング１１により保持さ
れる。ミラーホルダー５ａ，５ｂはレーザー管支
持板１２ａ及び１２ｂにより支持固定され、レー
ザー発振管全体が保持される。金属製ミラー６に
は、共振器外部側の鏡面でない面にネジ穴が設け
られ、導線１３ａがビス１４により接続される。
導線１３ａは、リード引き出しロツド４ａへ接続
された導線１３ｂとともに図示されないレーザー
電源のカソード端子へ接続される。アノード３に
接続された、導線１３ｃは図示されないレーザー
電源のアノード端子に接続される。リード引き出
しロツド４ｂへ接続された導線１３ｄは図示され
ない、レーザー電源の１３ａ、及び１３ｂが接続
されている端子とは別のカソード端子に接続され
る。
製２重管構造のプラズマチユーブであり、該プラ
ズマチユーブ１の両端部近くには、円筒状のカソ
ード２ａ及び２ｂが取り付けられており、該カソ
ード２ａ，２ｂに接続されたリード引き出しロツ
ド４ａ，４ｂが、ガラスと気密シールを保つてプ
ラズマチユーブ１の側壁に取り付けられている。
又プラズマチユーブ１の中央にはアノード３が気
密シールを保つて取り付けられている。プラズマ
チユーブ１は両端を、絶縁材料で作られたミラー
ホルダー５ａ及び５ｂに設けられた凹部に気密シ
ールを保つて接着剤により固定される。金属製共
振器ミラー６は、ミラーホルダー５ａに設けられ
た凹部に、ミラーおさえリング７でＯ−リング８
をしめつける事により、気密を保つて保持され
る。出力ミラー９もミラーホルダー５ｂに、ミラ
ー押えリング１０とＯ−リング１１により保持さ
れる。ミラーホルダー５ａ，５ｂはレーザー管支
持板１２ａ及び１２ｂにより支持固定され、レー
ザー発振管全体が保持される。金属製ミラー６に
は、共振器外部側の鏡面でない面にネジ穴が設け
られ、導線１３ａがビス１４により接続される。
導線１３ａは、リード引き出しロツド４ａへ接続
された導線１３ｂとともに図示されないレーザー
電源のカソード端子へ接続される。アノード３に
接続された、導線１３ｃは図示されないレーザー
電源のアノード端子に接続される。リード引き出
しロツド４ｂへ接続された導線１３ｄは図示され
ない、レーザー電源の１３ａ、及び１３ｂが接続
されている端子とは別のカソード端子に接続され
る。
レーザー発振は、ミラーホルダー５ａに取り付
けられたガス導入口１４ａによりプラズマチユー
ブ内へガスを導き、ミラーホルダー５ｂへ設けら
れたガス排出口１４ｂよりも排出するガス経路に
おいて、アノード３に高電圧を印加しアノード、
カソード間にグロー放電を行なわせ、レーザー活
性媒体を励起し行なわれる。パルス状発振を行な
わせた場合、もし金属製ミラー６とカソード２ａ
が導線１３ａで、接続されていないとすると、パ
ルス状放電の電位の立ち上がり及び立ち下がりの
時、カソード２ａと金属製ミラー６の間に電位差
が生じる。その結果カソード２ａと金属製ミラー
６の間で、レーザー活性ガスを通して放電が起こ
る。この時金属製ミラーの鏡面を通して放電が行
なわれる為、イオンや電子等の衝撃及びその時発
生する熱の為鏡面上に汚れ、破損等の損傷が発生
する。この為レーザー出力は低下し、本来のレー
ザー管としての機能をそこなう事になる。これに
対し本発明の実施例のごとく金属製ミラー６とカ
ソード２ａを導線１３ａで接続し、電気的に導通
した場合は、パルス状放電の立ち上がり及び立ち
下がりの時においても、カソード２ａと金属製ミ
ラー６は同電位となり、この２つの間で放電は生
じない。従つて、鏡面は放電に伴なう損傷を受け
る事なく、レーザー発振は長時間にわたり安定に
行なわれる。
けられたガス導入口１４ａによりプラズマチユー
ブ内へガスを導き、ミラーホルダー５ｂへ設けら
れたガス排出口１４ｂよりも排出するガス経路に
おいて、アノード３に高電圧を印加しアノード、
カソード間にグロー放電を行なわせ、レーザー活
性媒体を励起し行なわれる。パルス状発振を行な
わせた場合、もし金属製ミラー６とカソード２ａ
が導線１３ａで、接続されていないとすると、パ
ルス状放電の電位の立ち上がり及び立ち下がりの
時、カソード２ａと金属製ミラー６の間に電位差
が生じる。その結果カソード２ａと金属製ミラー
６の間で、レーザー活性ガスを通して放電が起こ
る。この時金属製ミラーの鏡面を通して放電が行
なわれる為、イオンや電子等の衝撃及びその時発
生する熱の為鏡面上に汚れ、破損等の損傷が発生
する。この為レーザー出力は低下し、本来のレー
ザー管としての機能をそこなう事になる。これに
対し本発明の実施例のごとく金属製ミラー６とカ
ソード２ａを導線１３ａで接続し、電気的に導通
した場合は、パルス状放電の立ち上がり及び立ち
下がりの時においても、カソード２ａと金属製ミ
ラー６は同電位となり、この２つの間で放電は生
じない。従つて、鏡面は放電に伴なう損傷を受け
る事なく、レーザー発振は長時間にわたり安定に
行なわれる。
第２図は、本発明の他の実施例であり、金属製
ミラーとカソードとをレーザー管内部で電気的に
導通させたものである。１はガラス２重管構造の
プラズマチユーブであり、ミラーホルダー５ａに
接着剤により気密シールされる。ミラーホルダー
５ａの内部には円筒状のカソード２ａが取り付け
られ、リード引き出しロツド４ａがカソード２の
外側にねじ込まれ、固定具１５を介して、ミラー
ホルダー５ａに固定され、ミラーホルダー５ａに
固定具１５を接着することで気密シールされる。
また、カソード２ａには金属製リボン１６が取り
付けられており、そのリボン１６の一端をミラー
ホルダー５ａに設けられた段差と金属リング１７
ではさみ込む様に、金属リング１７がミラーホル
ダー５ａの凹部にはめ込まれている。金属製ミラ
ー６は該金属リング１７にあてつけられるよう
に、ミラー押えリング７とＯ−リング８によりミ
ラーホルダー５ａの凹部に固定される。
ミラーとカソードとをレーザー管内部で電気的に
導通させたものである。１はガラス２重管構造の
プラズマチユーブであり、ミラーホルダー５ａに
接着剤により気密シールされる。ミラーホルダー
５ａの内部には円筒状のカソード２ａが取り付け
られ、リード引き出しロツド４ａがカソード２の
外側にねじ込まれ、固定具１５を介して、ミラー
ホルダー５ａに固定され、ミラーホルダー５ａに
固定具１５を接着することで気密シールされる。
