JPS61218187A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS61218187A JPS61218187A JP5847485A JP5847485A JPS61218187A JP S61218187 A JPS61218187 A JP S61218187A JP 5847485 A JP5847485 A JP 5847485A JP 5847485 A JP5847485 A JP 5847485A JP S61218187 A JPS61218187 A JP S61218187A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- laser beam
- cathode
- laser
- anode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はガスレーザ装置に係り、特に、希ガスハライド
エキシマレーザ装置に好適な放電電極に関する。
エキシマレーザ装置に好適な放電電極に関する。
従来の自動予備電離放電励起形エキシマレーザ装置は文
献「高効率自動予備電離放電励起ＸａＣＱレーザＪに記
載のように、陰極および陽極は、レーザ光軸方向に長く
一体の平等電界電極（チャン型）を用いており、実験結
果は、この平等電界電極では放電断面を拡大するには適
していない、また、大口径のレーザビームを得ることに
ついては論及されていなかった。
献「高効率自動予備電離放電励起ＸａＣＱレーザＪに記
載のように、陰極および陽極は、レーザ光軸方向に長く
一体の平等電界電極（チャン型）を用いており、実験結
果は、この平等電界電極では放電断面を拡大するには適
していない、また、大口径のレーザビームを得ることに
ついては論及されていなかった。
本発明の目的は、放電断面積が大きく、取り出しレーザ
ビームの大きなエキシレーザ装置を提供することにある
。
ビームの大きなエキシレーザ装置を提供することにある
。
本発明の要点は、平等電界電極をレーザ光軸と直交する
方向に設けることにある。
方向に設けることにある。
以下１本発明の一実施例を第１図及び第２図により説明
する。第１図はエキシマレーザの電極構成と放電状態を
示す斜視図であり、第２＠は第１図をレーザ光軸方向か
ら見た断面図と電気回路図である、陽極１と陰極２は向
い合って配置され、それぞれの放電面の形状は、レーザ
光軸と直交する方向にレーザ光軸方向に長さよりも長い
平等電界面を複数個レーザ光軸方向に設ける。直流高圧
電源９より充電抵抗Ｒを介して充電コンデンサーＣ１に
直流高電圧を充電しておき、スパークギャップＳを閉じ
ると、Ｃ１に蓄積されていた電荷は。
する。第１図はエキシマレーザの電極構成と放電状態を
示す斜視図であり、第２＠は第１図をレーザ光軸方向か
ら見た断面図と電気回路図である、陽極１と陰極２は向
い合って配置され、それぞれの放電面の形状は、レーザ
光軸と直交する方向にレーザ光軸方向に長さよりも長い
平等電界面を複数個レーザ光軸方向に設ける。直流高圧
電源９より充電抵抗Ｒを介して充電コンデンサーＣ１に
直流高電圧を充電しておき、スパークギャップＳを閉じ
ると、Ｃ１に蓄積されていた電荷は。
スパークギャップＳを介して移行し、陽極１と陰極２と
の間に設けた放電用コンデンサＣ２に予備電離電極８を
介して充電する。予備電離電極８は微小ギャップがあり
、このギャップでアーク放電を行ない、その時に発生す
る紫外線によって、陽極１と陰極２と絶縁物の外壁７で
囲まれたレーザ容器の中に満された圧力１〜６気圧程度
のレーザガスを予備電離する。放電コンデンサー〇、、
の充電電圧が陽極１と陰極２間の自爆放電電圧に達する
と、陽極１と陰極２間で主放電が開始する。この時、放
電は複数個の平等電界電極面で発生し、放電はレーザ光
軸方向に平等電界電極面の数だけ自動的に分割され、放
電６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ。
の間に設けた放電用コンデンサＣ２に予備電離電極８を
介して充電する。予備電離電極８は微小ギャップがあり
、このギャップでアーク放電を行ない、その時に発生す
る紫外線によって、陽極１と陰極２と絶縁物の外壁７で
囲まれたレーザ容器の中に満された圧力１〜６気圧程度
のレーザガスを予備電離する。放電コンデンサー〇、、
の充電電圧が陽極１と陰極２間の自爆放電電圧に達する
と、陽極１と陰極２間で主放電が開始する。この時、放
電は複数個の平等電界電極面で発生し、放電はレーザ光
軸方向に平等電界電極面の数だけ自動的に分割され、放
電６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ。
６ｅ、６ｆ、６ｇｙ ａｈのようになりレーザガスを励
起する。また、それぞれの放電のレーザ光軸と直交する
方向の放電中は陽極１と陰極２の電極巾で決まるため、
全反射鏡３と半透過鏡４間で反射して増巾され半透過鏡
４側より取りだされるレーザ５の断面形状は、陽極１と
陰極２の電極間隙と電極巾で決定され、その結果、大口
径のレーザ光５を得ることができる。
起する。また、それぞれの放電のレーザ光軸と直交する
方向の放電中は陽極１と陰極２の電極巾で決まるため、
全反射鏡３と半透過鏡４間で反射して増巾され半透過鏡
４側より取りだされるレーザ５の断面形状は、陽極１と
陰極２の電極間隙と電極巾で決定され、その結果、大口
径のレーザ光５を得ることができる。
本発明によれば、電極巾を大きくできることから、レー
ザ共振器の長さを短くしても大出力を得られる効果があ
る。
ザ共振器の長さを短くしても大出力を得られる効果があ
る。
第３図は本発明の応用例の横方向断面図であり、陽極１
および陰極２のそれぞれの平等電界電極面の間隔を長く
し、陰極２側の平等電界電極面間に予備電離電極８ａ、
８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅを同筒形絶縁物１０ ａ Ｈ１
０ｂ ｅ １０ ｃ ｅ １０ ｄ ｔｌｏｅを介して
設けたものである。この結果、予備電離電極を、＃ｉ極
放電面に近くにすることができるため、予備電離の効率
を高くできる効果がある。
および陰極２のそれぞれの平等電界電極面の間隔を長く
し、陰極２側の平等電界電極面間に予備電離電極８ａ、
８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅを同筒形絶縁物１０ ａ Ｈ１
０ｂ ｅ １０ ｃ ｅ １０ ｄ ｔｌｏｅを介して
設けたものである。この結果、予備電離電極を、＃ｉ極
放電面に近くにすることができるため、予備電離の効率
を高くできる効果がある。
本発明によれば、電極の横巾全体に放電を確立すること
ができるので、大口径のレーザ光を得ることができる。
ができるので、大口径のレーザ光を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例のエキシマレーザの電極構成
と放電状態を示す斜視図、第２図はレーザ光軸方向から
見た正面図、第３図は本発明の応用例の横断面図である
。 １・・・陽極、２・−・陰極、６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ
。 ６ ｅ 、 ６ ｆ 、 ６ ｇ 、 ６ ｈ−放電、
８，８ａ、８ｂ。 ８ｃ、８ｄ、８ｅ・・・予備電離電極。
と放電状態を示す斜視図、第２図はレーザ光軸方向から
見た正面図、第３図は本発明の応用例の横断面図である
。 １・・・陽極、２・−・陰極、６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ
。 ６ ｅ 、 ６ ｆ 、 ６ ｇ 、 ６ ｈ−放電、
８，８ａ、８ｂ。 ８ｃ、８ｄ、８ｅ・・・予備電離電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、陽極と陰極との間にパルス放電を発生させ、パルス
レーザ発振を行なうガスレーザ装置において、 前記陽極と前記陰極の少なくとも一方にレーザ光軸を直
交する方向に軸心をもつ曲面を前記レーザ光軸方向に複
数個設けたことを特徴とするガスレーザ装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、 前記陽極および前記陰極に設けた複数個の前記曲面を構
成するおのおのの間に予備の電離電極を設けたことを特
徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5847485A JPS61218187A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5847485A JPS61218187A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61218187A true JPS61218187A (ja) | 1986-09-27 |
Family
ID=13085427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5847485A Pending JPS61218187A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61218187A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02199883A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-08 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ装置 |
-
1985
- 1985-03-25 JP JP5847485A patent/JPS61218187A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02199883A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-08 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ装置 |
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