また、カソード２ａには金属製リボン１６が取り
付けられており、そのリボン１６の一端をミラー
ホルダー５ａに設けられた段差と金属リング１７
ではさみ込む様に、金属リング１７がミラーホル
ダー５ａの凹部にはめ込まれている。金属製ミラ
ー６は該金属リング１７にあてつけられるよう
に、ミラー押えリング７とＯ−リング８によりミ
ラーホルダー５ａの凹部に固定される。
リード引き出しロツド４ａには、導線１３ｂが
接続され図示されないレーザー電源のカソード端
子に接続される。金属製ミラー６とカソード２ａ
は、リボン１６と金属リング１７により電気的に
導通され、前述の如く、放電励起時に同電位とな
りミラー表面の損傷をおさえる事ができる。
接続され図示されないレーザー電源のカソード端
子に接続される。金属製ミラー６とカソード２ａ
は、リボン１６と金属リング１７により電気的に
導通され、前述の如く、放電励起時に同電位とな
りミラー表面の損傷をおさえる事ができる。
本発明は、以上のように構成される所から、カ
ソードと金属製ミラーをアノードとカソードの距
離に比べてかなり小さくしても、カソードと金属
製ミラー間で放電は起こらずミラーへのイオン、
電子等の衝突に伴なう汚れや破損が少なく、安定
したレーザー出力が得られる。又本発明は放電励
起のくりかえしが高い場合に、より有効であるが
通常の連続発振においても、その放電開始時及び
終了時におけるミラーへの影響をとりのぞく事が
出来る。
ソードと金属製ミラーをアノードとカソードの距
離に比べてかなり小さくしても、カソードと金属
製ミラー間で放電は起こらずミラーへのイオン、
電子等の衝突に伴なう汚れや破損が少なく、安定
したレーザー出力が得られる。又本発明は放電励
起のくりかえしが高い場合に、より有効であるが
通常の連続発振においても、その放電開始時及び
終了時におけるミラーへの影響をとりのぞく事が
出来る。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は
他の実施例の部分断面図である。 １……プラズマチユーブ、２ａ，２ｂ……カソ
ード、３……アノード、４ａ，４ｂ……リード引
き出しロツド、５ａ，５ｂ……ミラーホルダー、
６……金属製ミラー、７，１０……ミラーおさえ
リング、８，１１……Ｏ−リング、１２ａ，１２
ｂ……レーザー管支持板、１３ａ，１３ｂ，１３
ｃ，１３ｄ……導線、１４ａ，１４ｂ……ガス入
出口、１５……固定具、１６……金属リング。
他の実施例の部分断面図である。 １……プラズマチユーブ、２ａ，２ｂ……カソ
ード、３……アノード、４ａ，４ｂ……リード引
き出しロツド、５ａ，５ｂ……ミラーホルダー、
６……金属製ミラー、７，１０……ミラーおさえ
リング、８，１１……Ｏ−リング、１２ａ，１２
ｂ……レーザー管支持板、１３ａ，１３ｂ，１３
ｃ，１３ｄ……導線、１４ａ，１４ｂ……ガス入
出口、１５……固定具、１６……金属リング。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 内部鏡方式放電励起型のレーザー発振器にお
いて、カソード電極と金属製共振器ミラーとを電
気的に接続し同電位としてレーザー発振を行なう
ことを特徴とするレーザー発振管。 ２ カソード電極と金属製共振器ミラーをレーザ
ー発振管外部において導体により接続したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザー
発振管。 ３ カソード電極と金属製共振器ミラーをレーザ
ー発振管内部において導体により接続したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザー
発振管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20424583A JPS6095984A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | レ−ザ−発振管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20424583A JPS6095984A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | レ−ザ−発振管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6095984A JPS6095984A (ja) | 1985-05-29 |
| JPH0144026B2 true JPH0144026B2 (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=16487253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20424583A Granted JPS6095984A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | レ−ザ−発振管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6095984A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0521897Y2 (ja) * | 1987-08-10 | 1993-06-04 | ||
| JP3036514B2 (ja) * | 1998-06-26 | 2000-04-24 | 松下電器産業株式会社 | ガスレーザ発振装置 |
| CN105244749A (zh) * | 2015-11-11 | 2016-01-13 | 成都微深科技有限公司 | 一种具有等电位装置的二氧化碳激光器 |
-
1983
- 1983-10-31 JP JP20424583A patent/JPS6095984A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6095984A (ja) | 1985-05-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |